JP2010276423A - X線集束装置 - Google Patents
X線集束装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010276423A JP2010276423A JP2009128070A JP2009128070A JP2010276423A JP 2010276423 A JP2010276423 A JP 2010276423A JP 2009128070 A JP2009128070 A JP 2009128070A JP 2009128070 A JP2009128070 A JP 2009128070A JP 2010276423 A JP2010276423 A JP 2010276423A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- rays
- parallel
- side end
- capillary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】MCX2において、X線入射側端部2aは平行端、X線出射側端部2cはその端面面積がX線入射側端部2aよりも小さな平行端であり、途中がボトルネック形状部2bとなっている。これにより、大きなサイズのX線源からX線入射側端部2aに導入されたX線は、そのエネルギー密度が高まって平行束としてX出射側端部2cから出射し、中心軸が一致するように配置されたFZP3に導入される。MCX2によりX線源から出たX線を効率良く収集して或る程度径を絞って小径のFZP3に導入し、FZP3によりX線の集束径をさらに絞る。これにより、ごく狭い領域にX線を集中させることができる。
【選択図】図1
Description
a)多数の束ねられたX線案内用の細管から成り、X線入射側端部とX線出射側端部との間の少なくとも一部に各細管が平行に配置された平行部を有するとともに、前記X線出射側端部は各細管が平行に配置され且つその端面の面積が前記平行部の断面積よりも小さい平行端となっており、前記平行部と前記X線出射側端部との間で各細管の内径が連続的に縮小するように形成されてなる細管集合体と、
b)前記細管集合体のX線出射側端部の外側に、該細管集合体の中心軸と中心軸が一致するように配置されたフレネルゾーンプレートと、
を備えることを特徴としている。
a)多数の束ねられたX線案内用の細管から成り、X線出射側端部はその外方の一点又は点とみなし得る微小領域に焦点を持つ集束端である細管集合体であって、且つ前記集束端にあって最外周に位置する細管の軸と当該細管集合体の中心軸とのなす角度が1°以下である超長焦点の細管集合体と、
b)前記細管集合体のX線出射側端部の外側に該細管集合体の中心軸と中心軸が一致するように配置されたフレネルゾーンプレートと、
を備えることを特徴としている。
本発明に係るX線集束装置の一実施例(第1実施例)について、図1、図2、及び図4を参照しながら説明する。
本発明に係るX線集束装置の他の実施例(第2実施例)について、図3を参照しながら説明する。図3は第2実施例のX線集束装置の要部の構成図である。
10…試料台
11…検査対象物
12…X線源
13…X線検出器
2、20…マルチキャピラリX線レンズ(MCX)
2a、20a…X線入射側端部
2c、20c…X線出射側端部
2b…ボトルネック形状部
3…フレネルゾーンプレート(FZP)
Claims (3)
- a)多数の束ねられたX線案内用の細管から成り、X線入射側端部とX線出射側端部との間の少なくとも一部に各細管が平行に配置された平行部を有するとともに、前記X線出射側端部は各細管が平行に配置され且つその端面の面積が前記平行部の断面積よりも小さい平行端となっており、前記平行部と前記X線出射側端部との間で各細管の内径が連続的に縮小するように形成されてなる細管集合体と、
b)前記細管集合体のX線出射側端部の外側に、該細管集合体の中心軸と中心軸が一致するように配置されたフレネルゾーンプレートと、
を備えることを特徴とするX線集束装置。 - 請求項1に記載のX線集束装置であって、
前記細管集合体のX線入射側端部は前記平行部が延伸された平行端であることを特徴とするX線集束装置。 - a)多数の束ねられたX線案内用の細管から成り、X線出射側端部はその外方の一点又は点とみなし得る微小領域に焦点を持つ集束端である細管集合体であって、且つ前記集束端にあって最外周に位置する細管の軸と当該細管集合体の中心軸とのなす角度が1°以下である超長焦点の細管集合体と、
b)前記細管集合体のX線出射側端部の外側に該細管集合体の中心軸と中心軸が一致するように配置されたフレネルゾーンプレートと、
を備えることを特徴とするX線集束装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009128070A JP5338483B2 (ja) | 2009-05-27 | 2009-05-27 | X線集束装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009128070A JP5338483B2 (ja) | 2009-05-27 | 2009-05-27 | X線集束装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010276423A true JP2010276423A (ja) | 2010-12-09 |
JP5338483B2 JP5338483B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43423526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009128070A Active JP5338483B2 (ja) | 2009-05-27 | 2009-05-27 | X線集束装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5338483B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102881347A (zh) * | 2012-10-15 | 2013-01-16 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 使用波带片将柱面波线光源聚焦为点光斑的方法 |
