JP2010514009A

JP2010514009A - 一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成およびその方法

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Publication number: JP2010514009A
Application number: JP2009541494A
Authority: JP
Inventors: アール．ウイートマン，チャド; フアング，チュング−ホー
Original assignee: Lam Research Corp
Current assignee: Lam Research Corp
Priority date: 2006-12-14
Filing date: 2007-12-07
Publication date: 2010-04-30
Anticipated expiration: 2027-12-07
Also published as: TWI418992B; JP5175295B2; CN101558399B; TW200841186A; CN101558399A; KR101455880B1; WO2008076676A1; US20080147668A1; KR20090098820A; US7882076B2

Abstract

【課題】
【解決手段】１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うための構成を提供する。この構成は、複数のツールを有し、このうちの少なくとも１つのツールは、この１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有する。また、この構成は、この複数のツールからセンサーデータを収集するよう構成された複数の二次サーバーも有する。この構成は、さらに一次サーバーを有し、この一次サーバーは、この複数の二次サーバーと通信可能な形で連結され、かつデータベース管理システムを実行するように構成されている。センサーデータは、この一次サーバーに送られこのデータベース管理システムで用いられる前に、複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、インデックスが付けられる。インデックス付けには、センサーデータ項目が、このセンサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けられることを含む。
【選択図】図５

Description

プラズマ処理の進歩は、半導体産業に成長をもたらした。プラズマ処理は、半導体産業において競争力を持ち続けたいと考える製造メーカーの試みとして進歩し続けている。競争力を持つには、メーカーは、少なくともそのツールを保守し、維持するため、または起こりうる問題を解決するためのいずれかのために、大量のデータにアクセスせねばならない。

処理中、データ（例えば、ガスタイプ、温度、処理時間、電圧、圧力など）が収集されうる。一般には、処理された各基板に関して収集されたデータは、まずはツールレベルで記憶されうる。ツールのメモリ容量は限られうるので、このデータは、記憶用にサーバに送られうる。このデータは、分析に必要となるまで、このサーバーに記憶されうる。

一般的な半導体環境においては、メーカーは、図１に示すように、複数のサーバーに複数のツールを接続させうる。この半導体環境では、各ツール（ツール１、ツール２、ツール３、ツール４、ツール５およびツール６）により収集されたデータは、サーバー１０４またはサーバー１０６のいずれかにおいて記憶されうる。ある例では、サーバー１０４は、ツールクラスター１０８に関連づけられうる。ツールクラスター１０８は、ツール１、ツール２およびツール３を含みうる。同様に、サーバー１０６は、ツール４、ツール５およびツール６を含みうるツールクラスター１１０と関連付けられうる。

サーバー１０４およびサーバー１０６は、図２に示すように、少なくともデータを記憶または読み出しのいずれかのための種々のモジュールを有しうる。ある例では、基板処理中に、ツールクラスター１０８のツール１により収集されたデータが、サーバー１０４に送られうる。サーバー１０４中で、このデータはまずメモリ２０６（例えば、ディスク記憶装置など）に記憶されうる。インデックス作成アプリケーション２０４（例えば、ラム・オートアーカイバー（ＬａｍＡｕｔｏＡｒｃｈｉｖｅｒ））が、メモリ２０６に記憶されたデータのインデックス作成を行い、データベース２０８にインデックス付データを記憶しうる。

別の例では、基板処理中にツールクラスター１１０のツール６により収集されたデータが、サーバー１０６に送られうる。サーバー１０６中で、このデータはまずメモリ２２２（例えば、ディスク記憶装置など）に記憶されうる。その後、インデックス作成アプリケーション２２０（例えば、ラム・オートアーカイバー（ＬａｍＡｕｔｏＡｒｃｈｉｖｅｒ））は、メモリ２２２に記憶されたデータにインデックスを付け、インデックス付データをデータベース２２４に記憶する。

データベース２０８・２２４は、完全なデータベース管理システム（例えば、マイクロソフト（Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ）ＳＱＬサーバー、オラクル（Ｏｒａｃ１ｅ）など）の例であり、基板処理中に収集されうる様々な種類のデータを扱うことができる。データベース２０８・２２４は、それぞれ、サーバー１０４・１０６に記憶されたデータにインデックスを付けうる。

図３は、データベース２０８用のインデックス作成の１例を示す。ローカルメモリ２０６に記憶されうるデータファイルは、データファイル３０２ａ・３０２ｂ・３０２ｃなどを含む複数のデータファイルを含みうる。例えば、／ＬａｍＤａｔａ／Ｔｏｏ１Ａ／ｄａｔａ／＜ｍｏｄｕ１ｅ＞／＜ｔｙｐｅ＞／＜ｄａｔｅ＞／ｓｕｂｓｔｒａｔｅ１などのファイルパス３０８が、データベース２０８中でインデックスとして記憶されうる。この例では、モジュールとはツールモジュール（例えば、処理モジュール、転写モジュールなど）である。また、タイプとは、例えば、データロットファイル、ロット履歴ファイルおよび光スペクトルファイルなどを含みうる。

インデックスとなるファイルパス３０８に加えて、各データファイル中に記憶されたデータもインデックスを付けられ、データベース２０８中に記憶される。ある例では、データベース２０８は、以下にもインデックスを付ける。すなわち、モジュール３１０（例えば、処理モジュール、転写モジュールなど）、ツール３１２（少なくともツールの名前、またはツールの識別番号のいずれか）、レシピ３１４（基板を処理するために用いられるレシピ）、ロットＩＤ３１６（処理された基板のロットの識別番号）、開始時間３１８（処理開始時間）、および基板ＩＤ３２０（基板用の識別番号）などにもインデックスを付ける。

