JP2010253828A - 成形装置及び成形方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】カセット金型を使用しても脱気成形法で成形できる成形装置及び成形方法を提供する。
【解決手段】本発明の成形装置は、少なくとも1対の型を有し、型同士を型閉じした状態でキャビティ1が構成され、1対の型の少なくとも一方は、固定部11と、キャビティ部12とからなる。また、キャビティ部12には、キャビティ1の少なくとも一部を構成する窪み1bと、窪み1bの外側に設けられている排気口2と、窪み1bと排気口2との間を連通させるエアベント13bと、窪み1bと接続しているランナー3と、ランナー3及びエアベント13bを遮断しないように、ランナー3の周り、及びエアベント13bの位置を除いた窪み1bの周りに形成された内周突起部16bと、ランナー3の位置を除いて内周突起部16bの周りに形成された外周突起部17bとが設けられている。さらに、排気口2は、内周突起部16bと外周突起部17bの間に位置している。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の成形装置は、少なくとも1対の型を有し、型同士を型閉じした状態でキャビティ1が構成され、1対の型の少なくとも一方は、固定部11と、キャビティ部12とからなる。また、キャビティ部12には、キャビティ1の少なくとも一部を構成する窪み1bと、窪み1bの外側に設けられている排気口2と、窪み1bと排気口2との間を連通させるエアベント13bと、窪み1bと接続しているランナー3と、ランナー3及びエアベント13bを遮断しないように、ランナー3の周り、及びエアベント13bの位置を除いた窪み1bの周りに形成された内周突起部16bと、ランナー3の位置を除いて内周突起部16bの周りに形成された外周突起部17bとが設けられている。さらに、排気口2は、内周突起部16bと外周突起部17bの間に位置している。
【選択図】図2
Description
本発明は、樹脂成形品を成形する際に用いられる成形装置及び成形方法に関する。
IC(Integrated Circuit:集積回路)等の電子部品は、コンピュータをはじめとして、多くの製品に欠かすことのできない部品である。ICの製造工程はいくつかあるが、その中にモールディングがある。モールディングとは、リードフレーム上に半導体チップを載せ、半導体チップとリードフレームとを金などのワイヤーで接続したものを、衝撃、温度、湿度などから守るために、エポキシなどの樹脂材料でリードフレーム上の半導体チップを封止する工程である。
半導体チップを樹脂材料で封止する際には、成形金型内の空気を真空ポンプで排気しながら実際に成形を行うキャビティ内に樹脂材料を圧入する。樹脂材料を圧入するときにキャビティ内に空気が残留あるいは樹脂材料自体に空気が混入していると、密着性の低下、ボイド不良、またはシルバー不良などを引き起こす場合がある。そのため、真空引きを行い、キャビティ内を真空にして樹脂成形品の成形を行う脱気成形法が利用されている。
図7に関連技術の一例の成形装置の成形金型の概略図を示す。図7(a)は下側の金型(下型)の概略図であり、図7(b)は上側の金型(上型)の概略図である。下型26には、不図示のプランジャーによって押し出される溶解した樹脂材料の導入口24と、溶解した樹脂材料を成形する複数のキャビティ21と、溶解した樹脂材料をキャビティ21へ導くランナー23とが設けられている。さらに、キャビティ21内を真空にするための不図示の真空ポンプにつながっている排気口22と、キャビティ21内への空気等のリークを防止するためのシール材25とが設けられている。なお、図中の矢印は、溶解した樹脂材料の流れる方向を示している。また、上型29には、複数のキャビティ21とランナー23とが設けられている。下型26と上型29とを型閉じすることで樹脂成形を行う1つの金型となる。
成形時には、インサート部材となる不図示のリードフレームを下型26のキャビティ21上に配置し、下型26と上型29を型閉じした後、不図示の真空ポンプでキャビティ21内を真空引きする。そしてキャビティ21内が所定の圧力に到達したら、不図示のプランジャーによって溶解させた樹脂材料を樹脂材料導入口24からランナー23に導入する。導入された樹脂材料は、ランナー23を経由し、キャビティ21内に流し込まれる。そして所定の時間経過後、樹脂材料が固化し、樹脂封止したリードフレームができあがる。
真空引きするときにキャビティ21内に空気等がリークするとキャビティ21内が真空にならないために、脱気成形法が行えない。そこで、キャビティ21内への空気等のリークを防止する方法の一例として、上述したように、下型26の外周付近をシール材25で囲むことで、下型26と上型29を型閉じした後は外部の空気が金型26、29内にリークしないようにしている(例えば特許文献1)。
