JP2010266441A - 電子圧力センシングデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子圧力センシングデバイス100は基板110の上に配置されるトランジスタ105を備える。電子圧力センシングデバイスはまた、基板の接触領域125であって、トランジスタの近傍に位置している接触領域125に接触するように構成されるチップ120を有するリンカーアーム115を備える。電子圧力センシングデバイスはさらに、リンカーアームに機械的に結合される圧力変換器130を備える。圧力変換器は、圧力変化に応答して、チップに、トランジスタの導電率を変化させることができる力を付与させるように構成される。
【選択図】図1A
Description
Claims (10)
- 電子圧力センシングデバイスであって、
基板の上に配置されるトランジスタ、
前記トランジスタの近傍に位置している、前記基板の接触領域に接触するように構成されるチップを有するリンカーアーム、及び
前記リンカーアームに機械的に結合される圧力変換器であって、圧力変化に応答して、前記チップに、前記トランジスタの導電率を変化させることができる力を付与させるように構成される圧力変換器
を備えた電子圧力センシングデバイス。 - 請求項1記載の電子圧力センシングデバイスであって、前記リンカーアームの前記チップが前記基板の下方又は前記基板に隣接して配置された電子圧力センシングデバイス。
- 請求項1記載の電子圧力センシングデバイスであって、前記基板が前記トランジスタを覆うひずみ誘電体層をさらに含み、前記ひずみ誘電体層が前記トランジスタに引張り力又は圧縮力を付与するように構成された電子圧力センシングデバイス。
- 請求項1記載の電子圧力センシングデバイスであって、前記基板の上に配置される基準トランジスタをさらに含み、前記基準トランジスタと前記トランジスタの間の分離距離が、前記力によって前記基準トランジスタの導電率が実質的に変化しない十分な距離である電子圧力センシングデバイス。
- 請求項4記載の電子圧力センシングデバイスであって、前記トランジスタ及び前記基準トランジスタが前記接触領域に接触する前記チップの表面の面積の平方根の少なくとも約5倍長い距離だけ分離された電子圧力センシングデバイス。
- 請求項4記載の電子圧力センシングデバイスであって、前記トランジスタ及び前記基準トランジスタが差動増幅器電気回路の一部である電子圧力センシングデバイス。
- 請求項1記載の電子圧力センシングデバイスであって、前記圧力変換器がダイヤフラムを含み、且つ、前記デバイスが音声デバイス又は圧力変換器として構成された電子圧力センシングデバイス。
- 圧力変化を測定する方法であって、
圧力変換器を取り囲んでいる媒体の圧力変化によって機械的に振動する前記圧力変換器に応答して、前記圧力変換器に結合されるリンカーアームを移動させるステップであって、前記運動によって前記リンカーアームのチップが基板の接触領域に力を付与する、ステップ、
前記基板上の前記接触領域の近傍に配置されるトランジスタの両端間に電圧を印加するステップ、及び
前記トランジスタからの第1の電圧又は第1の電流を記録するステップであって、前記第1の電圧又は前記第1の電流が前記付与される力の変化の関数として変化する、ステップ
を備える方法。 - 請求項8記載の方法であって、
前記基板の上に配置される基準トランジスタに前記電圧を印加するステップであって、前記基準トランジスタが前記トランジスタと共通の入力接続点を有し、前記基準トランジスタからの第2の電圧又は第2の電流が、付与される力の前記変化の大きさに応答して実質的に変化しない、ステップ、及び
前記第1の電圧と前記第2の電圧の間の差又は前記第1の電流と前記第2の電流の間の差を計算するステップであって、前記差が前記付与される力の変化の関数として変化するステップ
をさらに含む方法。 - 電子圧力センシングデバイスを製造する方法であって、
基板の上にトランジスタを形成するステップ、
前記基板の上方にリンカーアームを配置するステップであって、前記リンカーアームのチップが、前記基板の接触領域であって、前記トランジスタの近傍に位置している接触領域に接触することができるように配置する、ステップ、及び
前記リンカーアームを圧力変換器に結合するステップであって、前記圧力変換器を取り囲んでいる媒体の圧力変化によって前記チップが前記接触領域に力を付与することができるように結合する、ステップ
を備える方法。
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