JP2010239006A - 情報処理装置及びその制御方法、並びに、プログラム - Google Patents
情報処理装置及びその制御方法、並びに、プログラム Download PDFInfo
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Abstract
【課題】複数のパラメータの編集作業を行う際に、編集者の負担軽減を実現する仕組みを提供する。
【解決手段】複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該露光装置100の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出部122と、算出部122で算出されたパラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成部123と、表示情報作成部123で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてGUI画像を作成し、作成したGUI画像を表示機構150に表示する処理を行う表示処理部121を備える。
【選択図】図1
【解決手段】複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該露光装置100の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出部122と、算出部122で算出されたパラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成部123と、表示情報作成部123で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてGUI画像を作成し、作成したGUI画像を表示機構150に表示する処理を行う表示処理部121を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置及びその制御方法、並びに、当該制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関するものである。特に、本発明は、情報処理装置として、半導体製造工程の露光処理で用いる露光装置に用いて好適なものである。
今日の高度情報化社会は、例えば、半導体素子の高集積化の技術によって大きな発展を遂げてきた。この半導体素子の高集積化を進める技術のうちで最も重要な技術の1つは、微細加工技術である。この微細加工技術では、レチクル等の原版に形成された回路パターンを感光性材料(レジスト)が塗布された基板上に焼き付ける露光技術が用いられる。
そして、この露光技術を実現する露光装置では、例えば、以下に示す3種類の制御パラメータセットに従って露光を実施する。
1.ジョブと呼ばれる露光工程ごとのジョブパラメータセット
2.レチクルファイルと呼ばれるレチクルパラメータセット
3.システムファイルと呼ばれるシステムパラメータセット
1.ジョブと呼ばれる露光工程ごとのジョブパラメータセット
2.レチクルファイルと呼ばれるレチクルパラメータセット
3.システムファイルと呼ばれるシステムパラメータセット
従来、半導体製造工程(露光工程)で用いる露光装置では、エディタと呼ばれるパラメータセットの編集機能を用いて、露光工程ごとに、各種の計測シーケンスに関するパラメータや、露光量、各種のオフセットなどを、随時、適切な値に変更する編集をしている。
近年、半導体の微細化、複雑化、多様化が進むにしたがって、1台の半導体露光装置あたりに保持する必要のあるパラメータセットの数は、飛躍的に増大し、パラメータの数もますます増加している。そのため、パラメータの編集作業に費やされる時間は、非常に大きくなっている。
そして、上述した編集作業に係る負荷の大きな要因の1つとして、編集する大量のパラメータ同士の中に、複雑に関係性を持つものが存在するということがある。即ち、編集作業を行う際に、この複数のパラメータ間の整合性を考慮する作業が大きな負荷となっている。
これに対して、従来、下記の特許文献1に示す、複数のパラメータの値に従って動作する露光装置が提案されている。具体的に、下記の特許文献1には、少なくとも2つのパラメータを共通の式によって定義する機能を有するパラメータ編集システムを備え、パラメータの設定に要する時間を短縮する技術が示されている。従来においては、このような膨大なパラメータの編集作業を効率化する技術がいくつか提案されている。
しかしながら、パラメータの中には、その値を編集したタイミングと、その編集したパラメータの値が実際の露光装置に反映されるタイミングとが異なるものが多数存在する。さらに、露光装置に反映されるタイミングも、パラメータの種類や、そのときの露光装置の状態によって異なる。このようなパラメータ編集の例を、図13を参照して説明する。
図13は、一般的なパラメータの編集において、編集のタイミングと、装置に反映されるタイミングとの差異の一例を示す模式図である。図13には、水平方向に時間軸1301を採っている。また、この図13に示す露光装置には、3つのパラメータA,B,Cが存在し、タイミング1302の時点で、これらの3つのパラメータが編集されたものとする。
図13に示す例では、タイミング1302の時点で、パラメータBの値が即座に露光装置に反映されている。これに対して、パラメータCの値は、装置状態がαからβに変化したタイミング1304を契機としてタイミング1305の時点で露光装置に反映されている。また、パラメータAの値は、装置状態がβからγに変化したタイミング1306を契機としてタイミング1307の時点で露光装置に反映されている。
このような編集タイミングと装置反映タイミングとの差異は、露光装置のメーカーごと、機種ごとの装置仕様や、ユーザ運用形態に伴うユーザ管理者の設定等の要因に依存する。そして、編集者は、このような編集タイミングと装置反映タイミングの差異を想定して考慮しながら、パラメータの編集タイミングを合わせ、適切なパラメータの値を割り出し運用していく必要がある。そのため、編集者は、膨大な仕様書や、運用時の装置動作手順を想定しながら編集作業を行わなければならず、非常に大きな負荷となっている。また、この編集タイミングと装置反映タイミングとの差異の複雑性が、編集できる人間の幅も狭めている。
