JP2010266042A - 動力装置用歯車および動力装置用歯車の製造方法 - Google Patents

動力装置用歯車および動力装置用歯車の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 歯車の加速歯面および減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを特定することでコストおよび耐久性を両立させた動力装置用歯車と、その歯車の製造方法とを提供する。
【解決手段】 歯車形状に加工したワークWを自転させながらPVD法により硬質炭素皮膜13を成膜する際に、前記自転の方向を歯車が組み込まれた動力装置の加速時に歯車が回転する方向と同一としたので、硬質炭素皮膜13を構成するスパッタ粒子をワークWの自転方向遅れ側の減速歯面12よりも自転方向進み側の加速歯面11に多く付着させることで、加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さを減速歯面12の硬質炭素皮膜13の厚さよりも大きくする。よって、比較的に大きい負荷を受ける加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さを充分に確保して耐久性を高めながら、比較的に小さい負荷を受ける減速歯面12の硬質炭素皮膜13の厚さが過剰になるのを防止してコストダウンに寄与することができる。
【選択図】 図3

Description

本発明は、動力装置に組み込まれて駆動力を伝達する歯車の表面を炭素硬質皮膜で被覆した動力装置用歯車と、その歯車の製造方法とに関する。
歯車の歯面にDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)等の硬質炭素皮膜を施すとともに特定成分を含有する潤滑剤と組み合わせることで、歯面の摩擦抵抗を低減して動力伝達効率を高める技術が、下記特許文献1により公知である。
特開2005−61610号公報
ところで動力装置に組み込まれた歯車には、その動力装置の加速時に駆動力を伝達する歯面と減速時に駆動力(制動力)を伝達する歯面とが存在し、前者の歯面(加速歯面)が受ける負荷の大きさや負荷の頻度は後者の歯面(減速歯面)に比べて大きくなる。しかしながら上記従来のものは、加速歯面および減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを考慮していないため、加速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを該加速歯面の耐久性を満たす大きさに設定すると、減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さが過剰になって無駄なコストが嵩む問題がある。また減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを該減速歯面の耐久性を満たす大きさに設定すると、加速歯面の硬質炭素皮膜の厚さが不足して該加速歯面の耐久性が不足する問題がある。
本発明は前述の事情に鑑みてなされたもので、歯車の加速歯面および減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを特定することでコストおよび耐久性を両立させた動力装置用歯車と、その歯車の製造方法とを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に記載された発明によれば、動力装置に組み込まれて駆動力を伝達する歯車の表面を硬質炭素皮膜で被覆した動力装置用歯車であって、前記動力装置の加速時に負荷の加わる歯面の硬質炭素皮膜の厚さを他の歯面の硬質炭素皮膜の厚さよりも大きくしたことを特徴とする動力装置用歯車が提案される。
また請求項2に記載された発明によれば、請求項1に記載の動力装置用歯車の製造方法であって、歯車形状に加工したワークを自転させながらPVD法により硬質炭素皮膜を成膜するものであり、前記自転の方向は前記動力装置の加速時に前記歯車が回転する方向と同一とすることを特徴とする動力装置用歯車の製造方法が提案される。
尚、実施の形態の加速歯面11は本発明の動力装置の加速時に負荷の加わる歯面に対応し、実施の形態の減速歯面12は本発明の他の歯面に対応する。
請求項1の構成によれば、動力装置用歯車の表面の硬質炭素皮膜のうち、動力装置の加速時に負荷の加わる歯面の硬質炭素皮膜の厚さを他の歯面の硬質炭素皮膜の厚さよりも大きくしたので、比較的に大きい負荷を受ける加速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを充分に確保して耐久性を高めながら、比較的に小さい負荷を受ける減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さが過剰になるのを防止してコストダウンに寄与することができる。
また請求項2の構成によれば、歯車形状に加工したワークを自転させながらPVD法により硬質炭素皮膜を成膜する際に、前記自転の方向を動力装置の加速時に歯車が回転する方向と同一としたので、硬質炭素皮膜を構成する粒子をワークの自転方向進み側の加速歯面により多く付着させ、ワークの自転方向遅れ側の減速歯面により少なく付着させることで、加速歯面の硬質炭素皮膜の厚さを減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さよりも大きくすることができる。
歯車の加速歯面および減速歯面の硬質炭素皮膜の厚さ分布を示す図。 PVD法による硬質炭素皮膜の成膜装置の構造を示す図。 硬質炭素皮膜の成膜装置の原理を示す模式図。
以下、図1〜図3に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
本実施の形態の歯車Gは、自動車のエンジンの駆動力を駆動輪に伝達する動力伝達経路に配置される傘歯車であり、図1に示すように、歯車Gは、車両の加速時に駆動力を伝達する加速歯面11と、車両の減速時(エンジンブレーキ時)に駆動力(制動力)を伝達する減速歯面12とを備える。歯車Gの表面はDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)を含む硬質炭素皮膜13で被覆される。DLCはアモルファス状の炭素あるいは水素化炭素より成るもので、高い硬度と低い摩擦係数を有している。