また、キャビティ21内が所定の圧力に達するまでの真空引きの時間を短縮する方法として、下型26だけではなく、上型29にも排気口(図示せず)を設け、下型26から出ている配管と、上型29から出ている配管と、真空ポンプへつながる配管とを三つ又のフランジ継ぎ手などで結合し、真空ポンプで真空引きをする方法がある。こうすることで、下型26と上型29の両方から真空引きができ、真空引きの時間を短縮することができる(例えば特許文献2)。
製品に応じて要求されるキャビティ21の形状や大きさが異なるため、汎用的に使用される成形装置では、さまざまな金型26、29を用意しておく必要がある。しかし、多数の金型26、29全体を個別に設計して作成すると高コストになってしまう。そこで、金型26、29を、固定部と、キャビティを有する着脱可能なキャビティ部とで構成し、キャビティ部は別のキャビティ部と交換可能になっているカセット金型を使用し、成形を行っている。ここで関連技術と同様な構成においてカセット金型を採用しようとしても、脱気成形法で成形する成形装置では、このカセット金型を利用することができない。上述したように関連技術では、下型26の外周付近をシール材25で囲んでいる。しかし、カセット金型ではキャビティ部を着脱可能にするために、図7に想像線(2点鎖点)で示すように固定部とキャビティ部との間に隙間27を設けなければならない。この隙間27の一部はシール材25に囲まれた部分の内側に位置する。そのため、仮にキャビティ21内を真空引きしようとしても、固定部とキャビティ部との間の隙間27から空気が金型26、29内にリークするため、キャビティ21内の真空引きを行うことができない。したがってカセット金型を用いる成形装置によって脱気成形法を行うことは困難である。また、脱気成形法は、製造する製品や使用する樹脂材料などによってキャビティ21内の最適な真空度が異なるため、キャビティ21内の真空度を調節する手段を設けることが望まれている。
本発明の目的は、上述した課題である、脱気成形法を使用する成形装置ではカセット金型を使用することができない、という問題を解決する成形装置及び成形方法を提供することにある。
本発明の成形装置は、少なくとも1対の型を有し、型同士を型閉じした状態で成形用のキャビティが構成され、1対の型の少なくとも一方は、固定部と、固定部に対して着脱可能なキャビティ部とからなる。また、キャビティ部には、キャビティの少なくとも一部を構成する窪みと、窪みの外側に設けられている排気口と、窪みと排気口との間を連通させるエアベントと、固定部に設けられた固定部のランナーと窪みの間を連通させるキャビティ部のランナーと、キャビティ部のランナー及びエアベントを遮断しないように、キャビティ部のランナーの周り、及びエアベントの位置を除いた窪みの周りを囲むように形成された内周突起部と、ランナーの位置を除いて内周突起部の周りを囲むように形成された外周突起部とが設けられている。さらに、排気口は、内周突起部と外周突起部の間に位置している。
本発明によると、カセット金型を使用してもキャビティ内の気密性を保つことができるため、脱気成形法で成形する成形装置にカセット金型を適用することができる。また、真空引きの時間を短縮することができる。
以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略することがある。
図1は、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態の概略構成図である。(a)は下側の型(下型)の概略図であり、(b)は上側の型(上型)の概略図である。また、図2は、リードフレームを設置して下型と上型とを型閉じしたときの図1のAA’断面の概略図である。なお、図中の矢印は、樹脂材料の流れる方向を示している。
樹脂成形品を成形する金型は下型6と上型9とで構成されている。さらに、金型6、9は固定部11とキャビティ部12とで構成されており、キャビティ部12と固定部11とを分割した構成とすることで、キャビティ部12が着脱可能となっている。なお、キャビティ部12を着脱可能にするため、キャビティ部12と固定部11との間には1mm以上の隙間14が設けられている。
