JP6698661B2 - アライメントフィーチャを用いた独立側部測定を介する適応部分プロファイル生成 - Google Patents
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Claims (19)
- ワークピースの基板によって支持される被覆材を加工するためのシステムであって、前記基板は、上面と、底面と、前記上面と前記底面との間に延びる側面とを有し、前記側面は、前記基板の前記上面の基板エッジに対応し、前記被覆材は被覆上面を有し、
その基板支持領域内で前記基板を支持するための支持固定具と、
前記支持固定具によって支持されるアライメントフィーチャとを備え、前記アライメントフィーチャは、離間した第1及び第2のアライメントフィーチャを含み、それぞれのアライメントフィーチャは、フィーチャ上部とフィーチャ側面とを有し、前記フィーチャ上部は、識別可能な上部特性を有し、前記フィーチャ側部は、識別可能な側部特性を有し、
上部スキャンデータを取得可能な第1の検査システムと、
側部スキャンデータを取得可能な第2の検査システムと、
前記支持固定具と前記第1及び第2の検査システムとの間で相対移動を生じさせる相対移動システムと、
前記被覆材を加工可能な加工ツールと、
前記支持固定具と前記第1及び第2の検査システムとの間の相対移動を調整する1以上のプロセッサであって、前記側部スキャンデータと前記上部スキャンデータとを相互に関係させ、前記被覆材の前記上面にわたって前記加工ツール用のツール経路を決定し、前記ツール経路に沿った前記ワークピースと前記加工ツールとの間の相対移動により前記加工ツールの動作を調整するためのプロセッサと
を備える、システム。 - 前記第1及び第2のアライメントフィーチャはそれぞれアライメントピンである、請求項1のシステム。
- 前記加工ツールはレーザである、請求項1又は2のシステム。
- 前記第1のアライメントフィーチャ及び前記第2のアライメントフィーチャは、前記支持固定具に固定されているときに、前記ワークピースに対する静的基準を提供する、請求項1から3のいずれか一項のシステム。
- 前記ワークピース上面は、ワークピースエッジ離間距離だけ離間した、両側のワークピースエッジセグメントを有し、前記第1及び第2のアライメントフィーチャの間の離間距離は、前記ワークピースエッジ離間距離よりも大きい、請求項1から4のいずれか一項のシステム。
- 前記側部スキャンデータを取得する1以上の変位センサをさらに備える、請求項1から5のいずれか一項のシステム。
- 前記第1のアライメントフィーチャは、第1のアライメント基準点を含む第1のフィーチャ上面を有し、前記第2のアライメントフィーチャは、第2のアライメント基準点を含む第2のフィーチャ上面を有し、前記第1及び第2のアライメント基準点は、それぞれの主アライメントフィーチャ寸法よりも小さい主基準点寸法を有する、請求項1から6のいずれか一項のシステム。
- 前記第1のアライメント基準点は、前記第1のフィーチャ上面上の中央に位置し、前記第2のアライメント基準点は、前記第2のフィーチャ上面の中央に位置する、請求項7のシステム。
- それぞれの支持固定具に固有の支持フィーチャデータを提供するようにそれぞれ互いにマッピングされた第1及び第2のアライメントフィーチャを有する複数の支持固定具をさらに備える、請求項1から8のいずれか一項のシステム。
- 前記側部スキャンを行う側部スキャンセンサと、前記上部スキャンを行う上部スキャンセンサとをさらに備え、前記側部スキャンセンサと前記上部スキャンセンサとは異なるタイプのセンサである、請求項1から9のいずれか一項のシステム。
- 前記ワークピースは、対向する第1のエッジセグメントと第2のエッジセグメントとを含み、前記システムは、前記第1のエッジセグメントをスキャンする第1の側部スキャンセンサと、前記第2のエッジセグメントをスキャンする第2の側部スキャンセンサとを含む、請求項1から9のいずれか一項のシステム。
- 前記第1の側部スキャンセンサ及び前記第2の側部スキャンセンサの少なくとも一方は、静止している、請求項11のシステム。
- 前記第1の側部スキャンセンサ及び前記第2の側部スキャンセンサの少なくとも一方は、ワークピースに沿って移動する、請求項11のシステム。
- 前記加工ツールは、コンピュータ制御のカッティング機械を有する、請求項1から2及び5から13のいずれか一項のシステム。
- 前記側部スキャンは側部スキャン領域で行われ、前記ツール経路は前記側部スキャン領域から区別された加工領域において実現される、請求項1から14のいずれか一項のシステム。
- それぞれ反対側の第1及び第2のワークピースエッジセグメントから同時に側部スキャンデータを取得する側部スキャンセンサの第1のペアと、それぞれ反対側の第3及び第4のワークピースエッジセグメントから同時に側部スキャンデータを取得する側部スキャンセンサの第2のペアとをさらに備える、請求項1から15のいずれか一項のシステム。
- 前記側部スキャンセンサの前記第1のペアは、前記側部スキャンセンサの前記第2のペアのスキャニング軸に横断する方向に向けられたスキャニング軸を有する、請求項16のシステム。
- 前記側部スキャンセンサの前記第1のペア及び前記第2のペアのうち一方は、前記スキャン中に静止し、前記側部スキャンセンサの前記第1のペア及び前記第2のペアのうち他方は、前記スキャン中に移動する、請求項16又は請求項17のシステム。
- 第1のワークピースエッジセグメントは、前記第1及び第2のアライメントフィーチャにより規定される軸の間に位置し、第2のワークピースエッジセグメントは、前記第2のアライメントフィーチャ及び第3のアライメントフィーチャにより規定される軸の間に位置し、前記第2のアライメントフィーチャに関連付けられたデータは、前記第1のワークピースエッジ及び前記第2のワークピースエッジに沿った連続的なツール経路を提供するために使用される、請求項1から18のいずれか一項のシステム。
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