JP2010268315A - 音響校正装置 - Google Patents
音響校正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010268315A JP2010268315A JP2009119218A JP2009119218A JP2010268315A JP 2010268315 A JP2010268315 A JP 2010268315A JP 2009119218 A JP2009119218 A JP 2009119218A JP 2009119218 A JP2009119218 A JP 2009119218A JP 2010268315 A JP2010268315 A JP 2010268315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitivity
- ecm
- ionizing radiation
- circuit
- microphone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
【解決手段】音響校正装置10は、信号発生回路11、増幅回路12、所定音圧の音波を発する発音体13、電離放射線発生装置14、駆動回路15、直流電源16、マイクアンプ17、制御回路18、筐体19、ECM20を備え、電離放射線発生装置14が、ECM20が備えるECM素子21に向けて電離放射線を照射し、ECM素子21の振動板と背面板との間で発生した正負いずれかのイオンをECM素子21の誘電体膜に蓄積する構成を有する。
【選択図】図1
Description
11 信号発生回路(感度測定手段)
12 増幅回路(感度測定手段)
13 発音体(感度測定手段)
14 電離放射線発生装置(電離放射線照射手段)
15 駆動回路(駆動制御手段)
16 直流電源(電圧印加手段)
17 マイクアンプ(感度測定手段)
18 制御回路(感度測定手段、駆動制御手段)
19 筐体
20 ECM
21 ECM素子
30、40、50 マイク回路
31、41、51 FET
32、52 SW(切替手段)
33 入出力端子
34、44、55 電圧印加端子
35、45、56 接地端子
37 駆動用直流電源
38、39、46 SW
42、53 バイアス端子
43、54 出力端子
57 接地経路
211 シリコン基板
212 スペーサ
220 振動板
221、231 シリコン
222 アルミニウム薄膜
230 背面板
232 シリコン酸化膜(誘電体膜)
233 シリコン窒化膜
234 アルミニウム薄膜
235 音孔
Claims (4)
- 互いに対向する第1電極及び第2電極のいずれか一方の電極の対向面側に電荷を蓄積可能な誘電体膜が設けられたエレクトレットコンデンサマイクロホンの感度を校正する音響校正装置であって、
前記第1電極及び前記第2電極のいずれか一方の電極を透過する電離放射線を照射する電離放射線照射手段と、前記電離放射線によって前記両電極間に発生する正イオン及び負イオンのうちいずれか一方のイオンを前記誘電体膜に蓄積させる電圧を印加する電圧印加手段とを備えたことを特徴とする音響校正装置。 - 前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの感度を測定する感度測定手段と、予め定めた目標感度と測定によって求めた感度との感度差に応じて前記電離放射線照射手段を駆動制御する駆動制御手段とを備えたことを特徴とする音響校正装置。
- 前記感度測定手段は、予め定めた音圧の音波を発する発音体と、前記音圧の音波の放射により前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの感度を測定する感度測定部とを備え、
前記駆動制御手段は、前記電離放射線照射手段を駆動する駆動回路と、前記感度差を算出して前記電離放射線の照射時間を決定し、決定した照射時間に応じて前記駆動回路の駆動動作を制御する制御回路とを備えたことを特徴とする請求項2に記載の音響校正装置。 - 前記エレクトレットコンデンサマイクロホンは、前記正イオン及び前記負イオンのうちいずれか一方のイオンを前記誘電体膜に蓄積するイオン蓄積状態と前記感度の測定状態とを切り替える切替手段を備えたことを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の音響校正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009119218A JP5459653B2 (ja) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 音響校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009119218A JP5459653B2 (ja) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 音響校正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010268315A true JP2010268315A (ja) | 2010-11-25 |
JP5459653B2 JP5459653B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=43364913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009119218A Active JP5459653B2 (ja) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 音響校正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5459653B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57122512A (en) * | 1981-01-23 | 1982-07-30 | Tokyo Shibaura Electric Co | Electret and method of producing same |
JPH036500A (ja) * | 1989-05-19 | 1991-01-11 | Gentex Corp | 1つの可変コンデンサマイクロホンを作る方法及び複数の可変コンデンサマイクロホンを形成する方法 |
JPH06104977A (ja) * | 1992-02-13 | 1994-04-15 | Northern Telecom Ltd | エレクトレット変換器の動作特性を調整する方法及び利得調節エレクトレットマイクロフォンを有する通信装置 |
JP2008112755A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エレクトレット化方法およびエレクトレット化装置 |
-
2009
- 2009-05-15 JP JP2009119218A patent/JP5459653B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57122512A (en) * | 1981-01-23 | 1982-07-30 | Tokyo Shibaura Electric Co | Electret and method of producing same |
JPH036500A (ja) * | 1989-05-19 | 1991-01-11 | Gentex Corp | 1つの可変コンデンサマイクロホンを作る方法及び複数の可変コンデンサマイクロホンを形成する方法 |
JPH06104977A (ja) * | 1992-02-13 | 1994-04-15 | Northern Telecom Ltd | エレクトレット変換器の動作特性を調整する方法及び利得調節エレクトレットマイクロフォンを有する通信装置 |
JP2008112755A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エレクトレット化方法およびエレクトレット化装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5459653B2 (ja) | 2014-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111886083B (zh) | 用于驱动换能器的方法和装置 | |
KR101526113B1 (ko) | 용량성 센싱 디바이스의 감도를 결정하는 장치 및 방법 | |
CN103373696B (zh) | 封装的mems器件和对封装的mems器件进行校准的方法 | |
US20200154223A1 (en) | Systems and methods for calibrating microphone assemblies including a membrane barrier | |
CN104661155A (zh) | 麦克风 | |
CN107247196B (zh) | 一种多功能空间电荷测量系统及测量方法 | |
KR20140029293A (ko) | 용량성 신호 소스의 민감도 조정을 위한 시스템 및 방법 | |
KR20160051711A (ko) | 가변 캐패시턴스를 포함하는 가변 캐패시터의 캐패시턴스에 대한 정보를 나타내는 센서 신호를 생성하는 장치 및 방법 | |
WO2018178772A2 (en) | High performance sealed-gap capacitive microphone | |
JP2012090224A (ja) | マイクロホンユニット | |
CN110431383B (zh) | 用于校准电容传感器接口的装置和方法 | |
JP2010010870A (ja) | エレクトレットの表面電圧測定方法およびその装置 | |
JP5459653B2 (ja) | 音響校正装置 | |
Fattori et al. | Organic pressure-sensing surfaces fabricated by lamination of flexible substrates | |
TWI445224B (zh) | 電子裝置及其調整方法 | |
JP6665847B2 (ja) | センサー出力装置、音響出力装置および楽器 | |
JP2007294858A (ja) | エレクトレット化方法及びエレクトレット化装置 | |
JP6691059B2 (ja) | マイクロフォンアセンブリおよびマイクロフォンアセンブリの温度依存性を低減する方法 | |
JP5051893B2 (ja) | 膜スチフネス測定装置 | |
US20160037276A1 (en) | Method of identifying passive radiator parameters | |
JP2009053074A (ja) | 電界検出装置 | |
EP2044689A1 (en) | A method of limiting the maximum permitted sound volume in an earphone, and an earphone for carrying out the method | |
Tassart et al. | Active loudspeaker heat protection | |
JP2003075486A (ja) | インピーダンス検出回路及び静電容量検出回路とその方法 | |
US20200045485A1 (en) | Mems transducer system and associated methods |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120302 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131210 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5459653 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |