JP5369011B2 - 溝加工ツール及びこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法 - Google Patents
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Description
そこで、本発明の第1の目的は、加工する溝深さが少し深くなる場合でも、刃先と基板との接触面積が大きくならないようにして、摩擦抵抗による不規則な剥がれが発生しにくくすると共に、低負荷でスムーズに薄膜を削りとることのできる溝加工ツール、並びにこれ用いた溝加工方法を提供することにある。
前記凸部の突出高さや数は、加工すべき溝の深さに対応して設定され、これにより、溝加工を行う際に、溝の浅い部分から深い部分にかけて、異なる2〜4個の刃先で順次薄膜が削られるようにする。これにより、複数の刃先で少しずつ溝加工を行うようにして、摩擦抵抗や負荷が大きくならないようにする。
すなわち、複数の凸部のうち、進行方向前方側にある凸部から溝加工を順次行うようにして、これにより溝加工時の摩擦抵抗を軽減して不規則な薄膜の剥離の発生をなくし、直線状できれいなスクライブラインを形成することができる。
また、溝加工ツールの凸部の左右側面が互いに平行な一対の面で形成されているので、刃先が摩耗したときに、凸部の頂面を研磨しても刃の左右幅の寸法に変化が生じることがなく、これにより研磨後であってもスクライブされる溝幅を研磨前と同じに維持することができ、研磨補修による再利用ができて経済的である。
また、中央に位置する凸部から前後の凸部が漸次上位に位置するように配置されているので、例えば前部の凸部が摩耗した際には後部の凸部が前方側になるように溝加工ツールを反転させて取り付けることにより、研磨することなく使用することができ、或いは、溝加工ツールの往動の際に前部の凸部で加工し、復動の際に後部の凸部で加工することにより、溝加工ツールの往復動で加工することが可能となって加工時間の短縮を図ることができるといった効果がある。
これにより溝加工ツールを往復動させて溝加工する場合、或いは反転させた状態で取り付けて溝加工する場合に、前後の凸部による切削時の摩擦抵抗や負荷が同じ条件のもとで同じ寸法の溝を加工することができる。
最初に、本発明の溝加工ツールを取り付けるスクライブ装置の全体構成について説明する。
図1は本発明にかかる溝加工ツールを用いた集積型薄膜太陽電池用スクライブ装置の実施形態を示す斜視図である。スクライブ装置は、略水平方向(Y方向)に移動可能で、かつ、水平面内で90度及び角度θ回転可能なテーブル18を備えており、テーブル18は実質的に太陽電池基板Wの保持手段を形成する。
下部には、テーブル18上に載置される太陽電池基板Wの薄膜表面をスクライブ加工する溝加工ツール8を保持するホルダ9が設けられている。ホルダ9は取り付け角度を調整することができるようにしてあり、この取り付け角度を調整することで、溝加工ツール8と太陽電池基板Wとの角度を調整できるようにしてある。
すなわち、カメラ10,11により下部電極層2に形成されたスクライブラインを撮像することにより、太陽電池基板Wの位置を調整する。具体的には、テーブル18に支持された太陽電池基板W表面から観察できる下部電極層2に形成されたスクライブラインを、カメラ10,11により撮像して下部電極層2に形成されたスクライブラインの位置を特定する。特定された下部電極層に形成されたスクライブラインの位置に基づいて、上下電極コンタクト用の溝を形成すべき位置(スクライブ位置)を割り出し、太陽電池基板Wの位置を調整することによりスクライブ位置を調整する。
図2〜図5は、本発明にかかる溝加工ツール8の一実施例を示すものであって、図2は斜視図であり、図3は正面図であり、図4は側面図であり、図5は溝加工時の状態を示す。
