JP2011003359A - Organic el device - Google Patents

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Toshibumi Takehara
俊文 竹原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL device capable of suppressing a short circuit between a pixel electrode and a counter electrode.SOLUTION: This organic EL device includes an insulating substrate, a pixel electrode disposed above the insulating substrate, a barrier plate disposed around the pixel electrode, an interlayer insulating film extending from the barrier plate to the peripheral part of the pixel electrode and exposing the center part of the pixel electrode, and organic layer disposed on the interlayer insulating film and the center part of the pixel electrode, and a counter electrode disposed on the organic layer.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(EL)装置に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence (EL) device.

近年、自発光型で、高速応答、広視野角、高コントラストの特徴を有し、かつ、更に薄型軽量化が可能な有機エレクトロルミネセンス(EL)素子を用いた表示装置の開発が盛んに行われている。   In recent years, active development of display devices using organic electroluminescence (EL) elements that are self-luminous, have high-speed response, wide viewing angle, high contrast, and can be made thinner and lighter. It has been broken.

例えば、特許文献1によれば、画素電極と対向電極との短絡を抑制する技術として、窪み部を有する層間絶縁膜の上側に形成され画素同士の間に配置された画素分離隔壁を備え、この画素分離隔壁の外縁部が窪み部の内面の領域に配置された有機EL表示装置が開示されている。   For example, according to Patent Document 1, as a technique for suppressing a short circuit between a pixel electrode and a counter electrode, a pixel separation partition wall formed between pixels and formed above an interlayer insulating film having a depression is provided. An organic EL display device is disclosed in which an outer edge portion of a pixel separation partition wall is disposed in a region of an inner surface of a recess portion.

特開2007−287346号公報JP 2007-287346 A

本発明の目的は、画素電極と対向電極との短絡を抑制することが可能な有機EL装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an organic EL device capable of suppressing a short circuit between a pixel electrode and a counter electrode.

本発明の一態様によれば、
絶縁基板と、前記絶縁基板の上方に配置された画素電極と、前記画素電極の周囲に配置された隔壁と、前記隔壁から前記画素電極の周縁部に亘って延在するとともに前記画素電極の中央部を露出する層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜の上、及び、前記画素電極の中央部の上に配置された有機層と、前記有機層の上に配置された対向電極と、を備えたことを特徴とする有機EL装置が提供される。
According to one aspect of the invention,
An insulating substrate; a pixel electrode disposed above the insulating substrate; a partition disposed around the pixel electrode; and a central portion of the pixel electrode extending from the partition to a peripheral edge of the pixel electrode An interlayer insulating film exposing a portion; an organic layer disposed on the interlayer insulating film; and a central portion of the pixel electrode; and a counter electrode disposed on the organic layer. An organic EL device is provided.

また、本発明の一態様によれば、
絶縁基板と、前記絶縁基板の上方に配置された画素電極と、前記画素電極の周囲に配置された隔壁と、前記画素電極の上に配置された有機層と、前記有機層の上に配置された対向電極と、前記隔壁と前記有機層との間に配置されるとともに前記画素電極に接し、しかも、前記隔壁と前記画素電極との間に形成された隙間を覆う層間絶縁膜と、を備えたことを特徴とする有機EL装置が提供される。
According to one embodiment of the present invention,
An insulating substrate; a pixel electrode disposed above the insulating substrate; a partition disposed around the pixel electrode; an organic layer disposed on the pixel electrode; and an organic layer disposed on the organic layer. A counter electrode; and an interlayer insulating film disposed between the partition and the organic layer, in contact with the pixel electrode, and covering a gap formed between the partition and the pixel electrode. An organic EL device characterized by the above is provided.

本発明によれば、画素電極と対向電極との短絡を抑制することが可能な有機EL装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the organic electroluminescent apparatus which can suppress the short circuit with a pixel electrode and a counter electrode can be provided.

図1は、本発明の一態様に係る有機EL装置の構成を概略的に示す平面図である。FIG. 1 is a plan view schematically showing a configuration of an organic EL device according to one embodiment of the present invention. 図2は、本実施形態における有機EL表示装置の有機EL素子を含むアレイ基板の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an array substrate including an organic EL element of the organic EL display device according to this embodiment. 図3は、図2に示したアレイ基板において隔壁の周辺の構造を概略的に示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a structure around a partition wall in the array substrate shown in FIG. 図4は、隔壁が画素電極から剥離した状態を概略的に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a state where the partition wall is peeled off from the pixel electrode. 図5は、図2に示したアレイ基板において隔壁の周辺の他の構造を概略的に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing another structure around the partition wall in the array substrate shown in FIG.