CN105759298A (zh) * | 2016-03-28 | 2016-07-13 | 北京师范大学 | 组合式切片x射线调控器件 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3790025B1 (en) | 2019-03-29 | 2022-03-09 | Applied Science Laboratory Co., Ltd | X-ray analyzer |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0221299A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-24 | Shimadzu Corp | X線集中装置 |
JP2001083112A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Jeol Ltd | 光電子分光装置 |
JP2007093316A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線集束装置 |
-
2009
- 2009-05-27 JP JP2009128070A patent/JP5338483B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0221299A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-24 | Shimadzu Corp | X線集中装置 |
JP2001083112A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Jeol Ltd | 光電子分光装置 |
JP2007093316A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線集束装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102881347A (zh) * | 2012-10-15 | 2013-01-16 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 使用波带片将柱面波线光源聚焦为点光斑的方法 |
CN102881347B (zh) * | 2012-10-15 | 2015-05-20 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 使用波带片将柱面波线光源聚焦为点光斑的方法 |
CN105759298A (zh) * | 2016-03-28 | 2016-07-13 | 北京师范大学 | 组合式切片x射线调控器件 |
CN105759298B (zh) * | 2016-03-28 | 2018-10-09 | 北京师范大学 | 组合式切片x射线调控器件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5338483B2 (ja) | 2013-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5326987B2 (ja) | X線集束装置 | |
JP4492507B2 (ja) | X線集束装置 | |
JP6937380B2 (ja) | X線分光を実施するための方法およびx線吸収分光システム | |
JP2013528804A (ja) | ハイブリッドx線光学機器および方法 | |
JPH11502933A (ja) | 発散制御可能な多重チャネルの全反射光学装置 | |
EP3790025B1 (en) | X-ray analyzer | |
CN106996941B (zh) | 一种x射线荧光分析装置及其分析检测方法 | |
JP5338483B2 (ja) | X線集束装置 | |
JP4837964B2 (ja) | X線集束装置 | |
JP4900660B2 (ja) | X線集束素子及びx線照射装置 | |
JP2006337121A (ja) | X線集束装置 | |
JP4483754B2 (ja) | X線集束装置 | |
JP2009236622A (ja) | 蛍光x線分析機能付き高分解能x線顕微装置 | |
JP4133923B2 (ja) | ポリキャピラリレンズ | |
JP2010197229A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP4639971B2 (ja) | X線分析装置 | |
JP6430208B2 (ja) | X線照射装置 | |
JP2005249559A (ja) | X線集中装置 | |
JP2007309649A (ja) | X線分光装置 | |
JP2019003056A (ja) | バイオセンサチップ検査装置の光学系 | |
JP2011053096A (ja) | 中性子光学素子 | |
JP2010197187A (ja) | X線分析装置 | |
JPH10267846A (ja) | レーザ照射/取り込み光学装置 | |
JP2006126045A (ja) | ポリキャピラリ | |
RU26678U1 (ru) | Устройство для получения рентгеновского излучения повышенной интенсивности |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110810 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130722 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5338483 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |