JP2010281765A - 渦電流探傷方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多くのコイルを備えたプローブ構成とすることにより一度のプローブ走査で広い面の探傷を行えるが、その反面一度に得られる情報が多く、どの信号を用いて欠陥の長さを判定測定するのがよいかが問題となる。特に、欠陥がプローブ進行方向に対して斜め欠陥である場合には多くの情報が収集されるため、判定には困難が伴う。
【解決手段】励磁コイルと検出コイルを搭載するプローブを試験体上で走査して複数の検出コイルからの渦電流変化の信号を検知し、複数の検出コイル信号の中から欠陥に近づくときに信号変化したひとつの信号を選択し、複数の検出コイル信号の中から欠陥から離れるときに信号変化したひとつの信号を選択し、選択した夫々の信号から変化開始点位置と、変化終了点位置を特定し、
変化開始点位置と変化点終了位置の差分として試験体の欠陥の長さを決定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、渦電流探傷方法により試験体に付与された欠陥の長さを測定する渦電流探傷方法および装置に関する。

渦電流探傷方法は、試験体表面を渦電流プローブで走査しながら励磁コイルに交流電圧を印加して、導電体である試験体の表層部に渦電流を発生させ、欠陥がある部分での渦電流の乱れを検出コイルで検知することにより、欠陥の有無を判定する非破壊検査方法である。

渦電流プローブの種類は、コイルの形式や励磁方法の違いにより多数存在する。このうち、相互誘導形標準比較方式の上置式プローブは、渦電流プローブが浮いた時に強い信号が出力されるため、実機検査における密着状態の確認に適しているだけではなく、ある程度の長さを持った欠陥であれば、欠陥開口面の端部で強い信号ピークが得られるため、欠陥長さサイジングがしやすいというメリットがある。さらにコイルを任意の方向へ並べてマルチ化することにより、一度の探傷で、各検出モードが有する複数の検出コイルの信号情報が得られる。この形式による公知の探傷技術を紹介したものに特許文献１がある。

また自己誘導型標準比較方式と呼ばれるものもあり、この一例が特許文献２に紹介されている。

特開2009-19909号公報 特開平9-178710号公報

特許文献１に開示されているように、コイルを複数備えて探傷を行うことは、広い面積を一度の走査で検査できるので有効である。試験体の母材部や溶接部を検査する場合、欠陥の進展方向が渦電流プローブに対して平行の場合、欠陥端部の信号特徴点を示す検出コイルは概ね１つに限定されるため、欠陥長さ判定方法により欠陥長さを容易に評価できる。また、欠陥の進展方向が渦電流プローブに対して直交の場合、平面表示上で欠陥端部の信号特徴点が同一ライン上に載るため、欠陥長さ判定方法により欠陥長さを容易に算出できる。

しかし、渦電流プローブの進行方向に対して傾きを持つような欠陥の場合、欠陥端部に起因して発生する信号は複数のコイルの信号波形に跨り、かつ欠陥の傾き具合によっては、どの検出器で検出信号のピークが得られるか分からないため、各検出器における複数の信号波形を見比べながら、詳細に欠陥端部の特徴点を抽出する必要がある。

そこで、本発明の渦電流探傷方法においては、励磁コイルにより試験体に渦電流を生じせしめ、渦電流の変化を複数の検出コイルで検知して試験体の欠陥の長さを判定する渦電流探傷方法において、
励磁コイルと検出コイルを搭載するプローブを試験体上で走査して複数の検出コイルからの渦電流変化の信号を検知し、
複数の検出コイル信号の中から欠陥に近づくときに信号変化したひとつの信号を選択し、
複数の検出コイル信号の中から欠陥から離れるときに信号変化したひとつの信号を選択し、
選択した夫々の信号から変化開始点位置と、変化終了点位置を特定し、
開始点位置と変化終了点位置の差分として試験体に付与された欠陥の長さを決定する。