上述した編集タイミングと装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する改善策の一例について、以下に説明する。
図14は、図13に示す編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する改善策の一例を示す模式図である。ここで、図14には、半導体露光装置のGUI画面1400が示されている。
図14に示す例では、GUI画面1400に存在するパラメータの編集者入力欄1401上にマウスカーソル1402が移動すると、編集者入力欄1401についての解説が、解説ツールチップ1403として表示される。この図14に示す例では、解説ツールチップ1403に、このパラメータの値が、半導体露光装置にいつ反映されるのかを示している。
しかしながら、図14に示す改善策では、編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異を一見して認識することが困難である。また、図14に示す改善策では、1つの入力情報に関してだけの少ない情報であること、その都度、マウスカーソル1402を移動させる手間があること、文字列であるため、情報認識性能が低い等の問題もある。このような理由により、図14に示す改善策は、膨大なパラメータの編集作業を行うという観点において、編集タイミングとパラメータの装置反映タイミングとの差異に基づく編集者の負荷に対する効果的な改善策とまでは至っていない。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、複数のパラメータの編集作業を行う際に、編集者の負担軽減を実現する仕組みを提供することを目的とする。
本発明の情報処理装置は、複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置であって、前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出手段と、前記算出手段で算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成手段と、前記表示情報作成手段で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてGUI画像を作成し、作成したGUI画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理手段とを有する。
また、本発明は、上述した情報処理装置の制御方法、及び、当該制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを含む。
本発明によれば、複数のパラメータの編集作業を行う際に、編集者の負担軽減を実現することができる。
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態(実施形態)について説明する。なお、以下に示す本発明の各実施形態の説明においては、本発明に係る情報処理装置として、露光装置(半導体露光装置)を適用した例について説明する。
(第1の実施形態)
まず、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る露光装置(情報処理装置)の内部構成の一例を示す模式図である。
まず、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る露光装置(情報処理装置)の内部構成の一例を示す模式図である。
露光装置100は、図1に示すように、CPU110、記憶媒体120、RAM130、入力機構140、表示機構150、通信機構160、及び、システムバス170を有して構成されている。
CPU110は、例えば、記憶媒体120に記憶された各種のプログラムや各種の情報を用いて、露光装置100全体の制御を行う中央処理装置である。
記憶媒体120は、例えば、オペレーティングシステム(OS)やCPUが実行するプログラム、更には本実施形態の説明において既知としている各種のパラメータ等の情報などを記憶する。
記憶媒体120は、CPU110が実行するプログラムであるGUI表示処理部121、パラメータ値装置反映タイミング算出部122、及び、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部123が記憶されている。また、記憶媒体120には、装置内情報124が記憶される。
GUI表示処理部121は、露光装置100のGUI画像(GUI画面)を構築し、これを表示機構150に表示するための処理を行う。パラメータ値装置反映タイミング算出部122は、現在表示されているパラメータが、実際に当該露光装置100の動作に反映されるタイミングをリアルタイムに算出する。パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部123は、GUI表示処理部121が現在保持するGUI画像(GUI画面)に係る表示情報と、パラメータ値装置反映タイミング算出部122の算出結果から、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。装置内情報124は、露光装置100の処理に係る各種の情報である。
RAM130は、記憶媒体120からロードされたプログラムや各種の情報を一時的に記憶するエリアを備えるとともに、CPU110が各種の処理を行うために必要とするワークエリアを備えるランダム・アクセス・メモリである。
入力機構140は、ユーザの操作を受けて、情報を入力するポインティングデバイスやキーボードなどの入力デバイスである。
表示機構150は、CPU110の制御に従って、各種の情報を表示するディスプレイ等の表示デバイスである。
通信機構160は、露光装置100と外部装置との間で行われる各種の情報の送受信を司るものである。
システムバス170は、CPU110と、記憶媒体120、RAM130、入力機構140、表示機構150及び通信機構160とを相互に通信可能に接続するためのバスである。
次に、図1に示す記憶媒体120に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細について説明する。
