JP2011007750A - ウエハのクラックの検出方法及びその検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】短時間で精度良くウエハのクラックの有無を検査できるクラックの検出方法及びその検出装置を提供すること。
【解決手段】ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する所定周波数の音の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定すること。
【選択図】図1
【解決手段】ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する所定周波数の音の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定すること。
【選択図】図1
Description
本発明はウエハのクラックの検出方法及び検出装置に関するものである。
単結晶や多結晶の結晶系太陽電池素子の基板などとして用いられるシリコンウエハなどは、コストダウンやシリコン材料の削減等の理由によりその大型化、薄型化が進められている。このためシリコンウエハを製造する工程やデバイス工程においてクラックが発生しやすくなっている。
例えば太陽電池素子では、太陽電池素子を直列、並列に組みモジュール化した場合、このようなクラックのある太陽電池素子が1枚でもあると、そのモジュールの出力電力を大きく低下させてしまう。このため太陽電池素子をモジュール化する前にクラックの有無検査し、クラックの有るものを精度良く検出し、取り除くことが重要である。
このようなシリコンウエハのクラックの検出装置としては、シリコンウエハに衝撃を加え振動を発生させ、このシリコンウエハの振動周波数をマイクロフォンを介して電気信号に変換して、高速フーリエ変換アナライザー等を使用して、この振動周波数のパワースペクトルの積分値を算出し、さらにあらかじめ求めておいた振動周波数のパワースペクトルの積分値と比較する方法がある(特許文献1参照)。
上述の特許文献1の方法では、検出精度を上げるためには1枚のシリコンウエハについて数カ所、上述のようなシリコンウエハを障害物に当てる必要がある。例えばシリコンウエハが150〜160mm角程度のものであれば、4カ所について障害物に当てる必要がある。このように1枚のシリコンウエハについて数カ所、障害物に当てる必要があると、クラック検査に時間がかかり、シリコンウエハのコストを上げる要因になるという問題があった。
このような問題点に鑑み、本発明の目的は短時間で精度良くシリコンウエハなどのクラックの有無を検査できるクラックの検出方法及びその検出装置を提供することである。
本発明のウエハのクラックの検出方法においては、ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する音の所定振動周波数の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定する。
さらに、前記所定振動周波数の音は振動周波数帯域が4〜35kHzであって、強度が30dB以上であるときに前記ウエハにクラックがあると判定することを特徴とする。
また本発明のウエハのクラックの検出装置においては、一主面が凸状の曲面である上下動可能な押え冶具と、前記ウエハの対向する2辺を支えるための2つの梁部と、該梁部間に設けられたマイクロフォンと、該マイクロフォンの出力強度を判別手段とを少なくとも有する。
さらに、前記2つの梁部は互いに平行、かつ、互いに高さが同一であることを特徴とする。
さらに、前記押え冶具は前記2箇所の梁部の中心線に沿って直上に設けられたことを特徴とする。
上記のようにウエハを一方向に湾曲させたときに発生する音の所定振動周波数の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定することにより、ウエハの変形時に発生する所定の強度を超える音の有無を短時間で判別し、それにより、クラックの検出を確実に行うことが可能となる。
以下、本発明の実施形態を図を用いて説明する。