また本発明の渦電流探傷装置においては、励磁コイルと複数の検出コイルを複数組搭載したプローブを試験体上で走査し、励磁コイルにより試験体に渦電流を生じせしめ、渦電流の変化を複数の検出コイルで検知する探傷メカ装置と、複数の検出コイルからの信号と試験体上の探傷位置信号を得る渦電流探傷器と、渦電流探傷器からの信号を用いて演算処理を実行する計算機と、計算機からの出力を表示する表示部とから構成される渦電流探傷装置において、
表示部には、欠陥に近づくときの複数の検出コイル信号と、欠陥から離れるときの複数の検出コイル信号が、夫々横軸に試験体上の探傷位置信号をとり、縦軸に振幅値として重ね表示することとした。

上記本発明の方法および装置によれば広い範囲を一度のプローブ走査で探傷することができるとともに、欠陥の長さを簡便に判定することができる。

本発明による渦電流探傷方法の処理フローを示す図 要素プローブの一例を示す図 マルチプローブの一例を示す図 通常使用される二軸走査の探傷装置の平面図 通常使用される二軸走査の探傷装置の側面図 通常使用される二軸走査の探傷装置のプローブ取り付けを示す図 二軸走査の探傷装置からの信号を処理する処理装置の一例を示す図 平板試験体での探傷方法を示す図 信号強度の平面図 信号波形を説明するための図 平板試験体での探傷結果を示す図 通常行われている渦電流探傷方法の処理フローを示す図 プローブに対して斜め方向の欠陥を探傷するときに応答する検出コイルの関係を示す図 探傷時のチャンネル信号波形を表示部に重ね合わせ表示した図 選択した２つの波形を表示部に表示した図

以下本発明について詳細に説明する。

まず図２に、本発明に適用可能なプローブの一例として、相互誘導形標準比較方式の上置式プローブの概要を示す。このプローブは先に挙げた特許文献1の図2に紹介されたと同じものである。この図に示すように、図２(b)のマルチプローブ１は、図２(a)の要素プローブ２をプローブ長さ方向に複数（２a、２b、２c）並べたものである。要素プローブ２は、図１（a）に示すように１つの励磁コイル８と３つの検出コイル９ａ、９ｂ、９ｃから構成されるので、要素プローブのみで3組の検出信号を得ることになる。まして、マルチプローブ１の場合には更に要素プローブの積載数を乗じた検知信号を取り扱い、信号処理を行うことになる。

この要素プローブは、励磁コイル８と検出コイル９aが配置された方向をd１、励磁コイル８と検出コイル９ｂが配置された方向をd２、励磁コイル８と検出コイル９ｃが配置された方向をd３としたとき、方向d１に対して交鎖する方向に検出コイル９b、９cを配置した構成ということができる。

図１（ｂ）のマルチプローブ１は、図１（a）の要素プローブ２を複数組d１方向に配置したものであり、図の例では３つの要素プローブ２ａ、２b、２ｃから構成される。マルチプローブ１は、アレイ化した検出コイル８の数に相当するチャンネル数を有しており、スイッチング制御により短時間でチャンネル切り替えが可能であるため、一度の探傷で広範囲の検査を実施することが可能である。

なお、要素プローブ２、マルチプローブ１ともに、励磁コイル８が発生する渦電流を、異なる位置に置かれた３つの検出コイル９a、９b、９cによって検出するため、検出コイル９の位置によって、３つの検出モードを持っており、各検出モードのデータは一度の探傷で取得することが可能である。

以上、本発明に適用可能なプローブとして相互誘導形標準比較方式の上置式プローブの例を示したが、本発明はこの方式に限定されるものではなく複数の検出信号を得てそのいずれかから欠陥を検出するものであれば適用可能である。

