JP2010256113A - Method and device for visually inspecting color filter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタの外観検査に関するものであり、特に、カラーフィルタの白抜け欠陥を検査する際に、その欠陥の検出能力を向上させて検査するカラーフィルタの外観検査方法、及び外観検査装置に関する。 The present invention relates to an appearance inspection of a color filter, and more particularly to an appearance inspection method and an appearance inspection apparatus for a color filter for inspecting an improved defect detection capability when inspecting a white defect of a color filter. About.
液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜、フォトスペーサー、配向制御用突起などを順次に位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。 As a method of manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device, first, a black matrix is formed on a glass substrate, and then a colored pixel is aligned with the black matrix pattern on the glass substrate on which the black matrix is formed. In addition, a method of forming a transparent conductive film, a photospacer, an alignment control protrusion, and the like in sequence is widely used.
ブラックマトリックスは遮光性を有し、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。このブラックマトリックスの形成は、例えば、黒色感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。 The black matrix has a light-shielding property, determines the position of the colored pixels of the color filter, makes the size uniform, and shields unwanted light when used in a display device. It has a function of making a uniform image with no unevenness and improved contrast. For example, the black matrix is formed by a photolithography method using a black photosensitive resin.
また、着色画素は、例えば、赤色、緑色、青色の色再現のフィルタ機能を有するものであり、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、着色画素及びブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
The colored pixels have, for example, a filter function for reproducing red, green, and blue colors. For example, a negative type in which a pigment such as a pigment is dispersed on a glass substrate on which the black matrix is formed. A method is adopted in which a photoresist coating film is provided and colored pixels are formed by exposure and development on the coating film.
The transparent conductive film is formed on a glass substrate on which colored pixels and a black matrix are formed by, for example, forming a transparent conductive film by sputtering using ITO (Indium Tin Oxide).
また、フォトスペーサー、及び配向制御用突起などの形成は、上記ブラックマトリックス、或いは着色画素の形成と同様にフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。 In addition, the photo spacer, the alignment control protrusion, and the like are formed by a photolithography method in the same manner as the black matrix or the colored pixel.
このカラーフィルタの製造工程で発生する外観上の欠陥は、その大きさ（範囲）によって、広域欠陥と狭域（点）欠陥とに２分される。広域欠陥は色ムラで代表され、色ムラはカラーフィルタ上の広い範囲に及ぶ色濃度の不良である。また、狭域（点）欠陥は、１）ブラックマトリックスの欠け、着色画素の白抜け（ピンホール）、着色画素のハーフ白抜け、透明導電膜の抜け（ピンホール）などのパターン欠け、２）ブラックマトリックスの残り、着色画素の残り、混色などのパターン残り、３）異物付着（黒欠陥）、４）傷などに大別される。 The appearance defects generated in the manufacturing process of the color filter are divided into a wide area defect and a narrow area (point) defect depending on the size (range). Wide area defects are represented by color unevenness, which is a color density defect over a wide range on a color filter. In addition, narrow-area (point) defects are 1) lack of pattern such as missing black matrix, white spots in colored pixels (pinholes), half white spots in colored pixels, missing transparent conductive films (pinholes), 2) It is roughly divided into black matrix residue, colored pixel residue, mixed color pattern residue, 3) foreign matter adhesion (black defect), and 4) scratch.
これらの欠陥項目の検査は、各製造工程毎に行われることが多い。例えば、ブラックマトリックスの形成後には、ブラックマトリックスの製造中に発生したブラックマトリックスの欠け、ブラックマトリックスの残りなどの項目の検査が行われる。また着色画素の形成後には、着色画素の製造中に発生した着色画素の白抜け（ピンホール）、着色画素のハーフ白抜け、着色画素の残り、異物付着（黒欠陥）、色ムラなどの項目の検査が行われる。 Inspection of these defective items is often performed for each manufacturing process. For example, after the black matrix is formed, items such as black matrix chipping and black matrix remaining generated during the manufacture of the black matrix are inspected. In addition, after the formation of the colored pixels, items such as white spots (pinholes) in the colored pixels, half white spots in the colored pixels, remaining of the colored pixels, adhesion of foreign matter (black defects), color unevenness, etc. Inspection is performed.
上記検査には、透過光によるカラーフィルタの透過検査と反射光による反射検査の２種の検査がある。透過検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠
陥には透過検査が行われる。また、反射検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠陥には反射検査が行われる。すなわち、各欠陥の性状により透過検査又は／及び反射検査が行われる。
尚、上記検査においては、検査する欠陥項目、良否を識別する水準などは、品目によって適宜に設定して行われる。
The inspection includes two types of inspection: a color filter transmission inspection using transmitted light and a reflection inspection using reflected light. Transmission inspection is performed for defects that are accurate and easy to detect defects and to identify good or bad by the transmission inspection. In addition, a reflection inspection is performed for a defect that is accurate and easy to detect a defect and to discriminate pass / fail by the reflection inspection. That is, a transmission inspection and / or a reflection inspection is performed depending on the nature of each defect.
In the above inspection, the defect item to be inspected, the level for identifying good or bad, etc. are appropriately set depending on the item.
図１は、自動外観検査装置の一例の概略を示す側面図である。また、図２は、その平面図である。図１及び図２に示すように、この自動外観検査装置は、定盤（１１）、検査ステージ（１２）、反射光源（１３Ａ）、反射撮像カメラ（１４Ａ）、透過光源（１３Ｂ）、透過撮像カメラ（１４Ｂ）、撮像データ処理部（１５）などからなる制御ユニット（１６）で構成されている。
検査ステージ（１２）に載置されたカラーフィルタ（被検査体）（１０）は、図１中、白太矢印で示すように、Ｘ軸方向に搬送されながら検査を受ける。
FIG. 1 is a side view showing an outline of an example of an automatic visual inspection apparatus. FIG. 2 is a plan view thereof. As shown in FIGS. 1 and 2, the automatic appearance inspection apparatus includes a surface plate (11), an inspection stage (12), a reflection light source (13A), a reflection imaging camera (14A), a transmission light source (13B), and a transmission imaging. It comprises a control unit (16) comprising a camera (14B), an imaging data processing unit (15), and the like.
The color filter (inspected object) (10) placed on the inspection stage (12) undergoes inspection while being conveyed in the X-axis direction, as indicated by the white arrow in FIG.
反射光源（１３Ａ）は、射出された検査光を搬送されてきたカラーフィルタ（被検査体）（１０）の表面に斜め上方から照射する。カラーフィルタ（１０）の表面で反射した反射光を反射撮像カメラ（１４Ａ）で受光させ、その撮像データを制御ユニット（１６）の撮像データ処理部（１５）へと伝送する。
また、透過光源（１３Ｂ）は、射出された検査光を搬送されてきたカラーフィルタ（被検査体）（１０）の裏面に下方から垂直に照射する。カラーフィルタ（１０）を透過した透過光を透過撮像カメラ（１４Ｂ）で受光させ、その撮像データを撮像データ処理部（１５）へと伝送する。撮像データ処理部（１５）では伝送された撮像データを処理し欠陥を判定する。制御ユニット（１６）の演算部は、撮像カメラ、光源などを制御する。記憶部は撮像データ及び欠陥の座標データなど欠陥情報を保存する。
The reflected light source (13A) irradiates the surface of the color filter (inspected object) (10) that has been transported with the emitted inspection light obliquely from above. The reflected light reflected by the surface of the color filter (10) is received by the reflective imaging camera (14A), and the imaging data is transmitted to the imaging data processing unit (15) of the control unit (16).
The transmitted light source (13B) irradiates the back surface of the color filter (inspected object) (10) that has been transported with the emitted inspection light vertically from below. The transmitted light that has passed through the color filter (10) is received by the transmission imaging camera (14B), and the imaging data is transmitted to the imaging data processing unit (15). The imaging data processing unit (15) processes the transmitted imaging data to determine a defect. The calculation unit of the control unit (16) controls the imaging camera, the light source, and the like. The storage unit stores defect information such as imaging data and defect coordinate data.
図２に示すように、この一例における反射撮像カメラ（１４Ａ）は、反射撮像カメラ（１）（１４Ａ（１））〜反射撮像カメラ（８）（１４Ａ（８））の８個の反射撮像カメラで構成されており、これらは、カラーフィルタ（１０）の搬送方向（Ｘ軸方向）と直角に、すなわち、カラーフィルタ（１０）の幅方向（Ｙ軸方向）に一列に順次に配列されている。
また、反射光源（１３Ａ）は、反射光源（１）（１３Ａ（１））〜反射光源（８）（１３Ａ（８））の８個の反射光源で構成されており、上記反射撮像カメラ（１）（１４Ａ（１））〜反射撮像カメラ（８）（１４Ａ（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。
As shown in FIG. 2, the reflection imaging camera (14A) in this example includes eight reflection imaging cameras (1) (14A (1)) to reflection imaging cameras (8) (14A (8)). These are arranged in a line at right angles to the conveying direction (X-axis direction) of the color filter (10), that is, in the width direction (Y-axis direction) of the color filter (10). .
The reflection light source (13A) is composed of eight reflection light sources of reflection light sources (1) (13A (1)) to reflection light sources (8) (13A (8)), and the reflection imaging camera (1). ) (14A (1)) to the reflective imaging camera (8) (14A (8)), which are sequentially arranged in a line in the Y-axis direction.