以下、本発明の一態様について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same reference numerals are given to components that exhibit the same or similar functions, and duplicate descriptions are omitted.

図1は、有機EL装置の一例として、アクティブマトリクス駆動方式を採用した有機EL表示装置の構成を概略的に示す平面図である。   FIG. 1 is a plan view schematically showing a configuration of an organic EL display device adopting an active matrix driving method as an example of an organic EL device.

すなわち、有機EL装置は、表示パネル1を備えている。この表示パネル1は、アレイ基板100及び封止基板200を備えている。アレイ基板100は、画像を表示する略矩形状のアクティブエリア102において、マトリクス状に配置された複数の有機EL素子OLEDを備えている。封止基板200は、アクティブエリア102において、アレイ基板100の有機EL素子OLEDと向かい合っている。この封止基板200は、ガラスやプラスチックなどの光透過性を有する絶縁基板である。   That is, the organic EL device includes the display panel 1. The display panel 1 includes an array substrate 100 and a sealing substrate 200. The array substrate 100 includes a plurality of organic EL elements OLED arranged in a matrix in an approximately rectangular active area 102 for displaying an image. The sealing substrate 200 faces the organic EL element OLED of the array substrate 100 in the active area 102. The sealing substrate 200 is an insulating substrate having optical transparency such as glass or plastic.

これらのアレイ基板100及び封止基板200は、アクティブエリア102を囲む枠状に形成されたシール部材300によって貼り合わせされている。シール部材300は、例えば、紫外線硬化型樹脂などの有機系材料や、フリットガラスによって形成されている。シール部材300が有機系材料によって形成されている場合には、アレイ基板100と封止基板200との間のシール部材300によって囲まれた内側に樹脂層が充填されても良い。この場合、充填される樹脂層は、例えば、紫外線硬化型樹脂などの光透過性を有する有機系材料によって形成可能である。   The array substrate 100 and the sealing substrate 200 are bonded together by a seal member 300 formed in a frame shape surrounding the active area 102. The seal member 300 is made of, for example, an organic material such as an ultraviolet curable resin or frit glass. When the seal member 300 is formed of an organic material, the resin layer may be filled inside the array member 100 and the sealing substrate 200 surrounded by the seal member 300. In this case, the resin layer to be filled can be formed of, for example, an organic material having optical transparency such as an ultraviolet curable resin.

また、アレイ基板100は、アクティブエリア102の外側の周辺エリア104において、封止基板200の端部200Eから外方に向かって延在した延在部110を備えている。この延在部110には、駆動部130が設けられている。この駆動部130には、有機EL素子OLEDに電源や各種制御信号などの有機EL素子OLEDを駆動するのに必要な信号を供給する駆動ICチップやフレキシブル・プリンテッド・サーキット(以下、FPCと称する)などの信号供給源が接続可能である。   In addition, the array substrate 100 includes an extending portion 110 that extends outward from the end portion 200E of the sealing substrate 200 in the peripheral area 104 outside the active area 102. The extending part 110 is provided with a driving part 130. The driving unit 130 includes a driving IC chip and a flexible printed circuit (hereinafter referred to as FPC) that supply signals necessary for driving the organic EL element OLED such as a power source and various control signals to the organic EL element OLED. A signal supply source such as) can be connected.

図2は、有機EL装置の有機EL素子OLEDを備えたアレイ基板100の断面図である。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the array substrate 100 including the organic EL element OLED of the organic EL device.

このアレイ基板100は、ガラスなどの絶縁基板101、絶縁基板101の上方に形成されたスイッチング素子SW、有機EL素子OLEDなどを備えている。絶縁基板101の上には、アンダーコート層111が配置されている。このアンダーコート層111は、例えば、シリコン酸化物やシリコン窒化物などの無機系材料によって形成されている。このようなアンダーコート層111は、アクティブエリア102の概ね全体に亘って延在している。   The array substrate 100 includes an insulating substrate 101 such as glass, a switching element SW formed above the insulating substrate 101, an organic EL element OLED, and the like. An undercoat layer 111 is disposed on the insulating substrate 101. The undercoat layer 111 is made of an inorganic material such as silicon oxide or silicon nitride, for example. Such an undercoat layer 111 extends over substantially the entire active area 102.

アンダーコート層111の上には、スイッチング素子SWの半導体層SCが配置されている。この半導体層SCは、例えばポリシリコンによって形成されている。この半導体層SCには、チャネル領域SCCを挟んでソース領域SCS及びドレイン領域SCDが形成されている。   On the undercoat layer 111, the semiconductor layer SC of the switching element SW is disposed. The semiconductor layer SC is made of, for example, polysilicon. In the semiconductor layer SC, a source region SCS and a drain region SCD are formed with a channel region SCC interposed therebetween.

半導体層SCは、ゲート絶縁膜112によって被覆されている。また、ゲート絶縁膜112は、アンダーコート層111の上にも配置されている。このゲート絶縁膜112は、例えば、シリコン酸化物やシリコン窒化物などの無機系材料によって形成されている。このようなゲート絶縁膜112は、アクティブエリア102の概ね全体に亘って延在している。   The semiconductor layer SC is covered with a gate insulating film 112. The gate insulating film 112 is also disposed on the undercoat layer 111. The gate insulating film 112 is formed of an inorganic material such as silicon oxide or silicon nitride, for example. Such a gate insulating film 112 extends over substantially the entire active area 102.

ゲート絶縁膜112の上には、チャネル領域SCCの直上にスイッチング素子SWのゲート電極Gが配置されている。この例では、スイッチング素子SWは、トップゲート型のpチャネル薄膜トランジスタである。このゲート電極Gは、パッシベーション膜113によって被覆されている。また、パッシベーション膜113は、ゲート絶縁膜112の上にも配置されている。このパッシベーション膜113は、例えば、シリコン酸化物やシリコン窒化物などの無機系材料によって形成されている。このようなパッシベーション膜113は、アクティブエリア102の概ね全体に亘って延在している。   On the gate insulating film 112, the gate electrode G of the switching element SW is disposed immediately above the channel region SCC. In this example, the switching element SW is a top gate type p-channel thin film transistor. The gate electrode G is covered with a passivation film 113. The passivation film 113 is also disposed on the gate insulating film 112. The passivation film 113 is made of, for example, an inorganic material such as silicon oxide or silicon nitride. Such a passivation film 113 extends over substantially the entire active area 102.

パッシベーション膜113の上には、スイッチング素子SWのソース電極S及びドレイン電極Dが配置されている。ソース電極Sは、半導体層SCのソース領域SCSにコンタクトしている。ドレイン電極Dは、半導体層SCのドレイン領域SCDにコンタクトしている。スイッチング素子SWのゲート電極G、ソース電極S、及び、ドレイン電極Dは、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)などの導電材料を用いて形成されている。   On the passivation film 113, the source electrode S and the drain electrode D of the switching element SW are disposed. The source electrode S is in contact with the source region SCS of the semiconductor layer SC. The drain electrode D is in contact with the drain region SCD of the semiconductor layer SC. The gate electrode G, the source electrode S, and the drain electrode D of the switching element SW are formed using a conductive material such as molybdenum (Mo), tungsten (W), aluminum (Al), or titanium (Ti).

ソース電極S及びドレイン電極Dは、絶縁膜114によって被覆されている。また、絶縁膜114は、パッシベーション膜113の上にも配置されている。このような絶縁膜114は、例えば、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂などの有機系材料や、シリコン窒化物(SiN)などの各種無機系材料によって形成されている。また、このような絶縁膜114は、アクティブエリア102の全体に亘って延在している。   The source electrode S and the drain electrode D are covered with an insulating film 114. The insulating film 114 is also disposed on the passivation film 113. Such an insulating film 114 is made of, for example, an organic material such as an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin, or various inorganic materials such as silicon nitride (SiN). Further, such an insulating film 114 extends over the entire active area 102.

有機EL素子OLEDを構成する画素電極PEは、絶縁膜114の上に配置されている。画素電極PEは、スイッチング素子SWのドレイン電極Dに接続されている。この画素電極PEは、この例では陽極に相当する。   The pixel electrode PE constituting the organic EL element OLED is disposed on the insulating film 114. The pixel electrode PE is connected to the drain electrode D of the switching element SW. The pixel electrode PE corresponds to an anode in this example.

