JP2011003875A - 露光装置及び露光方法、デバイス製造方法、並びに搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光装置は、XY平面に沿って移動可能であるとともに、互いに接近及び離間が可能な第1部分と第2部分とを含む粗動ステージWCS1と、ウエハWを保持するとともに、粗動ステージWCS1によって少なくともXY平面内で相対移動可能に支持される微動ステージWFS1と、粗動ステージWCS1に支持されている微動ステージWFS1を単独で若しくは粗動ステージWCS1と一体で駆動する駆動系と、を備える。また、露光装置は、粗動ステージWCS1との間で、微動ステージWFS1の受け渡しが可能なリレーステージDRSTを備えている。
【選択図】図1
Description
互いに直交する第1軸と第2軸とを含む二次元平面に沿って移動可能な第1移動体と;前記物体を保持するとともに、前記第1移動体によって少なくとも前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持される保持部材と;その少なくとも一部が、少なくとも前記二次元平面に平行な面内の一方向及び前記二次元平面に直交する第3軸に平行な方向の少なくとも1方向に移動可能で、前記第1移動体との間での前記保持部材の受け渡しに用いられる受け渡し装置と;を備える第1の露光装置が、提供される。
ここで、「接近」とは、接触又は近接にまでは至らない状態、及び接触又は近接の前の状態を意味する。
これによれば、制御装置により、第1、第2移動体の一方に支持される物体を保持する保持部材が可動の支持装置に移動されるとともに、第1、第2移動体が接近させられて第1、第2移動体の他方に支持される物体を保持する保持部材が一方の移動体に移動される。このため、第1、第2移動体の一方から他方に、保持部材を、物体を保持したまま受け渡すことが可能となる。
以下、本発明の第1の実施形態を、図1〜図21(F)に基づいて説明する。
次に、本発明の第2の実施形態を、図22〜図49に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いると共に、その説明を簡略化し若しくは省略する。
以下、本第2の実施形態の露光装置1100において、2つの微動ステージWFS1、WFS2を用いて行われる並行処理動作(その1)について、説明する。
d. 次いで、主制御装置20により、アライメント終了位置の近傍で待機していた粗動ステージWCS2が−Y方向に駆動され、これにより、テーブル本体136上に支持されている微動ステージWFS1が、図39に示されるように、粗動ステージWCS2に装着される。その後、テーブル本体136が所定量下降駆動される。これにより、微動ステージWFS1が、粗動ステージWCS2に支持されるようになる。
e. 次いで、主制御装置20により、粗動ステージWCS2が+Y方向に駆動され、計測ステーション300に移動される。
次に、本第2の実施形態の露光装置1100において、2つの微動ステージWFS1、WFS2を用いて行われる並行処理動作(その2)について、説明する。
h. 次に、主制御装置20によって、不図示のロック機構が解除され、図47に示されるように、粗動ステージWCS2が、第1部分WCS2aと第2部分WCS2bとに分離される。これにより、微動ステージWFS1が粗動ステージWCS2から離脱可能となる。次いで、主制御装置20により、微動ステージWFS1を支持しているテーブル本体136が下方に駆動される。
i. 次に、主制御装置20により、粗動ステージWCS2の、第1部分WCS2aと第2部分WCS2bとが、図48に示されるように、+Y方向に駆動され、計測ステーション300に移動される。
j. 次に、主制御装置20により、ロボットアーム140がX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に所定の手順で駆動され(図48及び図49の白抜き矢印参照)、センターテーブル130のテーブル本体136上に載置された露光済みのウエハWを保持する微動ステージWFS1が、ロボットアーム140によってウエハ交換位置ULP/LPに搬送される。図49には、微動ステージWFS1が、ウエハ交換位置ULP/LPに搬送された状態が示されている。このとき、微動ステージWFS2上のウエハWに対する露光は続行されている。なお、微動ステージWFS1のウエハ交換位置ULP/LPへの搬送と並行して、主制御装置20により、粗動ステージWCS2の、第1部分WCS2aと第2部分WCS2bとが、図49に示されるように、合体され、不図示のロック機構がロックされる。このとき、露光ステーション200において微動ステージWFS1に保持されたウエハWに対する露光は続行中である。
