JP2010283328A - 光起電装置およびそれを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光起電装置は、第1半導体層と、第1半導体層上に配置される第2半導体層と、第1半導体層に接続している第1電極層と、第2半導体層に接続し、第2半導体層を露出させるために開かれた領域を有する第2電極層と、開かれた領域に配置されて、第2電極層および第2半導体層に接続している低反射導電膜とから成り、低反射導電膜の抵抗率は第2半導体層の抵抗率以下である。従って、本発明によって提供される光起電装置は有効に低下した浮遊直列抵抗作用を呈し、それによって光起電力変換効率を向上させる。
【選択図】図3
Description
図2A〜2Cは本発明の実施形態1の光起電装置を製造するプロセスを示す斜視図である。最初に、図2Aに示すように、第2半導体層22は第1半導体層21上に形成される。本実施形態では、第1半導体層21はp型シリコン層であり、そして第2半導体層22はn型シリコン層である。
本発明の光起電装置は、本実施形態の低反射導電膜25がAg膜であることを除いて、実施形態1のそれと同じである。
本発明の光起電装置は、本実施形態の低反射導電膜25がAl膜であることを除いて、実施形態1のそれと同じである。
本発明の光起電装置は、本実施形態の低反射導電膜25がITO膜であることを除いて、実施形態1のそれと同じである。
本発明の光起電装置は、図3に示すように、本実施形態の光起電装置が低反射導電膜25上に形成される反射防止層26をさらに備えることを除いて、実施形態1のそれと同じである。それ故に、入射光の反射を減らして、光抽出の量を増大することができる。
本発明の光起電装置は、図4に示すように、本実施形態の低反射導電膜25が第2電極層24の表面にさらに形成されることを除いて、実施形態5のそれと同じである。
本比較例の光起電装置は、本実施形態の光起電装置の開かれた領域241に形成される低反射導電膜25が無いことを除いて、実施形態1のそれと同じである。
本比較例の光起電装置は図1Cに示す光起電装置と同じ構成を有する。本比較例では、p型半導体層11、n型半導体層12、第1電極層13、および第2電極層14の材料および状態は実施形態1に示すそれと同じである。加えて、本比較例の透明導電体16はITO層である。
電流と電圧の関係、電圧と電力の関係、ならびに実施形態1および比較例1によって調製される光起電装置の光起電力変換特性に関する他のデータは本実験例で測定される。試験結果を図5と6、および次の表1に示す。
電圧と短絡電流の関係、ならびに実施形態4および比較例2によって調製される光起電装置の光起電力変換特性に関する他のデータは本実験例で測定される。試験結果を図7および次の表2に示す。
12 n型半導体層
13 第1電極層
14 第2電極層
15 反射防止層
16 透明導電体
21 第1半導体層
22 第2半導体層
23 第1電極層
24 第2電極層
25 低反射導電膜
26 反射防止層
141 開かれた領域
241 開かれた領域
Claims (28)
- 第1半導体層と、
前記第1半導体層上に配置される第2半導体層と、
前記第1半導体層に接続している第1電極層と、
前記第2半導体層に接続し、前記第2半導体層を露出させるために開かれた領域を有する第2電極層と、
前記開かれた領域に配置されて、前記第2電極層および前記第2半導体層に接続している低反射導電膜であって、該低反射導電膜の抵抗率が前記第2半導体層の抵抗率以下である低反射導電膜と、
を備える光起電装置。 - 前記低反射導電膜上に配置される反射防止層をさらに備える請求項1に記載の光起電装置。
- 前記低反射導電膜が前記第2電極層の表面に配置される請求項1に記載の光起電装置。
- 前記第1半導体層がp型半導体層であり、かつ前記第2半導体層がn型半導体層である請求項1に記載の光起電装置。
- 前記第1半導体層がn型半導体層であり、かつ前記第2半導体層がp型半導体層である請求項1に記載の光起電装置。
- 前記低反射導電膜が、金属膜、金属酸化物膜、または導電性ナノ材料膜である請求項1に記載の光起電装置。
- 前記金属膜の材料が前記第2電極層の材料と同じである請求項6に記載の光起電装置。
- 前記金属膜がAl膜またはAg膜である請求項6に記載の光起電装置。
- 前記金属酸化物膜がITO膜である請求項6に記載の光起電装置。
- 前記導電性ナノ材料膜がカーボン・ナノチューブ膜である請求項6に記載の光起電装置。
- 前記第2電極層が互いに入り込んだ形をしている請求項1に記載の光起電装置。
- 前記低反射導電膜の厚さが10Å〜10μmの範囲にある請求項1に記載の光起電装置。
- 前記低反射導電膜の抵抗率が10-3Ωcm〜10-8Ωcmの範囲にある請求項1に記載の光起電装置。
- 前記低反射導電膜の反射率が10%未満である請求項1に記載の光起電装置。
- 第1半導体層上に第2半導体層を形成する工程と、
前記第1半導体層上に第1電極層を形成する工程と、
前記第2半導体層上に第2電極層を形成する工程であって、前記第2電極層は前記第2半導体層を露出させるために開かれた領域を有する工程と、
前記開かれた領域に低反射導電膜を形成して、前記低反射導電膜を前記第2電極層および前記第2半導体層に接続する工程であって、前記低反射導電膜の抵抗率が前記第2半導体層の抵抗率以下である工程と、
を含む光起電装置を製造する方法。 - 前記低反射導電膜上に反射防止層を形成する工程をさらに含む請求項15に記載の方法。
- 前記低反射導電膜が前記第2電極層の表面にさらに形成される請求項15に記載の方法。
- 前記第1半導体層がp型半導体層であり、かつ前記第2半導体層がn型半導体層である請求項15に記載の方法。
- 前記第1半導体層がn型半導体層であり、かつ前記第2半導体層がp型半導体層である請求項15に記載の方法。
- 前記低反射導電膜が、金属膜、金属酸化物膜、または導電性ナノ材料膜である請求項15に記載の方法。
- 前記金属膜の材料が前記第2電極層の材料と同じである請求項20に記載の方法。
- 前記金属膜がAl膜またはAg膜である請求項20に記載の方法。
- 前記金属酸化物膜がITO膜である請求項20に記載の方法。
- 前記導電性ナノ材料膜がカーボン・ナノチューブ膜である請求項20に記載の方法。
- 前記第2電極層が互いに入り込んだ形をしている請求項15に記載の方法。
- 前記低反射導電膜の厚さが10Å〜10μmの範囲にある請求項15に記載の方法。
- 前記低反射導電膜の抵抗率が10-3Ωcm〜10-8Ωcmの範囲にある請求項15に記載の方法。
- 前記低反射導電膜の反射率が10%未満である請求項15に記載の方法。
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