再び図２を参照すると、データファイルを読み出すために、ユーザはデータファイルの記憶場所を見つけねばならない場合がありうる。ユーザがデータファイルの記憶場所を見つけうる１つの方法は、どこにそのデータファイルが記憶されているかを覚えていることである。しかし、図３からわかるように、データファイルのファイルパスは長く、これを覚えておくのは困難でありうる。したがって、データファイルの場所を見つけるために、ユーザの記憶に頼るのは、特に、データが何週間も前または何ヶ月さえも前に収集されていた場合には非現実的でありうる。また、データファイルを要求するユーザが、そのデータを収集した人物と同じ人物ではない場合もありうる。

検索プロセスを容易にするために、ラム・データエクスプローラ（ＬａｍＤａｔａＥｘｐ１ｏｒｅｒ）（ラム・リサーチコーポレーション（ＬａｍＲｅｓｅａｒｃｈＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）、カリフォルニア州フレモント在）などのソフトウェアを採用して、データファイルを検索しうる。例えば、ラム・データエクスプローラ（ＬａｍＤａｔａＥｘｐ１ｏｒｅｒ）などのソフトウェアを用いてさえ、ユーザは、自身の分析に必要でありうるまさにそのデータファイルを見つけるために、各サーバー上の複数のデータファイルを掘り出さねばならないかもしれない。

例えば、２００６年６月１０日のツール６での処理時に、複数のデータが収集され、サーバー１０６に記憶されたという状況を考慮されたい。２ヶ月後に問題が特定され、その問題を分析するために、２００６年６月１０日のツール６からのデータを読み出す必要性が生じる。このデータを読み出すために、コンピュータ１０２でのユーザは、データの記憶場所を特定せねばならない可能性が生じる。

まず、このユーザは、サーバー１０４で、要求されるデータファイルを検索しうる。このデータファイルを検索するために、ユーザはオープンデータベース接続（ＯＤＢＣ）アプリケーションモジュール２１４を、データベース２０８に記憶されたデータのインデックス情報を検索するためのインタフェースとして用いうる。データが、ローカルメモリ２０６に記憶されている場合には、ユーザは、ｆｔｐサーバー２１６を介して、メモリ２０６からデータファイルを読み出しうる。この場合、このデータファイルはサーバー１０４に記憶されていない。

データファイルがサーバー１０４に記憶されていないので、ユーザは、次に、サーバー１０６を検索しうる。同様に、このデータファイルを検索する場合、ユーザはオープンデータベース接続（ＯＤＢＣ）アプリケーションモジュール２３２を、データベース２２４に記憶されたデータのインデックス情報を検索するためのインタフェースとして用いうる。データが、ローカルメモリ２２２に記憶されている場合には、ユーザは、ｆｔｐサーバー２３０を介して、メモリ２２２からデータファイルを読み出しうる。

サーバー１０４およびサーバー１０６は、さらなるモジュールを有しうる。これらのモジュールにより、ユーザは、ウェブブラウザコンピュータ２０２（例えば、ラム・レポートブラウザ（ＬａｍＲｅｐｏｒｔＢｒｏｗｓｅｒ）、エクイプメント・インフォメーション・レポータ（ＥｑｕｉｐｍｅｎｔＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＲｅｐｏｒｔｅｒ）など）において、データファイルを読み出すことができる。ある例では、ユーザはウェブブラウザコンピュータ２０２でデータファイルを読み出したいかもしれない。このユーザは、ウェブアプリケーション２１８を用いて、ウェブで作成されたデータベース２１２に記憶されうるインデックス付きデータにアクセスするかもしれない。ウェブで作成されたデータベース２１２に記憶されたデータは、データベース２０８から抽出され、インポートアプリケーション２１０によりウェブ形式に変換されえた。同様に、サーバー１０６は、ウェブアプリケーション２３４、ウェブで作成されたデータベース２２８およびインポートアプリケーション２２６を有するかもしれない。

データを記憶および読み出すための先行技術のアーキテクチャ構成には、いくつかの欠点がある。ある例では、ユーザがデータファイルの場所を把握する責任がある。ユーザがこれをできないのであれば、要求されたデータファイルの場所を見つけこれを読み出すために、ユーザはかなりの時間を使って、各サーバー上で大量のデータファイルの中で検索をせねばならないかもしれない。この方法でデータファイルの場所を見つけるのは、ユーザが広い複雑な環境で作業をしている場合には、膨大な時間がかかり、ストレスがたまりうる。

また、完全なデータベース管理システムを稼動させるコストは、非常に高価になりうる。まずは、高価なライセンス料を支払わねばならない。また、完全なデータベース管理システムが要件としうる処理タイプに合わせるために、十分な処理能力を有する高価なコンピュータハードウェアを準備せねばならない可能性がありうる。先行技術のアーキテクチャ構成では、各サーバーが、自身で完全なデータベース管理システムを稼動させねばならない。したがって、複数のサーバー上で、複数のデータベースを稼動させるのにかかるコストは、複数のサーバーを有する複雑なネットワークインフラストラクチャを持つ会社にとっては、迅速に膨らみうる。

