JP2020107798A - 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 - Google Patents
溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020107798A JP2020107798A JP2018247292A JP2018247292A JP2020107798A JP 2020107798 A JP2020107798 A JP 2020107798A JP 2018247292 A JP2018247292 A JP 2018247292A JP 2018247292 A JP2018247292 A JP 2018247292A JP 2020107798 A JP2020107798 A JP 2020107798A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solar cell
- thin film
- cutting edge
- film solar
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【課題】集積型薄膜太陽電池を歩留まりよく製造することのできる太陽電池の溝加工ツールを提供する。【解決手段】棒状のボディ81と、ボディ81の先端に形成された円錐台状の刃先領域82とからなり、刃先領域82は、底面83と底面83からボディ81に向かって延びる側面841とを有し、底面83と側面841とによって形成される角部が第1刃先851をなし、底面83からボディ81に向かって環状溝部86が形成されている溝加工ツールを用いて、薄膜太陽電池の薄膜に溝加工を行う。【選択図】図2
Description
本発明は、薄膜太陽電池を製造する際に用いる溝加工ツールおよび溝加工ツールを用いた溝加工方法ならびに溝加工装置に関する。
薄膜太陽電池においては、基板上に複数のユニットセルを直列接続した集積型構造が一般的である。薄膜太陽電池の一例として、カルコパイライト化合物半導体を光吸収層として用いるカルコパイライト化合物系薄膜太陽電池の製造方法について説明する。なお、カルコパイライト化合物とは、CIGS(Cu(In,Ga)Se2)の他に、CIGSS(Cu(In,Ga)(Se,S)2)、CIS(CuInS2)等が含まれる。
図5は、CIGS薄膜太陽電池の製造工程を示す模式図である。まず、図7(a)に示すように、ソーダライムガラス(SLG)等からなる絶縁基板1上に、プラス側の下部電極となるMo電極層2をスパッタリング法によって形成した後、光吸収層形成前の薄膜太陽電池基板に対してスクライブ加工により下部電極分離用の溝Sを形成する。
その後、図5(b)に示すように、Mo電極層2上に、化合物半導体(CIGS)薄膜からなる光吸収層3を蒸着法、スパッタリング法等によって形成し、その上に、ヘテロ接合のためのZnS薄膜等からなるバッファ層4をCBD法(ケミカルバスデポジション法)により形成し、その上に、ZnO薄膜からなる絶縁層5を形成する。そして、透明電極層形成前の薄膜太陽電池基板に対して、下部電極分離用の溝Sから横方向に所定距離はなれた位置に、スクライブ加工によりMo電極層2にまで到達する電極間コンタクト用の溝M1を形成する。
続いて、図5(c)に示すように、絶縁層5の上からZnO:Al薄膜からなる上部電極としての透明電極層6を形成し、光電変換を利用した発電に必要な各機能層を備えた太陽電池基板とし、スクライブ加工により下部のMo電極層2にまで到達する電極分離用の溝M2を形成する。
上述した集積型薄膜太陽電池を製造する工程において、電極分離用の溝M1およびM2をスクライブにより溝加工する技術として、レーザスクライブ法とメカニカルスクライブ法が用いられてきた。
レーザスクライブ法は、例えば特許文献1で開示されているように、アークランプ等の連続放電ランプによってNd:YAG結晶を励起して発信したレーザ光を照射することにより電極分離用の溝を形成する。この方法は、光吸収層形成後の薄膜太陽電池基板に対して溝を形成する場合、スクライブ時にレーザ光の熱によって光吸収層3の光電変換特性が劣化するおそれがあった。
メカニカルスクライブ法は、例えば特許文献2および3で開示されているように、先端が先細り状となった金属針(ニードル)等の溝加工ツールの刃先を、所定の圧力をかけて基板に押しつけながら移動させることによって、電極分離用の溝を加工する技術である。
特許文献2および3に開示されているようなメカニカルスクライブ法では、溝加工ツールの刃先の形状を先細りの針状にしてあるが、厳密には、薄膜太陽電池に圧接される部分は接触面積を広くするために平らとなるように先端が略水平にカットされている。すなわち、図6に示すように、先端部分が先細りの円錐台形状にしてある。このような形状の溝加工ツール8’を、薄膜太陽電池基板の溝を形成すべき薄膜(上下両電極や光吸収層等の各種機能層)に押しつけながら、スクライブ予定ラインに沿ってY方向へ相対的に移動させることで、溝加工を行うようにしている。
先端部分が先細りの円錐台形状の溝加工ツールを用いることにより、比較的安定して溝加工を行うことができる。その一方で、溝加工ツールを押しつける力が弱すぎると除去すべき薄膜が一部残ってしまい、逆に溝加工ツールを押しつける力が強すぎると除去すべき薄膜の下の層にダメージが生じてしまうため、太陽電池の性能および歩留まりが低下するといった問題点があった。