図2は、本発明の第1の実施形態を示し、図1に示す記憶媒体120に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細についての一例を示す模式図である。ここで、図2において、図1と同様の機能の構成については、同じ符号を付している。また、図2においては、図1に示す記憶媒体120を「記憶媒体120−1」とし、図1に示すパラメータ値装置反映タイミング算出部122を「パラメータ値装置反映タイミング算出部122−1」として説明を行う。
図2のパラメータ値装置反映タイミング算出部122−1には、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221が保持されている。また、図2には、図1の装置内情報124として、装置設定中パラメータ値情報1241、ユーザ仕様リスト情報1242及び現在の装置状態情報1243が存在している。
まず、通常のGUI表示処理について説明する。
図3は、通常のGUI表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
図3は、通常のGUI表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
ここで、記憶媒体120−1には、現在、露光装置100内に設定されている、装置設定中パラメータ値情報1241、ユーザごとのカスタマイズ設定情報であるユーザ仕様リスト情報1242、及び、現在の装置状態情報1243が保持されている。ここで、装置設定中パラメータ値情報1241には、現在、露光装置100内に設定されている複数のパラメータに係るパラメータ値情報が記憶されている。また、表示機構150には、所定のGUI画面が表示されている。
まず、ステップS101において、CPU110は、入力機構140から、ユーザによるGUI操作を受け付け、ユーザによりGUI操作がなされた場合、これを検知する。
続いて、ステップS102において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、GUI操作に応じて表示機構150に表示されているGUI画面の画面遷移や情報の編集を行い、装置内情報124(1241〜1243等)の更新を行う。
続いて、ステップS103において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、表示するGUI画面に必要なパラメータに係る情報を装置内情報124(1241〜1243等)から取得する。
続いて、ステップS104において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS103で取得した情報に基づいてGUI画像を作成する。
続いて、ステップS105において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS104で作成したGUI画像を表示機構150に送信する。これにより、表示機構150には、ステップS104で作成されたGUI画像に基づく新たなGUI画面が表示される。
次に、上述した内容を踏まえた上で、図2を用いて、本発明の第1の実施形態に係るGUI表示処理の制御方法について説明する。
まず、本実施形態で取り扱う、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221、装置設定中パラメータ値情報1241、ユーザ仕様リスト情報1242、及び、現在の装置状態情報1243について説明する。
<全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221>
全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221は、GUI画面から露光装置内の認識可能な全てのパラメータのそれぞれについて、装置反映タイミングをリスト形式で保持するものである。
全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221は、GUI画面から露光装置内の認識可能な全てのパラメータのそれぞれについて、装置反映タイミングをリスト形式で保持するものである。
図4は、図2に示す全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221の一例を示す模式図である。図4に示す例では、各パラメータについて、パラメータ名401、及び、装置反映タイミング402が定められている。
例えば、パラメータ名401がパラメータA(411)については、装置反映タイミング402として、装置再起動、GUI再起動、ロット、ウェハ、即時(待機状態に限り)というタイミング412で露光装置100の動作に反映されることを示している。このように、装置反映タイミング402とは、露光装置100の状態変化のタイミングや、処理実行単位を示すものである。また、装置反映タイミング402の関係性は、静的に決まっているものでも、運用時に変更可能な動的なものでも実現可能であるが、露光装置100の仕様に依存する部分が大きく、本例では、静的に定義されているものとする。また、本例では、最も早く露光装置に反映されるタイミングが、即時(待機状態に限り)であり、以降、ウェハ、ロット、GUI再起動、装置再起動の順に遅い更新タイミングとなっているものとする。
<装置設定中パラメータ値情報1241>
装置設定中パラメータ値情報1241は、露光装置100内の全てのパラメータ、及び、その値を保持するものである。
装置設定中パラメータ値情報1241は、露光装置100内の全てのパラメータ、及び、その値を保持するものである。
<ユーザ仕様リスト情報1242>
ユーザ仕様リスト情報1242は、パラメータ名における本来の装置反映タイミング402に対し、ユーザの運用等の仕様上の都合のために、更に制約を加える形で露光装置100に設定された、ユーザ定義の装置反映タイミングのリスト情報である。
ユーザ仕様リスト情報1242は、パラメータ名における本来の装置反映タイミング402に対し、ユーザの運用等の仕様上の都合のために、更に制約を加える形で露光装置100に設定された、ユーザ定義の装置反映タイミングのリスト情報である。
図5は、図2に示すユーザ仕様リスト情報1242の一例を示す模式図である。図5に示す例では、各パラメータについて、図4のパラメータ名401に対応するパラメータ名501、及び、ユーザ定義装置反映タイミング502が定められている。
例えば、パラメータ名501がパラメータA(511)については、ユーザ定義装置反映タイミング502として、装置再起動、GUI再起動、ウェハ、即時(待機状態に限り)というタイミング512で露光装置100の動作に反映されることを示している。即ち、本例のユーザ定義装置反映タイミング512は、図4に示す本来の装置反映タイミング412に対して、ウェハのタイミングをあえて禁止する、ユーザ側の制約が加えられている。
<現在の装置状態情報1243>
現在の装置状態情報1243は、現在の露光装置100の状態を示すものであり、例えば、ウェハ露光中状態や待機状態などの情報である。
現在の装置状態情報1243は、現在の露光装置100の状態を示すものであり、例えば、ウェハ露光中状態や待機状態などの情報である。
次に、本実施形態のGUI表示処理について説明する。
図6は、本発明の第1の実施形態に係る露光装置(情報処理装置)によるGUI表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
図6は、本発明の第1の実施形態に係る露光装置(情報処理装置)によるGUI表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。
まず、ステップS201において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、表示するGUI画面に必要なパラメータに係る情報を装置内情報124(1241〜1243等)から取得する。
続いて、ステップS202において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS201で取得した情報に基づいてGUI画像を作成する。ここまでの処理は、図3のステップS103及びS104の処理と同様である。
続いて、ステップS203において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、装置設定中パラメータ値情報1241に基づいて、ステップS202で作成したGUI画像に含まれる現在表示中のパラメータのリスト情報をパラメータ値装置反映タイミング算出部122−1に送信する。
続いて、ステップS204において、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−1は、CPU110の制御に従って、ユーザ仕様リスト情報1242及び現在の装置状態情報1243を取得する。
続いて、ステップS205において、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−1は、CPU110の制御に従って、ステップS203及びS204で取得した情報と、内部に保持する全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221を用いて、現在表示中のパラメータが実際に露光装置100の動作に反映される装置反映タイミングを算出し、当該パラメータと当該装置反映タイミングのリスト情報を作成する。
ここで、図6のステップS205の詳細な処理手順について説明する。
図7は、図6のステップS205の詳細な処理手順の一例を示すフローチャートである。
図7は、図6のステップS205の詳細な処理手順の一例を示すフローチャートである。
ここで、図7のフローチャートの説明にあたって、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221は、図4に示すものとし、ユーザ仕様リスト情報1242は、図5に示すものとする。また、現在の露光装置100の状態をウェハ露光中状態とし、ステップS203で得られた現在表示中のパラメータは、図4及び図5におけるパラメータAであるものとする。
図6のステップS205の処理では、まず、図7のステップS301において、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−1は、全パラメータと装置反映タイミングのリスト情報1221から、現在表示中のパラメータに係る情報のリストを抽出する。具体的に、本例では、現在表示中のパラメータに係る情報として、パラメータAのパラメータ名とともに、図4に示す装置反映タイミング412(装置再起動、GUI再起動、ロット、ウェハ、即時(待機状態に限り))が抽出される。
続いて、ステップS302において、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−1は、ステップS301で抽出した現在表示中のパラメータに係る情報のリストの装置反映タイミングに対して、ユーザ仕様リスト情報1242に基づくユーザ仕様を反映する。具体的に本例では、図5に示すユーザ定義装置反映タイミング512、即ち、図4に示す装置反映タイミング412に対して、ウェハのタイミングを除いた4つの装置反映タイミングをパラメータAの装置反映タイミングと設定する。より詳細に、パラメータAの装置反映タイミングとして、装置再起動、GUI再起動、ロット及び即時(待機状態に限り)の4つの装置反映タイミングが設定される。
続いて、ステップS303において、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−1は、ステップS302で設定した装置反映タイミングに対して、現在の装置状態情報1243に基づく現在の露光装置100の状態を反映する。
具体的に本例では、現在の露光装置100の状態は、ウェハ露光中の状態である。この場合、ユーザ定義装置反映タイミング512の4つの装置反映タイミングについて、即時(待機状態に限り)が最も早い装置反映タイミングとなるが、待機状態に限るという条件を満たないため、GUI画面に表示する装置反映タイミングとはならない。そこで、ユーザ定義装置反映タイミング512の4つの装置反映タイミングにおいて、次に早いロットがGUI画面に表示する装置反映タイミングとして設定される。なお、図4に示す装置反映タイミング412では、即時(待機状態に限り)の次のタイミングはウェハであるが、このウェハのタイミングは、図5に示すユーザ定義装置反映タイミング512では除かれているため、ステップS302の処理で既に除外されている。
以上のステップS301〜S303の処理を経ることで、図6のステップS205の処理がなされる。
ここで、再び、図6の説明に戻る。
ステップS205の処理が終了すると、ステップS206に進む。