本発明は、ある実施形態では、１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うための構成に関する。この構成は、複数のツールを有する。この複数のツールのうちの少なくとも１つのツールは、この１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有する。この構成は、複数の二次サーバーも有し、これは、この複数のツールからセンサーデータを収集するよう構成されている。この複数の二次サーバーのそれぞれが、データインデックス作成アプリケーションを実行するように構成されている。この構成は、さらに、１つの一次サーバーを有し、この一次サーバーは、上述の複数の二次サーバーと通信可能な形で連結されている。この一次サーバーは、データベース管理システムを実行するように構成されている。センサーデータは、一次サーバーに送られデータベース管理システムで用いられる前に、複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、インデックスを付けられる。センサーデータ項目に対するインデックス付けは、少なくとも、このセンサーデータ項目を、このセンサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けるよう構成されている。

別の実施形態では、本発明は、１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うための方法に関する。この方法は、複数のツールからセンサーデータを収集する工程を含む。ここで、この複数のツールのうちの少なくとも１つのツールは、１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有する。この方法は、センサーデータを複数の二次サーバーに送る工程も有する。この方法は、さらに、インデックス付きデータを得るために、複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、このセンサーデータにインデックスを付ける工程を含む。センサーデータ項目にインデックスを付ける工程は、少なくとも、このセンサーデータ項目を、このセンサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けるよう構成される。この方法は、さらに、このインデックス付データを一次サーバーに送る工程を含み、この一次サーバーは、この複数の二次サーバーと通信可能な形で連結され、この一次サーバーは、データベース管理システムを実行するように構成されている。

さらに別の実施形態では、本発明は、１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うためのコンピュータに実装された方法に関する。このコンピュータに実装された方法は、複数のツールからセンサーデータを収集する工程を含む。この複数のツールのうちの少なくとも１つのツールは、１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有する。このコンピュータに実装された方法は、このセンサーデータを複数の二次サーバーに送る工程も有する。このコンピュータに実装された方法は、さらに、このセンサーデータを、この複数の二次サーバーで記憶する工程を含む。このコンピュータに実装された方法は、さらにまた、複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、このセンサーデータにインデックスを付ける工程を含む。センサーデータ項目にインデックスを付ける工程は、少なくとも、このセンサーデータ項目を、このセンサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けるよう構成されている。このコンピュータに実装された方法は、さらに、このセンサーデータのインデックスを一次サーバーに送る工程を含み、この一次サーバーは、複数の二次サーバーと通信可能な形で連結され、この一次サーバーは、データベース管理システムを実行するように構成されている。

上述の概要は、本願中に開示された本発明の多くの実施形態のうちの１つにすぎず、これにより本発明の範囲を限定する意図はない。本発明の範囲は、本願の請求項中に示される。本発明のこれらのおよびこれ以外の特徴を、以下に本発明の詳細の説明中および以下の図と関連させてより詳細に説明する。

本発明を、添付の図面中の図中に、例として図示するが、限定として示されるのではない。図面中、類似の参照符号は、類似の部材を示す。

先行技術のアーキテクチャ構成を示す図であり、この中で、複数のツールが、複数のサーバーに接続されうる。サーバー中に存在しうる先行技術の様々なモジュールの例を示す図である。先行技術のインデックス作成の例を示す図である。本発明の１実施形態で、アーキテクチャネットワーク構成を示し、ここで、一次サーバーが複数の二次サーバーに接続されている図である。１実施形態で、各サーバー内に存在しうる様々なモジュールの例を示す図である。本発明の１実施形態で、一次サーバーのアーキテクチャネットワーク構成を担当するインデックスデータベースの例を示す図である。本発明の１実施形態で、一次サーバーのアーキテクチャネットワーク構成中でデータファイルを読み出す工程を示す単純なフローチャートである。

以下に、本発明を、添付の図面中に図示した種々の実施形態を参照して詳細に説明する。以下の説明では、本発明の完全な理解を促すために、多くの特定の詳細に関して説明する。しかしながら、当業者には、これらの特定の詳細の一部分または全てを用いなくても、本発明が実施可能であることが明らかである。他の例では、少なくとも周知の処理工程、または構造のいずれかを詳細に説明していないが、これは本発明を不必要に曖昧にしないためである。

以下に、方法および技術を含む種々の実施形態を説明する。本発明は、本発明の技術の実施形態を実施するためにコンピュータで読み取り可能な指示が記憶されている、コンピュータで読み取り可能な媒体を含む製造品も網羅しうる点に留意されたい。このコンピュータで読み取り可能な媒体は、例えば、半導体、磁気形態、光学形態またはこれ以外のコンピュータで読み取り可能なコードを記憶するためのコンピュータで読み取り可能な媒体の形態を含みうる。さらに、本発明は、本発明の実施形態を実行するための装置も網羅しうる。このような装置には、本発明の実施形態に関する作動を実行するための少なくとも専用、またはプログラム可能な回路のいずれかが含まれうる。このような装置の例には、少なくとも汎用コンピュータ、または適切にプログラムされた専用演算装置のいずれかが含まれ、また、コンピュータ又は演算装置と、本発明の実施形態に関する様々な作動に適応した専用又はプログラム可能な回路との組み合わせを含みうる。

本発明のある観点によれば、発明者らは、ここで、複数のサーバー上にありうる複数のデータファイルを管理するためには、複数のデータベース管理システムが不要である点に気がついた。これに代えて、発明者らは、インデックスデータベースを修正し、かつネットワークインフラストラクチャを再構成することにより、より単純、より柔軟性があり、より強力なネットワーク構成を作り、これにより、検索過程を単純化し、ユーザのストレスを低減しかつ諸経費を引き下げることができることに気がついた。