k. その後、前述のb.〜f.と同様の並行処理動作が行われ、これにより、前述の図29の場合と同様の状態、すなわち露光ステーション200にある微動ステージWFS2に保持されたウエハWに上述した露光が行われ、計測ステーション300にある微動ステージWFS1に保持されたウエハWに対するアライメントが行われている最中の状態となる。
次に、本発明の第3の実施形態を、図51〜図69に基づいて説明する。ここで、前述した第1、第2の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いると共に、その説明を簡略化し若しくは省略する。
以下、本第3の実施形態の露光装置2100において、2つの微動ステージWFS1、WFS2を用いて行われる並行処理動作について、説明する。
次に、本発明の第4の実施形態を、図70(A)〜図72(D)に基づいて説明する。ここで、前述した第1、第3の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を省略する。
Claims (82)
- エネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
互いに直交する第1軸と第2軸とを含む二次元平面に沿って移動可能な第1移動体と;
前記物体を保持するとともに、前記第1移動体によって少なくとも前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持される保持部材と;
その少なくとも一部が、少なくとも前記二次元平面に平行な面内の一方向及び前記二次元平面に直交する第3軸に平行な方向の少なくとも1方向に移動可能で、前記第1移動体との間での前記保持部材の受け渡しに用いられる受け渡し装置と;を備える露光装置。 - 前記第1移動体は、互いに接近及び離間が可能な第1部分と第2部分とを含み、
前記第1部分と第2部分とを離間させる第1駆動系を、さらに備える請求項1に記載の露光装置。 - 前記第1部分と前記第2部分とが離間した状態では、前記保持部材が、前記第1移動体から離脱する請求項2に記載の露光装置。
- 前記第1移動体は、内部に空間部を有し、
前記受け渡し装置の前記一部は、前記第1移動体から離脱する前記保持部材を前記空間部内で支持する請求項3に記載の露光装置。 - 前記受け渡し装置の前記一部は、前記保持部材を支持して少なくとも前記第3軸と平行な方向に移動可能である請求項4に記載の露光装置。
- 前記受け渡し装置の前記一部は、前記第1移動体から離脱する前に、前記保持部材を前記空間部内で支持するとともに、前記第1移動体から離脱された前記保持部材を支持して少なくとも前記第1軸に平行な方向に移動する請求項4又は5に記載の露光装置。
- 前記受け渡し装置は、内部に空間部を有し、前記第1移動体とは独立して前記二次元平面内で移動可能な第2移動体をさらに有し、
前記受け渡し装置の前記一部は、前記第2移動体に設けられている請求項6に記載の露光装置。 - 前記第1移動体に保持された前記保持部材の少なくとも前記二次元平面内の位置情報を計測する位置計測系をさらに備え、
前記第1駆動系は、前記位置計測系で計測された前記位置情報に基づいて、前記保持部材を単独で若しくは前記第1移動体と一体で駆動する請求項7に記載の露光装置。 - 前記保持部材の前記二次元平面に実質的に平行な一面に計測面が設けられ、
前記位置計測系は、前記第1移動体の前記空間部内に前記計測面に対向してその一部が配置され、前記計測面に少なくとも1本の計測ビームを照射し、該計測ビームの前記計測面からの光を受光するヘッドを有する計測部材を含み、前記ヘッドの出力に基づいて前記第1移動体に保持される前記保持部材の少なくとも前記二次元平面内の位置情報を計測する請求項8に記載の露光装置。 - 前記計測部材は、片持ち支持構造の計測アームを含み、
前記計測アームの固定端から自由端に向かう方向に、前記第1移動体を移動後に、前記第1移動体の前記第1部分と前記第2部分の離間、及び前記保持部材の前記第1移動体からの離脱が行われる請求項9に記載の露光装置。 - 前記保持部材は、その内部を光が進行可能な中実部を少なくとも一部に有し、
前記計測面は、前記保持部材の前記物体の載置面側に前記中実部に対向して配置され、
前記ヘッドは、前記物体の載置面とは反対側に前記中実部に対向して配置されている請求項9又は10に記載の露光装置。 - 前記計測面には、グレーティングが形成され、
前記ヘッドは、前記グレーティングに少なくとも1本の計測ビームを照射し、該計測ビームの前記グレーティングからの回折光を受光する請求項9〜11のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記グレーティングは、前記第1軸及び第2軸に平行な方向をそれぞれ周期方向とする第1及び第2回折格子を含み、