この画素電極PEは、反射電極PER及び透過電極PETが積層された2層構造である。つまり、反射電極PERは、絶縁膜114の上に配置されている。また、透過電極PETは、反射電極PERの上に配置されている。反射電極PERは、例えば、銀(Ag)、アルミニウム(Al)などの光反射性を有する導電材料によって形成されている。透過電極PETは、例えば、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)、インジウム・ジンク・オキサイド(IZO)などの光透過性を有する導電材料によって形成されている。なお、画素電極PEは、上述した2層構造に限らず、3層以上の積層構造であっても良いし、反射電極PER単層であっても良いし、透過電極PET単層であっても良い。マイクロキャビティ構造を採用する場合には、画素電極PEは、反射電極PERを含む。   The pixel electrode PE has a two-layer structure in which a reflective electrode PER and a transmissive electrode PET are stacked. That is, the reflective electrode PER is disposed on the insulating film 114. The transmissive electrode PET is disposed on the reflective electrode PER. The reflective electrode PER is formed of a conductive material having light reflectivity such as silver (Ag) or aluminum (Al). The transmissive electrode PET is formed of a conductive material having optical transparency such as indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO). Note that the pixel electrode PE is not limited to the above-described two-layer structure, and may be a laminated structure of three or more layers, a reflective electrode PER single layer, or a transmissive electrode PET single layer. good. When the microcavity structure is employed, the pixel electrode PE includes a reflective electrode PER.

絶縁膜114の上には、隔壁PIが配置されている。この隔壁PIは、画素電極PEの周囲に配置されている。また、この隔壁PIは、画素電極PEの一部に重なっている。このような隔壁PIは、例えば、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂などの有機系材料や、各種無機系材料などの絶縁材料によって形成されている。この隔壁PIは、側面PISと、上面PITとを有している。   A partition wall PI is disposed on the insulating film 114. The partition wall PI is disposed around the pixel electrode PE. Further, the partition wall PI overlaps with a part of the pixel electrode PE. Such a partition wall PI is formed of, for example, an organic material such as an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin, or an insulating material such as various inorganic materials. The partition wall PI has a side surface PIS and an upper surface PIT.

有機EL素子OLEDを構成する有機層ORGは、隔壁PIから露出した画素電極PEの上に配置されている。この有機層ORGは、少なくとも発光層を含み、さらに、ホール注入層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層などを含んでも良い。有機層ORGの材料については、蛍光材料を含んでいても良いし、燐光材料を含んでいても良い。   The organic layer ORG constituting the organic EL element OLED is arranged on the pixel electrode PE exposed from the partition wall PI. The organic layer ORG includes at least a light emitting layer, and may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, and the like. The material of the organic layer ORG may include a fluorescent material or a phosphorescent material.

有機層ORGと隔壁PIとの間には、層間絶縁膜120が配置されている。また、この層間絶縁膜120は、画素電極PEに接している。このような層間絶縁膜120は、シリコン酸化物などの無機系絶縁材料や、TPT(N,N'-Bis(4-diphenylamino-4-biphenyl)-N,N'-diphenylbenzidineの略称)などの有機系絶縁材料によって形成されている。この層間絶縁膜120の構造については、後に詳細に説明する。   An interlayer insulating film 120 is disposed between the organic layer ORG and the partition wall PI. The interlayer insulating film 120 is in contact with the pixel electrode PE. Such an interlayer insulating film 120 is formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide or an organic material such as TPT (abbreviation of N, N′-Bis (4-diphenylamino-4-biphenyl) -N, N′-diphenylbenzidine). It is made of a system insulating material. The structure of the interlayer insulating film 120 will be described in detail later.

有機EL素子OLEDを構成する対向電極CEは、有機層ORGの上に配置されている。この例では、対向電極CEは、陰極に相当する。このような対向電極CEは、例えば、ITOやIZOなどの導電材料によって形成された透過層や、マグネシウム・銀などによって形成された半透過層によって構成されている。マイクロキャビティ構造を採用する場合には、対向電極CEは、マグネシウム・銀などによって形成された半透過層を含む。このような対向電極CEは、アクティブエリア102の全体に亘って延在している。   The counter electrode CE constituting the organic EL element OLED is arranged on the organic layer ORG. In this example, the counter electrode CE corresponds to a cathode. Such a counter electrode CE is composed of, for example, a transmissive layer formed of a conductive material such as ITO or IZO, or a semi-transmissive layer formed of magnesium / silver or the like. When the microcavity structure is employed, the counter electrode CE includes a semi-transmissive layer formed of magnesium, silver, or the like. Such a counter electrode CE extends over the entire active area 102.