本発明の実施形態によれば、ネットワークインフラストラクチャが一次サーバーおよび複数の二次サーバーを含む一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成が提供される。本発明の実施形態では、複数のサーバーでデータファイルを記憶し、データファイルにインデックスを付けた後に、インデックス付データを一次サーバーに設けられたインデックスデータベースに保存するという点が含まれる。本発明の実施形態では、１つのユーザインタフェースで１つまたは複数の検索基準を入力することにより、データファイルを読み出す方法を提供する。

本発明の１実施形態では、一次サーバーは、データベース管理システム（例えば、マイクロソフトＳＱＬサーバー（ＭｉｃｒｏｓｏｆｔＳＱＬＳｅｒｖｅｒ）、オラクル（Ｏｒａｃ１ｅ）など）を含みえ、これらは、複数のサーバー中の複数のデータファイルのインデックス付データを管理するように構成されている。一次サーバーは、複数の二次サーバーに接続されうる。

本発明の１実施形態では、一次サーバーおよび二次サーバーは、複数のツールから送られうる複数のデータファイルを記憶するためのメモリを有する。ある実施形態では、この複数のツールと複数とのサーバーの間の関係は、一次サーバーにおかれうる主たるインデックス作成アプリケーションにより構成かつ管理されうる。この関係が一度築かれたら、この関係は、複数の従たるインデックス作成アプリケーションに送られる。この主従インデックス構成により、複数のツールの複数のサーバーに対する構成が、ネットワークインフラストラクチャ中の種々の異なるサーバー間で分散されるのではなく、１つのサーバーに統合させることができる。その結果、サーバーまたはツールを付け加えるまたは取り除くプロセスは、一箇所で管理しうる。

本発明の１実施形態では、複数のツールで収集されたデータファイルが、複数のサーバーへ送られうる。データファイルがあるサーバーに記憶されると、ローカルインデックス作成アプリケーションが、そのデータファイル内でそのデータにインデックスを付けうる。先行技術とは異なり、インデックス付データは、ローカルデータベース管理システム中には記憶されない。その代わりに、インデックス付データは、一次サーバーにある中央集中データベース管理システムに送られる。

データベース管理システムを各サーバーではなく、一次サーバー上に持つことにより、コスト削減が実現可能となる。ある例では、会社は、各サーバーでデータベースをホスティングするためにライセンスを購入するには及ばない。また、二次サーバーはプロセッサ負荷の高いデータベース管理システムをホスティングしないので、大概のサーバーは軽量プロセッサのみを必要としうる。

本発明の１実施形態では、ウェブサーバーが一次サーバーアーキテクチャ構成内にホスティングされうる。これにより、さらなるコスト削減も実現可能になりうるが、これは、インデックス付データへのウェブアクセスが、図２の先行技術に示されたように複数のサーバーにわたって分散されるのではなく、いまや中央に集中させた形で行われうるからである。

本発明の１実施形態では、少なくともデータファイルを見つけ、または読み出すいずれかの方法が提供されている。例えば、ユーザが５ヶ月前にツール１により処理した基板に関するデータファイルを読み出したいという状況を考慮されたい。先行技術では、所望のデータファイルの場所を見つける作業は、時間がかかる骨の折れる作業であり、ユーザは、データファイルの場所を見つけるために、複数のサーバーを検索する時間をかなり費やしうる。先行技術とは異なり、本発明の一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成では、ユーザは単純に一式の検索基準を入力しうる。これらの検索基準を用いて、一次サーバーは、インデックスを付けられたデータベースにアクセスして、データファイルの場所（例えば、ファイルデータパスおよびサーバー名）を見つけうる。データファイルの場所が特定されると、ユーザはデータファイルを容易に読み出しうる。ある実施形態では、データファイルを検索し、これを読み出すプロセスを自動化しうる。

一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成を設けることにより、ユーザはもはや、所望のデータファイルの場所を見つけるために、ネットワークインフラストラクチャを覚えておく、または理解する必要がない。したがって、今や、複数のツールと複数のサーバーとの関係は、ユーザには見えないものとなりうる。

本発明の特徴および利点は、図と以下の説明を参照すると、より理解されうる。

図４は、本発明のアーキテクチャネットワーク構成の１実施形態を示す、ここで、一次サーバーは複数の二次サーバーに接続されている。このアーキテクチャネットワーク構成では、一次サーバー４０４は、複数の二次サーバー（４０６・４０８）に接続されている。ある実施形態では、一次サーバー４０４と、複数の二次サーバー（４０６・４０８）のうちの１つまたは複数とが、同じ場所に位置づけられている。ある実施形態では、一次サーバー４０４は、複数の二次サーバー（４０６・４０８）から地理的に遠隔位置にある。ある例では、一次サーバー４０４は製造会社の本社にあり、複数の二次サーバー（４０６・４０８）は製造工場に位置づけられている。ある実施形態では、一次サーバー４０４および複数の二次サーバー（４０６・４０８）は、インターネットを介して互いに相互作用をする。

先行技術と同様、各サーバー（一次サーバーおよび二次サーバー）は、ツール（例えば、ツール１、ツール２、ツール３、ツール４、ツール５、ツール６、ツール７、ツール８、ツール９など）によって収集されたデータファイルを記憶するための記憶領域を有しうる。ある例では、ツールクラスター４１０（ツール１、ツール２およびツール３）により収集されたデータ（例えば、センサーデータ）は、サーバー４０６に保存され、ツールクラスター４１２（ツール４、ツール５およびツール６）により収集されたデータは、一次サーバー４０４に保存され、ツールクラスター４１４（ツール７、ツール８およびツール９）により収集されたデータは、サーバー４０８に保存されうる。ツールクラスター内の各ツールが、同じサーバーにデータを保存するには及ばない点に留意されたい。