下型6と上型9に、窪んでおり樹脂成形を行う部分である複数の窪み1b、1aがそれぞれ設けられており、下型6と上型9とを型閉じすると、下型6の窪み1bと上型9の窪み1aとが合わさって1つのキャビティ1となる。また、下型6には、樹脂材料5を加熱し溶解させるためのポット7が設けられている。このポット7は、下型6の下面から上面まで貫通しており、下面では溶解した樹脂材料5を押し出すためのプランジャー10を挿入するための挿入口になっており、上面ではポット7から溶解した樹脂材料5をキャビティ1へ送り出すための樹脂材料導入口4になっている。さらに、樹脂材料導入口4からキャビティ1まで溶解した樹脂材料5を導くためのランナー3が設けられている。また、キャビティ1は内周突起部16a、16bと外周突起部17a、17bとに囲まれており、下型6と上型9とを型閉じするときには、内周突起部16a、16bで、インサート部材であるリードフレーム8をクランプ可能である(図2、3、及び図4参照)。なお、図2では、エアベント13a、13b、キャビティ1、及びランナー3を通過する断面を示しているため、図中では、下型6の内周突起部16bと外周突起部17b、及び上型9の内周突起部16aがないように描かれているが、図3及び図4を参照すると明確となるように、実際のキャビティ1は内周突起部16a、16b及び外周突起部17a、17bに囲まれている。
下型6には、キャビティ1内の空気を排気するための排気口2が設けられており、下型6の外部に設けられた不図示の真空ポンプ、例えばロータリーポンプ等と不図示の配管を介してつながっている。排気口2とキャビティ1とはエアベント13bを介してつながっている。
図2に示すように、下型6と上型9とでリードフレーム8を挟んで型閉じしたときには、上型9の外周突起部17aとリードフレーム8との間に隙間15が生じるようになっている。この隙間15の間隔を予め調節しておくことで、上型9のエアベント13aを介して微量の空気をキャビティ1内に導入可能なため、脱気成形時にキャビティ1内を所望の真空度にすることができる。なお、隙間15の間隔は10μm以下程度と非常に小さいため、真空引きする際に問題となる空気等の大きなリークが生じる心配はなく、また、樹脂材料5は高分子材料であるため、小さな隙間には入り込めず、隙間15に溶解した樹脂材料5が流れ込むこともない。
図3に、図1(a)に示す下型6のX部の拡大概略図を、図4に図1(b)に示す上型9のY部の拡大概略図を示す。なお、図中の矢印は、樹脂材料の流れる方向を示している。
下型6の窪み1bは四隅を除いて内周突起部16bに囲まれており、さらに内周突起部16bの外側は外周突起部17bに囲まれている。窪み1bの四隅のうち、1つは窪み1bと固定部11のランナーとを連通させ、溶解した樹脂材料5を流入させるランナー3で、残りの3つは窪み1bと排気口2とを連通させ、キャビティ1内を真空引きするときにキャビティ1内の空気を通過させるエアベント13bである。排気口2は、内周突起部16bと外周突起部17bとの間であって、エアベント13bの延長線上に設けられている。内周突起部16bはランナー3の長手方向の両側方及びエアベント13bの両側方に延びている部分も有する。
上型9は下型6とほぼ同様な形状をしており、下型6の内周突起部16b、外周突起部17b、ランナー3、及びエアベント13bと対向する位置に内周突起部16a、外周突起部17a、ランナー3、及びエアベント13aが設けられている。ただし、外周突起部17aはランナー3内にも設けられている。上型9のエアベント13aは、上述のとおりキャビティ1内に真空度を調節するための空気を流入させるものである。上述したが、上型9では外周突起部17aがランナー3内にも設けられてランナー3を塞いでいる。このようにすることで、下型6のランナー3を介して、溶解した樹脂材料5を上型9のランナーに流入させたときに、溶解した樹脂材料5を窪み1aの方向にのみ流し、固定部11側への逆流を防ぐことができる。なお、上型9と下型6とを型閉じするときに、予め挿入されているインサート部材であるリードフレーム8を内周突起部16a、16bである程度押しつぶすくらい強くクランプ可能である。このようにすることで、内周突起部16a、16bとリードフレーム8とがシールの役割を果たす。特に内周突起部16a、16bでしっかりとシールの役割を果たさせるために、内周突起部16a、16bの幅を細くし、クランプするときにリードフレーム8にかかる単位面積当たりの圧力を大きくする工夫もなされている。
外周突起部17a、17bは、上述したように真空度を調節するために、リードフレーム8との間にわずかな(10μm以下)隙間15を有する程度に近接する。そのため、上型9の外周突起部17bの水平面の位置は内周突起部16aの水平面の位置よりもわずかに低くなっている。外周突起部17a、17bも、キャビティ1内を真空引きする際に問題となるほどの空気等のリークを生じさせるものではないので、シールの役割も果たしていると考えられる。
図2、図5、及び図6を用いて、本発明の成形装置による成形方法を説明する。