先端部分が先細りの円錐台形状の溝加工ツールを用いることにより、比較的安定して溝加工を行うことができる。その一方で、溝加工ツールを押しつける力が弱すぎると除去すべき薄膜が一部残ってしまい、逆に溝加工ツールを押しつける力が強すぎると除去すべき薄膜の下の層にダメージが生じてしまうため、太陽電池の性能および歩留まりが低下するといった問題点があった。
そこで、本発明は、薄膜太陽電池基板における光吸収層や電極膜等の各種機能層に溝を加工する際に、歩留まりよく、また、光電変換効率等の製品としての性能の低下を抑制して加工することのできる薄膜太陽電池の溝加工ツールおよびこの溝加工ツールを用いた溝加工方法ならびに溝加工装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するためになされた本発明の薄膜太陽電池用の溝加工ツールは、棒状のボディと、ボディの先端に形成された円錐台状の刃先領域とからなり、刃先領域は、底面と底面からボディに向かって延びる側面とを有し、底面と側面とによって形成される角部が第1刃先をなし、底面にはボディに向かって環状溝部が形成されており、底面と環状溝部の内周側面とによって形成される角部が第2刃先をなし、底面と環状溝部の外周側面とによって形成される角部が第3刃先をなしている。
また、上記課題を解決するためになされた本発明にかかる薄膜太陽電池の溝加工方法は、薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って、溝加工ツールの刃先で押圧しながら、太陽電池基板と溝加工ツールを相対的に移動させて太陽電池基板の薄膜にスクライブラインを形成する集積型薄膜太陽電池の溝加工方法であって、本発明の溝加工ツールを用いて、溝加工ツールの底面を薄膜太陽電池基板の表面に押圧して溝加工を行う。
さらに、上記課題を解決するためになされた本発明にかかる薄膜太陽電池の溝加工装置は、本発明の溝加工ツールと、太陽電池基板が載置されるテーブルと、溝加工ツールの底面を前記太陽電池基板の表面に押圧した状態でスクライブさせるスクライブヘッドを備える。
また、上記課題を解決するためになされた本発明にかかる薄膜太陽電池の溝加工方法は、薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って、溝加工ツールの刃先で押圧しながら、太陽電池基板と溝加工ツールを相対的に移動させて太陽電池基板の薄膜にスクライブラインを形成する集積型薄膜太陽電池の溝加工方法であって、本発明の溝加工ツールを用いて、溝加工ツールの底面を薄膜太陽電池基板の表面に押圧して溝加工を行う。
さらに、上記課題を解決するためになされた本発明にかかる薄膜太陽電池の溝加工装置は、本発明の溝加工ツールと、太陽電池基板が載置されるテーブルと、溝加工ツールの底面を前記太陽電池基板の表面に押圧した状態でスクライブさせるスクライブヘッドを備える。
本発明の溝加工ツールによれば、刃先領域の底面には、薄膜太陽電池基板に押圧される底面からボディに向かって環状溝部が形成されているので、環状溝部部が通過する箇所では刃先が3回通過するようになり、除去すべき薄膜の下の層にダメージを与えることなく、除去すべき薄膜を確実に除去したスクライブラインを形成することができる。
(その他の課題を解決するための手段及び効果)
溝加工ツールは、底面の幅が底面の幅が30μm以上、100μm以下であるようにするのが好ましい。
溝加工ツールは、底面の幅が底面の幅が30μm以上、100μm以下であるようにするのが好ましい。
溝加工ツールは、環状溝部の外周の幅が底面の幅の30%以上、80%以下であるようにするのが好ましい。
溝加工ツールが、超硬合金、または、ダイヤモンドで形成されているのが好ましい。
これにより、ツールの寿命が長く、変形も少ないことから、長期間にわたって精度よくスクライブ加工することができる。
これにより、ツールの寿命が長く、変形も少ないことから、長期間にわたって精度よくスクライブ加工することができる。
以下において、本発明の詳細を、その実施の形態を示す図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明にかかる溝加工ツールを用いた集積型薄膜太陽電池用スクライブ装置の実施形態を示す斜視図である。スクライブ装置は、水平方向(Y方向)に移動可能で、かつ、水平面内で90度および角度θ回転可能なテーブル18を備えており、テーブル18は実質的に太陽電池基板Wの保持手段を形成する。
図1は本発明にかかる溝加工ツールを用いた集積型薄膜太陽電池用スクライブ装置の実施形態を示す斜視図である。スクライブ装置は、水平方向(Y方向)に移動可能で、かつ、水平面内で90度および角度θ回転可能なテーブル18を備えており、テーブル18は実質的に太陽電池基板Wの保持手段を形成する。
テーブル18を挟んで設けてある両側の支持柱20,20と、X方向に延びるガイドバー21とで構成されるブリッジ19は、テーブル18上を跨ぐように設けてある。ホルダ支持体23は、ガイドバー21に形成したガイド22に沿って移動可能に取り付けられ、モータ24の回転によりX方向に移動する。
ホルダ支持体23には、スクライブヘッド7が設けられており、スクライブヘッド7の下部には、テーブル18上に載置される太陽電池基板Wの薄膜表面をスクライブ加工する溝加工ツール8を保持するホルダ9が設けられている。
