JP2010281761A - センサ回路およびセンサノード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサ回路は、入力端子が電源電位VDDに接続され、出力端子がセンサ素子1の出力端子10に接続された第1のダイオードD1と、入力端子が第1のダイオードD1の出力端子およびセンサ素子1の出力端子10に接続され、出力端子がセンサ素子1の出力端子11に接続された第2のダイオードD2と、入力端子が第2のダイオードD2の出力端子およびセンサ素子1の出力端子11に接続され、出力端子がセンサ回路の出力端子OUTに接続された第3のダイオードD3と、第1の端子がセンサ回路の出力端子OUTに接続され、第2の端子が接地電位に接続された容量素子と、初期化時にセンサ回路の出力端子OUTの電圧を接地電位にする初期化スイッチSW1とを備える。
【選択図】 図1
Description
また、本発明のセンサ回路の1構成例(第3の実施の形態)において、前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタは、それぞれ第2の制御端子が第1極性トランジスタの出力端子に接続されることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ回路の1構成例(第4の実施の形態)において、前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタは、第2の制御端子が前記センサ回路の出力端子に接続されることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ回路の1構成例(第5の実施の形態)は、さらに、入力端子および第1の制御端子が前記第1の共通電位に接続され、出力端子が前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子に接続された第4の第1極性トランジスタと、初期化時に前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子を前記第2の共通電位にする第2の初期化スイッチとを備え、前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子は、前記第2の制御端子が取り出される第1の不純物領域の外側に形成された第2の不純物領域から取り出されることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ回路の1構成例(第7の実施の形態)において、前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子は、前記第2の制御端子が取り出される第1の不純物領域の外側に形成された第2の不純物領域から取り出され、前記センサ回路の出力端子に接続されることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサ回路の1構成例(第8の実施の形態)において、前記第1、第2、第3のダイオードは、それぞれ出力端子に第1の制御端子が接続された第1、第2、第3の第2極性トランジスタで構成されることを特徴とするものである。
また、本発明のセンサノードは、センサ回路を搭載したことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
図1に示す差動構成の可変容量素子VC1とVC2とは、センサ素子1を構成している。可変容量素子VC1とVC2とが接続される接点は接地電位に接続されている。可変容量素子VC1,VC2は、MEMSプロセスによりシリコンチップ上に微細構造で形成され、それぞれ固定電極と可動電極とを有する。外部から加えられる振動により可動電極が動いて電極間距離が変化すると、静電容量が変化する。2つの可変容量素子VC1,VC2の静電容量は、外部から加えられる振動に応じて差動で変化する。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図3は本発明の第2の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
本実施の形態は、第1の実施の形態の第1、第2、第3のダイオードD1,D2,D3の具体例として、それぞれゲート端子Gとドレイン端子Dを接続した第1、第2、第3のNMOSトランジスタQ1,Q2,Q3を用いたものである。
こうして、本実施の形態では、第1の実施の形態で説明した効果を得ることができる。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図4は本発明の第3の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
本実施の形態は、第2の実施の形態において、NMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のボディ端子BをそれぞれNMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のソース端子Sに接続したものである。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。図5は本発明の第4の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
本実施の形態は、第3の実施の形態において、NMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のボディ端子Bをセンサ回路2の出力端子OUTに接続したものである。
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。NMOSトランジスタの断面図を図6に示す。図6において、60はP型のボディ、61はN型のウエル、62はドレイン端子Dに接続されるN型領域、63はソース端子Sに接続されるN型領域、64はゲート端子Gに接続される電極、65はボディ端子Bに接続されるP+型領域、66はウエル端子Wに接続されるN+型領域である。
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。図8は本発明の第6の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
本実施の形態は、第4の実施の形態において、さらに、ゲート端子Gおよびドレイン端子Dがセンサ回路2の出力端子OUTに接続され、ソース端子SがNMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のボディ端子Bに接続された第4のNMOSトランジスタQ5を設けたものである。図7の場合と同様に、図8におけるD4はNMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のボディ端子Bとウエル端子Wとの間に形成されるダイオードを表したものであって、ダイオードを新たに挿入することを意味するものではない。
次に、本発明の第7の実施の形態について説明する。図9は本発明の第7の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
本実施の形態は、第4の実施の形態において、NMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のウエル端子Wをセンサ回路2の出力端子OUTに接続したものである。本実施の形態では、NMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のウエル電位をボディ電位と同電位にすることで、NMOSトランジスタQ1,Q2,Q3のウエル端子Wを電源電位VDDに接続した場合に容量素子C1に流れていた電荷を抑制することができる。