DLC皮膜の形成にあたっては、通常、モリブデン鋼等で構成される歯車との密着性向上を図るため、Ti、Crなどの下地層や、金属元素をドープしたDLC中間層を介在させたりしている。
硬質炭素皮膜13の厚さは加速歯面11と減速歯面12とで異なっており、加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さが減速歯面12の硬質炭素皮膜13の厚さよりも大きくなっている。
Figure 2010266042
表1は、加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さが減速歯面の硬質炭素皮膜13の厚さよりも大きい実施の形態の歯車G(A、B、Cの3例)と、逆に加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さが減速歯面の硬質炭素皮膜13の厚さよりも小さい比較例の歯車G(D、E、Fの3例)とについて行った耐久テストの結果を示すものである。
硬質炭素皮膜13の膜厚は、歯車Gの歯面の歯先、歯央および歯元の膜厚の平均値である。また耐久テストの方法は、自動車の変速機に歯車Gを組み込み、一定の条件で加速、減速および変速を行うモードで走行させた後に目視で硬質炭素皮膜13の状態を観察し、摩耗の認められないものをOKとし、摩耗の認められるものをNGとした。実施の形態のA、B、Cの3例の歯車Gのテスト結果は全てOKであり、比較例のD、E、Fの3例の歯車Gのテスト結果は全てNGであった。
このように、歯車Gの加速歯面11は減速歯面12に比べて大きな負荷を高い頻度で受ける可能性があるが、その加速歯面11の硬質炭素皮膜13を厚くすることで耐久性を高めることができる。一方、加速歯面11に比べて耐久性上有利な減速歯面12の硬質炭素皮膜13を薄くすることで、減速歯面12の硬質炭素皮膜13が必要以上に厚くなるのを防止してコストダウンに寄与することができ、歯車Gの耐久性およびコストダウンを両立させることができる。
次に、図2および図3に基づいて硬質炭素皮膜13を有する歯車Gの製造方法を説明する。
図2に示すように、歯車Gの母材に物理気相合成法(PVD)により硬質炭素皮膜13を成膜するためのUBMS(アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング・システム)21は真空チャンバ22を備えており、その中央には公転軸23まわりに時計方向に公転可能なワークテーブル24が配置される。ワークテーブル24には、硬質炭素皮膜13を成膜する前の歯車Gである6個のワークW…が公転軸23の周囲を囲むように円周方向に等間隔に配置されており、各ワークWは自転軸25…まわりに公転方向と同じ時計方向に回転する。真空チャンバ22の周壁に等間隔で配置された4個のUBM源26…には、硬質炭素皮膜13の材料となる平板状のターゲット27が取り付けられる。また真空チャンバ22の周壁にはヒータ29が配置される。
ワークテーブル24にセットしたワークW…の表面に硬質炭素皮膜13を成膜するには、先ず真空チャンバ22の内部を高真空に減圧したした後に、ワークW…や真空チャンバ22の内部を脱ガスするためにヒータ29で予備加熱する。ワークW…に負のバイアス電圧を印可し、発生したArイオンをワークW…に衝突させる。これにより、硬質炭素皮膜13の密着性を高めるべく、ワークW…の表面をエッチングしてクリーニングするとともにワークW…の温度を上昇させる。
続いて、UBM源26…に電力を供給してグロー放電を開始すると発生したArイオンがターゲット27に衝突し、スパッタ蒸発現象により吹き飛ばされたターゲット27の原子/分子が対向する位置に存在するワークW…の表面に堆積して硬質炭素皮膜13が成膜する。その際に、ターゲット27の表面に収束していたArプラズマの一部をワークW…へと拡散させることで、ワークW…に照射されるスパッタ粒子の量を増加させることができる。
上述のようにしてワークWの表面に硬質炭素皮膜13を成膜する過程で、図3に示すように、ワークW…は時計方向に自転するため、ワークW…の自転方向進み側に位置する加速歯面11にスパッタ粒子が衝突する確率が、自転方向遅れ側に位置する減速歯面12にスパッタ粒子が衝突する確率よりも高くなる。その結果、加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さを減速歯面12の硬質炭素皮膜13の厚さよりも大きくすることができる。
以上のように、本実施の形態によれば、歯車GのワークWを回転させながらスパッタ粒子を堆積させて硬質炭素皮膜13を成膜するという簡単な方法で、歯車Gの加速歯面11の硬質炭素皮膜13の厚さを減速歯面12の厚さよりも大きくすることができる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更を行うことが可能である。
例えば、実施の形態では動力装置として自動車を示したが、本発明は他の任意の動力装置に適用することができる。
また実施の形態の歯車Gは傘歯車であるが、それ以外の任意の種類の歯車であっても良い。
また実施の形態では。物理気相合成法(PVD)としてスパッタリング法を採用しているが、アークイオンプレーティング法を採用することも可能である。
11 加速歯面(動力装置の加速時に負荷の加わる歯面)
12 減速歯面(他の歯面)
13 硬質炭素皮膜
G 歯車
W ワーク

Claims (2)

  1. 動力装置に組み込まれて駆動力を伝達する歯車(G)の表面を硬質炭素皮膜(13)で被覆した動力装置用歯車であって、
    前記動力装置の加速時に負荷の加わる歯面(11)の硬質炭素皮膜(13)の厚さを他の歯面(12)の硬質炭素皮膜(13)の厚さよりも大きくしたことを特徴とする動力装置用歯車。
  2. 請求項1に記載の動力装置用歯車の製造方法であって、
    歯車形状に加工したワーク(W)を自転させながらPVD法により硬質炭素皮膜(13)を成膜するものであり、前記自転の方向は前記動力装置の加速時に前記歯車(G)が回転する方向と同一とすることを特徴とする動力装置用歯車の製造方法。
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