プローブは、通常２軸走査の探傷装置に取り付けて使用される。２軸走査の探傷装置としては、周知の装置を使用可能であるが、その一例を図３に示す。

図３は、マルチプローブ１を使った場合の２軸走査の渦電流探傷装置の一例を示している。同図（a）は探傷走査メカの平面図であり、同図（b）はその側面図である。同図（a）（b）に示すように、探傷走査メカの外形は、探傷メカフレーム１４a、１４b、１４c、１４dで構成され、フレーム１４a、１４bの間にレール１６が固定配置され、レール上に走行車１５が移動可能に設置される。マルチプローブ１を搭載する走行車１５は、走行レール１６、走行車輪１７、X軸駆動モータ１８を使ってＸ方向へ１軸走行する。

なお、探傷走査メカ自身は図示せぬY軸駆動モータにより、Y軸方向へも移動可能とされている。また走行レール１６は軸中心に回転し、Ｙ方向へ首振りが可能であり、これらのメカニックにより任意の探査位置をとりうる。

同図（ｃ）は、上記のようにして位置づけされたプローブが、被試験面に当接されて探傷を行う模様を示している。要素プローブ２あるいはマルチプローブ１(図の例ではマルチプローブ)は、走行車１５に取り付けられて被試験面に密着され、探傷を行う。

なお、マルチプローブ１は、例えばコンプレッサー等で供給されるエアーによって上部から押付けられ、被試験面に密着する。このとき励磁コイル８や検出コイル９は、エアーおよび弾性材２０により上部から押付けられるが、例えばスポンジのような緩衝材２１によって保護されるため、マルチプローブ１は試験体の表面上を密着した状態で探傷することができる。

図４は、図３の探傷走査メカ２２を用いて探傷信号を入力しデータ処理により探傷を行う一般的な処理装置構成を示している。装置はマルチプローブ１または要素プローブ２、位置エンコーダ１９を搭載した探傷メカ装置２２、及び渦電流探傷器１１、各コイルでの検出信号から信号振幅値や位相角度の算出、位置エンコーダの算出を行う演算部５、演算した信号や位置情報を保存するメモリ４を含む計算機３、この計算機３の入力部６、表示部７等で構成される。

次に、以上のようなよく知られた探傷装置や演算処理装置を用いて行う探傷について説明する。

まず、探傷は図５に示すように例えば平板試験体２３の上でプローブ１を欠陥１２、１３の方向に駆動しながら行う。ここで、欠陥１２は進行方向に対しては平行な欠陥であり、欠陥１３は進行方向に対して直交方向の欠陥である。

なおここでは、励磁コイル８と検出コイル９aの組み合わせによるプローブ長さ方向(前記図２（a）のd１方向)の励磁・検出方法をＶ検出モード、励磁コイル８と検出コイル９bの組み合わせによるプローブ幅方向(前記図２(a)のd２方向)の励磁・検出方法をH1検出モード、励磁コイル８と検出コイル９cの組み合わせによるプローブ幅方向(前記図2(a)のd３方向)の励磁・検出方法をH2検出モードと呼ぶことにする。

励磁コイル８と検出コイル９の位置関係は、励磁方向に対して、欠陥が直角に入る場合に最も渦電流が乱されてインピーダンス変化が大きくなるため、V検出モードはプローブに対して平行方向の欠陥１２の検出に適しており、前述のH１及びH２検出モードはプローブに対して直交方向の欠陥１３の検出に適している。

図６は図５において、H検出モードの検出コイル９ｂあるいは９ｃが欠陥１３を検知したときに得られる信号であり、（a）に信号強度の平面図、（ｂ）に信号波形を示している。（ｂ）の信号波形の横軸は、プローブが欠陥に近づき、欠陥に達し、その後通過するまでの間に得られる探傷位置をあらわしており、信号強度の平面図として現れる欠陥１３の左端部において信号振幅最大値２４ａ、信号振幅最小値２５ａ及び信号消失点２６ａを抽出し、欠陥１３の右端部において信号振幅最大値２４ｂ、信号振幅最小値２５ｂ及び信号消失点２６ｂを抽出する。なお、図６では一例としてH検出モードの検知コイル９ｂあるいは９ｃが欠陥１３を検知したときに得られる信号とした。