前記ヘッドは、前記計測ビームとして前記第1及び第2回折格子にそれぞれ対応する第1軸方向計測用ビーム及び第2軸方向計測用ビームを照射し、前記第1軸方向計測用ビーム及び第2軸方向計測用ビームそれぞれの前記グレーティングからの回折光を受光し、前記位置計測系は、前記ヘッドの出力に基づいて、前記保持部材の前記第1軸及び第2軸に平行な方向に関する位置情報を計測する請求項12に記載の露光装置。 - 前記ヘッドは、前記第1軸方向計測用ビームとして、前記グレーティング上の照射点が前記第2軸方向で互いに異なる少なくとも2本の計測用ビームを、前記第1回折格子に照射する請求項13に記載の露光装置。
- 前記少なくとも2本の計測用ビームと前記第2軸方向計測用ビームとは、前記グレーティング上の前記第2軸に平行な同一の直線上の照射点にそれぞれ照射される請求項14に記載の露光装置。
- 前記ヘッドから前記グレーティングに対して照射される前記第1軸方向計測用ビームの照射点の中心である計測中心は、前記物体に照射される前記エネルギビームの照射領域の中心である露光位置に一致する請求項13〜15のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記受け渡し装置は、前記一部が設けられた第2移動体をさらに有し、
前記一部は、前記第2軸及び前記第3軸にそれぞれ平行な2方向のうちの少なくとも1方向に移動可能である請求項1に記載の露光装置。 - 前記第2移動体によって支持された前記保持部材を単独で若しくは前記第2移動体と一体で駆動する第2駆動系をさらに備える請求項7〜17のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部材は、複数設けられ、
前記複数の保持部材のそれぞれは、前記第1及び前記第2移動体のそれぞれによって少なくとも前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持可能である請求項18に記載の露光装置。 - 前記第2駆動系は、前記保持部材の前記第2軸に平行な方向の両端部にそれぞれ設けられた一対の第1可動子と、該一対の第1可動子のそれぞれに対応して前記第2移動体に設けられた一対の第1固定子とを含み、前記各第1可動子と対応する各第1固定子との間の電磁相互作用により、前記二次元平面に平行な面内で前記第2移動体に支持された前記保持部材を駆動する一対の駆動装置を含む請求項19に記載の露光装置。
- 前記第1駆動系は、さらに、前記第1移動体によって支持された前記保持部材を単独で若しくは前記第1移動体と一体で駆動する請求項19又は20に記載の露光装置。
- 前記第1移動体と、前記保持部材を保持する前記第2移動体とを前記第1軸に平行な方向に関して接触又は近接させ、前記第2移動体に保持された前記保持部材を、前記第2移動体から前記第1移動体に移載する制御装置を、さらに備える請求項21に記載の露光装置。
- 前記第1駆動系は、前記保持部材の前記第2軸に平行な方向の両端部にそれぞれ設けられた一対の第1可動子と、該一対の第1可動子のそれぞれに対応して前記第1移動体に設けられた一対の第2固定子とを含み、
前記制御装置は、前記保持部材を保持する前記第2移動体を、前記第1移動体に対して、前記第1軸に平行な方向に関して接触又は近接させたときに、互いに接触又は近接する前記各第2固定子と前記各第1可動子との間に電磁相互作用を行わせ、該電磁相互作用により前記第2移動体から前記第1移動体に移載する際の前記保持部材の駆動力を発生する請求項22に記載の露光装置。 - 前記第1駆動系は、前記各第1可動子と対応する各第2固定子との間の電磁相互作用により、前記二次元平面に平行な面内で前記保持部材を駆動する一対の駆動装置を含む請求項23に記載の露光装置。
- 前記エネルギビームを射出する射出面を有する光学部材と;
該光学部材と前記第1移動体に保持された前記保持部材との間に液体を供給する液浸部材を有する液浸装置と;をさらに備える請求項1〜24のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記液浸部材との間で前記液体を保持するシャッタ部材をさらに備える請求項25に記載の露光装置。
- エネルギビームにより物体を露光する露光装置で用いられる物体の搬送方法であって、
前記物体の露光が行われる露光位置の近傍で移動する第1移動体から該第1移動体とは独立して二次元平面内で移動可能な第2移動体に物体を受け渡すため、第1の空間内で前記物体を保持する保持部材を移動させることと;
前記第1の空間の鉛直方向の一側に位置する第2の空間内で前記物体を保持する保持部材を移動させることで、前記第2移動体から前記第1移動体へ前記物体を受け渡すことと;を含む搬送方法。 - 前記第1の空間は、前記第2の空間の鉛直下方に位置する請求項27に記載の搬送方法。