しかし、先行技術とは異なり、完全なデータベース管理システムを全サーバー上でホスティングすることはない。これに代わって、ある実施形態では、完全なデータベース管理システムは、一次サーバー４０４によりホスティングされる。例えば、ユーザがコンピュータ４０２で２００６年８月９日にツール１により処理された基板０４に関するデータファイルを入手したいという状況を考慮されたい。データファイルの場所が見つかるまで各サーバーを検索するのではなく、ユーザは、まずコンピュータ４０２で、一次サーバー４０４に接続して、そのデータファイルを検索する。一次サーバー４０４は、そのインデックスデータベースを検索して、このデータファイルのファイルパスを見つけうる。このファイルパスにより、ユーザは迅速に所望のデータファイルの場所を見つけうる。

一次サーバー４０４および二次サーバー４０６・４０８は、複数のサーバーが相互作用し、データを記憶し、かつデータを読み出すことができるようにする様々なモジュールを有する。図５は、ある実施形態で、各サーバー内に存在しうる様々なモジュールの例を示す図である。

各ツールをサーバーに接続するために、各サーバーは各ツールから情報を受け取るように構成されていなければならない可能性がある。各ツールを１つまたは複数のサーバーに対してそれぞれ設定するプロセスは、時間がかかり面倒なプロセスでありうる。このプロセスを単純化するために、ある実施形態では主従インデックス作成構成を実装しうる。主従インデックス作成構成では、一次サーバー４０４のインデックス作成アプリケーション５２６が、主たるモードに設定され、これ以外のインデックス作成アプリケーション５１０・５２８が従たるモードに設定される。換言すれば、主たるインデックス作成アプリケーション５２６が、各ツールがいかに各サーバーに関連付けられるかを設定しうる。一度この設定が主たるインデックス作成アプリケーション５２６で行われれば、ツールとサーバーとの関係が、従たるインデックス作成アプリケーション５１０・５２８に送られる。

上述したように、各サーバー（一次サーバー４０４および二次サーバー４０６・４０８）は、ツールから送られるデータファイルを記憶するために用いられうる記憶場所（メモリ５５０、メモリ５５２およびメモリ５５４）を有しうる。データファイルを受け取ると、インデックス作成アプリケーション（例えば、ラム・オートアーカイバー（ＬａｍＡｕｔｏＡｒｃｈｉｖｅｒ））は、そのデータファイルにインデックスをつける。ある例では、基板処理中にツールクラスター４１０のツール１により収集されたデータは、サーバー４０６に送られ、メモリ５５０（例えば、ディスク記憶装置など）に記憶されうる。その後、インデックス作成アプリケーション５１０が、このデータファイルにインデックスを付ける。一度データファイルにインデックスが付けられると、インデックス付データは、一次サーバー４０４に位置するインデックスデータベース５２２に送られる。

先行技術とは異なり、インデックスデータベース５２２などの完全なデータベース管理システムは、各サーバーによりホスティングされる必要はない。これに代えて、データファイルは、ローカルなインデックス作成アプリケーションによりインデックスを付けられ、その情報が１つの中央集中データベースに送信されうる。ある実施形態では、一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成で、１つの完全なデータベース管理システムが複数のサーバーおよびツールを支援することができる。したがって、完全なデータベース管理システムをホスティングするコストを削減できるが、これは、会社が、複数の完全なデータベース管理システムをサポートする必要がないからである。さらに、一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成のほとんどのサーバーが完全なデータベース管理システムをホスティングしていないので、ハードウェアのコストも著しく低減することができる。なぜならば、ほとんどのサーバーは、強力な処理能力を有する高価なコンピュータハードウェアとして構成されていなくてもよいからである。

図６は、本発明の１実施形態で、一次サーバーのアーキテクチャネットワーク構成用のインデックスデータベースの例を示す図である。

サーバー４０６およびサーバー４０８に記憶されうるデータファイルは、複数のデータファイル、例えば、データファイル６０２ａ・６０２ｂ・６０２ｃ・６０４ａ・６０４ｂ・６０４ｃなどを含みうる／ＬａｍＤａｔａ／Ｔｏｏ１Ａ／ｄａｔａ／＜ｍｏｄｕ１ｅ＞／＜ｔｙｐｅ＞／＜ｄａｔｅ＞／ｓｕｂｓｔｒａｔｅ１のファイルパス６０８は、例えば、データベース５２２中でインデックスとして記憶されうる。この例では、ｍｏｄｕ１ｅ（モジュール）は、ツールモジュール（例えば、処理モジュール、転写モジュールなど）を示しうる。また、ｔｙｐｅ（タイプ）は、例えば、データロットファイル、ロット履歴ファイルおよび光スペクトルファイルなどを含みうる。ファイルｄ６０８に加えて、インデックスデータベースはサーバー６０６の列も含みうるこの列の目的は、どのサーバーがこのデータファイルを記憶しうるのかを特定することである。

先行技術と同様、各データファイルに記憶されたデータも、インデックスを付けられ、インデックスデータベース５２２中に記憶されうる。ある例では、インデックスデータベース５２２は、以下にインデックスを付けうる。すなわち、モジュール６１０（例えば、処理モジュール、転写モジュールなど）、ツール６１２（ツールの名前および／またはツールの識別番号）、レシピ６１４（基板処理に用いられるレシピ）、ロットＩＤ６１６（処理された基板のロットの識別番号）、開始時間６１８（処理開始時間）および基板ＩＤ６２０（基板用の識別番号）などにインデックスを付けうる。

