JP2011021230A - 超高純度合金鋳塊の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コールドハース式電子ビーム溶解装置11の水冷銅製皿状容器9に合金原料を供給して、5×10−4mbarよりも低い気圧下において合金溶湯プール13を形成する。その後、水冷銅製皿状容器9内の合金溶湯プール13に酸化鉄を添加して、不純物元素である炭素を除去する。ここで、酸化鉄の添加重量を、合金溶湯プール13中の不純物元素である炭素を全量酸化させるために算出される算出重量の1.0倍以上、4.0倍以下とする。
【選択図】図1
Description
真空酸化精錬に対しては、浅くて表面積の大きい溶湯プールを利用する電子ビーム溶解法が、本質的に適していると言える。特に、大面積の水冷銅製皿状容器を用いて、溶湯プールを形成させる、コールドハース式電子ビーム溶解方式が、これら不純物元素の除去精錬に適していることは明らかである。
以下に記述するコールドハース式電子ビーム溶解方法(高真空下で溶解−真空精錬を行う電子ビーム溶解方法)により、脱[C]、脱[O]を施して、[C]<10ppm,[O]<10ppmにまで不純物元素を除去精錬することができる。なお、図1は、コールドハース式電子ビーム溶解装置11を示す模式図である。
脱炭[C]反応は、真空度が高いほど促進されやすいため、極限までの脱[C]を行わせるには、高真空雰囲気下であることが望ましい。なお、「<5×10−4mbar」としたのは、真空チャンバー4内に微量のArガスを導入する場合があるからである。真空チャンバー4内にArガスなどの不活性ガスを導入しない場合は、1×10−4mbarよりも低い気圧下で溶製を行うことが望ましい。
溶解原料12中の酸素濃度が不足する場合は、高真空条件下においても、脱[C]されることはない。そのため、[C]の酸化に必要な[O]を供給する必要がある。しかし、電子ビーム溶解法は、高真空下で実施されるため、酸素ガスを供給することは困難である。そこで、固体の酸素源として、高純度な酸化鉄などの所定の合金組成主要成分元素の酸化物である酸化剤を溶解原料とともに供給する方式が有効である。この場合、微粉状の酸化鉄は、電子ビーム溶解の最初の真空排気の段階で、ガスの流れに巻き込まれて飛散し、真空ポンプにまで達して、当該真空ポンプを傷める結果となる。よって、事前に酸化鉄の焼結処理などを行い、顆粒状にした酸化鉄を添加することが望ましい。酸化剤としては、Fe基合金の場合は酸化鉄(Fe3O4,Fe2O3など)、Fe−Ni基合金の場合は酸化鉄や酸化ニッケルが、Ni基合金では酸化ニッケルが、Co基合金の場合は、酸化コバルトなどが適用できる。これらの酸化剤は、固体の酸化剤であり、換言すれば酸化金属からなる酸化剤である。
MFeO=WM/100×([C]/12.01−[O]/16.0)/y×(55.85×x+16.0×y)
WM:溶解原料の重量(kg)、[C]:溶解原料中のC濃度(wt%)
[O]:溶解原料中のO濃度(wt%)
比較的に高純度なステンレス鋼を溶解原料として用いた場合の、WFe2O3/MFeO比値と脱炭[C]率:η[C]=([C]0−[C]EB)/[C]0×100(%)との相関関係を調べた結果を図2に示す。WFe2O3/MFeO比が1以上の場合に、平均的な脱[C]率として50%ほど以上が期待できることが示される。
なお、酸化鉄の代わりに酸化ニッケル(NixOy)などを用いることも可能である。この場合は、MFeOを算出する式において、Feの原子量(55.85)ではなく、Niの原子量(58.71)を用いることになる。
精錬効果の確認に用いた試験装置の構造模式図は、図1に示す通りであり、設備の概略仕様は、以下の通りである。
(1)コールドハース式電子ビーム溶解(EBCHR)装置11
高圧電源 加速電圧:40kV,最大出力:300kW
電子ビーム銃14 2基
到達真空度 10−6mbar台
真空排気装置 ロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ、拡散ポンプ
原料供給機構 最大φ210×1000Lmm
鋳塊引抜機構 最大φ200×1000Lmm
9:水冷銅製皿状容器
10:水冷銅製鋳型
11:コールドハース式電子ビーム溶解装置
13:合金溶湯プール
Claims (1)
- コールドハース式電子ビーム溶解装置の水冷銅製皿状容器に合金原料を供給して、5×10−4mbarよりも低い気圧下において、当該水冷銅製皿状容器内と当該水冷銅製皿状容器に隣接する水冷銅鋳型内とに、合金溶湯プールを形成する溶湯プール形成工程と、
前記水冷銅製皿状容器内の合金溶湯プールに精錬剤を添加して、不純物元素である炭素を除去する精錬工程と、
を備え、
前記精錬剤は酸化鉄などの所定の合金組成主要成分元素の酸化物である酸化剤であり、
前記精錬剤の添加重量を、前記合金溶湯プール中の前記不純物元素である炭素を全量酸化させるために算出される算出重量の1.0倍以上、4.0倍以下とすることを特徴とする、超高純度合金鋳塊の製造方法。
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