JP2010273029A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置は、半導体基板10上に、電磁波を放射または受信する放射素子22を少なくとも有している。そして少なくとも半導体基板10および放射素子22が誘電体で覆われてパッケージ30が形成されている。また、パッケージ30の表面と、開口部51を有する中空の導波管50とが接続されており、導波管50は、半導体基板10の、放射素子22が設けられた面上に位置している。
【選択図】図1
Description
[式1]
ただし、f:共振周波数、c:光速、L:正方形パッチの一辺の長さ、ε:比誘電率
11 活性素子部
21 信号配線
22 放射素子
23 反射素子
23a金属パッチ
23b短絡ピン
30 パッケージ
30a凸型ガイド
40 金属パターン
50 導波管
51 導波管開口部
Claims (20)
- 半導体基板上に、電磁波を放射または受信する放射素子が少なくとも設けられ、少なくとも前記半導体基板および前記放射素子が誘電体で覆われてパッケージが形成されており、前記パッケージの表面と、開口部を有する中空の導波管とが接続されている半導体装置であり、
前記導波管は、前記半導体基板の、前記放射素子が設けられた面上に位置している、半導体装置。 - 前記放射素子の少なくとも一部と前記導波管の前記開口部とが対向している、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記導波管の前記開口部の中心と前記放射素子の位置とが水平方向で同じ位置である、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記電磁波を反射する反射素子が、前記半導体基板上に、前記放射素子の少なくとも一部と間隔を有して前記放射素子を囲んで配置されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記反射素子の少なくとも一部と前記導波管の前記開口部とが対向している、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記反射素子は電磁バンドギャップ構造である、請求項4または5に記載の半導体装置。
- 前記パッケージの表面上、かつ前記導波管の前記開口部の内部に導体層が設けられている、請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記パッケージは、前記導波管の端部が接続される位置に前記導波管の開口部と内接する凸形状の突起部を有している、請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記凸形状の突起部の高さは、前記電磁波の波長をλとすると、λ/4以下である、請求項8に記載の半導体装置。
- 前記凸形状の前記突起部の先端表面上に導体層が設けられている、請求項8または9に記載の半導体装置。
- 前記導体層は、前記放射素子とインピーダンス整合し、強結合出来る形状である、請求項7または10に記載の半導体装置。
- 半導体基板上に、電磁波を放射する放射素子を少なくとも設け、少なくとも前記半導体と前記放射素子とを誘電体で覆いパッケージを形成し、前記パッケージの表面に、前記放射素子が放射した前記電磁波を伝送する開口部を有する中空の導波管が接続された半導体装置の電磁波の伝送方法であり、
前記導波管を、前記パッケージの、前記半導体基板の前記放射素子が設けられた面上に配置し、前記放射素子からの電磁波を前記導波管に伝送させる、電磁波の伝送方法。 - 半導体基板上に、電磁波を受信する放射素子を少なくとも設け、少なくとも前記半導体基板と前記放射素子とを誘電体で覆いパッケージを形成し、前記パッケージの表面に、前記放射素子へ前記電磁波を伝送する開口部を有する中空の導波管が接続された半導体装置の電磁波の伝送方法であり、
前記導波管を、前記パッケージの、前記半導体基板の前記放射素子が設けられた面上に配置し、前記導波管の前記開口部からの電磁波を前記放射素子に伝送させる、電磁波の伝送方法。 - 前記電磁波を反射する反射素子を、前記半導体基板上に、前記放射素子の少なくとも一部と間隔をあけて前記放射素子を囲んで配置し、前記反射素子に向かってくる前記電磁波を前記反射素子により反射させる、請求項12または13に記載の電磁波の伝送方法。
- 前記放射素子の少なくとも一部と前記導波管の前記開口部とを対向させる、請求項12から14のいずれか1項に記載の電磁波の伝送方法。
- 前記導波管の前記開口部の中心と前記放射素子の位置とを水平方向で同じ位置に配置する、請求項12から15のいずれか1項に記載の電磁波の伝送方法。
- 前記パッケージの表面上、かつ前記導波管の前記開口部の内側にあたる位置に導体層を設け、前記放射素子と前記導体層をインピーダンス整合し、強結合させる、請求項12から16のいずれか1項に記載の電磁波の伝送方法。
- 前記パッケージの前記導波管の接続される位置に凸形状の突起部を設け、前記突起部で前記導波管の開口部に内接させる、請求項12から17のいずれか1項に記載の電磁波の伝送方法。
- 前記凸形状の前記突起部の高さを、前記電磁波の波長をλとすると、λ/4以下になるようにする、請求項18に記載の電磁波の伝送方法。
- 前記凸形状の前記突起部の先端表面上に導体層を設け、前記放射素子と前記導体層をインピーダンス整合し、強結合させる、請求項18または19に記載の電磁波の伝送方法。
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