また、透過撮像カメラ（１４Ｂ）は、透過撮像カメラ（１）（１４Ｂ（１））〜透過撮像カメラ（８）（１４Ｂ（８））の８個の透過撮像カメラで構成されており、上記反射撮像カメラ（１）（１４Ａ（１））〜反射撮像カメラ（８）（１４Ａ（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。また、透過光源（１３Ｂ）は、透過光源（１）（１３Ｂ（１））〜透過光源（８）（１３Ｂ（８））の８個の透過光源で構成されており、各々が定盤（１１）の下方にて透過撮像カメラ（１）（１４Ｂ（１））〜透過撮像カメラ（８）（１４Ｂ（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。
この反射光源及び透過光源の光源としては、可視領域にて略等しい相対強度をもつ白色光源が広く用いられている。
The transmissive imaging camera (14B) is composed of eight transmissive imaging cameras of the transmissive imaging cameras (1) (14B (1)) to the transmissive imaging cameras (8) (14B (8)). Corresponding to the arrangement of the imaging cameras (1) (14A (1)) to the reflection imaging cameras (8) (14A (8)), they are sequentially arranged in a line in the Y-axis direction. The transmissive light source (13B) is composed of eight transmissive light sources of transmissive light sources (1) (13B (1)) to transmissive light sources (8) (13B (8)), each of which is a surface plate (11 ) Corresponding to the arrangement of the transmissive imaging cameras (1) (14B (1)) to the transmissive imaging cameras (8) (14B (8)), which are sequentially arranged in a line in the Y-axis direction.
As a light source of the reflection light source and the transmission light source, a white light source having a substantially equal relative intensity in the visible region is widely used.
カラーフィルタ（１０）のサイズは、例えば、幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度のものである。図１及び図２に示すように、反射撮像カメラ（１４Ａ）及び透過撮像カメラ（１４Ｂ）は固定されており、カラーフィルタ（１０）が検査ステージ（１２）に載置された状態で、白太矢印で示すように、左方から右方へ移動し、カラーフィルタ（被検査体）（１０）面が走査される。
反射撮像カメラ（１４Ａ）及び透過撮像カメラ（１４Ｂ）の撮像素子としては、例えば、ラインセンサーが用いられることが多い。
The size of the color filter (10) is, for example, about width (W) 1500 mm × length (L) 1800 mm. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the reflection imaging camera (14A) and the transmission imaging camera (14B) are fixed, and the white filter is placed with the color filter (10) placed on the inspection stage (12). As indicated by the arrow, the color filter (inspected object) (10) surface is scanned from the left to the right.
For example, a line sensor is often used as the imaging device of the reflection imaging camera (14A) and the transmission imaging camera (14B).
図３は、撮像カメラにて撮像されたカラーフィルタ画像の一例を模式的に示す説明図である。図３に示すように、被検査体としてのカラーフィルタは、ブラックマトリックス（２１）が形成され外観検査の終了したガラス基板上に、赤色、緑色、青色の着色画素（２２）が形成された状態のものである。各色の着色画素（２２）は、その各々が、図３中、Ｙ軸方向に連続して配設されている。またＸ軸方向には、その各色の連続した列が赤色、緑色、青色の順に繰り返し配設されている。赤色の着色画素（Ｐ２）に欠陥（Ｄ）が発生している例である。 FIG. 3 is an explanatory diagram schematically illustrating an example of a color filter image captured by the imaging camera. As shown in FIG. 3, the color filter as the object to be inspected is a state in which red, green, and blue colored pixels (22) are formed on the glass substrate on which the black matrix (21) is formed and the appearance inspection is completed. belongs to. Each of the colored pixels (22) of each color is continuously arranged in the Y-axis direction in FIG. In the X-axis direction, a continuous row of each color is repeatedly arranged in the order of red, green, and blue. This is an example in which a defect (D) occurs in a red colored pixel (P2).
図４（ａ）は、図３に示す左端の赤色の着色画素（Ｐ１）の点線で囲む部分を拡大した説明図である。また、図４（ｂ）は、隣接する赤色の着色画素（Ｐ２）の点線で囲む部分を拡大した説明図である。
この検査装置は、欠陥がランダムに発生することを前提にして、隣接する同色の着色画素（２２）を比較して欠陥を検出する比較方式（比較処理）を採用したものである。図４中、左端の赤色の着色画素（Ｐ１）の特定箇所（Ｋｉ）の明るさ（撮像カメラへ入射する光の強さ）と、隣接する赤色の着色画素（Ｐ２）の特定箇所（Ｋｉ）の明るさの差によって欠陥を判定する。
FIG. 4A is an explanatory diagram in which a portion surrounded by a dotted line of the red colored pixel (P1) at the left end shown in FIG. 3 is enlarged. FIG. 4B is an explanatory diagram in which a portion surrounded by a dotted line of the adjacent red colored pixel (P2) is enlarged.
This inspection apparatus employs a comparison method (comparison process) in which defects are detected by comparing adjacent colored pixels (22) of the same color on the premise that defects are randomly generated. In FIG. 4, the brightness (intensity of light incident on the imaging camera) of the specific portion (Ki) of the leftmost red colored pixel (P1) and the specific portion (Ki) of the adjacent red colored pixel (P2). The defect is determined by the difference in brightness.
１個の着色画素は、複数の領域（Ｋ１〜Ｋｎ）に分割される。複数に分割された１領域は、検査のために比較する着色画素上の１単位であり、以降、本発明においては、この１領域を着色画素上の検査画素と称する。また、例えば、欠陥を複数に分割した際には、その１領域を欠陥の検査画素と称する。 One colored pixel is divided into a plurality of regions (K1 to Kn). One area divided into a plurality is one unit on a colored pixel to be compared for inspection, and hereinafter, in the present invention, this one area is referred to as an inspection pixel on the colored pixel. For example, when a defect is divided into a plurality of areas, one area is referred to as a defect inspection pixel.
先ず、左端の赤色の着色画素（Ｐ１）の第１検査画素（Ｋ１）の明るさと、隣接する赤色の着色画素（Ｐ２）の第１検査画素（Ｋ１）の明るさを比較し、次に、着色画素（Ｐ１）の第２検査画素（Ｋ２）の明るさと、着色画素（Ｐ２）の第２検査画素（Ｋ２）の明るさを比較し、以降、同様に順次に比較を行い、着色画素（Ｐ１）に対する着色画素（Ｐ２）の欠陥の有無を判定する。 First, the brightness of the first inspection pixel (K1) of the red coloring pixel (P1) at the left end is compared with the brightness of the first inspection pixel (K1) of the adjacent red coloring pixel (P2). The brightness of the second inspection pixel (K2) of the coloring pixel (P1) is compared with the brightness of the second inspection pixel (K2) of the coloring pixel (P2). The presence / absence of a defect in the colored pixel (P2) with respect to P1) is determined.
図４においては、着色画素（Ｐ１）の第ｉ検査画素（Ｋｉ）の明るさと、着色画素（Ｐ２）の第ｉ検査画素（Ｋｉ）の明るさの差が大きいために欠陥と判定されることになる。この明るさは、撮像カメラが再現する輝度範囲を、例えば、８ビット（２５６）にて区分した２５６段階で表示した数値を用い、その数値の差が、予め設定した閾値以上であるとき、着色画素（Ｐ２）の明るさの差が大きな複数の第ｉ検査画素（Ｋｉ）で構成される領域を欠陥と判定するようにしておく。 In FIG. 4, since the difference between the brightness of the i-th inspection pixel (Ki) of the colored pixel (P1) and the brightness of the i-th inspection pixel (Ki) of the colored pixel (P2) is large, it is determined as a defect. become. For this brightness, for example, a numerical value displayed in 256 levels obtained by dividing the luminance range reproduced by the imaging camera into 8 bits (256) is used, and when the difference between the numerical values is equal to or larger than a preset threshold value, coloring is performed. An area composed of a plurality of i-th inspection pixels (Ki) having a large brightness difference between the pixels (P2) is determined as a defect.
自動外観検査装置で検出された欠陥は、例えば、自動外観検査装置の後工程に設置されたレビュー装置を使用して、作業員がモニターで欠陥を確認することができる。
図５は、作業員が欠陥を確認する際に使用するレビュー装置の一例の概略を示す側面図である。図５に示すように、このレビュー装置は、定盤（１１）、検査ステージ（１２）、顕微鏡（１４Ｃ）、モニター（１７）で構成されている。
The defect detected by the automatic visual inspection apparatus can be confirmed by the operator on the monitor using, for example, a review apparatus installed in a subsequent process of the automatic visual inspection apparatus.
FIG. 5 is a side view illustrating an outline of an example of a review device used when a worker confirms a defect. As shown in FIG. 5, this review apparatus is composed of a surface plate (11), an inspection stage (12), a microscope (14C), and a monitor (17).
検査ステージ（１２）に載置されたカラーフィルタ（被検査体）（１０）は、定盤（１１）上で静止した状態で欠陥の確認を受ける。レビュー装置は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向への移動機構（図示せず）によって、定盤（１１）上方の顕微鏡（１４Ｃ）を任意のＸＹ座標位置へ移動させることが出来るようになっている。 The color filter (inspected object) (10) placed on the inspection stage (12) is checked for defects while still on the surface plate (11). The review device can move the microscope (14C) above the surface plate (11) to an arbitrary XY coordinate position by a moving mechanism (not shown) in the X-axis direction and the Y-axis direction. .
レビュー装置は、通信手段によって自動外観検査装置の制御ユニット（１６）に接続されており、制御ユニット（１６）に保存された、前記欠陥の座標データを基に、顕微鏡（１４Ｃ）をカラーフィルタ（被検査体）（１０）上の欠陥上方の位置に移動させることが出来るようになっている。 The review device is connected to the control unit (16) of the automatic appearance inspection device by communication means, and the color filter (14C) is connected to the microscope (14C) based on the defect coordinate data stored in the control unit (16). It can be moved to a position above the defect on the inspection object (10).
顕微鏡（１４Ｃ）は、撮像素子としてエリアセンサーを備えており、内蔵する照明装置からの検査光をカラーフィルタ（被検査体）（１０）に照射し、オートフォーカスで焦点を合わせ欠陥の映像を取得し、取得した映像をモニター（１７）上に表示することができる。
作業員は、レビュー装置のモニター（１７）上に表示される映像を観視して、自動外観検査装置が検出した欠陥を確認する。
The microscope (14C) includes an area sensor as an image sensor, irradiates the inspection light from the built-in illumination device onto the color filter (inspected object) (10), and focuses with autofocus to acquire a defect image. Then, the acquired video can be displayed on the monitor (17).
The worker observes the video displayed on the monitor (17) of the review device, and confirms the defect detected by the automatic visual inspection device.
一般的な着色画素の大きさは、幅（ａ）（６０〜１２０μｍ）×長さ（ｂ）（１００〜３００μｍ）□の大きさであり、修正の対象となる欠陥の大きさは、２０〜１２０μｍφ程度のものである。また、現状の自動外観検査装置は、大きさ略１０μｍφ以上の欠陥を検出できる性能を有したものである。 The size of a general coloring pixel is a size of width (a) (60 to 120 μm) × length (b) (100 to 300 μm) □, and the size of a defect to be corrected is 20 to 20 mm. It is about 120 μmφ. Further, the current automatic visual inspection apparatus has a capability of detecting a defect having a size of about 10 μmφ or more.
本発明は、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの製造工程で発生する欠陥、特に、白抜け（ピンホール）を外観検査する際に、その欠陥の検出能力を向上させて検査することのできるカラーフィルタの外観検査方法を提供することを課題とするものである。
また、上記欠陥の検出能力を向上させて検査することのできる外観検査装置を提供することを課題とする。
The present invention improves the defect detection capability when visually inspecting defects, particularly white holes (pinholes), generated in the manufacturing process of a color filter composed of colored pixels of red, green, and blue. It is an object of the present invention to provide a color filter appearance inspection method that can be inspected.
It is another object of the present invention to provide an appearance inspection apparatus capable of inspecting with improved defect detection capability.
本発明は、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの外観検査方法において、
１）前記カラーフィルタを照射する透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、
２）前記赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光をカラーフィルタに照射し、カラーフィルタを透過した透過光を撮像カメラで撮像し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、
３）前記緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射し、カラーフィルタを透過した透過光を撮像カメラで撮像し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、
４）前記青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射し、カラーフィルタを透過した透過光を撮像カメラで撮像し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定することを特徴とするカラーフィルタの外観検査方法である。
The present invention is an appearance inspection method of a color filter composed of colored pixels of red, green, and blue,
1) As a light source for transmission inspection that irradiates the color filter, a light source capable of selectively irradiating red, green, and blue light is used.
2) When inspecting the red colored pixels, the color filters are irradiated with green and blue light, the transmitted light that has passed through the color filters is imaged with an imaging camera, and the obtained imaging data is compared. To determine the presence or absence of defects,
3) When inspecting the green colored pixel, the color filter is irradiated with blue and red light, the transmitted light that has passed through the color filter is imaged with an imaging camera, and the obtained imaging data is compared. To determine the presence or absence of defects,
4) When inspecting the blue colored pixels, the color filters are irradiated with red and green light, the transmitted light that has passed through the color filters is imaged with an imaging camera, and the obtained imaging data is compared. The color filter appearance inspection method is characterized in that the presence or absence of a defect is determined by:
また、本発明は、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの外観検査方法において、
１）前記カラーフィルタを照射する透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、
２）前記緑色及び青色の光をカラーフィルタに照射して得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が赤色の着色画素上の欠陥であり、
３）前記青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射して得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が緑色の着色画素上の欠陥であり、
４）前記赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射して得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が青色の着色画素上の欠陥であると判定することを特徴とするカラーフィルタの外観検査方法である。
Further, the present invention relates to a color filter appearance inspection method composed of colored pixels of red, green, and blue.
1) As a light source for transmission inspection that irradiates the color filter, a light source capable of selectively irradiating red, green, and blue light is used.
2) Comparing the imaging data obtained by irradiating the color filters with the green and blue light, a region having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on the red colored pixel,
3) The imaging data obtained by irradiating the color filters with the blue and red light is compared, and a region having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on the green colored pixel,
4) Comparing the imaging data obtained by irradiating the color filters with the red and green light, and determining that a region having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on a blue colored pixel. This is a characteristic color filter appearance inspection method.
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタの外観検査方法において、前記赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源として、ピーク波長６３０ｎｍの赤色発光ダイオード、ピーク波長５２０ｎｍの緑色発光ダイオード、ピーク波長４６０ｎｍの青色発光ダイオードの３種の発光ダイオードを用いることを特徴とするカラーフィルタの外観検査方法である。 Further, the present invention provides a color filter visual inspection method according to the above invention, wherein a light source capable of selectively irradiating the red, green, and blue light is a red light emitting diode having a peak wavelength of 630 nm, a green light emitting diode having a peak wavelength of 520 nm, A color filter appearance inspection method using three types of light emitting diodes of blue light emitting diodes having a peak wavelength of 460 nm.
また、本発明は、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの外観検査装置において、
１）前記カラーフィルタを照射する透過検査光として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源部、
２）カラーフィルタの片面側から選択された光を照射し、カラーフィルタを透過した透過光を他面側から撮像する撮像部、
３）カラーフィルタを光源部と撮像部間で保持、搬送させる搬送部、
４）記憶部、撮像データ処理部、演算部、操作部、表示部で構成される制御ユニット、を少なくとも具備することを特徴とする外観検査装置である。
In addition, the present invention provides a color filter appearance inspection apparatus composed of colored pixels of red, green, and blue.
1) A light source unit capable of selectively irradiating red, green, and blue light as transmission inspection light for irradiating the color filter;
2) An imaging unit that irradiates light selected from one side of the color filter and images transmitted light that has passed through the color filter from the other side;
3) A transport unit that holds and transports the color filter between the light source unit and the imaging unit,
4) An appearance inspection apparatus including at least a control unit including a storage unit, an imaging data processing unit, a calculation unit, an operation unit, and a display unit.
また、本発明は、上記発明による外観検査装置において、前記赤色、緑色、青色の着色画素内の、対象色の着色画素の検査（対象色検査）と、赤色、緑色、青色の着色画素の検査（通常検査）を行う機能を備えていることを特徴とする外観検査装置である。 According to the present invention, in the appearance inspection apparatus according to the above-described invention, an inspection of a target color pixel (target color inspection) and an inspection of a red, green, and blue color pixel in the red, green, and blue color pixels. An appearance inspection apparatus having a function of performing (normal inspection).
また、本発明は、上記発明による外観検査装置において、前記赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源として、ピーク波長６３０ｎｍの赤色発光ダイオード、ピーク波長５２０ｎｍの緑色発光ダイオード、ピーク波長４６０ｎｍの青色発光ダイオードの３種の発光ダイオードを用いることを特徴とする外観検査装置である。 Further, according to the present invention, in the visual inspection apparatus according to the above invention, as a light source capable of selectively irradiating the red, green, and blue light, a red light emitting diode having a peak wavelength of 630 nm, a green light emitting diode having a peak wavelength of 520 nm, and a peak wavelength of 460 nm An appearance inspection apparatus using three types of light emitting diodes of blue light emitting diodes.
また、本発明は、上記発明による外観検査装置において、前記対象色検査と通常検査を、定期的に切り換えて行う機能を備えていることを特徴とする外観検査装置である。 According to the present invention, in the appearance inspection apparatus according to the above-described invention, the appearance inspection apparatus is provided with a function of periodically switching between the target color inspection and the normal inspection.
また、本発明は、上記発明による外観検査装置において、前記対象色検査と通常検査を、同一のカラーフィルタに対し複数回行う機構を備えていることを特徴とする外観検査装置である。 The present invention is the appearance inspection apparatus according to the above-mentioned invention, further comprising a mechanism for performing the target color inspection and the normal inspection a plurality of times for the same color filter.
本発明は、１）透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、２）赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光をカラーフィルタ
に照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、３）緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、４）青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定するので、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるカラーフィルタの製造工程で発生する欠陥、特に、白抜け（ピンホール）を外観検査する際に、その欠陥の検出能力を向上させて検査するすることのできるカラーフィルタの外観検査方法となる。
The present invention uses 1) a light source capable of selectively irradiating red, green, and blue light as a light source for transmission inspection. 2) When inspecting red colored pixels, green and blue light are colored. Irradiate the filter and compare the obtained image data to determine the presence or absence of defects. 3) When inspecting green colored pixels, the color filter is irradiated with blue and red light. 4) When inspecting blue colored pixels, the color filters are irradiated with red and green light, and the obtained imaging data is compared. Therefore, it is determined whether or not there is a defect in a color filter manufacturing process including red, green, and blue colored pixels, particularly when white defects (pinholes) are visually inspected. Improved detection capability A visual inspection method for a color filter which can be inspected Te.
また、本発明は、１）透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、２）緑色及び青色の光で得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が赤色の着色画素上の欠陥であり、３）青色及び赤色の光で得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が緑色の着色画素上の欠陥であり、４）赤色及び緑色の光で得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が青色の着色画素上の欠陥であると判定するので、赤色、緑色、青色の着色画素の各々に欠陥部があっても、検査する対象色の着色画素上の欠陥部のみを検出する外観検査方法となる。 Further, the present invention uses 1) a light source capable of selectively irradiating red, green, and blue light as a light source for transmission inspection, and 2) performs a comparison process on imaging data obtained with green and blue light, An area having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on a red colored pixel, and 3) a comparison process is performed on imaging data obtained with blue and red light, and an area having a brightness exceeding a predetermined threshold is 4) a defect on the green colored pixel, 4) comparing the image data obtained with red and green light, and determining that an area having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on the blue colored pixel Therefore, even if each of the red, green, and blue colored pixels has a defective portion, the appearance inspection method detects only the defective portion on the colored pixel of the target color to be inspected.
また、本発明は、１）透過検査光として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源部、２）カラーフィルタを透過した透過光を他面側から撮像する撮像部、３）カラーフィルタを光源部と撮像部間で保持、搬送させる搬送部、４）記憶部、撮像データ処理部、演算部、操作部、表示部で構成される制御ユニットを少なくとも具備するので、欠陥の検出能力を向上させて検査することのできる外観検査装置となる。 The present invention also includes: 1) a light source unit that can selectively irradiate red, green, and blue light as transmission inspection light, 2) an imaging unit that images the transmitted light that has passed through the color filter from the other side, and 3) Detecting defects since it includes at least a control unit including a transport unit that holds and transports the color filter between the light source unit and the imaging unit, and 4) a storage unit, an imaging data processing unit, a calculation unit, an operation unit, and a display unit An appearance inspection apparatus capable of inspecting with improved capability.
また、本発明は、赤色、緑色、青色の着色画素内の、対象色の着色画素の検査（対象色検査）と、赤色、緑色、青色の着色画素の検査（通常検査）を行う機能を備えているので、例えば、対象色を稼働している製造工程での欠陥の発生状況を把握と、通常検査を行う製造工程での欠陥の発生状況を把握することが可能な外観検査装置となる。 In addition, the present invention has a function of inspecting the target color pixel (target color inspection) and the red, green, and blue color pixels (normal inspection) in the red, green, and blue color pixels. Therefore, for example, an appearance inspection apparatus capable of grasping the occurrence status of defects in the manufacturing process operating the target color and grasping the occurrence status of defects in the manufacturing process in which normal inspection is performed.
以下に、本発明によるカラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置を、その実施の形態に基づいて説明する。 Hereinafter, a color filter appearance inspection method and an appearance inspection apparatus according to the present invention will be described based on embodiments thereof.
図６は、本発明による外観検査装置の一例の概略を示す側面図である。また、図２は、その平面図である。図１及び図２に示すように、この外観検査装置は、光源部（４０）、撮像部（５０）、搬送部（３０）、制御ユニット（６０）で構成されている。
搬送部（３０）上のカラーフィルタ（被検査体）（１０）は、図６中、白太矢印で示すように、Ｘ軸方向に搬送されながら検査を受ける。
FIG. 6 is a side view showing an outline of an example of an appearance inspection apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a plan view thereof. As shown in FIGS. 1 and 2, the appearance inspection apparatus includes a light source unit (40), an imaging unit (50), a transport unit (30), and a control unit (60).
The color filter (inspected object) (10) on the transport unit (30) undergoes inspection while being transported in the X-axis direction, as indicated by white arrows in FIG.
光源部（４０）は、搬送部（３０）の下方に設けられており、照射された透過検査光を搬送されてきたカラーフィルタ（被検査体）（１０）の裏面に下方から垂直に照射する。光源部（４０）は、赤色、緑色、青色の光を選択し組合わせた透過検査光を照射することができるようになっている。例えば、各色の単色、各２色の組合わせ、全３色の組合わせなど、赤色、緑色、青色の光を選択し組合わせ透過検査光としたものである。 The light source unit (40) is provided below the transport unit (30), and irradiates the back surface of the color filter (inspected object) (10) that has been transported with the transmitted transmission inspection light vertically from below. . The light source unit (40) can irradiate transmission inspection light in which red, green, and blue light are selected and combined. For example, light of red, green, and blue is selected as a combined transmission inspection light, such as a single color of each color, a combination of two colors, or a combination of all three colors.
撮像部（５０）は、搬送部（３０）の上方に設けられており、カラーフィルタ（被検査体）（１０）を透過した透過光を撮像し、その撮像データを制御ユニット（６０）を構成する撮像データ処理部（６２）へと伝送する。撮像データ処理部（６２）では伝送された撮像データを処理し欠陥を判定する。 The imaging unit (50) is provided above the transport unit (30), images the transmitted light that has passed through the color filter (inspected object) (10), and configures the imaging data as a control unit (60). To the imaging data processing unit (62). The imaging data processing unit (62) processes the transmitted imaging data to determine a defect.
本発明における光源部（４０）を構成する赤色、緑色、青色の各色光源としては、各種発光光源を用いることができる。しかし、図７（ｂ）に示すように、赤色、緑色、青色の発光ダイオードの発光スペクトルにおいては、そのピーク波長は、赤色発光ダイオードではピーク波長６３０ｎｍ、緑色発光ダイオードではピーク波長５２０ｎｍ、青色発光ダイオードではピーク波長５６０ｎｍであり、各々、その波長帯域が鋭い立ち上がり特性を示すこと、他の光源よりも狭い波長帯域を示すこと、また、図７（ａ）に示すように、各々、ピーク波長が他の色のフィルタ帯域から外れていることなどからして、自己の色と異なるカラーフィルタの着色画素によって大きく減衰される点で、発光ダイオードを用いることが望ましい。 Various light sources can be used as the red, green, and blue color light sources constituting the light source section (40) in the present invention. However, as shown in FIG. 7B, in the emission spectrum of the red, green, and blue light emitting diodes, the peak wavelength is 630 nm for the red light emitting diode, 520 nm for the green light emitting diode, and the blue light emitting diode. In FIG. 7A, the peak wavelength is 560 nm, each of which shows a sharp rising characteristic, shows a narrower wavelength band than other light sources, and, as shown in FIG. It is desirable to use a light emitting diode in that it is greatly attenuated by colored pixels of a color filter different from its own color because it is out of the filter band of this color.
次に、上記に例示した外観検査装置を用いた、カラーフィルタの外観検査方法の第１例を説明する。この第１例は、従来の外観検査方法と比較して、本発明による外観検査方法は、白抜け（ピンホール）の検出が原理的に著しく向上することを説明する例である。
被検査体としてのカラーフィルタは、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるものであり、その赤色の着色画素に人工的に白抜け（欠陥部）を設けたものを用いている。
Next, a first example of a color filter appearance inspection method using the appearance inspection apparatus exemplified above will be described. This first example is an example for explaining that the detection of white spots (pinholes) is remarkably improved in principle in the appearance inspection method according to the present invention as compared with the conventional appearance inspection method.
A color filter as an object to be inspected is composed of red, green, and blue colored pixels, and a red color pixel that is artificially provided with white spots (defects) is used.
また、外観検査装置としては、比較するために、従来の外観検査装置と本発明による外観検査装置の２種の外観検査装置を用いている。従来の外観検査装置には、透過検査光を照射する光源として、可視領域にて略等しい相対強度をもつ白色光源が備えられており、また、本発明による外観検査装置には、上記赤色、緑色、青色の発光ダイオードが光源と
して備えられている。
As a visual inspection device, for comparison, two types of visual inspection devices are used: a conventional visual inspection device and a visual inspection device according to the present invention. A conventional visual inspection apparatus is provided with a white light source having a substantially equal relative intensity in the visible region as a light source for irradiating a transmission inspection light, and the visual inspection apparatus according to the present invention has the above red and green colors. A blue light emitting diode is provided as a light source.
図９上段（ａ）〜（ｃ）は、従来の白色光源を用いた際を説明するものであり、また、下段（ａ）〜（ｃ）は、赤色、緑色、青色の発光ダイオードの光源を用いた際を説明するものである。上段、下段共に、（ａ）列は、カラーフィルタの着色画素を撮像カメラで撮像した撮像画像、（ｂ）列は、隣接する同色着色画素の明るさを比較処理した画像、（ｃ）列は、２値化処理をした画像を表している。 9A to 9C illustrate the case where a conventional white light source is used, and the lower stages (a) to (c) illustrate light sources of red, green, and blue light emitting diodes. It will be explained when used. In both the upper and lower stages, (a) column is a captured image obtained by imaging colored pixels of a color filter with an imaging camera, (b) column is an image obtained by comparing the brightness of adjacent colored pixels of the same color, and (c) column is It represents an image that has been binarized.
上段（ａ）は、従来の白色光源を用いた際の撮像画像であるが、上段（ａ）中、符号（２２Ｒ）、（２２Ｇ）、（２２Ｂ）は、各々赤色、緑色、青色の着色画素の撮像画像であり、また、符号（Ｄ１−Ｒａ）は、人工的に赤色の着色画素（２２Ｒ）に設けた白抜け（欠陥部）の撮像画像である。この欠陥部（Ｄ１−Ｒａ）は、３色の着色画素中、赤色の着色画素（２２Ｒ）のみに設けられている。 The upper row (a) is a captured image when a conventional white light source is used. In the upper row (a), reference numerals (22R), (22G), and (22B) are colored pixels of red, green, and blue, respectively. In addition, reference numeral (D1-Ra) is a captured image of white spots (defective portions) artificially provided in the red colored pixel (22R). The defective portion (D1-Ra) is provided only in the red colored pixel (22R) among the three colored pixels.
表１は、この撮像画像の明るさを表したものである。表１中の数値は、撮像カメラが再現する輝度範囲を８ビット（２５６）にて区分した２５６段階を表示した数値であり、数値の大きな方が明るいことを表している。
表１に示すように、赤色の着色画素（２２Ｒ）、緑色の着色画素（２２Ｇ）、青色の着色画素（２２Ｂ）の正常部は、７８〜８８の略等しい明るさとなっている。一方、欠陥部（Ｄ１−Ｒａ）は、２１６であり、その明るさは遙に大きい明るさである。
As shown in Table 1, normal portions of the red colored pixel (22R), the green colored pixel (22G), and the blue colored pixel (22B) have substantially the same brightness of 78 to 88. On the other hand, the defect portion (D1-Ra) is 216, and the brightness is extremely large.
上段（ｂ）及び（ｃ）は、比較処理及び２値化処理をした画像であるが、各画像では、欠陥部（Ｄ１−Ｒｂ）及び欠陥部（Ｄ１−Ｒｃ）のみが表示されている。上段（ａ）〜（ｃ）にて、各欠陥部の大きさは、欠陥部（Ｄ１−Ｒａ）、欠陥部（Ｄ１−Ｒｂ）、欠陥部（Ｄ１−Ｒｃ）の順に小さなものとなっている。
表２は、２値化処理後に検出した欠陥部の検出サイズを表したものである。上段（ｃ）の欠陥部（Ｄ１−Ｒｃ）の検出サイズは、前述した検査画素に換算し、６検査画素のサイズである。
Table 2 shows the detection size of the defective portion detected after the binarization process. The detection size of the defective portion (D1-Rc) in the upper stage (c) is the size of 6 inspection pixels in terms of the above-described inspection pixels.
一方、下段（ａ）は、赤色、緑色、青色の発光ダイオードの光源を用いた際の撮像画像である。被検査体としてのカラーフィルタは、上段（ａ）〜（ｃ）と同一のものである。下段（ａ）にては、赤色、緑色、青色の発光ダイオードの内、緑色の発光ダイオード及び青色の発光ダイオードの光を選択しカラーフィルタを照射している。
これは、本発明においては、赤色の着色画素（２２Ｒ）上にある欠陥部を検査する際には、カラーフィルタを照射する光として、赤色以外の緑色及び青色の光を照射するためである。
On the other hand, the lower part (a) is a captured image when light sources of red, green, and blue light emitting diodes are used. The color filter as the object to be inspected is the same as the upper stage (a) to (c). In the lower part (a), the light of the green light emitting diode and the blue light emitting diode is selected from the red, green, and blue light emitting diodes, and the color filter is irradiated.
This is because, in the present invention, when inspecting a defective portion on the red colored pixel (22R), green and blue light other than red is emitted as light for irradiating the color filter.
表３に示すように、緑色の着色画素（２２Ｇ）及び青色の着色画素（２２Ｂ）の正常部は、１０５及び１１１の略等しい明るさとなっている。また、欠陥部（Ｄ２−Ｒａ）は、２１４であり、表１に示す欠陥部（Ｄ１−Ｒａ）と同程度の大きな明るさである。
一方、赤色の着色画素（２２Ｒ）の正常部は、１６であり、緑色の着色画素（２２Ｇ）及び青色の着色画素（２２Ｂ）の正常部の明るさと比較し、著しく暗い状態である。
On the other hand, the normal part of the red colored pixel (22R) is 16, which is significantly darker than the brightness of the normal part of the green colored pixel (22G) and the blue colored pixel (22B).
これは、光源に赤色の光がないこと、及び照射した緑色及び青色の光は、赤色の着色画素（２２Ｒ）によって減衰しているためである。ここで、表１と表３を対比してみると、従来の白色光源（表１）での欠陥部（Ｄ１−Ｒａ）の明るさ（２１６）と、赤色の着色画素（２２Ｒ）の明るさ（８３）の差よりも、３色の発光ダイオードの光源（表３）での欠
陥部（Ｄ２−Ｒａ）の明るさ（２１４）と、赤色の着色画素（２２Ｒ）の明るさ（１６）の差の方が、大きなものとなっている。
This is because there is no red light in the light source, and the emitted green and blue light is attenuated by the red colored pixels (22R). Here, comparing Table 1 and Table 3, the brightness (216) of the defective portion (D1-Ra) and the brightness of the red colored pixel (22R) in the conventional white light source (Table 1). The brightness (214) of the defective portion (D2-Ra) in the light source (Table 3) of the light emitting diodes of three colors and the brightness (16) of the red colored pixel (22R) are more than the difference of (83). The difference is bigger.
これを、明るさの比で換算すると、欠陥部（Ｄ１−Ｒａ）は２１６／８３≒２．６、欠陥部（Ｄ２−Ｒａ）は２１４／１６≒１３．４となり、コントラストにおいて大幅に相違したものとなる。つまり、３色の発光ダイオードの光を選択して用いることによって、撮像画像が得られた段階で、既に欠陥部を検出する能力が大幅に向上していることが示されている。 When this is converted by the ratio of brightness, the defect part (D1-Ra) is 216 / 83≈2.6, and the defect part (D2-Ra) is 214 / 16≈13.4, which is greatly different in contrast. It will be a thing. That is, it is shown that the ability to detect a defective portion has been greatly improved by selecting and using the light of the light emitting diodes of three colors when a captured image is obtained.
下段（ｂ）及び（ｃ）は、比較処理及び２値化処理をした画像であるが、各画像では、欠陥部（Ｄ２−Ｒｂ）及び欠陥部（Ｄ２−Ｒｃ）のみが表示されている。下段（ａ）〜（ｃ）にて、各欠陥部の大きさは、欠陥部（Ｄ２−Ｒａ）≒欠陥部（Ｄ２−Ｒｂ）＞欠陥部（Ｄ２−Ｒｃ）となっている。表２は、２値化処理後に検出した欠陥部の検出サイズを表したものである。下段（ｃ）の欠陥部（Ｄ２−Ｒｃ）の検出サイズは、前述した検査画素に換算し、１５検査画素のサイズである。表２に示すように、従来の白色光源を用いた際の検出サイズの６検査画素に対し、欠陥部の検出能力が大幅に向上している。 The lower sections (b) and (c) are images that have been subjected to comparison processing and binarization processing. In each image, only the defective portion (D2-Rb) and the defective portion (D2-Rc) are displayed. In the lower stages (a) to (c), the size of each defect portion is such that the defect portion (D2-Ra) ≈the defect portion (D2-Rb)> the defect portion (D2-Rc). Table 2 shows the detection size of the defective portion detected after the binarization process. The detection size of the defective part (D2-Rc) in the lower stage (c) is the size of 15 inspection pixels in terms of the above-described inspection pixels. As shown in Table 2, the defect detection capability is greatly improved with respect to 6 inspection pixels having a detection size when a conventional white light source is used.
尚、上記説明は、赤色の着色画素（２２Ｒ）上に白抜け（欠陥部）が発生した例であるが、緑色の着色画素（２２Ｇ）、青色の着色画素（２２Ｂ）のいずれにおいても、検査する対象色以外の２色の発光ダイオードの光を選択して用いることによって、同様に、欠陥部の検出能力が大幅に向上する効果が得られる。 The above description is an example in which white spots (defects) are generated on the red colored pixel (22R). However, in both the green colored pixel (22G) and the blue colored pixel (22B), the inspection is performed. Similarly, by selecting and using the light of the light emitting diodes of two colors other than the target color to be used, an effect of greatly improving the defect detection capability can be obtained.
次に、上記に例示した外観検査装置を用いた、カラーフィルタの外観検査方法の第２例を説明する。この第２例は、赤色、緑色、青色の着色画素の各々に欠陥部があっても、検査する対象色の着色画素上の欠陥部のみを検出する外観検査方法を説明する例である。
被検査体としてのカラーフィルタは、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるものであり、その赤色、緑色、青色の着色画素の各々に人工的に白抜け（欠陥部）を設けたものを用いている。また、外観検査装置としては、赤色、緑色、青色の発光ダイオードが備えられた、上記に例示した外観検査装置を用いている。
Next, a second example of the color filter appearance inspection method using the appearance inspection apparatus exemplified above will be described. This second example is an example for explaining an appearance inspection method for detecting only a defective portion on a colored pixel of a target color to be inspected even if each of the red, green, and blue colored pixels has a defective portion.
The color filter as the object to be inspected is composed of red, green, and blue colored pixels, and each of the red, green, and blue colored pixels is artificially provided with white spots (defects). Is used. Further, as the visual inspection apparatus, the visual inspection apparatus exemplified above, which is provided with red, green, and blue light emitting diodes, is used.