図3は、隔壁PIの周辺の構造を概略的に示す断面図である。なお、この図3においては、説明に必要な主要部のみを図示している。   FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the structure around the partition wall PI. In FIG. 3, only the main parts necessary for explanation are shown.

隔壁PIは、隣接する第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2の各々の画素電極PEの間に配置されている。各画素電極PEは、絶縁膜114の上に配置されている。隔壁PIは、絶縁膜114の上に配置されるとともに各画素電極PEの周縁部PEPに重なっている。この隔壁PIは、略台形状の断面を有しており、第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2にそれぞれ面する側面PISと、これらの側面PISを繋ぐ上面PITと、を有している。各画素電極PEの中央部PECは、隔壁PIから露出している。   The partition wall PI is disposed between each pixel electrode PE of the adjacent first organic EL element OLED1 and second organic EL element OLED2. Each pixel electrode PE is disposed on the insulating film 114. The partition wall PI is disposed on the insulating film 114 and overlaps the peripheral edge portion PEP of each pixel electrode PE. The partition wall PI has a substantially trapezoidal cross section, and includes a side surface PIS that faces the first organic EL element OLED1 and the second organic EL element OLED2, and an upper surface PIT that connects the side surfaces PIS. ing. The central portion PEC of each pixel electrode PE is exposed from the partition wall PI.

層間絶縁膜120は、隔壁PIの各側面PIS、及び、上面PITを覆っている。また、この層間絶縁膜120は、隔壁PIから画素電極PEの周縁部PEPに亘って延在している。つまり、層間絶縁膜120は、画素電極PEの周縁部PEPに密着しており、隔壁PIと画素電極PEとの境界Bを覆っている。このような層間絶縁膜120は、画素電極PEの中央部PECを露出している。   The interlayer insulating film 120 covers each side surface PIS and the upper surface PIT of the partition wall PI. The interlayer insulating film 120 extends from the partition wall PI to the peripheral edge PEP of the pixel electrode PE. That is, the interlayer insulating film 120 is in close contact with the peripheral edge portion PEP of the pixel electrode PE and covers the boundary B between the partition wall PI and the pixel electrode PE. Such an interlayer insulating film 120 exposes the central portion PEC of the pixel electrode PE.

なお、本実施形態において、画素電極PEの周縁部PEPとは、隔壁PI及び層間絶縁膜120に接している部分である。また、画素電極PEの中央部PECとは、周縁部PEP以外の部分である。   In the present embodiment, the peripheral edge portion PEP of the pixel electrode PE is a portion in contact with the partition wall PI and the interlayer insulating film 120. Further, the central portion PEC of the pixel electrode PE is a portion other than the peripheral edge portion PEP.

このような層間絶縁膜120は、例えば、隔壁PI及び画素電極PEの周縁部PEPに対応した開口を有するマスクを介して層間絶縁膜材料を蒸着することによって形成可能である。あるいは、このような層間絶縁膜120は、隔壁PI及び画素電極PEの全面に層間絶縁膜材料を蒸着した後に、画素電極PEの中央部PECを露出するように層間絶縁膜材料を除去することによっても形成可能である。   Such an interlayer insulating film 120 can be formed, for example, by depositing an interlayer insulating film material through a mask having an opening corresponding to the partition wall PI and the peripheral edge portion PEP of the pixel electrode PE. Alternatively, the interlayer insulating film 120 may be formed by depositing an interlayer insulating film material on the entire surface of the partition wall PI and the pixel electrode PE and then removing the interlayer insulating film material so as to expose the central portion PEC of the pixel electrode PE. Can also be formed.

有機層ORGは、第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2に各々配置されている。すなわち、有機層ORGは、層間絶縁膜120から露出した画素電極PEの中央部PECに配置されるとともに、層間絶縁膜120の上に配置されている。この有機層ORGは、隔壁PIの上面PITの一部まで延在している。   The organic layer ORG is disposed on each of the first organic EL element OLED1 and the second organic EL element OLED2. That is, the organic layer ORG is disposed in the central portion PEC of the pixel electrode PE exposed from the interlayer insulating film 120 and on the interlayer insulating film 120. The organic layer ORG extends to a part of the upper surface PIT of the partition wall PI.

対向電極CEは、第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2に延在している。すなわち、この対向電極CEは、層間絶縁膜120及び有機層ORGを覆っている。   The counter electrode CE extends to the first organic EL element OLED1 and the second organic EL element OLED2. That is, the counter electrode CE covers the interlayer insulating film 120 and the organic layer ORG.

