JP2010242907A - 移動機構の防塵装置および測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Y軸移動機構3を覆う帯状の1枚の防塵シート30を備える。防塵シート30は、ステージ2の移動領域のうち、ステージ2を挟んだ一方側の開口23を覆うとともに一端がステージ2に連結された第1表面覆部31と、ステージ2を挟んだ他方側の開口23を覆うとともに他端がステージ2に連結された第2表面覆部32と、第1表面覆部の他端と第2表面覆部の一端とを連結するとともにY軸移動機構3を挟んで第1表面覆部および第2表面覆部とは反対側に配置された裏面覆部33とを有し、これらの覆部が前記可動部材の移動に伴って回行可能に構成されている。
【選択図】図3
Description
この結果からも分かるように、蛇腹部材を用いたものでは、摺動抵抗や引っ掛かりによって、測定データにスパイクノイズが発生していることが分かる。従って、今後、要求される測定精度が高くなるにつれて、蛇腹構造の防塵装置の影響を無視することができなくなることが予想され、新しい防塵装置が要望される。
また、防塵シートは、可動部材を挟んだ一方側を覆う第1表面覆部と、可動部材を挟んだ他方側を覆う第2表面覆部と、これら第1表面覆部および第2表面覆部を連結するとともに移動機構を挟んで第1表面覆部および第2表面覆部とは反対側に配置された裏面覆部とを有するから、つまり、可動部材および防塵シートで、駆動機構を囲む構成であるから、駆動機構内への異物、とくに、ほこりの侵入を確実に防ぐことができる。
このような構成によれば、防塵シートにほこりなどが付着するのを防止できるので、ほこりの堆積による加工・測定環境の悪化を防ぐことができる。そのため、クリーンな加工・測定環境で作業を行うことができる。
このような構成によれば、第1表面覆部と裏面覆部との連結部、および、第2表面覆部と裏面覆部との連結部には、防塵シートの回行動作をガイドするガイドローラが設けられているから、可動部材の移動に対して、覆部の回行動作をスムーズに行える。しかも、これらのガイドローラのうち、少なくとも1つのガイドローラは、防塵シートの張力が一定に保たれる方向へ付勢されているから、防塵シートを略一定の摺動抵抗で安定して移動させることができる。
このような構成によれば、上述した各移動機構の防塵装置で述べた効果が期待できる。
<形状測定機の説明(図1および図2参照)>
図1は、本発明の防塵装置および測定機を形状測定機に適用した実施形態の正面図、図2は、同形状測定機の側面図である。
本実施形態に係る形状測定機は、基台1と、被測定物を載置する可動部材としてのステージ2と、このステージ2を前後方向(Y軸方向)へ変位させるY軸移動機構3と、基台1の上面にステージ2を跨いで設けられた門形フレーム4と、この門形フレーム4のクロスレール4Aに左右方向(X軸方向)へ変位可能に設けられたXスライダ5と、このXスライダ5をX軸方向へ移動させるX軸移動機構6と、Xスライダ5に上下方向(Z軸方向)へ移動可能に設けられたZスライダ7と、このZスライダ7を昇降させるZ軸移動機構8と、Zスライダ7の下端に設けられたプローブ9と、Y軸移動機構3を覆う防塵装置10とを含んで構成されている。
Y軸移動機構3は、支持台11の上面にY軸方向と平行に支持されたボールねじ軸15と、このボールねじ軸15を回転させるモータ16と、ステージ2に設けられているとともにボールねじ軸15に螺合されたナット部材17とを有する送りねじ機構によって構成されている。
X軸移動機構6やZ軸移動機構8も、Y軸移動機構3と同様に、例えば、ボールねじ軸と、モータと、ボールねじ軸に螺合されたナット部材とを有する送りねじ機構によって構成されている。
なお、これら Y軸移動機構3、門形フレーム4、Xスライダ5、X軸移動機構6、Zスライダ7およびZ軸移動機構8などは、プローブ9と可動部材としてのステージ2とを、X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向、つまり、三次元方向へ相対移動させる相対移動機構を構成している。
Y軸移動機構3の防塵装置10は、ステージ2およびY軸移動機構3の周囲を覆う防塵ケース20と、この防塵ケース20の開口23を覆うとともにY軸移動機構3の上下面および前後面を覆う帯状の防塵シート30と、この防塵シート30の回行動作をガイドするガイド手段40とから構成されている。
防塵ケース20は、ステージ2およびY軸移動機構3の正面および裏面を覆う前後壁21と、ステージ2およびY軸移動機構3の側面を覆う側壁22とを有し、これらで囲まれた上面にステージ2の上部を露出するための開口23を有する箱状に形成されている。前後壁21および側壁22の上端には、内側へ略直角に折り曲げられた鍔部21A,22Aが形成されている。
また、防塵シート30は、ステージ2の移動領域のうち、ステージ2を挟んだ一方側の開口23を覆うとともに一端(図3中右端;後端)がステージ2に連結された第1表面覆部31と、ステージ2を挟んだ他方側の開口23を覆うとともに他端(図3中左端:前端)がステージ2に連結された第2表面覆部32と、Y軸移動機構3を挟んで第1表面覆部31および第2表面覆部32とは反対側に配置された裏面覆部33と、第1表面覆部31の他端(図3中左端:前端)と裏面覆部33の他端(図3中左端:前端)とを連結する連結部34と、第2表面覆部32の一端(図3中右端:後端)と裏面覆部33の一端(図3中右端:後端)とを連結する連結部35とを有し、これらの覆部および連結部がステージ2の移動に伴って回行可能に構成されている。
裏面覆部33は、支持台11のシート挿通孔13を通ってY軸方向と平行に配置されている。
これらのガイドローラ41〜44は、防塵ケース20に回転可能に支持されている。
測定にあたっては、ステージ2の上に被測定物を載置したのち、ステージ2をY軸方向へ、プローブ9をX軸およびZ軸方向へ移動させながら、プローブ9を被測定物に接触させる。すると、そのときの各軸の座標値、つまり、ステージ2のY軸座標値、プローブ9のX軸およびZ軸値が取り込まれるから、これらの座標値から被測定物の寸法や形状が測定される。
(1)防塵装置10は、1枚の帯状の防塵シート30を含んで構成されているため、従来の蛇腹部材の構成に比べ、摺動抵抗の変動を小さくできる。
(2)防塵シート30は、ステージ2を挟んだ一方側の開口23を覆う第1表面覆部31と、ステージ2を挟んだ他方側の開口23を覆う第2表面覆部32と、これら第1表面覆部31および第2表面覆部32を連結するとともにY軸移動機構3を挟んで第1表面覆部31および第2表面覆部32とは反対側に配置された裏面覆部33とを有するから、つまり、ステージ2および防塵シート30で、Y軸移動機構3を囲む構成であるから、Y軸移動機構3内への異物、とくに、ほこりの侵入を確実に防ぐことができ、
