JP2011003874A - 移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光ステーション200では、ウエハを保持するステージWFS1の位置情報は、計測アーム71Aを含む第1の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション300では、ウエハを保持するステージWFS2の位置情報は、計測アーム71Bを含む第2の微動ステージ位置計測系により計測される。露光装置100は、ステージWFS2が計測ステーション300から露光ステーション200へ搬送される際、このステージWFS2の位置情報を計測可能な第3の微動ステージ計測系を有する。第3の微動ステージ計測系は、複数のYヘッド96,97を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計76a〜76dを含むレーザ干渉計システムとを含む。
【選択図】図16
Description
露光された前記物体を現像することと;を含むデバイス製造方法が、提供される。
6,97の近傍に、Yヘッド96,97とは別にZヘッドをそれぞれ(すなわち22個)配置して、これらのZヘッドによって、微動ステージWFS1、WFS2のZ軸方向の位置、及びθx、θy方向の回転を制御しても良い。Zヘッドとしては、例えば、CDドライブ装置などで用いられる光ピックアップと同様の光学式の変位センサのヘッドを用いることができる。
図33には、変形例に係る露光装置の、計測ステーション300とその+Y側に位置するウエハ交換エリア(アンローディングポジションUP及びローディングポジションLPを含む)とが、平面図にて示されている。図33からわかるように、ウエハ交換エリアの+X側及び−X側に、基準軸LVに対して対称な配置で、微動ステージWFS1(又はWFS2)からウエハがアンロードされる アンローディングポジションUP、及び微動ステージWFS1(又はWFS2)上にウエハがロードされるローディングポジションLPが、それぞれ配置されている。
b.微動ステージWFS1(又はWFS2)が、アンローディングポジションUPとローディングポジションLPとの間の移動の途中で、隣接する2つの2Dヘッド95間でつなぎ処理(計測される位置(位置計測値)の連続性を保障するための処理)を行うべき位置に、あるときには、その隣接する2つの2Dヘッドが、ウエハ載置領域の+X側又は−X側のグレーティングRGの領域に、同時に対向可能である。
Claims (52)
- 互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に沿って移動可能な移動体と;
前記移動体に配置された前記二次元平面に実質的に平行な第1計測面に少なくとも1本の第1計測ビームを下方から照射し、該第1計測ビームの前記第1計測面からの光を受光して、前記移動体が前記二次元平面内の所定範囲内を移動する際に、該移動体の前記第1軸に平行な方向及び前記第2軸に平行な方向に関する位置情報を計測する第1計測系と;
前記二次元平面内の前記所定範囲外で、前記移動体の少なくとも前記第1軸に平行な方向に関する位置情報を計測する第2計測系と;
前記第1計測系及び前記第2計測系の少なくとも一方の計測情報に基づいて前記移動体の位置を制御する制御系と;を備える移動体装置。 - 前記第1計測系は、前記第1計測面に少なくとも1本の第1計測ビームを下方から照射し、該第1計測ビームの前記第1計測面からの光を受光するヘッド部を有し、前記第1軸に平行な方向に延びるアーム部材を有する請求項1に記載の移動体装置。
- 少なくとも前記移動体が前記所定範囲内を移動する際に該移動体を支持する第1支持部材と、前記移動体を前記所定範囲外で支持する第2支持部材と、をさらに備え、
前記第1及び第2支持部材は、相互間で、前記第1軸に平行な方向に沿って前記移動体の受け渡しを行い、
前記第2計測系は、前記移動体が前記第1支持部材から第2支持部材に受け渡される際、又は前記第2支持部材から第1支持部材に受け渡される際の位置情報を計測する請求項1又は2に記載の移動体装置。 - 前記第1支持部材は、前記2次元平面に沿って移動可能に設けられ、
前記移動体は、前記第1支持部材に対し相対移動可能に支持される請求項3に記載の移動体装置。 - 前記第2計測系は、前記第1計測面に少なくとも1本の第2計測ビームを上方から照射する計測部材を含み、前記第2計測ビームの前記第1計測面からの光を受光して前記移動体の前記位置情報を計測する請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1計測面には、少なくとも前記第1軸に平行な方向を周期方向とするグレーティングが形成され、
前記計測部材は、前記グレーティングからの回折光を受光して前記移動体の前記第1軸に平行な方向の位置情報を計測する請求項5に記載の移動体装置。 - 前記計測部材は、前記第1軸に平行な方向に沿って所定間隔で複数配置される請求項5又は6に記載の移動体装置。
- 前記複数の計測部材は、一部が前記所定範囲内に配置される請求項7に記載の移動体装置。
- 前記第2計測系は、前記二次元平面に実質的に平行な第2計測面に少なくとも1本の第2計測ビームを照射する計測部材を含み、前記第2計測ビームの前記第2計測面からの光を受光して前記移動体の位置情報を計測する請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2計測面には、前記第1軸に平行な方向を周期方向とするグレーティングが形成され、
前記第2計測系は、前記グレーティングからの回折光を受光して前記移動体の前記第1軸に平行な方向の位置情報を計測するヘッドを含む請求項9に記載の移動体装置。 - 前記第2計測面は、前記移動体に設けられ、