本発明のウエハのクラックの検出方法においては、ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する音の所定振動周波数の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定するものである。
また、本発明のウエハのクラックの検出装置においては、一主面が凸状の曲面である上下動可能な押え冶具と、前記ウエハの対向する2辺を支えるための2つの梁部と、該梁部間に設けられたマイクロフォンと、該マイクロフォンの出力強度を判別手段とを少なくとも有するものである。
これにより、短時間でウエハ中のクラックの検出を確実に行うことが可能となる。
図1は本発明に係るウエハのクラックの検出装置の一実施形態を示す模式図であり、押し冶具14と梁部12と、ウエハを曲げたときに生じる音を電気信号に変えるマイクロフォン2と、微弱な電気信号を増幅する増幅器4と、検出された音の信号によりクラックの有無の判断を行うコンピューター5と、クラック有無をランプの点滅で作業者に知らせる信号機6とから成る。
さらに、本発明のウエハのクラックの検出装置においては、前記2つの梁部は互いに平行、かつ、互いに高さが同一であることが好ましい。
これにより、ウエハに均等な応力を与えることができる。
さらに、本発明のウエハのクラックの検出装置においては、前記押え冶具は前記2箇所の梁部の中心線に沿って直上に設けられたことが好ましい。
これにより、ウエハ毎に安定して同程度の応力を与えることができる。
図2は押し冶具14と梁部12の一例を示す斜視図であり、作業台11と、梁部12と、被検査体(シリコンウエハ)13と、曲げ治具14と、駆動軸15を示す。
曲げ治具14は、その下面が大きい曲率半径を持つ円弧状曲面で、上面は平面状であり、全体として円柱を底面に垂直に切り取ったような形状であり、フッ素樹脂やポリアセタール樹脂などの樹脂又はアルミニウムやステンレスなどの金属で作製される。
曲げ治具14の下面の幅は、その曲面の長さがシリコンウエハ13と同じか10mm程度長いものであり、その長さもシリコンウエハ13と同じか10mm程度長く作製される。
また曲げ治具14の上面のほぼ中央部には駆動軸15が接続され、駆動軸15は、エアシリンダー又はサーボモーター(不図示)などにより垂直方向に動くようになっており、これにより曲げ治具14も上下方向に動く。
この曲げ治具14の下面の曲面は、シリコンウエハ13の大きさや厚みなどを考慮して最適に決定すれば良いが、例えばシリコンウエハ13の大きさが150〜160mm角程度、厚みが0.2〜0.25mm程度の場合、曲率半径は350〜500mm程度が好適である。
これにより、ウエハに十分な反り量を与えることができる。
梁部12は検査するシリコンウエハ13の対向する2辺を支持し、載置するものであり、シリコンウエハ13が例えば150〜160mm角程度の大きさである場合、高さ30〜50mm程度でシリコンウエハ13を載置する載置面の幅が10〜20mm程度、長さがシリコンウエハ13と同じか10mm程度長い角柱状のもの2本から成り、シリコンウエハ13の幅に合わせ、互いに略平行に離間して配置され、ネジや接着剤により作業台11に固定される。この梁部12は、例えばアクリルゴムやウレタンゴムなどの適当な硬度を持った弾性体又はポリプロピレンなどの樹脂で作製される。
図3(a)、(b)は、押し冶具14と梁部12の動作の状態を示す側面図である。
まず、図3(a)に示すように曲げ治具14が上昇した状態で、シリコンウエハ13の両端部を梁部12に載置する。
次に、駆動軸15を下げることにより、曲げ治具14をシリコンウエハ13の主面全体に当接させ、シリコンウエハ13が曲げ治具14の下面の曲面の形状に沿うように、一方向に湾曲することになる。
この曲げ治具14が下降する速度は、シリコンウエハ13に曲げ治具14が当接する時の衝撃が加わらないようにできるだけ遅い方が望ましいが、作業能率を考えると毎秒0.7〜3cm程度が好適である。
この場合において本発明に係るウエハのクラックの検出方法およびその検出装置によれば、この大きなクラックであってもシリコンウエハ13が湾曲する時には擦れが起こり音が発生するため、この音の発生を感知、解析することによりクラックの有無を判定することが可能となる。
