JP2010245124A - 集積型薄膜太陽電池の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜太陽電池基板Wを支持する支持手段と、溝加工ツール8を加圧手段を介して保持するスクライブヘッド7と、基板Wとスクライブヘッド7を相対的に移動させる移動手段とを備え、加圧手段が、ボイスコイルモータ30により形成され、制御部Sによりモータへの電流量の制御を行うようにする。
【選択図】図1
Description
ここで、カルコパイライト化合物とは、CIGS(Cu(In,Ga)Se2)の他に、CIGSS(Cu(In,Ga)(Se,S)2)、CIS(CuInS2)等が含まれる。
そこで、薄膜の剥離度合いを一定にするため、薄膜の性状等に合わせて刃先を押しつける負荷を加減する必要があるが、バネ・エアーサーボモータを用いた押圧力の制御機構では、低圧領域での制御が難しく、高度な制御システムを組み込んでもコントロールが不安定であるといった欠点があった。またリニアサーボモータを用いた制御機構は、溝加工のような微小ストロークで使用する際に1相のみに電流が流れて熱が発生しやすく、かつ、推力変動の際の速い応答性が得られず押圧力制御が難しいといった問題点があった。
これにより、刃先が摩耗した場合には、底面並びに必要に応じて前後面を研磨することによって刃先を補修することができる。特に、底面を研磨しても刃先部分の左右側面を平行面にしてあるので、刃の左右幅の寸法に変化が生じることがない。これにより、研磨後であってもスクライブされる溝幅を研磨前と同じに維持することができる。
さらに加えて、溝加工ツールの刃先を、前後の角部に2カ所形成した場合には、一方が摩耗または破損すればツールの取り付け方向を変えることにより他方の刃先を新品として使用できる。
図1は本発明にかかる集積型薄膜太陽電池の製造装置の実施形態を示す斜視図である。該装置は、水平方向(Y方向)に移動可能で、かつ、水平面内で90度および角度θ回転可能なテーブル18を備えており、テーブル18は実質的に太陽電池基板Wの支持手段を形成する。
さらに、可動子32の下端に、溝加工ツール8を保持するホルダ9が設けられている。
S 制御部
7 スクライブヘッド
8 溝加工ツール
30 ボイスコイルモータ
81 ボディ
82 刃先領域
83 刃先領域の底面
84 刃先領域の前面
85 刃先領域の後面
86 刃先
87 刃先
88 刃先領域の側面
89 刃先領域の側面
Claims (2)
- 薄膜太陽電池基板を支持する支持手段と、
溝加工ツールを加圧手段を介して保持するスクライブヘッドと、
前記基板とスクライブヘッドを相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記加圧手段がボイスコイルモータにより形成されることを特徴とする集積型薄膜太陽電池の製造装置。 - 前記溝加工ツールが、棒状のボディと、ボディの先端に形成された刃先領域とからなり、
刃先領域は細長く延びる長方形の底面と、底面の短手方向の端辺から立ち上がる前面並びに後面と、底面の長手方向の端辺から直角に立ち上がって互いに平行な一対の面をなす左右側面とからなり、
少なくとも前後面のいずれか片面と底面とによって形成される角部が刃先となる請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池の製造装置。
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