JP2010242881A5 - 流体動圧軸受の製造方法および製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、流体動圧軸受の製造装置、その製造装置を用いた製造方法に関し、特に流体動圧軸受に潤滑剤を充填する技術に関する。

Claims (11)

1. 第１の作業領域を画定するハウジング部と、
   前記第１の作業領域内の空気を排出する真空ポンプと、
   前記第１の作業領域内に設置され流体動圧軸受の潤滑剤の貯留領域の入口に潤滑剤を吐出する潤滑剤吐出装置と、
   前記ハウジング部に設けられた少なくとも１つの開口部と、
   前記開口部を閉じる第１の扉と、
   前記開口部を閉じる第２の扉と、を備え、
   前記開口部を閉じた前記第１の扉と前記第２の扉との間に、流体動圧軸受が置かれる第２の作業領域が形成されることを特徴とする流体動圧軸受の製造装置。
2. 前記第２の作業領域内の気圧を制御する気圧制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受の製造装置。
3. 前記第２の作業領域は、前記第１の作業領域より小さく、
   前記第１の扉と前記第２の扉が前記開口部を閉じているときに、前記第１の扉を開けると、前記第１の作業領域と前記第２の作業領域とが連通することを特徴とする請求項１または２に記載の流体動圧軸受の製造装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載した流体動圧軸受の製造装置を用いた流体動圧軸受の製造方法であって、
   前記第１の扉により前記開口部を閉じる工程と、
   前記第２の作業領域に前記流体動圧軸受を配置する工程と、
   前記第２の扉を閉じる閉扉工程と、
   前記第１の扉を開けると共に、前記流体動圧軸受を前記真空ポンプにより減圧されている前記第１の作業領域に導入する導入工程と、
   潤滑剤吐出装置によって前記流体動圧軸受の潤滑剤の貯留領域の入口に潤滑剤を吐出する工程と、
   前記第２の作業領域に前記流体動圧軸受を再び配置する工程と、
   前記第１の扉により前記開口部を閉じる工程と、
   前記第２の作業領域に空気を入れて前記潤滑剤を前記流体動圧軸受の潤滑剤の貯留領域に引き込む工程と、
   を備えることを特徴とする流体動圧軸受の製造方法。
5. 前記閉扉工程と、前記導入工程との間に、前記第２の作業領域内を減圧する工程をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の流体動圧軸受の製造方法。
6. 前記潤滑剤を前記流体動圧軸受の潤滑剤の貯留領域に引き込む工程の後、潤滑剤を付加的に吐出する工程をさらに含むことを特徴とする請求項４または５に記載の流体動圧軸受の製造方法。
7. 前記潤滑剤を付加的に吐出する工程は、前記第２の作業領域でなされることを特徴とする請求項６に記載の流体動圧軸受の製造方法。
8. 前記潤滑剤を前記流体動圧軸受の潤滑剤の貯留領域に引き込む工程は、第２の作業領域を、第１の作業領域とは別個に内部気圧を制御して実行されることを特徴とする請求項４から７のいずれかに記載の流体軸受の製造方法。
9. 前記流体動圧軸受の潤滑剤の貯留領域の入口に潤滑剤を吐出する工程は、射出される潤滑剤の液滴が前記貯留領域の入口に入るように、前記貯留領域から離れた位置にあるノズルのねらいを定める工程と、前記ノズルから潤滑剤の液滴を前記貯留領域からあふれ出ない量射出する工程と、を含むことを特徴とする請求項４から８のいずれかに記載の流体動圧軸受の製造方法。
10. 潤滑剤を吸い出すためのノズルを吐出された潤滑剤の内部に挿入し、潤滑剤の量が所定の量になるまで吸い出す工程をさらに含むことを特徴とする請求項４から９のいずれかに記載の流体動圧軸受の製造方法。
11. 前記吐出する工程において、前記流体動圧軸受を加熱することを特徴とする請求項４から１０のいずれかに記載の流体動圧軸受の製造方法。