JP5459653B2 - 音響校正装置 - Google Patents
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Description
11 信号発生回路(感度測定手段)
12 増幅回路(感度測定手段)
13 発音体(感度測定手段)
14 電離放射線発生装置(電離放射線照射手段)
15 駆動回路(駆動制御手段)
16 直流電源(電圧印加手段)
17 マイクアンプ(感度測定手段)
18 制御回路(感度測定手段、駆動制御手段)
19 筐体
20 ECM
21 ECM素子
30、40、50 マイク回路
31、41、51 FET
32、52 SW(切替手段)
33 入出力端子
34、44、55 電圧印加端子
35、45、56 接地端子
37 駆動用直流電源
38、39、46 SW
42、53 バイアス端子
43、54 出力端子
57 接地経路
211 シリコン基板
212 スペーサ
220 振動板
221、231 シリコン
222 アルミニウム薄膜
230 背面板
232 シリコン酸化膜(誘電体膜)
233 シリコン窒化膜
234 アルミニウム薄膜
235 音孔
Claims (3)
- 互いに対向する、音波によって振動する振動板に形成された第1電極及び前記振動板に対向して設けられた背面板の一の面側に形成された第2電極のうち前記第2電極の対向面側である前記一の面の裏面側に電荷を蓄積可能な誘電体膜が設けられたエレクトレットコンデンサマイクロホンの感度を校正する音響校正装置であって、
前記第1電極を透過する電離放射線を照射する電離放射線照射手段と、
前記電離放射線によって前記両電極間に発生する正イオン及び負イオンのうちいずれか一方のイオンを前記誘電体膜に蓄積させる電圧を印加する電圧印加手段と、
前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの感度を測定する感度測定手段と、
予め定めた目標感度と測定によって求めた感度との感度差に応じて前記電離放射線照射手段を駆動制御する駆動制御手段とを備え、
前記駆動制御手段は、前記測定によって求めた感度が前記目標感度に対して不足していることを条件に、前記感度差が予め設定した誤差以内になるまで、前記一方のイオンを前記誘電体膜に蓄積させるよう前記電離放射線照射手段を駆動制御するものであることを特徴とする音響校正装置。 - 前記感度測定手段は、予め定めた音圧の音波を発する発音体と、前記音圧の音波の放射により前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの感度を測定する感度測定部とを備え、
前記駆動制御手段は、前記電離放射線照射手段を駆動する駆動回路と、前記感度差を算出して前記電離放射線の照射時間を決定し、決定した照射時間に応じて前記駆動回路の駆動動作を制御する制御回路とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の音響校正装置。 - 前記エレクトレットコンデンサマイクロホンは、前記正イオン及び前記負イオンのうちいずれか一方のイオンを前記誘電体膜に蓄積するイオン蓄積状態と前記感度の測定状態とを切り替える切替手段を備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の音響校正装置。
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- 2009-05-15 JP JP2009119218A patent/JP5459653B2/ja active Active
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