- 前記移動させることでは、前記物体として露光済みの物体を保持する前記保持部材を移動させ、
前記受け渡すことでは、前記物体として露光前の物体を保持する前記保持部材を移動させる請求項28に記載の搬送方法。 - 前記第1移動体は、内部に空間部を有し、互いに接近及び離間が可能な第1部分と第2部分とを含み、
前記移動させることに先立って、前記第1部分と第2部分とを離間させ、前記保持部材を前記二次元平面に垂直な鉛直方向下方に移動させて前記第1移動体から離脱させることをさらに含む請求項29に記載の搬送方法。 - 前記保持部材が前記第1移動体から離脱した後、
前記受け渡すことで、前記露光前の物体を保持する前記保持部材を、前記第2の空間内で移動させる請求項30に記載の搬送方法。 - 前記保持部材の前記二次元平面に実質的に平行な一面に配置された計測面に、前記空間部内に先端部が位置する片持ち支持状態の計測アームから少なくとも1本の計測ビームを照射し、該計測ビームの前記計測面からの光を受光して前記保持部材の前記二次元平面内の位置情報を計測することと;
前記離脱させること第3工程に先だって、計測アームの固定端から自由端に向かう方向に前記第1移動体と一体で前記保持部材を移動させることと;をさらに含む請求項30又は31に記載の搬送方法。 - 前記受け渡すことでは、前記保持部材を、前記計測アームの自由端から固定端に向かう方向に移動させる請求項32に記載の搬送方法。
- 前記計測面には、グレーティングが形成され、
前記計測することでは、前記計測アームから少なくとも1本の計測ビームを前記グレーティングに照射し、該計測ビームの前記グレーティングからの回折光を受光して前記保持部材の前記二次元平面内の位置情報を計測する請求項32又は33に記載の搬送方法。 - エネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
物体に前記エネルギビームを照射する露光処理が行われる露光ステーションと;
前記露光ステーションから第1軸に平行な方向の一側に所定距離離れた位置に配置され、物体に対する計測処理が行われる計測ステーションと;
前記第1軸及びこれに直交する第2軸を含む二次元平面内の前記露光ステーションを含む第1の範囲内で移動可能な第1移動体と;
前記二次元平面内の前記計測ステーションを含む第2の範囲内で移動可能な第2移動体と;
前記物体を保持するとともに、前記第1、第2移動体のそれぞれによって少なくとも前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持される少なくとも2つの保持部材と;
前記露光ステーションと前記計測ステーションとの間の位置で、前記第1、第2移動体との間で前記保持部材の受け渡しが可能で、かつ前記第1軸、前記第2軸及び前記二次元平面に直交する第3軸にそれぞれ平行な3方向の内の少なくとも一方向に移動が可能な支持装置と;
を備える露光装置。 - 前記支持装置は、少なくとも前記第2軸に平行な方向に移動可能である請求項35に記載の露光装置。
- 前記露光ステーションで露光が行われた露光済みの物体を保持する保持部材が前記第1移動体から前記支持装置に渡され、前記保持部材を支持する前記支持装置が所定の交換位置へ移動し、該交換位置で前記支持装置上の物体の交換が行われるのと少なくとも一部並行して、
前記計測ステーションで計測が終了した物体を保持する保持部材が前記第2移動体から前記第1移動体に渡される請求項36に記載の露光装置。 - 前記第1移動体上の保持部材に保持された物体の露光が前記露光ステーションで行われるのと少なくとも一部並行して、前記支持装置に保持された新たな物体を保持した保持部材が、前記支持装置から前記第2移動体に渡され、該第2移動体上の保持装置に保持された物体の計測が前記計測ステーションで行われる請求項37に記載の露光装置。
- 前記支持装置は、少なくとも前記第3軸に平行な方向に移動可能である請求項35〜38のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記支持装置が所定高さ位置で前記保持部材を支持しているとき、前記第1移動体と前記第2移動体とは、互いに接近して、前記支持装置上の保持部材とは別の保持部材を受け渡し可能である請求項39に記載の露光装置。
- 前記支持装置は、前記露光ステーションと前記計測ステーションとの間に設置されている請求項39又は40に記載の露光装置。
- 前記第1移動体及び第2移動体は、ともに前記第2軸に平行な方向に関して2部分に分離可能であり、