はじめに、あらかじめ予熱した金型6、9を上下に型開きし、下型6内の窪み1b上の所定の位置にリードフレーム8を配置し、ポット7内に樹脂材料5を配置する。そして、図2に示すように、下型6と上型9とを型閉じする。この状態においては、キャビティ1は内周突起部16a、16b、外周突起部17a、17b、及びリードフレーム8とで外部に対してシールされるが、唯一キャビティ1とポット7とを結ぶランナー3が、固定部11とキャビティ部12との隙間14を介して金型6、9の外部につながっている。
次に図5(a)に示すように、下型6のポット7内に配置しておいた固形の樹脂材料5を溶融させ、プランジャー10を上方へ押し込むことで、ポット7内で溶解した樹脂材料5がポット7から押し出され、樹脂材料導入口24を介して固定部11側のランナー3に流し込まれる。
さらに図5(b)に示すようにプランジャー10を押し込むことで、溶解した樹脂材料5がキャビティ部12側のランナー3に流し込まれる。このとき、溶解した樹脂材料5が固定部11とキャビティ部12との間に設けられていた隙間14を埋め込むことになる。この状態になると、隙間14が埋められてランナー3が金型6、9の外部と遮断されるため、隙間14からの空気等のリークがなくなり、キャビティ1がシールされる。なお、リードフレーム8と外周突起部19との間にわずかな隙間15が設けられてはいるが、キャビティ1内の真空度を調節するためのものであり、大きなリークが生じるものではない。そのため、キャビティ1はシールされていると考えられる。
溶解した樹脂材料5が隙間14を埋め込んだら、真空ポンプを作動させ、キャビティ1内の真空引きを行う。本発明の成形装置は、上述した関連技術のように、型閉じした金型6、9全体を真空引きするのではなく、内周突起部16a、16bとで囲まれたキャビティ1を含む、外周突起部17a、17bで囲まれた領域内のみを真空引きすることになる。そのため、排気する空気の量が少なく、キャビティ1内の真空引きを短時間で行うことが可能となっている。
また、成形する製品や、使用する樹脂材料などによって、成形するときのキャビティ1内の最適な真空度は異なるが、本発明の成形装置では、リードフレーム8と上型9の外周突起部17aとの間にわずかに隙間15を設けている。この隙間15の間隔を、成形する製品や使用する樹脂材料に応じて調節しておくことによって、必要となる極わずかな量の空気を金型6、9の外部から流し込ませ、エアベント13aを介してキャビティ1内へ送り込める。そのため、キャビティ1内を最適な真空度にすることができる。
上記の真空引きの作業と同時に、図6(a)に示すように、プランジャー10をさらに上方に押し込み、溶解した樹脂材料5をポット7内から押し出し、キャビティ1内に溶解した樹脂材料を流し込む。このとき、溶解した樹脂材料5は下型6のランナー3から上型9のランナー3にも流れ込み、上型9の窪み1aと下型6の窪み1bの両方に溶解した樹脂材料5を流し込むことができる。
そして図6(b)に示すように、キャビティ1内を溶解した樹脂材料5で満たす。所定時間経過すると、溶解した樹脂材料5が固化し、リードフレーム8の周囲にパッケージが形成される。
なお、本実施形態の説明では、金型6、9に設けられている複数のキャビティ1のすべてを真空引きしたが、本発明の成形装置では、各キャビティ1内に少なくとも1つの排気口2が設けられているため、1つまたは複数の任意のキャビティ1のみを選択的に真空引きするようにすることも可能である。また、エアベント13a、13b及び排気口2はそれぞれ少なくとも1つ設けられていれば良く、窪み1a、1bの角部に設ける必要はない。
本実施形態の説明ではカセット金型を用いたが、本発明はこの金型に限定されるものではない。さらに、本発明は半導体分野に限らず、リードフレーム8のようなインサート部材を使用しないで、単純なプラスチック成形等にも応用することができる。
1 キャビティ
1a窪み(上型)
1b窪み(下型)
2 排気口
3 ランナー
4 樹脂材料導入口
5 樹脂材料
6 下型
7 ポット
8 リードフレーム
9 上型
10プランジャー
11固定部
12キャビティ部
13aエアベント(上型)
13bエアベント(下型)
14カセット隙間
15上型隙間
16a内周突起部(上型)
16b内周突起部(下型)
17a外周突起部(上型)
17b外周突起部(下型)
1a窪み(上型)
1b窪み(下型)
2 排気口
3 ランナー
4 樹脂材料導入口
5 樹脂材料
6 下型
7 ポット
8 リードフレーム
9 上型
10プランジャー
11固定部
12キャビティ部
13aエアベント(上型)
13bエアベント(下型)
14カセット隙間
15上型隙間
16a内周突起部(上型)
16b内周突起部(下型)
17a外周突起部(上型)
17b外周突起部(下型)
Claims (10)