図１０上段（ａ）〜（ｃ）は、赤色の着色画素（２２Ｒ）、緑色の着色画素（２２Ｇ）、青色の着色画素（２２Ｂ）が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の３色の着色画素の内、赤色の着色画素（２２Ｒ）のみに白抜け（欠陥部）（Ｄ３−Ｒａ）を設けた部分の検査を説明するものである。
また、中段（ａ）〜（ｃ）は、赤色、緑色、青色の着色画素（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ）が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の３色の着色画素の内、緑色の着色画素（２２Ｇ）のみに白抜け（欠陥部）（Ｄ３−Ｇａ）を設けた部分の検査を説明するものである。
The upper stage (a) to (c) of FIG. 10 shows three colors on a color filter in which a red colored pixel (22R), a green colored pixel (22G), and a blue colored pixel (22B) are provided adjacent to each other. Of the colored pixels, the inspection of the portion where only the red colored pixels (22R) are provided with white spots (defects) (D3-Ra) will be described.
In the middle stages (a) to (c), red, green, and blue colored pixels (22R, 22G, and 22B) are colored green among the three colored pixels on the color filter provided adjacent to each other. The inspection of the portion where only the pixel (22G) is provided with the white spot (defect portion) (D3-Ga) will be described.
また、下段（ａ）〜（ｃ）は、赤色、緑色、青色の着色画素（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ）が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の３色の着色画素の内、青色の着色画素（２２Ｂ）のみに白抜け（欠陥部）（Ｄ３−Ｂａ）を設けた部分の検査を説明するものである。各色の着色画素上の各欠陥部（Ｄ３−Ｒａ、Ｄ３−Ｇａ、Ｄ３−Ｂａ）の大きさは同一の大きさのものである。
上段、中段、下段共に、（ａ）列は、カラーフィルタの着色画素を撮像カメラで撮像した撮像画像、（ｂ）列は、隣接する同色着色画素の明るさを比較処理した画像、（ｃ）列は、２値化処理をした画像を表している。
Further, in the lower tiers (a) to (c), red, green, and blue colored pixels (22R, 22G, and 22B) are colored blue among the three colored pixels on the color filter provided adjacently. This is to explain the inspection of the portion where only the pixel (22B) is provided with a white spot (defect portion) (D3-Ba). The size of each defective portion (D3-Ra, D3-Ga, D3-Ba) on the colored pixel of each color is the same size.
In each of the upper, middle, and lower stages, (a) column is a captured image obtained by imaging colored pixels of a color filter with an imaging camera, (b) column is an image obtained by comparing the brightness of adjacent colored pixels of the same color, (c) The column represents an image that has been binarized.
この第２例は、赤色の着色画素（２２Ｒ）上の欠陥部のみの検出を説明するものであり、透過検査光としては、赤色、緑色、青色の発光ダイオードの内、緑色の発光ダイオード及び青色の発光ダイオードを選択した光を用い、同一カラーフィルタの上段、中段、下段に相当する部分を同時に照射している。 In this second example, only the defective portion on the red colored pixel (22R) is detected. As the transmission inspection light, among the red, green, and blue light emitting diodes, the green light emitting diode and the blue light emitting diode are used. The light of the selected light emitting diode is used to simultaneously irradiate portions corresponding to the upper, middle, and lower stages of the same color filter.
図１０（ａ）列に示すように、赤色の発光ダイオードは点灯していないので、撮像画像では、各段の赤色の着色画素（２２Ｒ）は暗く、各段の緑色の着色画素（２２Ｇ）、及び青色の着色画素（２２Ｂ）は明るく表示されている。また、各色の着色画素上の各欠陥部（Ｄ３−Ｒａ、Ｄ３−Ｇａ、Ｄ３−Ｂａ）は、当該着色画素よりも明るく表示されている。図１０（ｂ）列に示すように、比較処理後の各欠陥部の大きさは、概ね（Ｄ３−Ｒｂ）＞（Ｄ３−Ｇｂ）≒（Ｄ３−Ｂｂ）を呈している。 As shown in the column (a) of FIG. 10, since the red light emitting diodes are not lit, in the captured image, the red colored pixels (22R) at each stage are dark, and the green colored pixels (22G) at each stage are dark. The blue colored pixels (22B) are brightly displayed. Moreover, each defect part (D3-Ra, D3-Ga, D3-Ba) on the colored pixel of each color is displayed brighter than the colored pixel. As shown in the column (b) of FIG. 10, the size of each defective portion after the comparison processing generally exhibits (D3−Rb)> (D3−Gb) ≈ (D3−Bb).
表４は、比較処理後の各欠陥部の明るさを表したものである。表４に示すように、得られた赤色の着色画素（２２Ｒ）上の欠陥部（Ｄ３−Ｒｂ）の明るさが約２００であり、明るさ約１１０である他色上の欠陥部とは差があることからして、閾値として１２８を用いて２値化処理を行った。
その結果、図１０（ｃ）列に示すように、上段、すなわち、赤色の着色画素（２２Ｒ）上の欠陥部（Ｄ３−Ｒｃ）のみが欠陥として検出された。尚、この閾値は、予め条件を確認して設定することができ、実際の運用に際しては自動処理を行うことができる。
As a result, as shown in FIG. 10C, only the defective portion (D3-Rc) on the upper stage, that is, the red colored pixel (22R) was detected as a defect. This threshold value can be set by checking the conditions in advance, and automatic processing can be performed during actual operation.
また、表４には、２値化処理後に検出された欠陥部の検出サイズが表されている。赤色の着色画素（２２Ｒ）上の欠陥部（Ｄ３−Ｒｃ）の検出サイズは１５検査画素である。緑色の着色画素（２２Ｇ）及び青色の着色画素（２２Ｂ）上の欠陥部（Ｄ３−Ｇｃ、Ｄ３−Ｂｃ）の検出サイズはゼロ、つまり、欠陥として検出されていない。 Table 4 shows the detection size of the defective portion detected after the binarization process. The detection size of the defective portion (D3-Rc) on the red colored pixel (22R) is 15 inspection pixels. The detection size of the defective portion (D3-Gc, D3-Bc) on the green colored pixel (22G) and the blue colored pixel (22B) is zero, that is, not detected as a defect.
尚、上記説明は、赤色、緑色、青色の着色画素の各々に白抜け（欠陥部）があって、検査する対象色である赤色の着色画素（２２Ｒ）上の欠陥部のみを検出する例であるが、緑色の着色画素（２２Ｇ）、青色の着色画素（２２Ｂ）のいずれにおいても、検査する対象色以外の２色の発光ダイオードの光を選択して用いることによって、同様に、検査する対象色の着色画素上の欠陥部のみを検出することができる。 The above description is an example in which each of the red, green, and blue colored pixels has a white spot (defect portion) and only the defective portion on the red color pixel (22R) that is a target color to be inspected is detected. However, in both of the green colored pixel (22G) and the blue colored pixel (22B), the object to be inspected is similarly selected by selecting and using light of two colors of light emitting diodes other than the object color to be inspected. Only defective portions on colored pixels can be detected.
上記のように、第２例によれば、対象色の着色画素上の欠陥部のみを検出する検査（対象色検査と称す）が可能となる。これにより、例えば、対象色を稼働している製造工程での欠陥の発生状況を把握することが可能となる。 As described above, according to the second example, it is possible to perform an inspection (referred to as an object color inspection) for detecting only a defective portion on a colored pixel of an object color. Thereby, for example, it becomes possible to grasp the occurrence state of defects in the manufacturing process in which the target color is operating.
次に、上記に例示した外観検査装置を用いた、カラーフィルタの外観検査方法の第３例を説明する。この第３例は、外観検査装置に備えられた赤色、緑色、青色の発光ダイオードの全てを点灯して白色光とした場合に、従来の白色光源を備えた外観検査装置と同様に、赤色、緑色、青色の着色画素の全ての着色画素上の欠陥を検出する検査（通常検査と称す）が可能であることを説明する例である。 Next, a third example of the color filter appearance inspection method using the appearance inspection apparatus exemplified above will be described. In this third example, when all of the red, green, and blue light emitting diodes provided in the appearance inspection apparatus are turned on to obtain white light, red, It is an example for explaining that an inspection (referred to as a normal inspection) for detecting defects on all the colored pixels of the green and blue colored pixels is possible.
本発明による外観検査装置にて、従来の外観検査装置と同様に、通常検査が可能であることが確認されることによって、例えば、第２例に示す、対象色の着色画素上に発生した欠陥のみを検出する検査（対象色検査）と、通常検査を組み合わせた複合的な外観検査の方法が可能となる。
被検査体としてのカラーフィルタは、第２例におけるカラーフィルタと同一のものである。すなわち、赤色、緑色、青色の着色画素で構成されるものであり、その赤色、緑色、青色の着色画素の各々に人工的に白抜け（欠陥部）を設けたものを用いている。また、外観検査装置としては、赤色、緑色、青色の発光ダイオードが備えられた、上記に例示した外観検査装置を用いている。
In the appearance inspection apparatus according to the present invention, as in the conventional appearance inspection apparatus, it is confirmed that the normal inspection is possible. For example, the defect generated on the colored pixel of the target color shown in the second example Thus, a composite visual inspection method combining inspection (object color inspection) with only normal inspection and normal inspection becomes possible.
