JP2011017582A - 光干渉計を用いた変位計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 変位計測装置1は、第一のベース2と、第一のベース2に対して可動に設置された第二のベース3と、を有している。第一のベース2には、光源4と、光源4から照射される光を測定光と基準光とに分岐するビームスプリッタ5と、ビームスプリッタ5からの基準光を第一の反射板6の方に向けて反射する第三の反射板8と、第一の反射板6で反射された基準光と第二の反射板7で反射された測定光との干渉光を検出する光検出器9およびλ/4波長板10が設けられている。第二のベース3には、反射面が第二の反射板7の反射面と平行に設置されている第一の反射板6およびビームスプリッタ5からの測定光を反射する第二の反射板7が設けられている。
【選択図】 図1
Description
変位量=n×λ/2・・・(1)
の式を用いて変位量を計測することができる。
2、12、22、32 第一のベース(固定部)
3、13、23、33 第二のベース(可動部)
4、14、24、34 光源
5、5’、15、15’、25、25’、35、35’ ビームスプリッタ
6、16、26、36 第一の反射板(基準反射板)
16’ 一体化された反射板
16a 段差
7、17、27、37 第二の反射板(測定反射板)
8、18、28 第三の反射板
9、19、29、39 光検出器
10、20、30、40 λ/4波長板
Claims (4)
- 光干渉計を用いた変位計測装置において、
第一のベースと、
該第一のベースに対して可動に設置された第二のベースと、を有し、
前記第一のベース上には、光源と、該光源から照射された光を基準光と測定光とに分岐させるビームスプリッタと、前記基準光と前記測定光との干渉によって生じた干渉縞を検出する検出器と、が設けられており、
前記第二のベース上には、前記基準光を反射する第一の反射板と、前記測定光を反射する第二の反射板と、が設けられており、
前記第一の反射板の反射面と前記第二の反射板の反射面は互いに平行になるように設置されており、
前記第一の反射板と前記第二の反射板のいずれか一方は、前記第一のベースに設けられた第三の反射板を介して、前記ビームスプリッタからの光が照射される
ことを特徴とする変位計測装置。 - 前記第一の反射板の反射面と、前記第二の反射板の反射面と、が略同一方向になるように設置されていることを特徴とする請求項1に記載の変位計測装置。
- 前記第一の反射板の反射面と前記第二の反射板の反射面が一体化されていることを特徴とする請求項2に記載の変位計測装置。
- 前記第一の反射板の反射面と、前記第二の反射板の反射面のいずれか一方に、段差が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の変位計測装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009161531A JP5421677B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 光干渉計を用いた変位計測装置 |
PCT/JP2010/060433 WO2011004692A1 (ja) | 2009-07-08 | 2010-06-21 | 光干渉計を用いた変位計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009161531A JP5421677B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 光干渉計を用いた変位計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011017582A true JP2011017582A (ja) | 2011-01-27 |
JP5421677B2 JP5421677B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=43429116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009161531A Expired - Fee Related JP5421677B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 光干渉計を用いた変位計測装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5421677B2 (ja) |
WO (1) | WO2011004692A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102759793B (zh) * | 2011-04-26 | 2014-08-27 | 四川大学 | 反射式双缝干涉仪 |
CN102679906B (zh) * | 2012-05-28 | 2014-11-05 | 西安交通大学 | 一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统 |
WO2019202564A1 (en) * | 2018-04-20 | 2019-10-24 | Srinivasan Tilak | A device for determining orientation of an object |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005252246A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-09-15 | Nikon Corp | 露光装置及び方法、位置制御方法、並びにデバイス製造方法 |
-
2009
- 2009-07-08 JP JP2009161531A patent/JP5421677B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2010
- 2010-06-21 WO PCT/JP2010/060433 patent/WO2011004692A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005252246A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-09-15 | Nikon Corp | 露光装置及び方法、位置制御方法、並びにデバイス製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5421677B2 (ja) | 2014-02-19 |
WO2011004692A1 (ja) | 2011-01-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130827 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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