すなわち図3(a)、(b)に示すように、押し冶具14と梁部12においてシリコンウエハ13の梁部の中央には、マイクロフォン2に配置されており、これに接続されているリード線3は作業台11の下部を通り、その外部に導出されている。これにおいて、上述のようにシリコンウエハ13が湾曲した時に発生した音は、マイクロフォン2で電気信号に変換され増幅器4に送られる。
また、本発明のウエハのクラックの検出方法においては、前記所定振動周波数の音は振動周波数帯域が4〜35kHzであって、強度が30dB以上であるときに前記ウエハにクラックがあると判定することが好ましい。
これは振動周波数帯域が4〜35kHzにおける閾値を30dBで設定することで実施するものであり、これにより、クラックが擦れる音以外であるノイズを拾う可能性が低減される。
図4(a)は、予め求めておいた平均的なクラックがあるシリコンウエハを検査した時に測定された振動周波数と出力強度の波形の一例を表すものであり、図4(b)は、予め求めておいたクラックの無いシリコンウエハを検査した時に測定された振動周波数と出力強度の波形の一例を表すものである。
クラックのないシリコンウエハ13の検出精度を上げるために、検査対象と同じ種類、厚み、大きさのシリコンウエハ13を10〜20枚程度検査し前記波形を標準化することが望ましい。
このようなクラックのないシリコンウエハ13の振動周波数と出力強度の波形とから閾値Sを決定し、検査したシリコンウエハ13の波形(図4(a)参照)の中で出力強度の閾値Sを超える最大値Pがあるかどうかを判定するようにコンピューター15をプログラムする。
例えば寸法150×150mm、厚さ0.2〜0.25mm程度のデバイス工程投入前の多結晶シリコンウエハ13では、本発明に係るウエハのクラック検査装置でテストした結果、クラックの無いものでは、測定数20枚で4〜35kHzの間の振動周波数で音の強さは全て30dB未満であったが、これに対しクラックのあるものでは、測定数50枚で同じく4kHzから35kHzの間の振動周波数で音の強さは全て33〜45dBであった。
また4kHzより低い周波数もしくは35kHzより大きい周波数においては、クラックのあるシリコンウエハ13と、クラックの無いシリコンウエハ13とを、音の強度によって判別することはできなかった。
よってこのようなシリコンウエハ13では、本発明に係るクラック検査方法で検査した場合、4〜35kHzの周波数域において、閾値Sが30dB未満のものをクラックのないもの、30dB以上のものをクラックのあるものと判定すればよい。
すなわち検査したシリコンウエハに大きなクラックがある場合は、シリコンウエハが変形することによりそのクラック部分が擦れ、特有の音が発生するため、図4(a)の様にその波形に突出した部分が現れる。
しかしクラックのないシリコンウエハ13の場合は、変形しても特有の音の発生が無いため、図4(b)のように突出した部分が現れない。
よって、検査領域の振動周波数帯において一定レベル(閾値S)以上の突出した部分の大きさにより、検査したシリコンウエハ13のクラックの有無を精度良く検出することが可能となる。
これによりコンピューター5が、検査したシリコンウエハ13にクラックが有ると判定した時には信号機6のランプを点灯し、作業者に検査結果を知らせることができる。
上述のように本発明のウエハのクラックの検出装置によると、一枚のシリコンウエハについて1回の検査で良いため、短時間の検査で済むという効果が得られ、さらに、閾値Sの設定次第では、微小なクラックから大きなクラックの検出まで自由に設定可能である。
また本発明に係るウエハのクラックの検出装置は、デバイス工程への投入前でもデバイス工程途中のものでも、デバイス工程後のものでも対応可能である。例えばシリコンウエハ13の表面や裏面に電極などを形成した太陽電池素子のクラック検査においても応用可能である。
さらにクラックの検出精度をさらに向上させるために、シリコンウエハ13を一方向に湾曲する変形を加えた後、さらにこのシリコンウエハ13を90°回転させて同様の検査を行っても良く、またさらにシリコンウエハ13の表裏を逆にして同様の検査を行っても良い。
また図3(b)における曲げ治具14を押し下げた状態でのシリコンウエハ13の変形量については、変形量が大きすぎると、もともと問題のないシリコンウエハ13にも割れやクラックが発生してしまうことがあり、逆に、変形量が小さすぎると、クラックの検出が不十分になることがある。