また、X方向およびY方向に移動することが可能な台座12,13にカメラ10、11がそれぞれ設けられている。台座12、13は支持台13上でX方向に延設されたガイド15に沿って移動する。カメラ10、11は、手動操作で上下動することができ、撮像の焦点を調整することができる。カメラ10、11で撮影された画像はモニタ16、17に表示される。
テーブル18上に載置された太陽電池基板Wの表面には、位置を特定するためのアライメントマークが設けられており、カメラ10、11によりアライメントマークを撮像することにより、太陽電池基板Wの位置を調整する。具体的には、テーブル18に支持された太陽電池基板W表面のアライメントマークを、カメラ10、11により撮像してアライメントマークの位置を特定する。特定されたアライメントマークの位置に基づいて、太陽電池基板W表面の載置時の方向ズレを検出し、テーブル18を所定角度回転させることでズレを修正する。
そして、テーブル18をY方向に所定ピッチで移動するごとに、スクライブヘッド7を下降させて溝形成ツール8の刃先を太陽電池基板Wの表面に押しつけた状態でX方向に移動させ、太陽電池基板Wの表面をX方向に沿ってスクライブ加工する。太陽電池基板Wの表面をY方向に沿ってスクライブ加工する場合は、テーブル18を90度回転させて、上記と同様の動作を行う。
図2、図3および図4は、本発明において用いる溝加工ツール8を示す模式図である。図2は下方から見た斜視図であり、図3は溝加工ツール8の底面を底面側から見た拡大図であり、図4は溝加工ツール8の刃先領域を側面側から見た拡大図である。この溝形成ツール8は、実質的にスクライブヘッド7への取付部となる円柱状のボディ81と、その先端部に一体的に形成された、円錐台状の刃先領域82とからなり、超硬合金またはダイヤモンド等の硬質材料で造られている。刃先領域82は、底面83と、底面83の外縁からボディ81に向かって立ち上がった側面841とからなる。底面83と側面841とによって形成される角部が第1刃先851となる。また、底面83の中央部には底面からボディ81に向かって延びる環状溝部86が形成されている。底面83と環状溝部の内周側面842とによって形成される角部が第2刃先852となり、。底面83と環状溝部の外周側面843とによって形成される角部が第3刃先853となる
底面83の幅W1は50〜80μmが好ましいが、要求されるスクライブの溝幅に合わせて30〜100μmとすることができる。また、環状溝部86の外周の幅W2は底面83の幅W1の30%〜80%、環状溝部の溝の幅W3は底面83の幅W1の5%〜20%、環状溝部86の高さHは30μm以上が好ましい。また、刃先領域の中心を挟んで対向する側面841のなす角度、すなわち側面841を延長してできる円錐の頂角αの角度は、20°〜70°が好ましい。さらに、円柱状のボディ81の直径は2〜4mm程度がよい。なお、溝形成ツール8のボディ81は円柱状に限らず、断面四角形や多角形で形成することも可能である。また、環状溝部86の形状は円形に限らず、楕円形や多角形であってもよい。
上述した溝加工ツール8を用いて加工を行う場合は、刃先領域82の底面83が太陽電池基板Wの表面に対して平行になるようにスクライブヘッド7に取り付ける。
本発明によれば、刃先領域82に環状溝部86が形成されているので、環状溝部86が通過する箇所では、刃先が3回通過するため、溝加工ツールを太陽電池基板に押し付ける力を大きくすることなく、除去すべき薄膜を確実に除去したスクライブラインを形成することができる。
なお、上記実施例では、スクライブヘッド7をX方向に移動させることでスクライブ加工を実行したが、スクライブヘッド7と、太陽電池基板Wとが相対的に移動できれば足りることから、太陽電池基板Wが固定された状態でスクライブヘッド7をX方向またはY方向に移動させてもよいし、スクライブヘッド7を移動させることなく、太陽電池基板WのみをX方向またはY方向に移動させてもよい。
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例の構造のみに特定されるものではない。その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
本発明は、薄膜太陽電池の製造に用いることのできる溝加工ツール、溝加工方法および溝加工装置に適用することができる。
W 太陽電池基板
7 スクライブヘッド
8 溝加工ツール
81 ボディ
82 刃先領域
83 刃先領域の底面
841 刃先領域の側面
842 環状溝部の内周側面
843 環状溝部の外周側面
851 第1刃先
852 第2刃先
853 第3刃先
86 環状溝部
7 スクライブヘッド
8 溝加工ツール
81 ボディ
82 刃先領域
83 刃先領域の底面
841 刃先領域の側面
842 環状溝部の内周側面
843 環状溝部の外周側面
851 第1刃先
852 第2刃先
853 第3刃先
86 環状溝部
Claims (6)
- 棒状のボディと、ボディの先端に形成された円錐台状の刃先領域とからなり、
前記刃先領域は、底面と前記底面からボディに向かって延びる側面とを有し、
前記底面と前記側面とによって形成される角部が第1刃先をなし、
前記底面にはボディに向かって環状溝部が形成されており、
前記底面と前記環状溝部の内周側面とによって形成される角部が第2刃先をなし、
前記底面と前記環状溝部の外周側面とによって形成される角部が第3刃先をなしている薄膜太陽電池の溝加工ツール。 - 底面の幅が30μm以上、100μm以下である請求項1に記載の溝加工ツール。
