JP2011021233A - 銅箔の連続電解エッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電解液Lを収容した電解槽2内に、電解槽2内に設置されたカソード板3と平行となるようにアノードとなる銅箔4を連続的に通過させ、カソード板3と銅箔4間に電流を流して銅箔4の電解エッチングを行う銅箔の連続電解エッチング装置において、カソード板3の幅を銅箔4の幅より広く形成すると共に、カソード板3と対向する銅箔4の両側に電流遮蔽板5を設けてなり、電流遮蔽板5は、カソード板3および銅箔4と垂直になるように形成され、銅箔4の側端部に対向する垂直部5aと、垂直部5aのカソード板3側の端部から銅箔4と反対側に延び、カソード板3の表面と平行に形成された拡幅部5bとからなるものである。
【選択図】図1
Description
(カソード板3の幅d1−銅箔4の幅d2)/2+蛇行振幅/2
以上であることが望ましい。これは、搬送中に銅箔4が蛇行しても、対極(カソード板3)の片端に遮蔽されない部分が生じないようにするためである。しかし、電流遮蔽板5の拡幅部5bの幅d5を不必要に大きくすると、電解液Lの攪拌を妨害するおそれがある。本実施の形態では、拡幅部5bの幅d5を60mmとした。また、電流遮蔽板5の垂直部5aの長さd7は、50mmとした。
図3の銅箔の連続電解エッチング装置1を用いて、銅箔4の蛇行に応じて電流遮蔽板5を移動させる蛇行追尾を行わない場合(実施例1−1)と、行う場合(実施例1−2)について、厚さ18μm、幅600mmのタフピッチ銅からなる銅箔4を1000m、ライン速度10m/分で電解エッチング処理した。ここでは、周囲をイオン交換膜31で覆ったカソード板3を使用した。これにより、電解液L中の銅イオン濃度が高くなった際に、カソード板3に銅が電着することを防いだ。電解液Lの組成は、5%硫酸水溶液で液温40℃、アノード(銅箔4)の電流密度は10A/dm2とした。
実施例1と同様に図3の銅箔の連続電解エッチング装置1を用いて、緩衝効果を有する固定機構21の効果を確認した。固定機構21の緩衝作用を働かせた場合と、内部液(電解液L)の出入りを制御するバルブ26を開放して、動作抵抗を大きく低減した場合とで比較した。
2 電解槽
3 カソード板
4 銅箔
5 電流遮蔽板
5a 垂直部
5b 拡幅部
6,7,8 ローラ
9 銅箔端部検出装置
Claims (5)
- 電解液を収容した電解槽内に、該電解槽内に設置されたカソード板と平行となるようにアノードとなる銅箔を連続的に通過させ、前記カソード板と前記銅箔間に電流を流して前記銅箔の電解エッチングを行う銅箔の連続電解エッチング装置において、
前記カソード板の幅を前記銅箔の幅より広く形成すると共に、前記カソード板と対向する前記銅箔の両側に電流遮蔽板を設けてなり、
前記電流遮蔽板は、前記カソード板および前記銅箔と垂直になるように形成され、前記銅箔の側端部に対向する垂直部と、該垂直部の前記カソード板側の端部から前記銅箔と反対側に延び、前記カソード板の表面と平行に形成された拡幅部とからなることを特徴とする銅箔の連続電解エッチング装置。 - 前記電流遮蔽板は、その拡幅部が前記カソード板よりも外側に延びるように形成される請求項1記載の銅箔の連続電解エッチング装置。
- 前記電解槽に導入する前記銅箔の側端部の位置情報を検出して前記銅箔の蛇行を検出する銅箔端部検出装置と、該銅箔端部検出装置からの信号に基づき、前記電流遮蔽板と前記銅箔の側端部とが接触しないよう、前記電流遮蔽板を前記銅箔の蛇行に応じて移動させる制御部とをさらに備えた請求項1または2記載の銅箔の連続電解エッチング装置。
- 前記電流遮蔽板は、伸縮可能で、かつ、前記電流遮蔽板の位置変動に対する緩衝作用を有する固定機構により、前記電解槽に固定される請求項1〜3いずれかに記載の銅箔の連続電解エッチング装置。
- 前記固定機構が、前記電解槽内の前記電解液を内部に出入りさせることで、前記電流遮蔽板の位置変動を緩衝する請求項4記載の銅箔の連続電解エッチング装置。
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