ステップS206に進むと、まず、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部123は、CPU110の制御に従って、GUI表示処理部121が現在保持するGUI画像に係る表示情報と、ステップS205で作成された現在表示中のパラメータとその装置反映タイミングのリスト情報に基づいて、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。次いで、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS202で作成したGUI画像に対して、前記パラメータ値装置反映タイミング表示情報に基づく装置反映タイミング情報を付加して、表示対象のGUI画像を作成する。なお、ここで付加される装置反映タイミング情報は、現在表示中のパラメータにおける最速の装置反映タイミング情報である。
ステップS205の処理が終了すると、ステップS206に進む。
ステップS206に進むと、まず、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部123は、CPU110の制御に従って、GUI表示処理部121が現在保持するGUI画像に係る表示情報と、ステップS205で作成された現在表示中のパラメータとその装置反映タイミングのリスト情報に基づいて、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。次いで、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS202で作成したGUI画像に対して、前記パラメータ値装置反映タイミング表示情報に基づく装置反映タイミング情報を付加して、表示対象のGUI画像を作成する。なお、ここで付加される装置反映タイミング情報は、現在表示中のパラメータにおける最速の装置反映タイミング情報である。
続いて、ステップS207において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS206で作成したGUI画像を表示機構150に送信する。これにより、表示機構150には、ステップS207で作成されたGUI画像に基づく新たなGUI画面が表示される。その後、図6のフローチャートにおける処理を終了する。
図8は、本発明の第1の実施形態を示し、図1に示す表示機構150に表示されたGUI画面800の一例を示す模式図である。このGUI画面800は、ステップS208の処理を経て表示機構150に表示されたものである。
図8には、編集対象のパラメータとして、複数のパラメータ811〜814、821、822及び831が示されている。そして、図8に示す例では、パラメータ811〜814の装置反映タイミングが制御側リセット810のタイミングであることを示している。また、パラメータ821〜822の装置反映タイミングが次回レチクル搬送820のタイミングであることを示し、パラメータ831の装置反映タイミングがGUI再起動830のタイミングであることを示している。このように、本実施形態では、装置反映タイミングの種類ごとに、GUI画面における表示方法(例えば背景色)を変更して、ユーザが一見して編集対象のパラメータにおける装置反映タイミングが把握できるようにしている。
本実施形態では、GUI画面に表示される全パラメータに対して、実際に露光装置100の動作に反映される装置反映タイミングの情報を付加したGUIの提供が可能となる。これにより、露光装置100の膨大なパラメータについて、パラメータごとに異なる複雑な編集タイミングと実際の露光装置への反映タイミングとの差異を、GUI画面を一見するだけで把握することができる。即ち、本実施形態によれば、複数の膨大なパラメータの編集作業を行う際に、編集者が1つ1つのパラメータの装置反映タイミングを調査する必要を回避することが可能であり、編集者の負担軽減を実現することができる。
(第2の実施形態)
まず、本発明の第2の実施形態について説明する。
第2の実施形態の係る露光装置の内部構成は、図1に示す第1の実施形態の係る露光装置100の内部構成と同様である。
まず、本発明の第2の実施形態について説明する。
第2の実施形態の係る露光装置の内部構成は、図1に示す第1の実施形態の係る露光装置100の内部構成と同様である。
図9は、本発明の第2の実施形態を示し、図1に示す記憶媒体120に記憶されている各種のプログラム及び情報の詳細についての一例を示す模式図である。ここで、図9において、図1及び図2と同様の機能の構成については、同じ符号を付している。また、図9においては、図1に示す記憶媒体120を「記憶媒体120−2」とし、図1に示すパラメータ値装置反映タイミング算出部122を「パラメータ値装置反映タイミング算出部122−2」として説明を行う。
図2に示す記憶媒体120−1と図9に示す記憶媒体120−2とを比較すると、図9に示すパラメータ値装置反映タイミング算出部122−2には、全パラメータと装置反映タイミングの現在のリスト情報1222が追加されて構成されている。この全パラメータと装置反映タイミングの現在のリスト情報1222には、全パラメータに対するリアルタイムな装置反映タイミングのリストが保持されている。
次に、本実施形態のGUI表示処理について説明する。
図10は、本発明の第2の実施形態に係る露光装置(情報処理装置)によるGUI表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。ここで、図10には、第1の実施形態に係るGUI表示処理の制御方法における処理と異なる部分について示している。
図10は、本発明の第2の実施形態に係る露光装置(情報処理装置)によるGUI表示処理の制御方法における処理手順の一例を示すフローチャートである。ここで、図10には、第1の実施形態に係るGUI表示処理の制御方法における処理と異なる部分について示している。
また、図11は、本発明の第2の実施形態を示し、図1に示す表示機構150に表示されたGUI画面1100の一例を示す模式図である。この図11を用いながら、図10に示すフローチャートの処理の説明を行う。