The color filter as the object to be inspected is the same as the color filter in the second example. That is, it is composed of red, green, and blue colored pixels, and each of the red, green, and blue colored pixels is artificially provided with white spots (defects). Further, as the visual inspection apparatus, the visual inspection apparatus exemplified above, which is provided with red, green, and blue light emitting diodes, is used.
図１１上段（ａ）〜（ｃ）は、赤色の着色画素（２２Ｒ）、緑色の着色画素（２２Ｇ）
、青色の着色画素（２２Ｂ）が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の３色の着色画素の内、赤色の着色画素（２２Ｒ）のみに白抜け（欠陥部）（Ｄ４−Ｒａ）を設けた部分の検査を説明するものである。
また、中段（ａ）〜（ｃ）は、赤色、緑色、青色の着色画素（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ）が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の３色の着色画素の内、緑色の着色画素（２２Ｇ）のみに白抜け（欠陥部）（Ｄ４−Ｇａ）を設けた部分の検査を説明するものである。
The upper sections (a) to (c) of FIG. 11 show red colored pixels (22R) and green colored pixels (22G).
The blue colored pixel (22B) is provided with white spots (defects) (D4-Ra) only in the red colored pixel (22R) among the three colored pixels on the adjacent color filter. It explains the inspection of the part.
In the middle stages (a) to (c), red, green, and blue colored pixels (22R, 22G, and 22B) are colored green among the three colored pixels on the color filter provided adjacent to each other. The inspection of the portion where only the pixel (22G) is provided with the white spot (defect portion) (D4-Ga) will be described.
また、下段（ａ）〜（ｃ）は、赤色、緑色、青色の着色画素（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ）が、隣接して設けられたカラーフィルタ上の３色の着色画素の内、青色の着色画素（２２Ｂ）のみに白抜け（欠陥部）（Ｄ４−Ｂａ）を設けた部分の検査を説明するものである。各色の着色画素上の各欠陥部（Ｄ４−Ｒａ、Ｄ４−Ｇａ、Ｄ４−Ｂａ）の大きさは同一の大きさのものである。
上段、中段、下段共に、（ａ）列は、カラーフィルタの着色画素を撮像カメラで撮像した撮像画像、（ｂ）列は、隣接する同色着色画素の明るさを比較処理した画像、（ｃ）列は、２値化処理をした画像を表している。
Further, in the lower tiers (a) to (c), red, green, and blue colored pixels (22R, 22G, and 22B) are colored blue among the three colored pixels on the color filter provided adjacently. This is to explain the inspection of the portion where only the pixel (22B) is provided with the white spot (defect portion) (D4-Ba). The sizes of the defective portions (D4-Ra, D4-Ga, D4-Ba) on the colored pixels of the respective colors are the same.
In each of the upper, middle, and lower stages, (a) column is a captured image obtained by imaging colored pixels of a color filter with an imaging camera, (b) column is an image obtained by comparing the brightness of adjacent colored pixels of the same color, (c) The column represents an image that has been binarized.
この第３例は、透過検査光として、赤色、緑色、青色の発光ダイオードの全てを点灯した白色光を用い、同一カラーフィルタの上段、中段、下段に相当する部分を同時に照射している。図１１（ａ）列に示すように、３色の発光ダイオードの全てを点灯してるので、撮像画像では、各段共、赤色の着色画素（２２Ｒ）、緑色の着色画素（２２Ｇ）、及び青色の着色画素（２２Ｂ）は略同じ明るさで表示されている。また、各色の着色画素上の各欠陥部（Ｄ４−Ｒａ、Ｄ４−Ｇａ、Ｄ４−Ｂａ）は、当該着色画素よりも明るく表示されている。 In this third example, white light in which all red, green, and blue light-emitting diodes are lit is used as transmission inspection light, and portions corresponding to the upper, middle, and lower stages of the same color filter are simultaneously irradiated. As shown in the column (a) of FIG. 11, since all the three color light emitting diodes are turned on, in the captured image, the red colored pixel (22R), the green colored pixel (22G), and the blue color are displayed at each stage. The colored pixels (22B) are displayed with substantially the same brightness. Moreover, each defect part (D4-Ra, D4-Ga, D4-Ba) on the colored pixel of each color is displayed brighter than the colored pixel.
また、図１１（ｂ）列に示すように、比較処理後の各欠陥部の大きさは、概ね（Ｄ４−Ｒｂ）≒（Ｄ４−Ｇｂ）≒（Ｄ４−Ｂｂ）を呈している。
表５は、比較処理後の各欠陥部の明るさを表したものである。表５に示すように、欠陥部の明るさが約１５０であることからして、閾値を１２８として２値化処理を行った。その結果、図１１（ｃ）列に示すように、各欠陥部共に検出することができた。
Table 5 shows the brightness of each defective portion after the comparison process. As shown in Table 5, since the brightness of the defective portion is about 150, the threshold value is set to 128 and binarization processing is performed. As a result, as shown in FIG. 11 (c), it was possible to detect both defective portions.
また、表５には、２値化処理後に検出した各欠陥部の検出サイズが表わされている。検出サイズは、各々６、８、９検査画素であり、前記表２に示す、従来の白色光源による検出サイズと同等の検出能力を有することが示されている。 Table 5 shows the detected size of each defective portion detected after the binarization process. The detection sizes are 6, 8, and 9 inspection pixels, respectively, and it is shown that the detection size is equivalent to the detection size of the conventional white light source shown in Table 2 above.
前記第２例及び上記第３例により、対象色に発生した欠陥部のみを検出する検査（対象色検査）と、対象色に限定せずに３色の着色画素上の欠陥部を検出する検査（通常検査）を同一の外観検査装置で行うことが可能となる。これにより、例えば、対象色を稼働している製造工程での欠陥の発生状況を把握と、通常検査を行う製造工程での欠陥の発生状況を把握することが可能となる。 According to the second example and the third example, an inspection (target color inspection) for detecting only a defective portion generated in a target color, and an inspection for detecting a defective portion on three colored pixels without being limited to the target color. (Normal inspection) can be performed with the same appearance inspection apparatus. Thereby, for example, it becomes possible to grasp the occurrence state of defects in the manufacturing process in which the target color is operated and to grasp the occurrence state of defects in the manufacturing process in which the normal inspection is performed.
さて、前記図６及び図７にて、本発明による外観検査装置の概略を示したが、搬送部（３０）は、カラーフィルタ（１０）を保持し、光源部（４０）と撮像部（５０）の間を搬送するものである。図６及び図７にては、ロールコンベアを例示したが、搬送部（３０）は、搬送用ステージ上にカラーフィルタを載置して搬送用ステージを搬送させる構造のものでもよい。或いはカラーフィルタ（１０）を固定し、光源部（４０）と撮像部（５０）を移動させる構造のものでもよい。搬送部（３０）には、カラーフィルタの受渡し機構、及びアライメント機構が備えられている。 6 and 7, the outline of the appearance inspection apparatus according to the present invention is shown. The transport unit (30) holds the color filter (10), and the light source unit (40) and the imaging unit (50). ). 6 and 7 exemplify a roll conveyor, the transport unit (30) may have a structure in which a color filter is placed on the transport stage to transport the transport stage. Alternatively, the color filter (10) may be fixed, and the light source unit (40) and the imaging unit (50) may be moved. The transport unit (30) is provided with a color filter delivery mechanism and an alignment mechanism.
撮像部（５０）は、一例を図７に示したが、撮像カメラ（１）（５０Ａ（１））〜撮像
カメラ（８）（５０Ａ（８））の８個の撮像カメラで構成されており、これらは、カラーフィルタ（１０）の搬送方向（Ｘ軸方向）と直角に、すなわち、カラーフィルタ（１０）の幅方向（Ｙ軸方向）に一列に順次に配列されているものである。
An example of the imaging unit (50) is shown in FIG. 7, but is configured by eight imaging cameras of imaging cameras (1) (50A (1)) to imaging cameras (8) (50A (8)). These are sequentially arranged in a line perpendicular to the conveying direction (X-axis direction) of the color filter (10), that is, in the width direction (Y-axis direction) of the color filter (10).
制御ユニット（６０）には、記憶部（６１）、撮像データ処理部（６２）、演算部（６３）、操作部（６４）、表示部（６５）で構成される。具体的には、記憶部（６１）はＨＤＤや磁気ディスクなどの記憶媒体、ＲＯＭ、ＲＡＭなどである。操作部（６４）はキーボード、マウス、各種ボタンなどである。表示部（６５）はモニタ、表示ランプなどである。 The control unit (60) includes a storage unit (61), an imaging data processing unit (62), a calculation unit (63), an operation unit (64), and a display unit (65). Specifically, the storage unit (61) is a storage medium such as an HDD or a magnetic disk, a ROM, a RAM, or the like. The operation unit (64) is a keyboard, a mouse, various buttons, and the like. The display unit (65) is a monitor, a display lamp, or the like.
撮像部（５０）で取得された撮像データは、撮像データ処理部（６２）で処理される。撮像データ処理部（６２）は、図示せぬ比較処理部、２値化処理部、欠陥検出部、判定部で構成される。撮像部（５０）、光源部（４０）、搬送部（３０）は制御ユニット（６０）に接続されており、演算部（６３）からの信号で制御される。
各制御は、演算部でのソフトウエア制御ではなく、別途専用ハードウエア制御でもよい。
The imaging data acquired by the imaging unit (50) is processed by the imaging data processing unit (62). The imaging data processing unit (62) includes a comparison processing unit, a binarization processing unit, a defect detection unit, and a determination unit (not shown). The imaging unit (50), the light source unit (40), and the transport unit (30) are connected to the control unit (60) and are controlled by signals from the calculation unit (63).