この溝加工ツール8は、円柱状の刃体ボディ81と、その下端部に放電加工等により一体的に形成された刃先領域85とからなり、超硬合金又はダイヤモンド(焼結ダイヤモンド(PCD)等)等の硬質材料で造られている。刃先領域85は、互いに平行な側面86,87を備えた板状の形態にしてあり、その刃先領域85の下端には、複数の凹部82、凸部83が交互に一列に並ぶように形成されている。
本実施例では、図4に示すように緩やかな円弧を描くラインA1上に沿って中央に位置する凸部から前後の凸部が漸次上位となるように前後対称的に配置したが、図6に示すように広角度のV字形ラインA2に沿って形成してもよい。また、凸部83の下面は、前記円弧のラインA1、又はV字形のラインA2に沿って形成されているが、図7に示すように、溝加工ツール8をスクライブ装置に取り付けた状態で、太陽電池基板Wの表面に平行になるように形成してもよい。
また、本実施例では、図4に示すように、歯車状に連続した複数の凸部83のピッチP1,P2,P3,P4が、中央部のピッチP1から前端側並びに後端側のP4にかけて漸次小さくなるように形成されている。しかしながらこれらピッチを等間隔で形成することも可能である。
具体的には、例えば凹部82、凸部83を含む刃先領域85の左右幅L1は50〜60μmが好ましいが、要求されるスクライブの溝幅に合わせて25〜80μmとすることができる。また、刃先領域85の有効高さ、すなわち刃先領域の左右側面86,87の最大高さHは0.5mm程度が好ましい。さらに、刃先領域の凹部82並びに凸部83の全長L2が2〜3mm程度となるように円柱状の刃体ボディ81の直径を設定するのがよい。また、凹部82並びに凸部83の数は実施図面では9個としたが、それ以上であっても、以下であってもよい。なお、溝加工ツール8の刃体ボディ81は円柱状に限らず、断面四角形や多角形で形成することも可能である。
すなわち、基板Wに接触して作用する複数の凸部83の刃先のうち、進行方向前方側にある上段の刃先から順次下段側にある刃先によって徐々に削られ、これにより溝加工時の摩擦抵抗や負荷が著しく軽減されて不規則な薄膜の剥離の発生をなくすることができ、直線状できれいなスクライブラインを形成することができる。
また、溝加工ツールの往動の際に前部の凸部で加工し、復動の際に後部の凸部で加工することにより、溝加工ツールの往復動で同寸法の溝を加工することができ、加工時間の短縮を図ることができる。
7 スクライブヘッド
8 溝加工ツール
81 刃体ボディ
82 凹部
83 凸部
85 刃先領域
86,87 凸部の左右側面
9 ホルダ
Claims (3)
- 集積型薄膜太陽電池の表面の薄膜を剥離することにより溝を形成するための溝加工ツールであって、
刃体ボディの下端に、複数の凹部、凸部が交互に一列に並ぶように形成され、この凸部の高さは、中央に位置する凸部から前後の凸部が漸次上位に位置するように配置され、凸部の左右側面が平行に形成されている集積型薄膜太陽電池用の溝加工ツール。 - 前記複数の凸部のうち、前後の凸部が中央の凸部を境として前後対称に形成されている請求項1に記載の集積型薄膜太陽電池用の溝加工ツール。
- 集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って、溝加工ツールの刃先で押圧しながら、太陽電池基板若しくは溝加工ツールを相対的に移動させて当該基板表面の薄膜を剥離し、太陽電池の上にスクライブラインを形成する集積型薄膜太陽電池の溝加工方法であって、溝加工ツールは、スクライブ装置のホルダに取り付けた刃体ボディの下端に、複数の凹部、凸部が一列に並ぶように形成され、この凸部の高さが、中央に位置する凸部から前後の凸部が漸次上位に位置するように配置され、かつ、凸部の左右側面が平行に形成されたものを使用し、この溝加工ツールの刃先を前記移動方向に向けて配置し、一回の移動で複数の凸部により異なる深さの溝加工を同時に行うことを特徴とする集積型薄膜太陽電池の溝加工方法。
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