次に、本発明の第8の実施の形態について説明する。図10は本発明の第8の実施の形態に係るセンサ素子およびセンサ回路の構成を示す回路図である。
本実施の形態は、第2の実施の形態において、ダイオード接続のNMOSトランジスタQ1,Q2,Q3の代わりに、ダイオード接続のPMOSトランジスタQ6,Q7,Q8を用いたものである。
Claims (9)
- 入力端子が第1の共通電位に接続され、出力端子が物理量に応じて差動信号を出力するセンサ素子の第1の出力端子に接続された第1のダイオードと、
入力端子が前記第1のダイオードの出力端子および前記センサ素子の第1の出力端子に接続され、出力端子が前記センサ素子の第2の出力端子に接続された第2のダイオードと、
入力端子が前記第2のダイオードの出力端子および前記センサ素子の第2の出力端子に接続され、出力端子がセンサ回路の出力端子に接続された第3のダイオードと、
第1の端子が前記センサ回路の出力端子に接続され、第2の端子が第2の共通電位に接続された容量素子と、
初期化時に前記センサ回路の出力端子の電圧を前記第2の共通電位にする第1の初期化スイッチとを備えることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項1記載のセンサ回路において、
前記第1、第2、第3のダイオードは、それぞれ入力端子に第1の制御端子が接続された第1、第2、第3の第1極性トランジスタで構成されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項2記載のセンサ回路において、
前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタは、それぞれ第2の制御端子が第1極性トランジスタの出力端子に接続されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項2記載のセンサ回路において、
前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタは、第2の制御端子が前記センサ回路の出力端子に接続されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項4記載のセンサ回路において、
さらに、入力端子および第1の制御端子が前記第1の共通電位に接続され、出力端子が前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子に接続された第4の第1極性トランジスタと、
初期化時に前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子を前記第2の共通電位にする第2の初期化スイッチとを備え、
前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子は、前記第2の制御端子が取り出される第1の不純物領域の外側に形成された第2の不純物領域から取り出されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項4記載のセンサ回路において、
さらに、入力端子および第1の制御端子が前記センサ回路の出力端子に接続され、出力端子が前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第2の制御端子に接続された第4の第1極性トランジスタを備え、
前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子は、前記第2の制御端子が取り出される第1の不純物領域の外側に形成された第2の不純物領域から取り出され、前記第1の共通電位に接続されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項4記載のセンサ回路において、
前記第1、第2、第3の第1極性トランジスタの第3の制御端子は、前記第2の制御端子が取り出される第1の不純物領域の外側に形成された第2の不純物領域から取り出され、前記センサ回路の出力端子に接続されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項1記載のセンサ回路において、
前記第1、第2、第3のダイオードは、それぞれ出力端子に第1の制御端子が接続された第1、第2、第3の第2極性トランジスタで構成されることを特徴とするセンサ回路。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のセンサ回路を搭載したことを特徴とするセンサノード。
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JP2013134109A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサ回路 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11283392A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Nec Corp | 昇圧回路 |
JP2004024551A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Renesas Technology Corp | センサシステム用半導体装置 |
JP2010123033A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノード装置およびセンサノードシステム |
JP2010123032A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノードチップおよびセンサノードシステム |
JP2010281716A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサ回路およびセンサノード |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11283392A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Nec Corp | 昇圧回路 |
JP2004024551A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Renesas Technology Corp | センサシステム用半導体装置 |
JP2010123033A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノード装置およびセンサノードシステム |
JP2010123032A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサノードチップおよびセンサノードシステム |
JP2010281716A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサ回路およびセンサノード |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013134109A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | センサ回路 |
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