ここに示した例では、層間絶縁膜120は、隔壁PIの側面PISと有機層ORGとの間、隔壁PIの上面PITと有機層ORGとの間、及び、隔壁PIの上面PITと対向電極CEとの間に配置されている。   In the example shown here, the interlayer insulating film 120 is formed between the side surface PIS of the partition wall PI and the organic layer ORG, between the upper surface PIT of the partition wall PI and the organic layer ORG, and between the upper surface PIT of the partition wall PI and the counter electrode CE. It is arranged between.

画素電極PEの中央部PECにおいては、層間絶縁膜120によって覆われることなく、有機層ORGが積層され、さらに、有機層ORGの上に対向電極CEが積層されている。このため、画素電極PEの中央部PECと対向電極CEとの間を電流が流れ、有機層ORGにおいて発光可能となる。なお、画素電極PEの周縁部PEPにおいては、画素電極PEと有機層ORGとの間に層間絶縁膜120が介在しているため、電流のパスがなく、有機層ORGにおいて発光しない。   In the central portion PEC of the pixel electrode PE, the organic layer ORG is stacked without being covered with the interlayer insulating film 120, and the counter electrode CE is stacked on the organic layer ORG. For this reason, a current flows between the central portion PEC of the pixel electrode PE and the counter electrode CE, and light emission is possible in the organic layer ORG. In the peripheral edge portion PEP of the pixel electrode PE, since the interlayer insulating film 120 is interposed between the pixel electrode PE and the organic layer ORG, there is no current path and no light is emitted from the organic layer ORG.

このような構成によれば、隔壁PIがその下地となる画素電極PE及び絶縁膜114から剥離したり、ズレが生じたりしても、隔壁PIと画素電極PEとの境界Bの付近において、画素電極PEと有機層ORGとの間に層間絶縁膜120が介在しているため、画素電極PEと対向電極CEとの短絡を抑制することが可能となる。したがって、画素電極PEと対向電極CEとの短絡に起因した有機EL素子OLEDの発光不良の発生を抑制することが可能となる。   According to such a configuration, even if the partition wall PI peels off from the underlying pixel electrode PE and the insulating film 114 or is displaced, a pixel is formed in the vicinity of the boundary B between the partition wall PI and the pixel electrode PE. Since the interlayer insulating film 120 is interposed between the electrode PE and the organic layer ORG, it is possible to suppress a short circuit between the pixel electrode PE and the counter electrode CE. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of light emission failure of the organic EL element OLED due to the short circuit between the pixel electrode PE and the counter electrode CE.

図4は、隔壁PIが画素電極PEから剥離した状態を概略的に示す断面図である。なお、この図4においては、説明に必要な主要部のみを図示している。   FIG. 4 is a cross-sectional view schematically illustrating a state where the partition wall PI is peeled from the pixel electrode PE. In FIG. 4, only the main parts necessary for the description are shown.

隔壁PIと画素電極PEとの間には、隙間GPが形成されている。この隔壁PIは、さらに絶縁膜114の一部からも剥離している。このような隙間GPが形成された状態で、層間絶縁膜120を配置することなく、有機層ORGを形成した場合には、有機層ORGが隙間GPの付近で途切れてしまう。このため、有機層ORGの後に形成された対向電極CEは、有機層ORGの途切れた部分で画素電極PEに接してしまい、画素電極PEと対向電極CEとの短絡を招く。   A gap GP is formed between the partition wall PI and the pixel electrode PE. This partition wall PI is also peeled off from a part of the insulating film 114. When the organic layer ORG is formed without providing the interlayer insulating film 120 with such a gap GP formed, the organic layer ORG is interrupted in the vicinity of the gap GP. For this reason, the counter electrode CE formed after the organic layer ORG comes into contact with the pixel electrode PE at a portion where the organic layer ORG is interrupted, causing a short circuit between the pixel electrode PE and the counter electrode CE.