- 前記環状溝部の外周の幅が前記底面の幅の30%以上、80%以下である請求項1に記載の溝加工ツール。
- 前記溝加工ツールが、超硬合金またはダイヤモンドで形成されている請求項1に記載の溝加工ツール。
- 薄膜太陽電池のスクライブ予定ラインに沿って、溝加工ツールの刃先で押圧しながら、前記薄膜太陽電池と溝加工ツールを相対的に移動させて前記薄膜太陽電池の薄膜にスクライブラインを形成する薄膜太陽電池の溝加工方法であって、
前記溝加工ツールは、
棒状のボディと、ボディの先端に形成された円錐台状の刃先領域とからなり、
前記刃先領域は、底面と前記底面からボディに向かって延びる側面とを有し、
前記底面と前記側面とによって形成される角部が第1刃先をなし、
前記底面にはボディに向かって環状溝部が形成されており、
前記底面と前記環状溝部の内周側面とによって形成される角部が第2刃先をなし、
前記底面と前記環状溝部の外周側面とによって形成される角部が第3刃先をなしており、
前記溝加工ツールの底面を前記薄膜太陽電池の薄膜の表面に押圧して、前記溝加工を行うことを特徴とする薄膜太陽電池の溝加工方法。 - 棒状のボディと、ボディの先端に形成された円錐台状の刃先領域とからなり、
前記刃先領域は、底面と前記底面からボディに向かって延びる側面とを有し、
前記底面と前記側面とによって形成される角部が第1刃先をなし、
前記底面にはボディに向かって環状溝部が形成されており、
前記底面と前記環状溝部の内周側面とによって形成される角部が第2刃先をなし、
前記底面と前記環状溝部の外周側面とによって形成される角部が第3刃先をなしている薄膜太陽電池の溝加工ツールと、薄膜太陽電池が載置されるテーブルと、前記溝加工ツールの底面を前記太陽電池の薄膜の表面に押圧した状態で溝加工を行うスクライブヘッドを備えた溝加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018247292A JP2020107798A (ja) | 2018-12-28 | 2018-12-28 | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018247292A JP2020107798A (ja) | 2018-12-28 | 2018-12-28 | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020107798A true JP2020107798A (ja) | 2020-07-09 |
Family
ID=71449448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018247292A Pending JP2020107798A (ja) | 2018-12-28 | 2018-12-28 | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020107798A (ja) |
-
2018
- 2018-12-28 JP JP2018247292A patent/JP2020107798A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI501415B (zh) | A trench processing tool, a trench processing method and a cutting device using a thin film solar cell | |
JP5369099B2 (ja) | 薄膜太陽電池のスクライブ装置 | |
KR101172316B1 (ko) | 집적형 박막 태양 전지의 제조 장치 | |
WO2010098307A1 (ja) | 集積型薄膜太陽電池の製造方法 | |
WO2010103947A1 (ja) | 薄膜太陽電池用の溝加工ツール | |
JP5357580B2 (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法 | |
JP5804999B2 (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2020107798A (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2020107796A (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2020107797A (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2020107800A (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2020107799A (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2020107795A (ja) | 溝加工ツールおよびこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法ならびに溝加工装置 | |
JP2015126205A (ja) | 溝加工ツール並びにこの溝加工ツールを取り付けたスクライブ装置 | |
JP2015192112A (ja) | 溝加工ツール並びにこの溝加工ツールを取り付けたスクライブ装置 |