Each control may be a dedicated hardware control separately from the software control in the arithmetic unit.
光源部（４０）は、制御ユニット（６０）によって制御され、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できるようになっている。この各色の光を発光する光源は、各々の発光面を撮像部（５０）へ向けて均等に分散して配置されている。 The light source unit (40) is controlled by the control unit (60) and can selectively emit red, green, and blue light. The light sources that emit light of the respective colors are arranged so as to be evenly distributed with the respective light emitting surfaces facing the imaging unit (50).
本発明による外観検査装置を用い、カラーフィルタを外観検査する際の動作としては、以下のものを例示することができる。予め、撮像データの処理に必要な各種パラメータは、記憶部（６１）から撮像データ処理部（６２）に設定しておく。
１）搬送部（３０）の受渡し機構（図示せず）は、カラーフィルタ（被検査体）（１０）を受取る。アライメント機構（図示せず）は、カラーフィルタ（被検査体）の位置合わせを行う。
２）搬送部（３０）は、カラーフィルタ（被検査体）（１０）を保持し、光源部（４０）と撮像部（５０）の間を搬送する。
３）撮像部（５０）は、搬送中のカラーフィルタ（被検査体）（１０）を撮像し、撮像データを取得する。
４）撮像データ処理部（６２）の比較処理部は撮像データを比較処理し、２値化処理部は２値化処理し、欠陥検出部は欠陥を検出し、判定部は欠陥を判定する。
５）表示部（６５）は欠陥及び判定結果を表示する。
６）搬送部（３０）の受渡し機構は、カラーフィルタ（被検査体）（１０）を接続されている搬送機構に搬出する。
尚、外観検査装置へのカラーフィルタの搬入は、接続されている搬送機構により行われる。
Examples of the operation when the color filter is visually inspected using the appearance inspection apparatus according to the present invention include the following. Various parameters necessary for processing the imaging data are set in advance from the storage unit (61) to the imaging data processing unit (62).
1) A delivery mechanism (not shown) of the transport unit (30) receives the color filter (inspected object) (10). An alignment mechanism (not shown) aligns the color filter (inspection object).
2) A conveyance part (30) hold | maintains a color filter (inspection object) (10), and conveys between a light source part (40) and an imaging part (50).
3) The imaging unit (50) images the color filter (inspected object) (10) being transported, and acquires imaging data.
4) The comparison processing unit of the imaging data processing unit (62) performs comparison processing of the imaging data, the binarization processing unit performs binarization processing, the defect detection unit detects a defect, and the determination unit determines the defect.
5) The display unit (65) displays defects and determination results.
6) The delivery mechanism of the transport unit (30) carries out the color filter (inspected object) (10) to the connected transport mechanism.
Note that the color filter is carried into the appearance inspection apparatus by a connected transport mechanism.
背景技術にて説明したように、検出された欠陥はレビュー装置で確認をしている。レビュー装置での確認は、対象色の製造工程での欠陥の発生状況、工程異常の把握に加え、検査対象に発生している全ての欠陥の確認を行っている。
対象色の製造工程での状況を把握する対象色検査の場合には、通常検査の場合と異なり、全ての欠陥の確認を行うことはできない。
As described in the background art, the detected defect is confirmed by the review device. Confirmation by the review device confirms all the defects occurring in the inspection object in addition to grasping the occurrence state of the defect and the process abnormality in the manufacturing process of the target color.
In the case of the target color inspection for grasping the situation in the manufacturing process of the target color, unlike the case of the normal inspection, it is not possible to confirm all the defects.
従って、常時に通常検査を行い、定期的に対象色検査を行う機能、例えば、時分割検査を行う機能を備えることが好ましい。また、通常検査と対象色検査を同一のカラーフィルタに対して複数回行う機構、例えば、光源部と撮像部の間を複数回搬送する機構を備えることが好ましい。 Therefore, it is preferable to provide a function of performing a normal inspection at all times and periodically performing a target color inspection, for example, a function of performing a time-division inspection. Moreover, it is preferable to provide a mechanism that performs the normal inspection and the target color inspection a plurality of times for the same color filter, for example, a mechanism that conveys the light source unit and the imaging unit a plurality of times.
１０・・・カラーフィルタ（被検査体）
１１・・・定盤
１２・・・検査ステージ
１３Ａ・・・反射光源
１３Ｂ・・・透過光源
１４Ａ・・・反射撮像カメラ
１４Ｂ・・・透過撮像カメラ
１４Ｃ・・・顕微鏡
１５・・・撮像データ処理部
１６・・・制御ユニット
１７・・・モニター
２２・・・着色画素
２２Ｒ・・・赤色の着色画素
２２Ｇ・・・緑色の着色画素
２２Ｂ・・・青色の着色画素
３０・・・搬送部
４０・・・光源部
５０・・・撮像部
６０・・・本発明の制御ユニット
６１・・・記憶部
６２・・・本発明の撮像データ処理部
６３・・・演算部
６４・・・操作部
６５・・・表示部
Ｄ・・・欠陥
Ｋ・・・検査画素
Ｋｉ・・・着色画素の特定箇所（検査画素）
Ｋ１〜Ｋｎ・・・複数の検査画素
Ｌ×Ｗ・・・カラーフィルタの長さ、幅
ａ×ｂ・・・着色画素の大きさ
10 Color filter (inspected object)
DESCRIPTION OF
K1 to Kn: Multiple inspection pixels L × W: Color filter length, width a × b: Colored pixel size
Claims (8)
１）前記カラーフィルタを照射する透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、
２）前記赤色の着色画素を検査する際には、緑色及び青色の光をカラーフィルタに照射し、カラーフィルタを透過した透過光を撮像カメラで撮像し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、
３）前記緑色の着色画素を検査する際には、青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射し、カラーフィルタを透過した透過光を撮像カメラで撮像し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定し、
４）前記青色の着色画素を検査する際には、赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射し、カラーフィルタを透過した透過光を撮像カメラで撮像し、得られた撮像データを比較処理することにより欠陥の有無を判定することを特徴とするカラーフィルタの外観検査方法。 In the appearance inspection method of the color filter composed of colored pixels of red, green and blue,
1) As a light source for transmission inspection that irradiates the color filter, a light source capable of selectively irradiating red, green, and blue light is used.
2) When inspecting the red colored pixels, the color filters are irradiated with green and blue light, the transmitted light that has passed through the color filters is imaged with an imaging camera, and the obtained imaging data is compared. To determine the presence or absence of defects,
3) When inspecting the green colored pixel, the color filter is irradiated with blue and red light, the transmitted light that has passed through the color filter is imaged with an imaging camera, and the obtained imaging data is compared. To determine the presence or absence of defects,
4) When inspecting the blue colored pixels, the color filters are irradiated with red and green light, the transmitted light that has passed through the color filters is imaged with an imaging camera, and the obtained imaging data is compared. A method for inspecting the appearance of a color filter, wherein the presence / absence of a defect is determined by:
１）前記カラーフィルタを照射する透過検査用の光源として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源を用い、
２）前記緑色及び青色の光をカラーフィルタに照射して得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が赤色の着色画素上の欠陥であり、
３）前記青色及び赤色の光をカラーフィルタに照射して得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が緑色の着色画素上の欠陥であり、
４）前記赤色及び緑色の光をカラーフィルタに照射して得られた撮像データを比較処理し、所定の閾値を超える明るさを有する領域が青色の着色画素上の欠陥であると判定することを特徴とするカラーフィルタの外観検査方法。 In the appearance inspection method of the color filter composed of colored pixels of red, green and blue,
1) As a light source for transmission inspection that irradiates the color filter, a light source capable of selectively irradiating red, green, and blue light is used.
2) Comparing the imaging data obtained by irradiating the color filters with the green and blue light, a region having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on the red colored pixel,
3) The imaging data obtained by irradiating the color filters with the blue and red light is compared, and a region having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on the green colored pixel,
4) Comparing the imaging data obtained by irradiating the color filters with the red and green light, and determining that a region having a brightness exceeding a predetermined threshold is a defect on a blue colored pixel. A characteristic color filter appearance inspection method.
１）前記カラーフィルタを照射する透過検査光として、赤色、緑色、青色の光を選択的に照射できる光源部、
２）カラーフィルタの片面側から選択された光を照射し、カラーフィルタを透過した透過光を他面側から撮像する撮像部、
３）カラーフィルタを光源部と撮像部間で保持、搬送させる搬送部、
４）記憶部、撮像データ処理部、演算部、操作部、表示部で構成される制御ユニット、を少なくとも具備することを特徴とする外観検査装置。 In an appearance inspection apparatus for a color filter composed of colored pixels of red, green, and blue,
1) A light source unit capable of selectively irradiating red, green, and blue light as transmission inspection light for irradiating the color filter;
2) An imaging unit that irradiates light selected from one side of the color filter and images transmitted light that has passed through the color filter from the other side;
3) A transport unit that holds and transports the color filter between the light source unit and the imaging unit,
4) An appearance inspection apparatus comprising at least a control unit including a storage unit, an imaging data processing unit, a calculation unit, an operation unit, and a display unit.
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