JP2010520631A - 太陽電池の製造方法及びそれによって得られた太陽電池 - Google Patents
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Abstract
シリコン基板(4)から太陽電池(20)を製造する方法において、前面及び裏面に最初に、3.6〜3.9の光屈折率nを有する第1の反射防止層(2、5)が適用される。次いで、1.94〜2.1の光屈折率nを有する第2の反射防止層(1、6)が適用される。シリコン基板(4)まで金属接点(7、9)を導入するために、反射防止層(1、2、5、6)を下地のシリコン基板(4)まで下がって分離する。
Description
本発明は、シリコンまたはシリコン基板から太陽電池を製造する方法、並びにそのような方法を用いて製造された太陽電池に関する。
通常、太陽電池の効率は、前記太陽電池の表面の性質、または表面コーティングによって影響される。特に太陽電池への太陽光の最大入射を可能にするために、反射防止及び不動態化特性が非常に重要視されている。通常、太陽電池の前面は反射防止層、例えばSiNを有する。
従来の太陽電池の製造は、下文に要約形式で記述される、加工工程のシーケンスを含む。主構造は、通常、吸収特性を改良するためにエッチング加工によって表面がテクスチャリングされた単結晶または多結晶のp−Siウエハによって提供される。単結晶シリコンの場合は、エッチング加工は水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムの溶液と、イソプロピルアルコールとの混合物を用いて行われる。多結晶シリコンは、フッ化水素酸及び硝酸の溶液を用いてエッチングされる。次いで、次の拡散工程用の最適表面を調製するために、さらなるエッチング洗浄シーケンスが行われる。この工程では、約0.5μmの深さまでリンが拡散することによって、シリコン中にp−n接合が形成される。p−n接合は光によって生成される電荷キャリアを分離する。p−n接合を作るために、リン源、通常、気体混合物または水溶液の存在下において加熱炉の中で、ウエハを約800℃〜950℃に加熱する。リンはシリコンの表面に浸透する。リンをドープした層は、正の導電性を有するホウ素をドープしたベースとは反対に、負の導電性を有する。この工程ではリンガラスが表面上に形成されるが、リンガラスは次の工程でHFを用いたエッチングによって除去される。続いて、反射を低減するため、及び不動態化の目的のために、シリコンの表面に約80nm厚の、通常、SiN:Hを含む層が適用される。次いで、金属の接点が、前面(銀)及び裏面(金または銀)に適用される。いわゆるBSF(Back Surface Field:裏面電界)を有利にはアルミニウムから形成するために、前記方法においてウエハの裏面に適用されたアルミニウムの一部が、次の焼成工程においてシリコンと合金化される。
本発明の課題は、従来技術の不利点を避けることができ、そして特に太陽電池の効率をさらに向上することができる、前述の方法とそれによって製造される太陽電池とを提供することである。
この課題は、請求項1の特徴を有する方法と請求項12の特徴を有する太陽電池とによって解決される。本発明の利点及び好ましい実施態様が、さらなる請求項の対象を構成し、下文に詳細に説明される。特許請求の範囲の表現が本発明の記載に明確に参照される。さらに、同じ出願人による2007年3月8日に出願された優先権主張出願第DE102007012268.5号の表現が、本発明の記載に明確に参照される。
本発明によれば、太陽電池のさらなる生産用に既にあらかじめ処理されたドープされたシリコン基板の少なくとも1面上に、3.5〜4.0の光屈折率nを有する第1の層が適用される。前記の第1の層上に、1.9〜2.2の光屈折率nを有する第2の層が適用される。このように、本発明の範囲内において、2層構造が、太陽電池の表面コーティング用または反射防止層用に作られる。これは、太陽電池に入射する光の反射を低減することができるため、より多くの光が太陽電池に入射して、結果としてその効率が向上する。さらに、そのような多層構造を用いて、太陽電池の前面の不動態化を改良することも可能である。