前記支持装置は、前記第1、第2移動体が前記2部分に分離した状態で、該第1、第2移動体との間で前記保持部材の受け渡しが可能である請求項41に記載の露光装置。 - 前記露光ステーションで露光が行われた露光済みの物体を保持する保持部材が前記第1移動体から前記支持装置上に渡され、前記計測ステーションで計測が終了した物体を保持する保持部材が前記第2移動体から前記第1移動体に渡される請求項42に記載の露光装置。
- 前記保持部材を、前記支持装置の近傍と所定の交換位置との間で搬送する搬送系をさらに備える請求項42又は43に記載の露光装置。
- 前記搬送系により、前記支持装置上の前記保持部材が物体の交換のため前記交換位置へ搬送されるとともに、前記物体交換後に新たな物体を保持する保持部材が前記支持装置上に搬入される請求項44に記載の露光装置。
- 計測ステーションで計測が終了した前記物体を保持する保持部材が前記第2移動体から前記支持装置上に渡され、前記露光ステーションで露光が行われた露光済みの物体を保持する保持部材が前記第1移動体から前記第2移動体に渡され、前記支持装置上の前記保持部材が前記第1移動体に渡され、前記第2移動体から前記支持装置に前記保持部材が渡され、前記搬送系により、前記支持部材上の前記保持部材が物体の交換のため前記交換位置へ搬送されるとともに、前記物体交換後に新たな物体を保持する保持部材が前記支持装置上に搬入される請求項42〜45のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記支持装置上への搬入に続いて、前記新たな物体を保持する保持部材が、前記支持装置から前記第2移動体に渡される請求項46に記載の露光装置。
- 前記第1移動体と前記第2移動体との少なくとも一方の底面には、前記支持装置に妨げられることなく、相互の接近を可能にする開口部又は切り欠きが設けられている請求項41〜47のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部材の前記二次元平面に実質的に平行な一面に計測面が設けられ、
前記露光ステーションに、前記保持部材を支持する前記第1移動体があるとき、前記保持部材の前記計測面に少なくとも1つの第1計測ビームを下方から照射し、該第1計測ビームの戻り光を受光して前記保持部材の前記二次元平面内の位置情報を計測する第1計測系をさらに備える請求項35〜48のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記計測ステーションに、前記保持部材を支持する前記第2移動体があるとき、前記計測面に少なくとも1つの第2計測ビームを下方から照射し、該第2計測ビームの戻り光を受光して前記保持部材の前記二次元平面内の位置情報を計測する第2計測系をさらに備える請求項49に記載の露光装置。
- 前記第2計測系は、前記第1軸方向に伸びる部材から成り、前記第2計測ビームを前記計測面に照射し、該第2計測ビームの戻り光を受光する第2計測アームを有する請求項50に記載の露光装置。
- 前記前記第2移動体は、内部に空間部を有し、
前記第2計測アームは、前記第2移動体の前記空間部内に少なくとも一側から挿入可能である請求項51に記載の露光装置。 - 前記第2計測アームは、前記第1軸方向の一端が固定端で他端が自由端であるカンチレバー状の部材である請求項52に記載の露光装置。
- 前記保持部材は、その内部を光が進行可能な中実部を少なくとも一部に有し、
前記計測面は、前記保持部材の前記物体の載置面側に前記中実部に対向して配置され、前記第1軸及び第2軸の少なくとも一方に平行な方向を周期方向とするグレーティングが配置され、
前記第2計測アームは、前記グレーティングに前記第2計測ビームを照射し、前記グレーティングからの回折光を受光するヘッドを有し、
前記第2計測系は、前記ヘッドからのヘッドの出力に基づいて、前記保持部材の前記グレーティングの周期方向の位置情報を計測する請求項51〜53のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1計測系は、前記第1軸方向に伸びる部材から成り、前記第1計測ビームを前記計測面に照射し、該第1計測ビームの戻り光を受光する第1計測アームを有する請求項49〜54のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1移動体は、内部に空間部を有し、
前記第1計測アームは、前記第1移動体の前記空間部内に少なくとも一側から挿入可能である請求項55に記載の露光装置。 - 前記第1計測アームは、前記第1軸方向の一端が固定端で他端が自由端であるカンチレバー状の部材である請求項56に記載の露光装置。
- 前記保持部材は、その内部を光が進行可能な中実部を少なくとも一部に有し、
前記計測面は、前記保持部材の前記物体の載置面側に前記中実部に対向して配置され、前記第1軸及び第2軸の少なくとも一方に平行な方向を周期方向とするグレーティングが配置され、
