JP2010234423A - レーザ穴明け加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】揺動軸2jの軸端に固定された平板状のミラー1を揺動させることによりレーザ発振器8から出力されたレーザ光9の光軸を偏向させ、レーザ光9を所望の位置に位置決めするようにしたレーザ穴明け加工方法において、ミラー1を揺動させたときのミラー1の平面度の変形量を、ミラー1が予め定める位置決め許容範囲内に入った時刻T0を起点とする時間経過に合わせて求めておき、求めた結果に基づき、ミラー1が予め定める位置決め許容範囲内に入ってからレーザ9を加工部に照射するまでの時間tを、加工条件として予め定めておく。
【選択図】図5
Description
2j 揺動軸
8 レーザ発振器
9 レーザ光
T0 時刻
Claims (1)
- 平板状のミラーを駆動軸に関して揺動させることによりレーザ発振器から出力されたレーザ光の光軸を偏向させ、前記レーザ光を被加工物の所望の位置に位置決めし、当該被加工物に対して穴明け加工を行うレーザ穴明け加工方法において、
前記ミラーを揺動させたときの前記ミラーの平面度の変形量を、前記ミラーが目標位置座標に対して予め設定した位置決め許容範囲内に入った時刻を起点とする時間経過に合わせて予め求めておき、前記求めた結果に基づき、前記ミラーが予め設定した位置決め許容範囲内に入ってから前記レーザ光を被加工部に照射するまでの時間を加工条件として予め設定しておくことを特徴とするレーザ穴明け加工方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05273076A (ja) * | 1991-01-31 | 1993-10-22 | Copal Electron Co Ltd | ポリゴンミラーの動的面形状測定器 |
JP2000117476A (ja) * | 1998-10-09 | 2000-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工方法 |
JP2001096381A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザー加工方法 |
JP2001174240A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Suzuka Fuji Xerox Co Ltd | 平面度測定方法および装置 |
JP2007322542A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Hitachi Via Mechanics Ltd | スキャナ装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05273076A (ja) * | 1991-01-31 | 1993-10-22 | Copal Electron Co Ltd | ポリゴンミラーの動的面形状測定器 |
JP2000117476A (ja) * | 1998-10-09 | 2000-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工方法 |
JP2001096381A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザー加工方法 |
JP2001174240A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Suzuka Fuji Xerox Co Ltd | 平面度測定方法および装置 |
JP2007322542A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Hitachi Via Mechanics Ltd | スキャナ装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112484657A (zh) * | 2019-08-23 | 2021-03-12 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光加工装置、激光加工方法以及修正数据生成方法 |
CN112484657B (zh) * | 2019-08-23 | 2024-04-12 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光加工装置、激光加工方法以及修正数据生成方法 |
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