本発明の実施態様によれば、第1の層は3.6〜3.9の屈折率を有することができる。第1の層はシリコン及び/またはゲルマニウムを含むことができるか、またはシリコン及び/またはゲルマニウムから形成され得る。有利には、第1の層はa−SiGeまたはa−SiGe:Hから形成される。したがって、この場合は、前記材料の前記層は半導体層としては用いられないが、その代わりに反射防止機能を有する。
本発明のさらなる実施態様では、第2の層が1.94〜2.1の屈折率nを有することができる。そのような層構造によって、特に良好に機能する反射防止コーティング全体が得られる。さらに、第2の層はシリコン、有利にはSiN(x):Hを含むことができるか、またはシリコン、有利にはSiN(x):Hから形成することができる。
例えば前面にのみ光が照射される太陽電池の場合、前面上にだけ反射防止層用の上記の2重の層構造を提供することが可能である。しかしながら、少なくとも2面に光が照射される場合、有利には太陽電池の両面が上記の2重の層構造を有する。
製造方法において、第1の層を用いてシリコン基板の両面を最初にコーティングすることが可能である。次いで、第2の層を両面に適用することができる。このように、より簡単に管理しやすい加工が可能である。
本発明の実施態様によれば、第1の層は、シリコン及びゲルマニウム、例えば前述の化合物を含むことができる。少なくとも第1の層、特にまた第2の層、または第1の層及び第2の層の両方が、増加するゲルマニウムの濃度勾配を有することが可能である。そのような勾配を、例えば層の形成または適用の際に作ることができる。これは反射防止特性及び不動態化特性に良い影響を与えることを可能とする。
シリコン基板のさらなる加工の際、下地のドープされたシリコン基板に接点を形成または適用するために、基板の少なくとも1面上の層を部分的に除去することが可能である。そのような接点は有利には金属であるかまたは金属から作られる。接点は有利には線形形状または格子状であることができるが、最小限のシャドウイングのみとするために、太陽電池の少なくとも前面上にて最小の表面積のみを占める。
本発明のさらなる実施態様によれば、例えば線接触として適用される電気接点が、第1の層と直接接触しないか、または第1の層といかなる接続も有さないように作られる。この目的のために、例えば第1の層を、誘電体層によって電気接点と分離することができ、そのような誘電体層は例えばSiNから作られる。有利には、誘電体層は第2の層によって形成される。本発明の製造方法においては、適用すべき電気接点の形状に構造的なパターンが基本的に相当するように、第1の層をシリコン基板に適用し、次いで構造化することが可能である。しかしながら、若干、より大きい面積にわたって、若しくはいずれの場合にも、若干、より広い幅を有する構造を層内に導入することができ、または同じものを除去することができる。次いで、第2の層を第1の層上に適用し、次いで、第2の層をまた、第1の層内の構造パターンが適切に除去された領域に導入する。続いて、電気接点が所望のパターンを有して得られた構造内に導入されるように、第2の層をより薄いパターンで構造化するか、または下地のシリコン基板まで下がって除去する。この方法において、本発明の層構造が達成され、同時に、第1の層と接触しない電気接点が得られる。層の構造化は、例えば機械的に行われるが、有利にはレーザーが用いられる。
準備目的のために、本発明の層を適用する前に、シリコン基板の表面側を、有利にはリンを用いて、n型にドープすることができる。より薄くあるべきであり、有利にはホウ素をドープされたa−SiGeでドープされるか、またはホウ素をドープされたa−SiGeから作られる、p型にドープされた層を裏面に作ることができる。
基板の両面上の反射防止及び不動態化特性のために、上述の2層構造を提供することができ、上述の電気接点が両面に提供される。裏面構造はp型にドープされたシリコンに適用される。
これらの及びさらなる特徴を特許請求の範囲、明細書、及び図面から得ることができ、個々の特徴は、それぞれの場合にそのままで、または本発明の実施態様及び他の分野におけるサブコンビネーションの形式で、実現することができ、そして本願で特許を請求するための有益で個々に特許性のある構成を表すことができる。個々の区分及び小見出しへの本発明の細分化は、その条件の下で作成された本明細書の記載内容の普遍性を全く制限しない。
本発明の実施態様は、添付図面に図式的に表される。