前記第1計測アームは、前記グレーティングに前記第1計測ビームを照射し、前記グレーティングからの回折光を受光するヘッドを有し、
前記第1計測系は、前記ヘッドからのヘッドの出力に基づいて、前記保持部材の前記グレーティングの周期方向の位置情報を計測する請求項55〜57のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記物体の交換は、前記保持部材と一体で行われる請求項35〜58のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記計測ステーションは、前記物体上のマークを検出する少なくとも1つのマーク検出系を含む請求項35〜59のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記計測ステーションは、前記第2軸に平行な方向に関して検出領域が離れて配置され、前記物体上の異なるマークをそれぞれ検出する複数のマーク検出系を含む請求項60に記載の露光装置。
- 前記エネルギビームを射出する射出面を有する光学部材と;
該光学部材と前記第1移動体に保持された前記保持部材との間に液体を供給する液浸部材を有する液浸装置と;をさらに備える請求項35〜61のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記液浸部材との間で前記液体を保持するシャッタ部材をさらに備える請求項62に記載の露光装置。
- エネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
前記物体の露光処理が行われる露光ステーションを含む第1範囲内で移動可能な第1移動体と;
前記物体の計測処理が行われる計測ステーションを含む第2範囲内で移動可能な第2移動体と;
それぞれ物体を保持するとともに、前記第1、第2移動体のそれぞれによって移動可能に支持される少なくとも2つの保持部材と;
前記第1、第2移動体との間で前記保持部材の受渡しが行われる可動の支持装置と;
前記第1、第2移動体の一方に支持される保持部材を前記支持装置に移動するとともに、前記第1、第2移動体を接近させて前記第1、第2移動体の他方に支持される保持部材を前記一方の移動体に移動する制御装置と;を備える露光装置。 - 前記一方の移動体から前記支持装置への前記保持部材の移動と、前記他方の移動体から前記一方の移動体への前記保持部材の移動は、前記露光処理が行われる露光位置と前記計測処理が行われる計測位置との間の位置で行われる請求項64に記載の露光装置。
- 前記第1、第2移動体の少なくとも一方が、前記保持部材を移動可能に支持したとき、その保持部材の下方に配置される計測用部材を有し、該計測用部材に少なくとも一部が設けられ、前記保持部材の計測面に計測ビームを照射して前記保持部材の位置情報を計測する位置計測系をさらに備える請求項64又は65に記載の露光装置。
- 前記保持部材の下方側にグレーティングを有する前記計測面が設けられ、
前記位置計測系は、前記計測ビームの照射により前記グレーティングで発生する回折光を受光して前記保持部材の位置情報を計測するエンコーダシステムである請求項66に記載の露光装置。 - 前記露光ステーションに配置され、前記エネルギビームを前記物体に投射する投影系と;
前記投影系を支持するとともに、前記計測用部材が設けられた支持部材と;をさらに備える請求項66又は67に記載の露光装置。 - 請求項1〜26、請求項35〜68のいずれか一項に記載の露光装置により物体を露光することと;
前記露光された物体を現像することと;を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームにより物体を露光する露光方法であって、
互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面内で移動可能な第1移動体に保持された保持部材上の物体に対し、露光ステーションにおいて、前記エネルギビームが照射される露光処理が行われることと;
露光ステーションから第1軸に平行な方向の一側に所定距離離れた位置に配置された計測ステーションにおいて、前記二次元平面内で移動可能な第2移動体に保持された保持部材上の物体に対し、計測処理が行われることと;
前記露光ステーションと前記計測ステーションとの間に設置された支持部材と、前記第1、第2移動体との間で前記保持部材の受け渡しが行われることと;
前記物体の交換のため、前記支持部材の近傍と所定の交換位置との間で、前記保持部材が搬送されることと;を含む露光方法。 - 前記露光ステーションで露光が行われた露光済みの物体を保持する保持部材が前記第1移動体から前記支持部材上に渡され、前記計測ステーションで計測が終了した物体を保持する保持部材が前記第2移動体から前記第1移動体に渡され、前記搬送系により、前記支持部材上の前記保持部材が前記交換位置へ搬送され、該交換位置で物体の交換が行われ、新たな物体を保持する保持部材が、前記支持部材上に搬入される請求項70に記載の露光方法。