図５に戻って、ある実施形態では、一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成は、データファイルを読み出すプロセスを単純化しうる。例えば、コンピュータ４０２でユーザがある特定のデータファイルを読み出したいという状況を考慮されたい。先行技術では、ユーザは、正確なデータファイルの場所を知っていなければならない、あるいは、ユーザは、データファイルの場所が見つかるまで各サーバーを検索せねばならないこともありうる。先行技術とは異なり、データファイルを読み出す作業は、１つまたは複数の検索基準（例えば、データファイルの名前、ロットＩＤ、基板ＩＤ、処理時間、ツール、モジュールなど）を与えるという単純な作業である。ある例では、ユーザは、ＯＤＢＣアプリケーションモジュール５１４などの統一アクセスユーザインタフェースを用いて、インデックスデータベース５２２中で、データファイルの場所としてのファイルパスおよびサーバー名を検索しうる。その後、このファイルパスおよびサーバー名を用いて、ユーザは、ｆｔｐサーバー（５０８・５１６・５３０）を介して所望のデータファイルを読み出しうる。ある実施形態では、ユーザは、一度ファイルパスおよびサーバー名を与えれば、データファイルを自動的に読み出しうるソフトウェアを採用しうる。

ある実施形態では、一次サーバー４０４は、ウェブベースアプリケーション（例えば、エクイプメント・インフォメーション・レポート（ＥｑｕｉｐｍｅｎｔＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＲｅｐｏｒｔ）、ラム・レポートブラウザ（ＬａｍＲｅｐｏｒｔＢｒｏｗｓｅｒ）など））からのデータ要求を容易にすることができるモジュールを有しうる。例えば、ユーザが、コンピュータ５０６で、インターネットを介してあるデータファイルを読み出したいという状況を考慮されたい。ユーザは、ウェブインデックスデータベース５２０を検索するためのインタフェースとして、ウェブアプリケーションモジュール５１８を採用しうる。ウェブインデックスデータベース５２０は、データがインポートアプリケーションモジュール５２４により、ウェブベースアプリケーションにより取り扱い可能な形式に変換されたというという点を除けば、インデックスデータベース５２２と類似している。

インデックスデータベース５２２と同様、ウェブインデックスデータベース５２０は、一次サーバー４０４によりホスティングされている。したがって、さらなるコスト削減が実現可能になりうるが、これは、インデックス付データへのウェブアクセスは、この場合、図２の先行技術で示されるように複数のサーバーに渡って分散されるのではなく、中央に集中させることができるからである。換言すれば、複数のサーバー構成はウェブインデックスデータベースを、各サーバー上でホスティングする必要がなく、その結果、ライセンス料およびハードウェアコストの点で、大幅なコスト節約となる。

図７は、本発明の１実施形態で、一次サーバーのアーキテクチャネットワーク構成中でデータファイルを読み出す工程を示した単純なフローチャートである。図７は、図４および図５と関連付けて説明する。

第１工程７０２で、データファイルの要求が、クライアントアプリケーション（例えば、ラム・データエクスプローラ（ＬａｍＤａｔａＥｘｐ１ｏｒｅｒ）、ラム・ファブアクセス（ＬａｍＦａｂＡｃｃｅｓｓ）、ラム・レポートブラウザ（ＬａｍＲｅｐｏｒｔＢｒｏｗｓｅｒ）、エクイプメント・インフォメーション・レポータ（ＥｑｕｉｐｍｅｎｔＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＲｅｐｏｒｔｅｒ）など）を用いて、入力される。ある例では、ユーザは、コンピュータ４０２で、１つまたは複数の検索基準を入力する。

次の工程７０４で、コンピュータ４０２中のクライアントアプリケーションは、その検索基準を一次サーバー４０４に送りうる。ある例では、ＯＤＢＣアプリケーションモジュール５１４が、この検索基準を受け取るための一次サーバー４０４用のインタフェースとして作用しうる。

次の工程７０６では、一次サーバー４０４は、この検索基準を用いて、データファイルの場所を読み出すために、インデックスデータベース５２２を検索しうる。ある実施形態では、データファイルの場所とは、ファイルデータパスおよびサーバー名を含む。

次の工程７０８では、コンピュータ４０２でのクライアントアプリケーションは、このデータファイルの場所を用いて、ｆｔｐサーバーを介してサーバーから所望のデータファイルを読み出す。

本発明の実施形態から理解されうるように、一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成は、手作業の介入を少なくして、より安価でより柔軟な解決方法を提供する。

一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成を実装するコストは、先行技術での構成よりも大幅に低くなる。本発明の構成では、完全なデータベース管理システムは、一次サーバーのみにあればよい。その結果、複数のライセンス料が削減される。また、全てのサーバーが完全なデータベース管理システムをホスティングするわけではないので、強力な処理能力を有する重量サーバーに伴うコストとが、実質的に削減される。さらに、完全なデータベース管理システムの数を最小限にすることにより、一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成を管理するのに必要な人間の仕事が少なくなるので、コストをさらに引き下げることができる。

さらに、一次アーキテクチャ構成により、ウェブサーバーの実装を１台にしうる。したがって、ユーザは、中央位置でデータファイルのインターネット検索を行いうる。したがって、完全なデータベース管理システムに対して行われたのと同様のコスト削減が、この１台のウェブサーバー構成に関しても達成しうる。

一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成により、手作業の介入を最低限にすることができる。ある例では、ユーザは、データファイルの場所を見つけるために、もはやネットワークインフラストラクチャを理解することが不要になりうる。換言すれば、ユーザは、もはや、所望のデータファイルの場所を見つけるために、複数の異なるサーバーで、複数の手作業での検索を行う負担を負う必要がない。これに代えて、ユーザは、単に一次サーバーに１つまたは複数の検索基準を与えることにより、データファイルを読み出すことができる。