図1は太陽電池20の断面を表す。p型にドープされたシリコン基板4上で、リンをドープしたn型シリコンのより薄い層3が上方に向いた前面に適用される。3.6〜3.9の光屈折率nを有する、前面の第1の反射防止層2が、層3上に適用される。前記の前面の第1の層2上に、1.94〜2.1の光屈折率nを有する第2の反射防止層1が適用される。
基板4の裏面上に、前面の第1の反射防止層2に相当する屈折率nを有する、裏面の第1の反射防止層5を適用する。その上に、前面の第1の反射防止層1に相当する屈折率nを有する、裏面の第2の反射防止層6を同様に適用する。
基板4のコーティング及びその前のドーピングについては、上に詳細に記載した。有利には、n型シリコン層3を有する基板4の前面上及び裏面上に、第1の反射防止層2及び5を最初に適用する。さらなる加工工程において、前面及び裏面の第2の反射防止層1及び6が適用される。
電気接点の形成のために、前面に、または前面の第1及び第2の反射防止層1及び2に、例えばレーザー加工によって、溝が形成される。先に記載した方法、例えば印刷によって、前記溝に金属接点9を導入する。電気接点9は有利にはアルミニウムから作られ、そしてまたn型シリコン層3と接触する。
同様の接触が、太陽電池20の裏面上で行われ、最初に2つの裏面の反射防止層5及び6が、基板4まで下がって分離される。得られた溝において、前面用の前述の接点と同様の、アルミニウムから作られたさらなる金属接点7が導入される。同業者に概して知られるように、アルミニウム接点7及びp型にドープされたシリコン基板4の間で、いわゆるアルミニウム裏面電界8が形成される。
従来の単一層の反射防止層、例えばSiNに比べて、太陽電池20の、前面上の2重の反射防止層1及び2、並び裏面上の層5及び6の利点は、特に550nm未満及び700nmより長い波長の範囲における、非常に低い反射性である。それゆえに本発明の太陽電池の光効率ひいてはエネルギー効率もまた著しく改善される。
図2は、図1に関連して記載されるように、その表面側にリンがドープされたn型シリコン層103を有する基板104によって同様に構成される他の太陽電池を示す。第1の反射防止層102及び105が前面上及び裏面上に適用され、これらの上に同様に第2の反射防止層101及び106を適用する。光屈折率は図1に関して記載されたものと同様であることができる。
2つの裏面の反射防止層内の溝にアルミニウム金属接点107を導入して裏面上に接触が同様に生じることによってアルミニウム裏面電界108を生じる一方で、前面への接触が若干異なる。ここで、前面の第1の反射防止層102に、続いて適用されるべき電気接点109よりも非常に大きい幅に分離されて溝が形成される。次いで、前面の第2の反射防止層101が適用される。次いで、この中に、接点109の幅に相当する幅で、n型シリコン層103まで下がって分離されて、さらなる溝が形成される。続いて、接点109が先に記載した方法で導入される。ここでの利点は、金属接点109が、上述のように、単に直接、n型シリコン層103に接続または接触すること、並びに金属接点109が、前面の第1の反射防止層102に接触しないことである。前面の第1の反射防止層102及び金属接点109の間に位置する前面の第2の反射防止層101の部分が、太陽電池120の前面の接触を分離するために、誘電体層として機能する。
図3は、図2における場合と同様に、前面の接触、及び裏面の接触の形成を提供する太陽電池220のさらなる変形例を示す。これは、裏面の第1の反射防止層205及び裏面に適用されたアルミニウム金属接点207の間に、基板204の裏面上に部分213を有する裏面の第2の反射防止層206が拡がることを意味する。裏面の第1の反射防止層205に対して裏面の金属接点207を絶縁するために、部分213が誘電体層を形成する。ここで、アルミニウム裏面電界208が同様に形成される。それ以外では、基板204、n型シリコン層203、並びに前面の金属接点209とともに、前面の第1の反射防止層202及び前面の第2の反射防止層201からなる前面の反射防止層、を有する太陽電池220の構造は、図2の構造に相当する。これは製造方法にも適用する。
前面及び裏面の接触の形成は、それぞれ図面に示したものと同じであるが、異なることもでき、例えば一面上に線形形状の接点、及び他面上にそれとは異なる形状の接点を形成することができる。
第1の反射防止層の特性によって、特に前面において、下地のシリコン基板に対して光学特性の最適調整を行うことができる。加えて、シリコン基板の非常に歪みのないコーティングも可能である。