- 計測ステーションで計測が終了した前記物体を保持する保持部材が前記第2移動体から前記支持部材上に渡され、前記露光ステーションで露光が行われた露光済みの物体を保持する保持部材が前記第1移動体から前記第2移動体に渡され、前記支持部材上の前記保持部材が前記第1移動体に渡され、前記第2移動体から前記支持部材に前記保持部材が渡され、前記搬送系により、前記支持部材上の前記保持部材を前記交換位置へ搬送され、該交換位置で物体の交換が行われ、新たな物体を保持する保持部材が、前記支持部材上に搬入される請求項70に記載の露光方法。
- 前記支持部材上への搬入に続いて、前記新たな物体を保持する保持部材が、前記支持部材から前記第2移動体に渡される請求項72に記載の露光方法。
- エネルギビームにより物体を露光する露光方法であって、
物体に前記エネルギビームを照射する露光処理が行われる露光ステーションを含む、互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面内の第1の範囲内で移動可能な第1移動体と、露光ステーションから第1軸に平行な方向の一側に所定距離離れた位置に配置され、物体に対する計測処理が行われる計測ステーションを含む、前記二次元平面内の第2の範囲内で移動可能な第2移動体と、によって少なくとも前記物体を保持する保持部材が、前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持されることと;
前記第2軸に平行な方向に関して前記露光ステーションと前記計測ステーションとの間の位置で、少なくとも前記2次元平面内での移動が可能な支持装置と、前記第1、第2移動体との間で前記保持部材の受け渡しが行われることと;を含む露光方法。 - 前記露光ステーションで露光が行われた露光済みの物体を保持する保持部材が前記第1移動体から前記支持装置に渡され、前記保持部材を支持する前記支持装置が所定の交換位置へ移動し、該交換位置で前記支持装置上の物体の交換が行われるのと少なくとも一部並行して、
前記計測ステーションで計測が終了した物体を保持する保持部材が前記第2移動体から前記第1移動体に渡される請求項74に記載の露光方法。 - 前記第1移動体上の保持部材に保持された物体の露光が前記露光ステーションで行われるのと少なくとも一部並行して、前記支持装置に保持された新たな物体を保持した保持部材が、前記支持装置から前記第2移動体に渡され、該第2移動体上の保持装置に保持された物体の計測が前記計測ステーションで行われる請求項75に記載の露光方法。
- エネルギビームにより物体を露光する露光方法であって、
前記物体の露光処理が行われる露光ステーションを含む第1範囲内で露光対象の物体を保持する保持部材を移動可能に支持する第1移動体を移動させることと;
前記物体の計測処理が行われる計測ステーションを含む第2範囲内で計測対象の物体を保持する保持部材を移動可能に支持する第2移動体を移動させることと;
前記第1、第2移動体の一方に支持される保持部材を可動の支持装置に移載するとともに、前記第1、第2移動体を接近させて前記第1、第2移動体の他方に支持される保持部材を前記一方の移動体に移載することと;を含む露光方法。 - 前記一方の移動体から前記支持装置への前記保持部材の移載と、前記他方の移動体から前記一方の移動体への前記保持部材の移載は、前記露光処理が行われる露光位置と前記計測処理が行われる計測位置との間の位置で行われる請求項77に記載の露光方法。
- 前記第1、第2移動体の少なくとも一方が、前記保持部材を移動可能に支持したとき、その保持部材の下方に配置される計測用部材に少なくとも一部が設けられた位置計測系を用いて、前記保持部材の位置情報を計測することをさらに含む請求項77又は78に記載の露光方法。
- 前記保持部材の下方側にグレーティングを有する前記計測面が設けられ、
前記位置計測系として、前記計測ビームの照射により前記グレーティングで発生する回折光を受光して前記保持部材の位置情報を計測するエンコーダシステムが用いられる請求項79に記載の露光方法。 - 前記露光ステーションに配置され、前記エネルギビームを前記物体に投射する投影系を支持する支持部材に前記計測用部材が設けられる請求項79又は80に記載の露光方法。
- 請求項70〜81のいずれか一項に記載の露光方法により物体を露光することと;
前記露光された物体を現像することと;を含むデバイス製造方法。
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