しかも、静電気帯電防止シートや静電気除去シートで構成されているので、静電気によるほこりの付着を極力排除できる。
なお、本発明は、前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
前記実施形態において、4つのガイドローラ41〜44の少なくとも1つのガイドローラを付勢する付勢手段を設け、これにより、防塵シート30の張力を一定に保つようにしてもよい。
例えば、図4に示すように、2つのガイドローラ43,44の連結部材50で連結し、この連結部材50をばねなどの付勢手段51で外方へ付勢するようにすれば、防塵シート30を略一定の摺動抵抗で安定して移動させることができる。
また、前記実施形態で述べた形状測定機に限らず、画像測定機や三次元測定機などの測定機であってもよく、あるいは、工作機械などでもよい。つまり、可動部材を往復直線移動させる移動機構を備えた測定機や工作機械などに、本発明の防塵装置を適用できる。
3…Y軸移動機構(移動機構)、
10…防塵装置、
20…防塵ケース、
30…防塵シート、
31…第1表面覆部、
32…第2表面覆部、
33…裏面覆部、
34…連結部、
35…連結部、
40…ガイド手段、
41〜44…ガイドローラ、
51…付勢手段。
Claims (4)
- 可動部材を往復直線移動させる移動機構の防塵装置であって、
前記移動機構を覆う帯状の1枚の防塵シートを備え、
前記防塵シートは、前記可動部材の移動領域のうち、前記可動部材を挟んだ一方側を覆うとともに一端が前記可動部材に連結された第1表面覆部と、前記可動部材を挟んだ他方側を覆うとともに他端が前記可動部材に連結された第2表面覆部と、前記第1表面覆部の他端と前記第2表面覆部の一端とを連結するとともに前記移動機構を挟んで前記第1表面覆部および第2表面覆部とは反対側に配置された裏面覆部とを有し、これらの覆部が前記可動部材の移動に伴って回行可能に構成されている、ことを特徴とする移動機構の防塵装置。 - 請求項1に記載の移動機構の防塵装置において、
前記防塵シートは、静電気帯電防止材または静電気除去材によって構成されている、ことを特徴とする移動機構の防塵装置。 - 請求項1または請求項2に記載の移動機構の防塵装置において、
前記第1表面覆部と前記裏面覆部との連結部、および、前記第2表面覆部と前記裏面覆部との連結部には、前記防塵シートの回行動作をガイドするガイドローラが設けられ、
前記防塵シートの張力が一定に保たれる方向へ前記ガイドローラのうち少なくとも1つのガイドローラを付勢する付勢手段が設けられている、ことを特徴とする移動機構の防塵装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかを備えたことを特徴とする測定機。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014176928A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Morioka Seiko Instruments Inc | 移動装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5916790U (ja) * | 1982-07-15 | 1984-02-01 | 株式会社平井鉄工所 | 自動溶接用の治具台装置 |
JPS62113947U (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-20 | ||
JPS63174009U (ja) * | 1986-10-23 | 1988-11-11 | ||
JPH03278325A (ja) * | 1989-04-11 | 1991-12-10 | Ricoh Co Ltd | 対物レンズ駆動装置 |
JP2002133843A (ja) * | 2000-10-19 | 2002-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク装置 |
JP2004124333A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Murata Mach Ltd | 紡績機の糸弛み取り装置 |
JP2008009478A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Nidec Sankyo Corp | 媒体処理装置 |
JP2008049307A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Yoshida Industry Co Ltd | 塵埃除去装置 |
-
2009
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5916790U (ja) * | 1982-07-15 | 1984-02-01 | 株式会社平井鉄工所 | 自動溶接用の治具台装置 |
JPS62113947U (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-20 | ||
JPS63174009U (ja) * | 1986-10-23 | 1988-11-11 | ||
JPH03278325A (ja) * | 1989-04-11 | 1991-12-10 | Ricoh Co Ltd | 対物レンズ駆動装置 |
JP2002133843A (ja) * | 2000-10-19 | 2002-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ディスク装置 |
JP2004124333A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Murata Mach Ltd | 紡績機の糸弛み取り装置 |
JP2008009478A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Nidec Sankyo Corp | 媒体処理装置 |
JP2008049307A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Yoshida Industry Co Ltd | 塵埃除去装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014176928A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Morioka Seiko Instruments Inc | 移動装置 |
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