本実施形態においては、隔壁PIを形成した後に、層間絶縁膜120を形成する。このとき、隔壁PIと画素電極PEとの間に形成された隙間GPは、層間絶縁膜120によって覆われる。層間絶縁膜120は、隙間GPの付近で途切れることなく、連続した膜として形成される。このため、層間絶縁膜120の後に形成された有機層ORGは、途切れることなく、層間絶縁膜120の上、及び、画素電極PEの上に積層される。したがって、有機層ORGの上に積層された対向電極CEと画素電極PEとの短絡を抑制することができる。   In the present embodiment, the interlayer insulating film 120 is formed after the partition wall PI is formed. At this time, the gap GP formed between the partition wall PI and the pixel electrode PE is covered with the interlayer insulating film 120. The interlayer insulating film 120 is formed as a continuous film without interruption in the vicinity of the gap GP. For this reason, the organic layer ORG formed after the interlayer insulating film 120 is laminated on the interlayer insulating film 120 and the pixel electrode PE without interruption. Therefore, a short circuit between the counter electrode CE and the pixel electrode PE stacked on the organic layer ORG can be suppressed.

本実施形態で適用される層間絶縁膜120は、たとえ隔壁PIと画素電極PEとの間に隙間GPが形成されたとしても、層間絶縁膜120が途切れることなく連続した膜として形成されるのに十分な厚さであることが望ましい。一方で、層間絶縁膜120の厚さが厚くなるほど、層間絶縁膜120の形成に要する時間が長くなり、望ましくない。なお、ここでは、層間絶縁膜120の厚さは、隔壁PIの上面PITに積層された厚さである。   The interlayer insulating film 120 applied in the present embodiment is formed as a continuous film without interruption even if the gap GP is formed between the partition wall PI and the pixel electrode PE. It is desirable that the thickness is sufficient. On the other hand, the thicker the interlayer insulating film 120, the longer the time required to form the interlayer insulating film 120, which is not desirable. Here, the thickness of the interlayer insulating film 120 is the thickness laminated on the upper surface PIT of the partition wall PI.

層間絶縁膜120の厚さは、有機層ORGの膜厚と同等以上で、有機層ORGの膜厚の2倍以下程度が好ましく、例えば50nm〜100nmの範囲であることが望ましい。   The thickness of the interlayer insulating film 120 is equal to or greater than the film thickness of the organic layer ORG and is preferably about twice or less the film thickness of the organic layer ORG, and is desirably in the range of, for example, 50 nm to 100 nm.

図5は、隔壁PIの周辺の他の構造を概略的に示す断面図である。なお、この図5においては、説明に必要な主要部のみを図示している。   FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing another structure around the partition wall PI. In FIG. 5, only the main parts necessary for explanation are shown.

この図5に示した例では、図3に示した例と比較して、層間絶縁膜120が隔壁PIの側面PISを覆い、上面PITを覆っていない点で相違している。すなわち、隔壁PIは、絶縁膜114の上において、隣接する第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2の各々の画素電極PEの間に配置されている。層間絶縁膜120は、隔壁PIの第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2にそれぞれ面する各側面PISを覆っている。また、この層間絶縁膜120は、隔壁PIから画素電極PEの周縁部PEPに亘って延在し、隔壁PIと画素電極PEとの境界Bを覆うとともに、画素電極PEの中央部PECを露出している。   The example shown in FIG. 5 is different from the example shown in FIG. 3 in that the interlayer insulating film 120 covers the side surface PIS of the partition wall PI and does not cover the upper surface PIT. That is, the partition wall PI is disposed on the insulating film 114 between the pixel electrodes PE of the adjacent first organic EL elements OLED1 and OLED2. The interlayer insulating film 120 covers each side surface PIS facing the first organic EL element OLED1 and the second organic EL element OLED2 of the partition wall PI. The interlayer insulating film 120 extends from the partition wall PI to the peripheral edge portion PEP of the pixel electrode PE, covers the boundary B between the partition wall PI and the pixel electrode PE, and exposes the central portion PEC of the pixel electrode PE. ing.

有機層ORGは、第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2に各々配置されている。すなわち、有機層ORGは、層間絶縁膜120から露出した画素電極PEの中央部PECに配置されるとともに、層間絶縁膜120の上に配置されている。また、この有機層ORGは、隔壁PIの上面PITの一部に延在している。つまり、層間絶縁膜120は、有機層ORGによって覆われており、隔壁PIの側面PIS、画素電極PE、及び、有機層ORGによって囲まれている。   The organic layer ORG is disposed on each of the first organic EL element OLED1 and the second organic EL element OLED2. That is, the organic layer ORG is disposed in the central portion PEC of the pixel electrode PE exposed from the interlayer insulating film 120 and on the interlayer insulating film 120. Further, the organic layer ORG extends on a part of the upper surface PIT of the partition wall PI. That is, the interlayer insulating film 120 is covered with the organic layer ORG, and is surrounded by the side surface PIS of the partition wall PI, the pixel electrode PE, and the organic layer ORG.