前記計測部材は、前記第1軸に平行な方向に沿って所定間隔で複数配置される請求項9又は10に記載の移動体装置。 - 前記複数の計測部材は、一部が前記所定範囲内に配置される請求項11に記載の移動体装置。
- 前記複数の計測部材の間隔は、前記第2計測面の前記第1軸に平行な方向に沿った長さの半分以下である請求項11又は12のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2計測系は、前記第2軸に平行な方向に沿って離間した複数箇所で前記移動体の少なくとも前記第1軸に平行な方向に関する位置情報を計測する請求項1〜13のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2計測系は、前記移動体の前記二次元平面に直交する第3軸に平行な方向の位置情報をさらに計測する請求項1〜14のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2計測系は、同一の計測部材を用いて前記移動体の前記第1軸及び第3軸に平行な方向の位置情報を計測する請求項15に記載の移動体装置。
- 前記第1計測面には、前記第1軸及び第2軸に平行な方向をそれぞれ周期方向とする2次元グレーティングが形成され、
前記第1計測系は、前記2次元グレーティングからの回折光を受光して前記移動体の位置情報を計測する請求項1〜16のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2計測系は、前記移動体に設けられた反射面に測長ビームを照射するとともに、該反射面からの反射光を受光して、前記移動体の前記二次元平面内の少なくとも前記第2軸に平行な方向に関する位置情報を計測する干渉計システムを含む請求項1〜17のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記反射面は、前記二次元平面に垂直、且つ前記第1軸に対して傾斜して配置され、
前記第2計測系は、前記第1軸に平行に前記測長ビームを照射する請求項18に記載の移動体装置。 - 前記反射面は、前記第1軸に関して対称に配置された第1及び第2反射面を含み、
前記第2計測系は、前記第1及び第2反射面それぞれに測長ビームを照射する請求項19に記載の移動体装置。 - 前記制御系は、前記第1計測系及び前記第2計測系の一方から他方に切り換えて使用する際に、一方の計測値に基づいて他方の計測値をリセットする請求項1〜20のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面内の第1範囲内で移動する第1支持部材と;
前記二次元平面内の前記第1範囲の前記第1軸に平行な方向の一側に位置する第2範囲内で移動する第2支持部材と;
前記第1範囲と前記第2範囲との境界付近に配置された保持部材と;
前記第1支持部材と前記第2支持部材とに、少なくとも前記二次元平面に平行な面内で相対移動可能に支持される移動体と;
前記第1支持部材に支持されている前記移動体に配置された前記二次元平面に実質的に平行な第1計測面に少なくとも1本の第1計測ビームを下方から照射し、該第1計測ビームの前記第1計測面からの光を受光して、該移動体の前記第1軸に平行な方向及び前記第2軸に平行な方向に関する位置情報を計測する第1計測系と;
前記移動体が、前記保持部材を介して前記第1支持部材と前記第2支持部材との間で受け渡される際に、前記移動体の前記保持部材上での位置情報を計測する第2計測系と;を備える移動体装置。 - 前記第2計測系は、前記移動体に設けられた反射面に測長ビームを照射するとともに、該反射面からの反射光を受光して、前記移動体の前記二次元平面内の少なくとも前記第2軸に平行な方向に関する位置情報を計測する干渉計システムを含む請求項22に記載の移動体装置。
- 前記反射面は、前記二次元平面に垂直、且つ前記第1軸に対して傾斜して配置され、
前記第2計測系は、前記第1軸に平行に前記測長ビームを照射する請求項23に記載の移動体装置。 - 前記反射面は、前記第1軸に関して対称に配置された第1及び第2反射面を含み、
前記第2計測系は、前記第1及び第2反射面それぞれに測長ビームを照射する請求項24に記載の移動体装置。 - 前記第2計測系は、前記二次元平面に垂直な方向の第1位置を含む前記二次元平面内における前記移動体の位置情報を計測し、
前記第1位置とは異なる前記二次元平面に垂直な方向の第2位置を含む、前記移動体が前記第1支持部材と前記第2支持部材とによって相対移動可能に支持された前記面内で前記第1支持部材と前記第2支持部材との間で前記保持部材を介して移動する前記移動体の位置情報を計測する第3計測系をさらに備える請求項22〜25のいずれか一項に記載の移動体装置。 - エネルギビームの照射によって物体にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体が前記移動体上に載置される、請求項1〜26のいずれか一項に記載の移動体装置と;
前記移動体上に載置された前記物体に前記エネルギビームを照射するパターニング装置と;を備える露光装置。 - 前記第1計測ビームの照射点の中心である前記第1計測系の計測中心は、前記物体に照射される前記エネルギビームの照射領域の中心である露光位置に一致する請求項27に記載の露光装置。
- エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記エネルギビームによる前記物体の露光が行われる露光ステーションを含む第1範囲内で移動可能な第1支持部材と;
前記物体のアライメント情報の計測が行われる計測ステーションを含む第2範囲内で移動可能な第2支持部材と;
前記物体を保持するとともに、前記第1、第2支持部材のそれぞれによって移動可能に支持される移動体と;
前記第1支持部材に支持される前記移動体の位置情報を計測する第1計測系と;
前記第2支持部材に支持される前記移動体の位置情報を計測する第2計測系と;