一次サーバーアーキテクチャネットワーク構成により、少なくともユーザ、またはインデックスデータベースのいずれかに対して、最小限の影響力を与えただけで、ネットワークインフラストラクチャに変更を与えうる。ある例では、新しいサーバーの追加には、この新しいサーバーを識別するための新しい識別番号の追加のみを必要としうる。ユーザは、新しいサーバーがアーキテクチャネットワーク構成に追加されたことを知るまたは理解する必要はない。

本発明を、いくつかの実施形態の観点から説明したが、本発明の範囲内に入る変更、置換および等価物が存在する。また、本願の発明の名称、概要および要約は便宜上、提供されたのであり、本願の請求項の範囲を解釈するために用いられるべきではない。さらに、本願中、「ｎ」個の品目１セットという表現は、このセット中に０以上の品目があることを意味する。本発明の方法および装置の実装には、多くの代替手段があることにも留意されたい。したがって、以下の添付の請求項は、本発明の真の精神と範囲内にあるこれらの変更、置換および等価物を含むものとして解釈されるべきことを意図している。

５０８，５１６，５３０ｆｔｐサーバー
５１４ＯＤＢＣアプリケーション
５１８ウェブアプリケーション
５２４インポートアプリケーション
５１０，５２６，５２８インデックス作成アプリケーション
５５０，５５２，５５４メモリ