対向電極CEは、第1有機EL素子OLED1及び第2有機EL素子OLED2に延在している。すなわち、この対向電極CEは、隔壁PIの上面PIT及び有機層ORGを覆っている。   The counter electrode CE extends to the first organic EL element OLED1 and the second organic EL element OLED2. That is, the counter electrode CE covers the upper surface PIT of the partition wall PI and the organic layer ORG.

このような構成においても、図3に示した例と同様の効果が得られる。   Even in such a configuration, the same effect as the example shown in FIG. 3 can be obtained.

なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the components without departing from the gist of the invention in the stage of implementation. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.

本実施形態は、有機EL装置として、有機EL表示装置について説明したが、有機EL照明や有機ELプリンターヘッドなどにも利用可能である。   In the present embodiment, the organic EL display device has been described as the organic EL device, but the present invention can also be used for organic EL lighting, an organic EL printer head, and the like.

1…表示パネル
100…アレイ基板
120…層間絶縁膜
OLED…有機EL素子
PE…画素電極 PEP…周縁部 PEC…中央部
CE…対向電極
ORG…有機層
PI…隔壁 PIS…側面 PIT…上面
G…隙間
B…境界
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Display panel 100 ... Array board | substrate 120 ... Interlayer insulation film OLED ... Organic EL element PE ... Pixel electrode PEP ... Peripheral part PEC ... Center part CE ... Counter electrode ORG ... Organic layer PI ... Partition PIS ... Side surface PIT ... Upper surface G ... Gap B ... Boundary

Claims (5)

絶縁基板と、
前記絶縁基板の上方に配置された画素電極と、
前記画素電極の周囲に配置された隔壁と、
前記隔壁から前記画素電極の周縁部に亘って延在するとともに前記画素電極の中央部を露出する層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜の上、及び、前記画素電極の中央部の上に配置された有機層と、
前記有機層の上に配置された対向電極と、
を備えたことを特徴とする有機EL装置。
An insulating substrate;
A pixel electrode disposed above the insulating substrate;
Barrier ribs arranged around the pixel electrode;
An interlayer insulating film extending from the partition wall to the peripheral edge of the pixel electrode and exposing a central portion of the pixel electrode;
An organic layer disposed on the interlayer insulating film and on a central portion of the pixel electrode;
A counter electrode disposed on the organic layer;
An organic EL device comprising:
絶縁基板と、
前記絶縁基板の上方に配置された画素電極と、
前記画素電極の周囲に配置された隔壁と、
前記画素電極の上に配置された有機層と、
前記有機層の上に配置された対向電極と、
前記隔壁と前記有機層との間に配置されるとともに前記画素電極に接し、しかも、前記隔壁と前記画素電極との間に形成された隙間を覆う層間絶縁膜と、
を備えたことを特徴とする有機EL装置。
An insulating substrate;
A pixel electrode disposed above the insulating substrate;
Barrier ribs arranged around the pixel electrode;
An organic layer disposed on the pixel electrode;
A counter electrode disposed on the organic layer;
An interlayer insulating film disposed between the partition and the organic layer and in contact with the pixel electrode, and covering a gap formed between the partition and the pixel electrode;
An organic EL device comprising:
前記隔壁は側面及び上面を有し、前記層間絶縁膜は前記側面を覆い、前記対向電極は前記隔壁の上面及び前記有機層を覆うことを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL装置。   The organic EL device according to claim 1, wherein the partition wall has a side surface and an upper surface, the interlayer insulating film covers the side surface, and the counter electrode covers the upper surface of the partition wall and the organic layer. . 前記隔壁は側面及び上面を有し、前記層間絶縁膜は前記側面及び前記上面を覆い、前記対向電極は前記層間絶縁膜及び前記有機層を覆うことを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL装置。   The barrier rib has a side surface and an upper surface, the interlayer insulating film covers the side surface and the upper surface, and the counter electrode covers the interlayer insulating film and the organic layer. Organic EL device. 前記層間絶縁膜は、前記隔壁と前記画素電極との間に形成された隙間を覆うことを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置。   The organic EL device according to claim 1, wherein the interlayer insulating film covers a gap formed between the partition wall and the pixel electrode.
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