前記第1、第2支持部材の一方から他方への前記移動体の受渡時にその位置情報を計測する第3計測系と;を備える露光装置。 - 前記第1計測系は、前記第1支持部材に支持される前記移動体の下方に配置される計測用部材に少なくとも一部が設けられ、前記移動体の計測面に計測ビームを照射して前記移動体の位置情報を計測する請求項29に記載の露光装置。
- 前記物体が移動される所定平面において、前記第1計測系の前記計測ビームの照射位置は、前記エネルギビームの照射領域内に設定される請求項30に記載の露光装置。
- 前記計測用部材は、前記エネルギビームを射出する光学系の支持部材に設けられる請求項30又は31に記載の露光装置。
- 前記第3計測系は、前記移動体に対して上方及び/又は側方から位置情報を計測する請求項29〜32のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2計測系は、前記第2支持部材に支持される前記移動体の下方に配置される計測用部材に少なくとも一部が設けられ、前記移動体の計測面に計測ビームを照射して前記移動体の位置情報を計測する請求項29〜33のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記アライメント情報を検出する検出系をさらに備え、前記所定平面において、前記第2計測系の前記計測ビームの照射位置は、前記検出系の検出領域内に設定される請求項34に記載の露光装置。
- 前記計測用部材は、前記検出系の支持部材に設けられる請求項35に記載の露光装置。
- 前記第1、第2計測系のうち少なくとも第1計測系はエンコーダシステムを含み、前記移動体は前記計測面にグレーティングが形成される請求項29〜36のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1、第2支持部材の一方から他方への前記移動体の受渡時に前記移動体を支持する可動の保持部材をさらに備える請求項29〜37のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1、第2支持部材の一方に支持される移動体を前記保持部材に移動するとともに、前記第1、第2支持部材を接近させて前記第1、第2支持部材の他方に支持される移動体を前記一方の支持部材に移動する制御装置と;を備える請求項38に記載の露光装置。
- 請求項27〜39のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと;
前記露光された物体を現像することと;を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
前記エネルギビームによる前記物体の露光が行われる露光ステーションを含む第1範囲内で、前記物体を保持する移動体を支持する第1支持部材を移動させ、該第1支持部材に支持される前記移動体の位置情報を第1計測系により計測することと;
前記物体のアライメント情報の計測が行われる計測ステーションを含む第2範囲内で、前記物体を保持する移動体を支持する第2支持部材を移動させ、該第2支持部材に支持される前記移動体の位置情報を第2計測系により計測することと;
前記第1、第2支持部材の一方から他方への前記移動体の受渡時にその位置情報を第3計測系により計測することと;を含む露光方法。 - 前記第1支持部材に支持される前記移動体の下方に配置される計測用部材に少なくとも一部が設けられた前記第1計測系から前記移動体の計測面に計測ビームを照射して、前記移動体の位置情報を計測する請求項41に記載の露光方法。
- 前記物体が移動される所定平面において、前記第1計測系の前記計測ビームの照射位置は、前記エネルギビームの照射領域内に設定される請求項42に記載の露光方法。
- 前記計測用部材は、前記エネルギビームを射出する光学系の支持部材に設けられる請求項42又は43に記載の露光方法。
- 前記第3計測系は、前記移動体に対して上方及び/又は側方から位置情報を計測する請求項41〜44のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記第2支持部材に支持される前記移動体の下方に配置される計測用部材に少なくとも一部が設けられた前記第2計測系から前記移動体の計測面に計測ビームを照射して、前記移動体の位置情報を計測する請求項41〜45のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記所定平面において、前記第2計測系の前記計測ビームの照射位置は、前記アライメント情報を検出する検出系の検出領域内に設定される請求項46に記載の露光方法。
- 前記計測用部材は、前記検出系の支持部材に設けられる請求項47に記載の露光方法。
- 前記第1、第2計測系のうち少なくとも第1計測系はエンコーダシステムを含み、前記移動体は前記計測面にグレーティングが形成される請求項41〜48のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記第1、第2支持部材の一方から他方への前記移動体の受渡時に可動の保持部材により前記移動体を支持する請求項41〜49のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記第1、第2支持部材の一方に支持される移動体を前記保持部材に移動するとともに、前記第1、第2支持部材を接近させて前記第1、第2支持部材の他方に支持される移動体を前記一方の支持部材に移動する請求項50に記載の露光方法。
- 請求項41〜51のいずれか一項に記載の露光方法を用いて物体を露光することと;
露光された前記物体を現像することと;を含むデバイス製造方法。
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