このため本発明を実施するにあたっては、検査前にダミーウエハ17にひずみゲージ18を貼り付けたものを用いて、曲げ治具14を押し下げた状態でのダミーウエハ17の各部分の変形量が所定の範囲に入っており、クラックの検出装置の各部の条件に問題がないかを確認しておくことが望ましい。
図5はこのダミーウエハ17にひずみゲージ18を貼り付けたものの一例を示す平面図である。ダミーウエハ17は、検査するシリコンウエハ13と同じ種類で同じ厚み、大きさ、形状のシリコンウエハを用いることが望ましいが、シリコンウエハ13では繰り返しの使用により割れやカケ、クラックが発生することがあり、そのたびに作り替える必要があるので手間と費用がかかる。よって、ダミーウエハ17の材料として、バネ用りん青銅(JIS記号、C5210)を使う。すなわちバネ用りん青銅を検査するシリコンウエハ13と同じ厚み、大きさ、形状に加工したものを用いれば、繰り返しの使用による劣化や個体差もほとんどないことが解った。
これにより本発明に係るウエハのクラックの検出方法及び検出装置の作業前の正確なチェックが可能となり、シリコンウエハのクラックの検出の精度をより向上させることが可能となる。
ここで、ひずみゲージ18は、変形によりその電気抵抗が変化するものであり、専用のブリッジ回路や電流増幅器などの機器(不図示)と組み合わせて使用する。ひずみゲージ18をダミーウエハ17につける個数と位置は検査するシリコンウエハ13の種類や大きさなどを考慮して決定すればよいが、例えば厚さ約0.2mm、大きさ150〜160mm角程度の多結晶シリコンウエハ13を検査する場合では、図4に示すようにダミーウエハ17の外周に8個程度ひずみゲージ18を付ける事が好適である。
このように検査するシリコンウエハ13と同じ厚み、大きさ、形状のバネ用りん青銅板製のダミーウエハ17の所定箇所にひずみゲージ18を接着剤で貼り付けたものを用意し、これに本発明のウエハのクラックの検出装置で変形を与え、各部のひずみゲージ18の値が所定の範囲に入っていることを確認する。
もし各部のひずみゲージ18の値が所定の範囲から逸脱する場合は、梁部12の平衡状態や曲げ治具14の押し下げ量、さらに曲げ治具14とダミーウエハ17の当接する角度などを調節する。
2;マイクロフォン
3;リード線
4;増幅器
5;コンピューター
6;信号機
11;作業台
12;梁部
13;(シリコン)ウエハ
14;曲げ治具
15;駆動軸
17;ダミーウエハ
18;ひずみゲージ
3;リード線
4;増幅器
5;コンピューター
6;信号機
11;作業台
12;梁部
13;(シリコン)ウエハ
14;曲げ治具
15;駆動軸
17;ダミーウエハ
18;ひずみゲージ
Claims (5)
- ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する音の所定振動周波数の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定するウエハのクラックの検出方法。
- 前記所定振動周波数の音は振動周波数帯域が4〜35kHzであって、強度が30dB以上であるときに前記ウエハにクラックがあると判定することを特徴とする請求項1に記載のウエハのクラックの検出方法。
- 一主面が凸状の曲面である上下動可能な押え冶具と、前記ウエハの対向する2辺を支えるための2つの梁部と、該梁部間に設けられたマイクロフォンと、該マイクロフォンの出力強度を判別手段とを少なくとも有するウエハのクラックの検出装置。
- 前記2つの梁部は互いに平行、かつ、互いに高さが同一であることを特徴とする請求項3に記載のウエハのクラックの検出装置。
- 前記押え冶具は前記2箇所の梁部の中心線に沿って直上に設けられたことを特徴とする請求項3または4に記載のウエハのクラックの検出装置。
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- 2009-06-29 JP JP2009154062A patent/JP2011007750A/ja active Pending
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