このように、プローブを移動しながら探傷を行うと、欠陥１３の左端部に近づいたところで信号に変化が現れ始め、その後プローブの移動に伴い２６aから２５aに向かって減衰し、２４aで最大となる。しばらく最大値近傍で推移するが、欠陥１３の右端部に近づいたところで２４ｂから２５ｂに向かって減衰し、２６ｂまで増加した後は信号に変化を生じなくなる。

図７は、前記平板試験体２３の探傷結果を示している。プローブに対して平行方向の欠陥１２であればＶ検出モード、プローブに対して直交方向の欠陥１３であればＨ１またはＨ２検出モードの信号波形に信号振幅最大値２４および信号振幅最小値２５が現れ、さらにそのピーク点は、概ね１つのチャンネルの信号波形に限定される。

次に、渦電流探傷における一般的な長さ測定方法の手順を説明する。図８は図３の二軸探傷装置を用い、図４の処理装置に取り込んだ探傷信号から欠陥長さを測定するときのよく知られた通常の処理手順を示すフローチャートを示している。以下、図６の信号が得られたときの処理について、長さ測定を行う一般的な手法について説明する。

長さ測定の手順として、まず各プローブを使って探傷した結果から、ステップ１０１において信号強度を示す平面表示を作成し、ステップ１０２において要素プローブ２であれば各１ライン走査、マルチプローブ１であれば各検出コイル９における信号波形を表示する。次に、ステップ１０３において複数作成表示された信号波形を比較して、ステップ１０４において欠陥開口面の端部に起因する信号特徴点を抽出する。この信号特徴点が、図６（ｂ）を用いて先ほど説明の信号振幅最大値２４、信号振幅最小値２５、信号消失点２６等である。

さらにそれらの情報からステップ１０５において各信号特徴点の位置データを抽出し、ステップ１０６a，１０７aにおいて、信号消失点の抽出ならびに信号消失長さの算出を行う。またステップ１０６ｂ，１０７ｂにおいて、信号振幅最大値、信号振幅最小値、−１２ｄＢドロップ点の抽出を行い、−１２ｄＢ指示長さの算出を行う。なお、位置データは図４の探傷装置の位置エンコーダ１９から得られる信号を用いる。

上記の長さ測定についてより詳細に説明すると、−１２ｄＢ指示長さであれば、図６の欠陥両端部それぞれにおいて、信号振幅最大値２４ａ（または２４ｂ）と信号振幅最小値２５ａ（または２５ｂ）の信号振幅差を１とした場合に、信号振幅最大値２４ａ（または２４ｂ）から３／４ダウンした点を−１２ｄＢドロップ点２７ａ(または２７ｂ)として、欠陥左端部と右端部の座標差から算出する（１０７）。信号消失長さも同様に、両者の信号消失点２６ａ、２６ｂの座標差から算出する。これらの信号評価手法は通常よく知られた手法を利用することができ、評価者は容易に信号ピーク点を抽出し、欠陥長さ測定が可能である。

以上の説明は、欠陥が平行あるいは直交する場合について述べたが、むしろ一般には欠陥は任意の方向にあり必ずしもプローブの走査方向(X、Y軸方向)に対して平行または直交に形成されたものばかりではない。

図９はプローブに対して斜め方向の欠陥１８を探傷するときに応答する検出コイルの関係を示しており、図１０はその探傷結果を示している。図５の探傷の場合には欠陥は平行あるいは直交していたため、マルチプローブ１を使用しても特徴信号を表すのはいずれか一つのプローブであったが、斜め欠陥の検出では複数の要素プローブが特徴信号を表す。このため、複数の要素プローブの信号を評価する必要があるため、各プローブあるいはその信号をチャンネルと呼ぶことにする。

図９は、マルチプローブ１が斜め欠陥１８を通過するときに、これに応答して信号を発生する検出コイル９を太く表記して示しており、V検出モードのチャンネルｃｈ１乃至ｃｈ６と、H検出モードのチャンネルｃｈ７乃至ｃｈ１８がこれに相当する。