- 少なくとも1対の型を有し、前記型同士を型閉じした状態で成形用のキャビティが構成される成形装置において、
前記1対の型の少なくとも一方は、固定部と、該固定部に対して着脱可能なキャビティ部とからなり、前記キャビティ部には、前記キャビティの少なくとも一部を構成する窪みと、該窪みの外側に設けられている排気口と、前記窪みと前記排気口との間を連通させるエアベントと、前記固定部に設けられた固定部のランナーと前記窪みの間を連通させる前記キャビティ部のランナーと、前記キャビティ部のランナー及び前記エアベントを遮断しないように、前記キャビティ部のランナーの周り、及び前記エアベントの位置を除いた前記窪みの周りを囲むように形成された内周突起部と、前記ランナーの位置を除いて前記内周突起部の周りを囲むように形成された外周突起部と、が設けられており、前記排気口は、前記内周突起部と前記外周突起部の間に位置している、
ことを特徴とする成形装置。 - 前記内周突起部は、前記1対の型同士が型閉じした状態で、先端部が他方の型に直接またはインサート部材を介して突き当たる、請求項1に記載の成形装置。
- 他方の型は、固定部と、該固定部に対して着脱可能なキャビティ部とからなり、前記キャビティ部には、前記キャビティの一部を構成する窪みが設けられており、前記一方の型の、前記内周突起部、前記エアベント、前記ランナー、及び外周突起部に対向する位置にそれぞれ内周突起部、エアベント、ランナー、及び外周突起部が設けられており、かつ、前記他方の型の前記外周突起部は前記ランナー内にも設けられている、請求項1または2に記載の成形装置。
- 前記インサート部材が前記一方の型に配置された状態で、前記一方の型と前記他方の型を型閉じすると、前記インサート部材を前記一方の型の内周突起部と前記他方の型の内周突起部とでクランプすることができる、請求項3に記載の成形装置。
- 前記一方の型と前記他方の型を型閉じすると、前記インサート部材と前記他方の型の前記外周突起部との間に前記キャビティ内の真空度を調節する隙間が生じる、請求項3または4に記載の成形装置。
- 前記型同士を型閉じした状態で複数の前記キャビティが構成され、任意の前記キャビティのみを選択的に排気することができる、請求項1から6に記載の成形装置。
- 少なくとも1対の型を有し、前記型同士を型閉じした状態で成形用のキャビティが構成される成形装置における成形方法であり、
前記1対の型の少なくとも一方を、固定部と、該固定部に対して着脱可能なキャビティ部とで構成し、前記キャビティ部には、前記キャビティの少なくとも一部を構成する窪みと、前記窪みの外側の排気口と、前記窪みと前記排気口との間を連通させるエアベントと、前記固定部のランナーと前記窪みとの間を連通させる前記キャビティ部のランナーと、前記ランナー及び前記エアベントの位置を除いた前記窪みの周りを囲む内周突起部と、前記ランナーの位置を除いて前記内周突起部の周りを囲むように形成された外周突起部と、を設けておき、
前記1対の型同士を型閉じし、前記内周突起部の先端を他方の型に直接またはインサート部材を介して突合せるとともに、前記内周突起部と前記外周突起部との間に設けられた前記排気口から前記エアベントを介して前記キャビティ内の空気を排気し、前記固定部のランナーから前記キャビティ部のランナーを介して前記キャビティ内に樹脂材料を流し込む、成形方法。 - 前記他方の型は、固定部と、該固定部に対して着脱可能なキャビティ部とで構成し、前記キャビティ部には、前記キャビティの一部を構成する窪みを設け、前記一方の型の、前記内周突起部、前記エアベント、前記ランナー、及び外周突起部と対向する位置にそれぞれ内周突起部、エアベント、ランナー、及び外周突起部とを設け、かつ、前記他方の型の前記外周突起部は前記ランナーの位置にも設けておき、
予め前記インサート部材を前記一方の型に配置してから前記一方の型と前記他方の型とを型閉じし、前記インサート部材を前記一方の型の前記内周突起部と前記他方の型の前記内周突起部とでクランプする、請求項7に記載の成形方法。 - 前記一方の型の前記内周突起部と前記他方の型の前記内周突起部とで前記インサート部材をクランプするときに、前記インサート部材と前記他方の型の前記外周突起部との間に隙間を生じさせて、前記キャビティ内の空気を排気しつつ、前記隙間を介して前記キャビティ内に空気を流入させることにより、前記キャビティ内を任意の真空度にする、請求項8に記載の成形方法。
- 前記固定部から流した前記樹脂材料が前記固定部と前記キャビティ部との間に設けられている隙間を通過してから、前記キャビティ内の空気の排気を開始する、請求項7から9に記載の成形方法。
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