JP2006337121A - X線集束装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 二本の点/平行型のマルチキャピラリX線レンズ2、3の平行端2b、3bを間に空間を挟んで対向させ、且つ光軸を一致させて配置する。第1X線レンズ2の点焦点F1をX線源の位置に合わせると、X線源から放出されるX線は大きな立体角で以て各キャピラリ内に取り込まれ平行化されて平行端2bから出射する。この出射X線は平行線束に近いため、その大部分が第2X線レンズ3の平行端3bに達して各キャピラリ内に取り込まれる。そして第2X線レンズ3の集束端3aから出射して点焦点F2に照射される。
【選択図】 図1
Description
多数の束ねられた細管から成り、一方の端面は外方で一点又は点とみなし得る微小領域に焦点を持つ集束端であり他方の端面は各細管が平行に配置された平行端である、第1、第2なる二つの細管集合体と、
第1細管集合体の平行端と第2細管集合体の平行端とが所定の空間を挟んで対向するようにそれら二つの細管集合体を保持する保持部と、
を備えることを特徴としている。
多数の束ねられた細管から成り、一方の端面は外方で一点又は点とみなし得る微小領域に焦点を持つ集束端であり、他方の端面は各細管が平行に配置された平行端である、第1、第2なる二つの細管集合体と、
第1細管集合体の平行端と第2細管集合体の平行端とが互いに離れるようにそれら二つの細管集合体を保持する保持部と、
第1細管集合体の平行端と第2細管集合体の平行端と間の空間にあって一方の細管集合体の平行端から出射したX線の進行方向を変えて他方の細管集合体の平行端に導く方向変換手段と、
を備えることを特徴としている。
図1は第1発明に係るX線集束装置の一実施例の概略構成図である。この実施例1のX線集束装置1では、一方の端部2a、3aが点焦点を有する集束端であり、他方の端部2b、3bが平行端である二本の点/平行型の第1、第2マルチキャピラリX線レンズ(本発明における細管集合体)2、3を用いる。この二本のマルチキャピラリX線レンズ2、3の平行端2b、3bの光軸(一本のキャピラリの光軸ではなくマルチキャピラリX線レンズ全体としての光軸)が一致するように平行端2b、3b同士を略平行に対向させ、且つ両者の間を所定距離tだけ離間して保持する筒状のハウジング(本発明における保持部)4を備える。このハウジング4はほぼ密閉されており、内部は適度な真空度まで真空排気される。これにより、ハウジング4内での空気や塵埃によるX線の吸収や散乱の影響を軽減することができる。
図2は第1発明に係るX線集束装置の他の実施例(実施例2)の概略構成図であり、実施例1で示した構成要素と同一のものについては同一符号を付して詳しい説明を省略する。
図3は第2発明に係るX線集束装置の一実施例(実施例3)の概略構成図であり、実施例1で示した構成要素と同一のものについては同一符号を付して詳しい説明を省略する。
図4は第2発明に係るX線集束装置の一実施例(実施例4)の概略構成図であり、実施例1、3で示した構成要素と同一のものについては同一符号を付して詳しい説明を省略する。
図5は実施例1で示したX線集束装置の応用例であるX線検査装置の概略構成図である。X線源12と製造ライン10上を移動する検査対象物11との間には入射側のX線集束装置1Aが、検査対象物11とX線検出器13との間には出射側のX線集束装置1Bが設置されている。即ち、X線源12から出射した一次X線は入射側X線集束装置1Aにより検査対象物11に効率良く照射される。これに応じて検査対象物11から放出された二次X線は出射側X線集束装置1BによりX線検出器13まで効率良く案内される。これによって、X線源12及びX線検出器13を検査対象物11に近接した位置に配置する必要がなくなる。もちろん、実施例3、4のX線集束装置を用いれば、検査対象物11に対するX線源12及びX線検出器13の位置の自由度を一層高めることができる。
F1、F2…点焦点
10…製造ライン
11…検査対象物
12…X線源
13…X線検出器
2、3…マルチキャピラリX線レンズ
2a、3a…集束端
2b、3b…平行端
4…ハウジング
5…ソーラースリット
6…X線反射板
7…第3マルチキャピラリX線レンズ
7a…入射側平行端
7b…出射側平行端
Claims (6)
- 多数の束ねられた細管から成り、一方の端面は外方で一点又は点とみなし得る微小領域に焦点を持つ集束端であり他方の端面は各細管が平行に配置された平行端である、第1、第2なる二つの細管集合体と、
第1細管集合体の平行端と第2細管集合体の平行端とが所定の空間を挟んで対向するようにそれら二つの細管集合体を保持する保持部と、
を備えることを特徴とするX線集束装置。 - 多数の束ねられた細管から成り、一方の端面は外方で一点又は点とみなし得る微小領域に焦点を持つ集束端であり、他方の端面は各細管が平行に配置された平行端である、第1、第2なる二つの細管集合体と、
第1細管集合体の平行端と第2細管集合体の平行端とが互いに離れるようにそれら二つの細管集合体を保持する保持部と、
第1細管集合体の平行端と第2細管集合体の平行端と間の空間にあって一方の細管集合体の平行端から出射したX線の進行方向を変えて他方の細管集合体の平行端に導く方向変換手段と、
を備えることを特徴とするX線集束装置。 - 前記二つの細管集合体の平行端の間の空間にソーラースリットを介挿したことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線集束装置。
- 前記二つの細管集合体の平行端の間に、多数の束ねられた細管から成り、両端面はいずれも各細管が平行に配置された平行端である第3細管集合体を介挿したことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線集束装置。
- 前記方向変換手段はX線反射板であることを特徴とする請求項2に記載のX線集束装置。
- 前記二つの細管集合体の平行端の間の空間を真空雰囲気に維持する真空維持手段を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のX線集束装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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