図１０は、このときに各チャンネルから得られる信号波形を図４の計算機で処理し表示部７に表示した波形図であり、各波形図の横軸に位置エンコーダ１９で検知した位置信号を示し、縦軸に波形の振幅値を示している。特にここでは欠陥に応答した複数チャンネルの信号を重ね合わせて表記した点に特徴がある。

本発明によれば、斜め欠陥１８の端部１８aに起因する領域１に応答したチャンネルの信号として、図１０の左側にV検出モードの波形ｃｈ１、ｃｈ２、ｃｈ３と、H検出モードの波形ｃｈ７、ｃｈ８、ｃｈ９、ｃｈ１０、ｃｈ１１、ｃｈ１２が表示される。さらに斜め欠陥１８の端部１８ｂに起因する領域２に応答したチャンネルの信号として、図１０の右側にV検出モードの波形ｃｈ４、ｃｈ５、ｃｈ６と、H検出モードの波形ｃｈ１３、ｃｈ１４、ｃｈ１５、ｃｈ１６、ｃｈ１７、ｃｈ１８が表示される。

この図１０の波形図の例では、斜め欠陥１８の端部１８aに起因する領域１に応答したチャンネルとしては、H検出モードでの応答よりもV検出モードのほうが顕著に応答しており、かつV検出モードでの信号の中でも端部に最も近い位置に検出コイルのあったｃｈ１がいち早く応答していることがわかる。また、斜め欠陥１８の端部１８ｂに起因する領域に応答したチャンネルについてみても、H検出モードでの応答よりもV検出モードのほうが顕著に応答しており、かつV検出モードでの信号の中でも端部に最も近い位置に検出コイルのあったｃｈ６が最後に応答していることがわかる。

このようにすべての波形を重ね表示してみると、V検出モードを選択すべきか、H検出モードを選択すべきかが判明する。ちなみに、検出モードを選択するときの観点は、より顕著に信号変化をしている検出モードとすることであり、大きな信号波形であるほど精度よく位置が特定でき、かつ欠陥長さ測定に有効である。

また、欠陥を表す信号強度の平面表示も表示部７に表示しているが、信号強度の大きくなり始める位置（端部１８a）においては、いち早く信号変化を引き起こしたチャンネルｃｈ１が最も端部１８aに近いことからこの信号を端部１８aの位置検出に使用すればよいことがわかる。同じ理由で、信号強度がなくなり始める位置（端部１８ｂ）においては、最後に信号変化を引き起こしたチャンネルｃｈ６が最も端部１８ｂに近いことからこの信号を位置検出に使用すればよい。

図１１は、このようにして選択された２つの波形（ｃｈ１とｃｈ６からの波形）のみを表示部７に表示したものであり、ｃｈ１では横軸の位置変化に対して立ち上がり点の情報から欠陥端部１８aの位置を評価し、ｃｈ６では立下り部の情報から欠陥端部１８ｂの位置を評価する。この結果として１２ｄＢドロップ点の間の位置の差分を導出すれば、欠陥の長さを求めることができる。

図１は、以上のように表示された斜め欠陥の長さ測定手法を示すフロー図であり、その一部の考え方は前述の図８の考え方と同じである。

まず、ステップ２０１では各検出モード(H、V1、V2)における信号強度の平面表示を作成する。次にステップ２０２では信号変化を表した各検出コイル９の信号波形(ｃｈ１乃至ｃｈ１８)を図４の表示部７に表示する。このときに表示された表示画面は、図１０のようであり、端部１８aの領域１での応答信号がV検出モードとH検出モードに分けて横軸を位置とし縦軸を波形の長さとする画面上に重ね表示される。同様に端部１８ｂの領域２での応答信号がV検出モードとH検出モードに分けて横軸を位置とし縦軸を波形の長さとする画面上に重ね表示される。

この重ね表示を見ると、図９の方向にプローブが移動したとき最初に図１０左側の各検出コイル（ｃｈ１、ｃｈ２、ｃｈ３、ｃｈ７乃至ｃｈ１２）が応答し、その後右側の各検出コイル（ｃｈ４、ｃｈ５、ｃｈ６、ｃｈ１３乃至ｃｈ１８）が応答したことがわかる。横軸はプローブ位置であることからこのプローブ走査方向を考えると、この横軸は時間軸ということもできる。したがって、図１０左側の波形群は欠陥に近づいたときの最初に応答した波形群、右側の波形群は欠陥から離れるときの最後に応答した波形群ということができる。

次にステップ２０３において、端部ごとの応答性を評価するが、この中での処理は基本的に同じであるので、ここでは端部１８a側のステップ２０３（a）を例にとり説明する。ステップ２０４では、まずどちらかの端部を選定し、２０５で選定した端部で信号変化したすべての信号波形のみを取り出し重ね表示する。このときの表示は、図１０が表示されていたものが、図１０の左側の画面のみが抽出され拡大表示されたと考えればよい。

次にステップ２０６で、図１０左側の画面のうち上に表示されたV検出モードの画面と下に表示されたH検出モードのいずれかを選択する。この図の例では、信号変化が顕著なV検出モードの信号を選択する。なお、同様にしてステップ２０６（ｂ）側でもV検出モードの信号を選択する。

ステップ２０７では、抽出されたV検出モードの３つの信号の中から欠陥検査に使用するひとつのチャンネルの信号を選択する。このときの選択の考え方は欠陥に近づいて最初に応答を始めたチャンネルの信号ｃｈ１とする。同様に２０７（ｂ）での選択では、欠陥から遠ざかるときに最後に応答したチャンネルの信号ｃｈ６とする。ステップ２０８では、図１１に示すように選択したチャンネルｃｈ１の信号について、振幅最大点、振幅最小点、信号消失点を計算する。

各端部についてステップ２０３の一連の処理が完了すると、次に画面表示は図１１に切り替わりチャンネルｃｈ１とチャンネルｃｈ６について、その波形が特徴点（振幅最大点、振幅最小点、信号消失点）とともに表示される。そのうえで、欠陥に近づいたときの最初の応答信号であるｃｈ１について、立ち上がり点で１２ｄＢドロップ位置を計算する。同様に欠陥から離れるときの最後の応答信号であるｃｈ６について立ち下がり点で１２ｄＢドロップ位置を計算する。さらには、信号消失点の位置を夫々計算する。

ステップ２０９では、欠陥の大きさを１２ｄＢドロップ位置で算定するか、あるいは信号消失点位置で算出するかを選択し、ステップ２１０ではｃｈ１とｃｈ６の各座標位置間の差として欠陥の長さを決定する。

以上詳細に述べたように、本発明の方法および装置によれば、一度のプローブ走査で広い範囲の探傷を実施することができ、かつ複数の応答信号の中から最適の組み合わせを抽出することで、欠陥の長さを簡便に測定することができる。

本発明は例えば原子力発電プラントの炉内構造物における渦電流探傷検査等に適用可能であり、広い面を短時間でかつ欠陥の方向性に因らない長さ測定が行える。

１ マルチプローブ
２ 要素プローブ
３ メモリを含む計算機
４ メモリ
５ 演算部
６ 計算機の入力部
７ 計算機の表示部
８ 励磁コイル
９ 検出コイル（a、ｂ、ｃ）
１１ 渦電流探傷器
１２ プローブに対して平行方向の欠陥
１３ プローブに対して直交方向の欠陥
１４ 探傷メカフレーム
１５ 走行車
１６ 走行レール
１７ 走行車輪
１８ 駆動モータ
１９ 位置エンコーダ
２０ 弾性材
２１ 緩衝材
２２ 探傷メカ装置
２３ 平板試験体
２４ 信号振幅最大値（a、ｂ）
２５ 信号振幅最小値（a、ｂ）
２６ 信号消失点（a、ｂ）
２７ −１２ｄＢドロップ点（a、ｂ）

Claims (7)

1. 励磁コイルにより試験体に渦電流を生じせしめ、渦電流の変化を複数の検出コイルで検知する渦電流探傷方法であって、
   前記励磁コイルと前記複数の検出コイルを搭載するプローブを試験体上で走査して前記複数の検出コイルからの渦電流変化の信号を検出し、
   前記複数の検出コイル信号の中から欠陥に近づくときに信号変化したひとつの信号を選択し、
   前記複数の検出コイル信号の中から欠陥から離れるときに信号変化したひとつの信号を選択し、
   前記選択した夫々の信号から変化開始点位置と、変化終了点位置を特定し、
   該変化開始点位置と変化終了点位置の差分として試験体の欠陥の長さを決定することを特徴とする渦電流探傷方法。
2. 請求項１記載の渦電流探傷方法において、
   前記変化開始点位置でのひとつの信号の選択は、最初に変化開始を検知した検出コイルからの信号とし、
   前記変化終了点位置でのひとつの信号の選択は、最後に変化終了を検知した検出コイルからの信号とすることを特徴とする渦電流探傷方法。
3. 励磁コイルと第一の検出コイルが配置された方向と交差する方向に複数の第二の検出コイルを備えた要素プローブを複数組備え、前記励磁コイルにより試験体に渦電流を生じせしめ、渦電流の変化を前記複数の検出コイルで検知する渦電流探傷方法であって、
   前記複数の励磁コイルと前記複数の検出コイルを搭載する前記プローブを試験体上で走査して前記複数の検出コイルからの渦電流変化の信号を検知し、
   前記複数の検出コイル信号の中から欠陥に近づくときに信号変化したひとつの信号を選択し、
   前記複数の検出コイル信号の中から欠陥から離れるときに信号変化したひとつの信号を選択し、
   該選択した夫々の信号から変化開始点位置と、変化終了点位置を特定し、
   該変化開始点位置と変化終了点位置の差分として試験体の欠陥の大きさを決定することを特徴とする渦電流探傷方法。
4. 請求項３記載の渦電流探傷方法において、
   前記複数の第一検出コイルから構成される第一検出コイル群と、前記複数の第二検出コイルから構成される第二検出コイル群がともに渦電流の変化を検知したとき、変化の大きいほうの検出コイル群の信号を選択し、
   当該選択した検出コイル群からの信号に対して、複数の検出コイル信号の中からひとつの信号を選択することを特徴とする渦電流探傷方法。
5. 請求項３記載の渦電流探傷方法において、
   前記複数の第一検出コイルから構成される第一検出コイル群と、前記複数の第二検出コイルから構成される第二検出コイル群がともに渦電流の変化を検知したとき、変化の大きいほうの検出コイル群の信号を選択するに際し、この選択は欠陥に近づくときと、欠陥から離れるときとでそれぞれ個別に選択することを特徴とする渦電流探傷方法。
6. 励磁コイルと複数の検出コイルを複数組搭載したプローブを試験体上に走査し、前記励磁コイルにより試験体に渦電流を生じせしめ、渦電流の変化を前記複数の検出コイルで検知する探傷メカ装置と、前記複数の検出コイルからの信号と試験体上の探傷位置信号を得る渦電流探傷器と、該渦電流探傷器からの信号を用いて演算処理を実行する計算機と、該計算機からの出力を表示する表示部とから構成される渦電流探傷装置であって、
   前記表示部には、欠陥に近づくときの前記複数の検出コイル信号と、欠陥から離れるときの前記複数の検出コイル信号が、夫々横軸に試験体上の探傷位置信号をとり、縦軸に振幅値として重ね表示されることを特徴とする渦電流探傷装置。
7. 請求項６記載の渦電流探傷装置において、
   前記表示部には、欠陥に近づくときの前記複数の検出コイル信号のうち最初に変化した検出コイルからの信号と、欠陥から離れるときの前記複数の検出コイル信号のうち最後に変化した検出コイルからの信号のみが選択され、夫々横軸に試験体上の探傷位置信号をとり、縦軸に振幅値として表示される渦電流探傷装置。

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