Claims (12)
- ドープされたシリコン基板(4、104、204)の少なくとも1面上に3.5〜4.0の光屈折率nを有する第1の層(2、5、102、105、202、205)を適用し、該第1の層(2、5、102、105、202、205)上に1.9〜2.2の光屈折率nを有する第2の層(1、6、101、106、201、206)を適用する、シリコンから作られる太陽電池(20、120、220)を製造する方法。
- 該第1の層(2、5、102、105、202、205)が3.6〜3.9の屈折率nを有する、請求項1に記載の方法。
- 該第1の層(2、5、102、105、202、205)が、シリコン及び/またはゲルマニウムを含み、好ましくはa−SiGeまたはa−SiGe:Hである、請求項1に記載の方法。
- 該第1の層(2、5、102、105、202、205)がSiGeを含み、好ましくは少なくとも該第1の層(2、5、102、105、202、205)、特に該第2の層(1、6、101、106、201、206)または両方の層が共にそれぞれ、増加するゲルマニウムの濃度勾配を有し、またはそのような勾配が生じる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 該第2の層(1、6、101、106、201、206)が1.94〜2.1の屈折率nを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 該第2の層(1、6、101、106、201、206)が、シリコンを含み、好ましくはSiN(x):Hである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 該第1の層(2、5、102、105、202、205)が該ドープされたシリコン基板(4、104、204)の両面上に最初に適用され、次いで、該第2の層(1、6、101、106、201、206)が両面上に適用される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 該シリコン基板(4、104、204)の少なくとも1面上において、該下地のドープされたシリコン基板(4、104、204)に接点(7、9、107、109、207、209)を適用するために、2つの層(1、2、5、6、101、102、105、106、201、202、205、206)が少なくとも部分的に、好ましくは線形形状に除去される、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 該第1の層(102、202、205)が電気接点(107、109、207、209)と直接接触しないように、該電気接点(107、109、207、209)が好ましくは線形形状で該シリコン基板(104、204)に適用され、好ましくは該第1の層(102、202、205)が好ましくはSiNから作られる誘電体層(112、212、213)によって該電気接点から分離される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 該第1の層(102、202、205)の適用に続いて、適用される該電気接点(109、207、209)に相当し、かつ該電気接点(109、207、209)よりも幅が広い構造パターンが構築され、
次いで、該第2の層(101、201、206)が該第1の層(102、202、205)上に適用され、そして該第2の層(101、201、206)内に該電気接点の最終パターンを有する接触構造が導入され、
次いで、該電気接点(109、207、209)が該接触構造内に導入される、
請求項9に記載の方法。 - 該シリコン基板(4、104、204)が、表面側(3、103、203)において、好ましくはリンでn型にドープされ、
裏面上に、p型にドープされた層であって、特により薄い層が形成され、
好ましくは該p型にドープされた層が、ホウ素をドープされたa−Si:Geでドープされるか、またはホウ素をドープされたa−Si:Geから作られる、
請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法を用いて処理されたシリコン基板(4、104、204)から作られた太陽電池(20、120、220)。
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