まず、ステップS401において、CPU110は、マウスやキーボード等からなる入力機構140から、ユーザによるパラメータGUIボタンの操作を受け付け、ユーザによりパラメータGUIボタンの操作がなされた場合、これを検知する。具体的に、CPU110は、パラメータGUIボタンとして、図11のGUI画面1100上の同反映タイミングリスト表示ボタン1101の操作を受け付ける。そして、CPU110は、ユーザにより同反映タイミングリスト表示ボタン1101が操作されたパラメータ名を取得する。
続いて、ステップS402において、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−2は、CPU110の制御に従って、ステップS401で取得されたパラメータ名に基づき、全パラメータと装置反映タイミングの現在のリスト情報1222を検索する。そして、パラメータ値装置反映タイミング算出部122−2は、当該パラメータ名における現在の装置反映タイミングを取得する。
続いて、ステップS403において、まず、パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部123は、CPU110の制御に従って、当該パラメータ名及び対応する装置反映タイミング、全パラメータと装置反映タイミングの現在のリストの情報に基づいて、パラメータ値装置反映タイミング表示情報を作成する。次いで、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、当該パラメータ値装置反映タイミング表示情報に基づく同反映タイミングダイアログを含むGUI画像を作成する。
続いて、ステップS404において、GUI表示処理部121は、CPU110の制御に従って、ステップS403で作成したGUI画像を表示機構150に送信する。これにより、表示機構150には、ステップS403で作成された、同反映タイミングダイアログを含むGUI画像に基づく新たなGUI画面が表示される。その後、図10のフローチャートにおける処理を終了する。
図12は、本発明の第2の実施形態を示し、図1に示す表示機構150に表示されたGUI画面1200の一例を示す模式図である。この図12に示すGUI画面1200は、ステップS404の処理を経て表示機構150に表示されたものであり、図11に示すGUI画面1100に対して、同反映タイミングダイアログ1201を追加したものである。
同反映タイミングダイアログ1201は、装置反映タイミングごとにタブ分けされたシートで構成されており、ステップS402で算出された現在の装置反映タイミングのシートが表示された状態で、同じタイミングで反映されるパラメータの一覧が表示される。また、図12に示すGUI画面1200では、現在選択中(現在編集中)パラメータ1202としてパラメータEにカーソルが当てられている様子が示されている。
(本発明の他の実施形態)
前述した本発明の各実施形態に係る露光装置(情報処理装置)の制御方法を示す図6、図7及び図10の各ステップは、コンピュータのCPU(110)が記憶媒体(120)に記憶されているプログラムを実行することによって実現できる。このプログラム及び当該プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は本発明に含まれる。
前述した本発明の各実施形態に係る露光装置(情報処理装置)の制御方法を示す図6、図7及び図10の各ステップは、コンピュータのCPU(110)が記憶媒体(120)に記憶されているプログラムを実行することによって実現できる。このプログラム及び当該プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は本発明に含まれる。
また、本発明は、例えば、システム、装置、方法、プログラム若しくは記憶媒体等としての実施形態も可能であり、具体的には、複数の機器から構成されるシステムに適用してもよいし、また、1つの機器からなる装置に適用してもよい。
なお、本発明は、前述した各実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラム(実施形態では図6、図7及び図10に示すフローチャートに対応したプログラム)を、システム或いは装置に直接、或いは遠隔から供給するものを含む。そして、そのシステム或いは装置のコンピュータが前記供給されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される場合も本発明に含まれる。
したがって、本発明の機能処理をコンピュータで実現するために、前記コンピュータにインストールされるプログラムコード自体も本発明を実現するものである。つまり、本発明は、本発明の機能処理を実現するためのコンピュータプログラム自体も含まれる。
その場合、プログラムの機能を有していれば、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラム、OSに供給するスクリプトデータ等の形態であってもよい。
プログラムを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、MO、CD−ROM、CD−R、CD−RWなどがある。また、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ROM、DVD(DVD−ROM,DVD−R)などもある。
その他、プログラムの供給方法としては、クライアントコンピュータのブラウザを用いてインターネットのホームページに接続する。そして、前記ホームページから本発明のコンピュータプログラムそのもの、若しくは圧縮され自動インストール機能を含むファイルをハードディスク等の記録媒体にダウンロードすることによっても供給できる。
また、本発明のプログラムを構成するプログラムコードを複数のファイルに分割し、それぞれのファイルを異なるホームページからダウンロードすることによっても実現可能である。つまり、本発明の機能処理をコンピュータで実現するためのプログラムファイルを複数のユーザに対してダウンロードさせるWWWサーバも、本発明に含まれるものである。
また、本発明のプログラムを暗号化してCD−ROM等の記憶媒体に格納してユーザに配布し、所定の条件をクリアしたユーザに対し、インターネットを介してホームページから暗号化を解く鍵情報をダウンロードさせる。そして、ダウンロードした鍵情報を使用することにより暗号化されたプログラムを実行してコンピュータにインストールさせて実現することも可能である。
