JP2010179341A - 多層皮膜被覆冷間加工用工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、高い硬度を持つ(TixSi1-x)または(CrxSi1-x)、但しx=0.05〜0.20、の窒化物あるいは炭窒化物皮膜とTiまたは Crの窒化物または炭窒化物皮膜を、両層の組成混合層を介して交互に50周期以上積み重ねることによって、高硬度を維持しながら、大きな衝撃を受けても剥離しがたい皮膜を有する冷間加工用工具を提供するものである。
【選択図】なし
Description
通常の層界面の厚さは、結晶粒界と同程度の厚さと見られ、数原子層、即ち、1nm程度までであるが、混合層の厚さを2〜3nm以上とすれば、界面に集中する応力を大幅に分散させることができる。
その後、Arガスを止め、窒素ガスを装置内に供給して、2Paから4Paの真空度とし、金属ターゲットに放電電力を供給してアーク放電を生じさせて、ターゲット元素の窒化物皮膜の形成を行った。また、炭窒化物皮膜は窒素ガスに加えて、CH4ガスを入れて成膜した。
Claims (3)
- Tiまたは Crの窒化物または炭窒化物と、(TixSi1-x)または(CrxSi1-x)、但しx=0.05〜0.20、の窒化物または炭窒化物を両層の混合組成層を介して交互に50層以上積み重ねたことを特徴とした多層皮膜被覆冷間加工用工具。
- HRc62以上の表面硬度を有する基材に請求項1に記載の多層構造の皮膜を被覆したことを特徴とする多層皮膜被覆冷間加工用工具。
- イオンプレーティング装置の真空層両側面の一方にTiまたは Crターゲットを、他方に(TixSi1-x)または(CrxSi1-x)、但しx=0.05〜0.20、のターゲットを設置し、両ターゲットの間に、基材を載せるテーブルを回転させることによって成膜することを特徴とする請求項1および請求項2に記載の多層構造の皮膜を被覆したことを特徴とする多層皮膜被覆冷間加工用工具。
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WO2023120081A1 (ja) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | 株式会社アマダ | 帯鋸刃及びその製造方法 |
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2009
- 2009-02-06 JP JP2009025532A patent/JP5510773B2/ja active Active
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