Claims

１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うための構成であって、
前記構成は、複数のツールと、複数の二次サーバーと、一次サーバーとを有し、
前記複数のツールのうちの少なくとも１つのツールは、前記１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有し、
前記複数の二次サーバーは、前記複数のツールからセンサーデータを収集するよう構成され、前記複数の二次サーバーのそれぞれが、データインデックス作成アプリケーションを実行するように構成され
前記一次サーバーは、前記複数の二次サーバーと通信可能な形で連結され、前記一次サーバーは、データベース管理システムを実行するように構成され、
ここで、前記センサーデータは、前記一次サーバーに送られ前記データベース管理システムで用いられる前に、前記複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、インデックスを付けられ、
センサーデータ項目に対するインデックス付けは、少なくとも、前記センサーデータ項目を、前記センサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けるよう構成されている構成。
前記複数のインデックス作成アプリケーションは、主たるインデックス作成アプリケーションおよび複数の従たるインデックス作成アプリケーションを有し、前記一次サーバーは、前記主たるインデックス作成アプリケーションを有するように構成され、前記複数の二次サーバーは、前記複数の従たるインデックス作成アプリケーションを有するように構成され、前記主たるインデックス作成アプリケーションは、前記複数のツールと、前記一次サーバーおよび前記複数の二次サーバーのうちの少なくとも１つとの関係のセットを定義しかつ管理するように構成され、前記主たるインデックス作成アプリケーションは、前記複数の関係を前記複数の従たるインデックス作成アプリケーションに送るように構成されている請求項１に記載の構成。
前記ツールクラスターは、プラズマ処理クラスターツールである請求項１に記載の構成。
前記一次サーバーは、統合アクセスユーザインタフェースを有し、前記統合アクセスユーザインタフェースは、検索基準を受け取るように構成され、ここで、前記一次サーバーは、複数のデータファイルのうちの１つのデータファイルのファイルパスを特定するために、前記検索基準を用いて前記データベース管理システムを検索するよう構成され、前記データベース管理システムは、前記複数のデータファイルに関するインデックス付の複数のデータ項目を記憶するよう構成されている請求項１に記載の構成。
前記一次サーバーは、ウェブアクセスユーザインタフェースを有し、前記ウェブアクセスユーザインタフェースは、検索基準を受け取るように構成され、ここで、前記一次サーバーは、複数のデータファイルのうちの１つのデータファイルのファイルパスを特定するために、前記検索基準を用いて前記データベース管理システムを検索するよう構成され、前記データベース管理システムは、前記複数のデータファイルに関するインデックス付の複数のデータ項目を記憶するよう構成されている請求項１に記載の構成。
前記一次サーバーは、前記複数のツールから前記センサーデータを収集するよう構成され、前記一次サーバーは、前記センサーデータにインデックスを付けるために、インデックス作成アプリケーションを実行するように構成されている請求項１に記載の構成。
前記一次サーバーは前記複数の二次サーバーから地理的に遠隔位置にあり、前記一次サーバーは、インターネットを用いて、前記複数の二次サーバーと接続されている請求項１に記載の構成。
１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うための方法であって、前記方法は、
複数のツールからセンサーデータを収集する工程を含み、ここで、前記複数のツールのうちの少なくとも１つのツールは、前記１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有し、
前記センサーデータを複数の二次サーバーに送る工程を含み、
インデックス付きデータを得るために、前記複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、前記センサーデータにインデックスを付ける工程を含み、
ここで、センサーデータ項目にインデックスを付ける工程は、少なくとも、前記センサーデータ項目を、前記センサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けるよう構成され、
前記インデックス付データを一次サーバーに送る工程を含み、前記一次サーバーは、前記複数の二次サーバーと通信可能な形で連結され、前記一次サーバーは、データベース管理システムを実行するように構成されている方法。
前記複数のインデックス作成アプリケーションは、主たるインデックス作成アプリケーションおよび複数の従たるインデックス作成アプリケーションを有し、前記一次サーバーは、前記主たるインデックス作成アプリケーションを有するように構成され、前記複数の二次サーバーは、前記複数の従たるインデックス作成アプリケーションを有するように構成され、前記主たるインデックス作成アプリケーションは、前記複数のツールと、前記一次サーバーおよび前記複数の二次サーバーのうちの少なくとも１つとの関係のセットを定義しかつ管理するように構成され、前記主たるインデックス作成アプリケーションは、前記複数の関係を前記複数の従たるインデックス作成アプリケーションに送るように構成されている請求項８に記載の方法。
前記ツールクラスターは、プラズマ処理クラスターツールである請求項８に記載の方法。
前記一次サーバーは、統合アクセスユーザインタフェースを有し、前記統合アクセスユーザインタフェースは、検索基準を受け取るように構成され、ここで、前記一次サーバーは、複数のデータファイルのうちの１つのデータファイルのファイルパスを特定するために、前記検索基準を用いて前記データベース管理システムを検索するよう構成され、前記データベース管理システムは、前記複数のデータファイルに関するインデックス付の複数のデータ項目を記憶するよう構成されている請求項８に記載の方法。
前記一次サーバーは、ウェブアクセスユーザインタフェースを有し、前記ウェブアクセスユーザインタフェースは、検索基準を受け取るように構成され、ここで、前記一次サーバーは、複数のデータファイルのうちの１つのデータファイルのファイルパスを特定するために、前記検索基準を用いて前記データベース管理システムを検索するよう構成され、前記データベース管理システムは、前記複数のデータファイルに関するインデックス付の複数のデータ項目を記憶するよう構成されている請求項８に記載の方法。
前記一次サーバーは、前記複数のツールから前記センサーデータを収集するよう構成され、前記一次サーバーは、前記センサーデータにインデックスを付けるために、インデックス作成アプリケーションを実行するように構成されている請求項８に記載の方法。
前記一次サーバーは前記複数の二次サーバーから地理的に遠隔位置にあり、前記一次サーバーは、インターネットを用いて、前記複数の二次サーバーと接続されている請求項８に記載の方法。
１セットの基板を処理するために構成されたツールクラスターからのデータの、収集および分析のうちの少なくとも１つを行うためのコンピュータに実装された方法であって、前記方法は、
複数のツールからセンサーデータを収集する工程を含み、ここで、前記複数のツールのうちの少なくとも１つのツールは、前記１セットの基板のうちの少なくとも１つを処理するためのチャンバーを有し、
前記センサーデータを複数の二次サーバーに送る工程を含み、
前記センサーデータを、前記複数の二次サーバーで記憶する工程を含み、
前記複数の二次サーバー上の複数のインデックス作成アプリケーションを用いて、前記センサーデータにインデックスを付ける工程を含み、
ここで、センサーデータ項目にインデックスを付ける工程は、少なくとも、前記センサーデータ項目を、前記センサーデータ項目が記憶されているサーバーの識別と関連付けるよう構成され、
前記センサーデータの前記インデックスを一次サーバーに送る工程を含み、前記一次サーバーは、前記複数の二次サーバーと通信可能な形で連結され、前記一次サーバーは、データベース管理システムを実行するように構成されているコンピュータに実装された方法。
前記複数のインデックス作成アプリケーションは、主たるインデックス作成アプリケーションおよび複数の従たるインデックス作成アプリケーションを有し、前記一次サーバーは、前記主たるインデックス作成アプリケーションを有するように構成され、前記複数の二次サーバーは、前記複数の従たるインデックス作成アプリケーションを有するように構成され、前記主たるインデックス作成アプリケーションは、前記複数のツールと、前記一次サーバーおよび前記複数の二次サーバーのうちの少なくとも１つとの関係のセットを定義しかつ管理するように構成され、前記主たるインデックス作成アプリケーションは、前記複数の関係を前記複数の従たるインデックス作成アプリケーションに送るように構成されている請求項１５に記載のコンピュータに実装された方法。
前記ツールクラスターは、プラズマ処理クラスターツールである請求項１５に記載のコンピュータに実装された方法。
前記一次サーバーは、統合アクセスユーザインタフェースを有し、前記統合アクセスユーザインタフェースは、検索基準を受け取るように構成され、ここで、前記一次サーバーは、複数のデータファイルのうちの１つのデータファイルのファイルパスを特定するために、前記検索基準を用いて前記データベース管理システムを検索するよう構成され、前記データベース管理システムは、前記複数のデータファイルに関するインデックス付の複数のデータ項目を記憶するよう構成されている請求項１５に記載のコンピュータに実装された方法。
前記一次サーバーは、ウェブアクセスユーザインタフェースを有し、前記ウェブアクセスユーザインタフェースは、検索基準を受け取るように構成され、ここで、前記一次サーバーは、複数のデータファイルのうちの１つのデータファイルのファイルパスを特定するために、前記検索基準を用いて前記データベース管理システムを検索するよう構成され、前記データベース管理システムは、前記複数のデータファイルに関するインデックス付の複数のデータ項目を記憶するよう構成されている請求項１５に記載のコンピュータに実装された方法。
前記一次サーバーは、前記複数のツールから前記センサーデータを収集するよう構成され、前記一次サーバーは、前記センサーデータにインデックスを付けるために、インデックス作成アプリケーションを実行するように構成されている請求項１５に記載のコンピュータに実装された方法。
前記一次サーバーは前記複数の二次サーバーから地理的に遠隔位置にあり、前記一次サーバーは、インターネットを用いて、前記複数の二次サーバーと接続されている請求項１５に記載のコンピュータに実装された方法。