また、コンピュータが、読み出したプログラムを実行することによって、前述した各実施形態の機能が実現される。その他、そのプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているOSなどが、実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によっても前述した各実施形態の機能が実現され得る。
さらに、記録媒体から読み出されたプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれる。その後、そのプログラムの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPUなどが実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によっても前述した各実施形態の機能が実現される。
なお、前述した各実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。即ち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
100:露光装置(情報処理装置)、110:CPU、120:記憶媒体、121:GUI表示処理部、122:パラメータ値装置反映タイミング算出部、123:パラメータ値装置反映タイミング表示情報作成部、124:装置内情報、130:RAM、140:入力機構、150:表示機構、160:通信機構、170:システムバス
Claims (7)
- 複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置であって、
前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出手段と、
前記算出手段で算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成手段と、
前記表示情報作成手段で作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてGUI画像を作成し、作成したGUI画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理手段と
を有することを特徴とする情報処理装置。 - 前記表示処理手段は、前記GUI画像を作成する際に、前記装置反映タイミングの種類ごとに表示方法を変更することを特徴とする請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記表示処理手段は、前記装置反映タイミングの種類ごとに、前記パラメータにおけるパラメータ名の背景色を変更することを特徴とする請求項2に記載の情報処理装置。
- 前記算出手段は、当該情報処理装置の現在の状態を示す現在の装置状態情報、及び、ユーザ仕様に係る情報に基づいて、前記装置反映タイミングを算出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 当該情報処理装置は、露光装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置の制御方法であって、
前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成ステップと、
前記表示情報作成ステップで作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてGUI画像を作成し、作成したGUI画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理ステップと
を有することを特徴とする情報処理装置の制御方法。 - 複数のパラメータの値に従って動作する情報処理装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記複数のパラメータが設定された際に、当該パラメータごとに、当該情報処理装置の動作に反映される装置反映タイミングを算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出された前記パラメータごとの装置反映タイミングに基づいて、当該パラメータの前記装置反映タイミングに係る装置反映タイミング表示情報を作成する表示情報作成ステップと、
前記表示情報作成ステップで作成された装置反映タイミング表示情報に基づいてGUI画像を作成し、作成したGUI画像を表示機構に表示する処理を行う表示処理ステップと
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009086753A JP2010239006A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 情報処理装置及びその制御方法、並びに、プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009086753A JP2010239006A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 情報処理装置及びその制御方法、並びに、プログラム |
Publications (1)
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JP2010239006A true JP2010239006A (ja) | 2010-10-21 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009086753A Pending JP2010239006A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 情報処理装置及びその制御方法、並びに、プログラム |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2010239006A (ja) |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009086753A patent/JP2010239006A/ja active Pending
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