JP2010232617A

JP2010232617A - 描画装置

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Publication number: JP2010232617A
Application number: JP2009081631A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Chatani; 博美茶谷
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2009-03-30
Filing date: 2009-03-30
Publication date: 2010-10-14

Abstract

【課題】パルス光を発光する光源を用いても、ヘッドから照射される積算光量にムラが生じないような描画装置を提供すること。
【解決手段】Ｏ／Ｅ変換回路３２は、光源３１から発光されたパルス光を、光電変換により電気パルス信号に変換する。ＰＬＬ回路３３は、Ｏ／Ｅ変換回路３２から出力される電気パルス信号に同期したクロック信号を発生する。露光タイミング信号補正回路３４は、露光タイミング信号を補正して、光源３１から発光されるパルス光に同期した補正後露光タイミング信号として出力する。光学変調器３５は、補正後露光タイミング信号にしたがって、光源３１から発光されるパルス光をオン／オフ制御する。
【選択図】図４

Description

本発明は、描画装置に関し、特に、パルス光を発光する光源を用いて露光対象物に光を照射する描画装置に関する。

従来、光源からの光を光学変調器でオン／オフ制御（すなわち、光源からの光を基板に到達させるか否かを制御）することによって、基板に光を照射する描画装置がある（例えば、特許文献１を参照）。このような描画装置では、基板の主面に沿った方向に上記光源を含むヘッドを移動（走査）させながら、基板上に描画すべきパターンに応じた露光タイミング信号（露光対象物に光を照射すべきタイミングを示す信号）に基づいて、光源からの光を光学変調器でオン／オフすることによって、基板上に所定のパターンを描画する。

特開２００４−３４５１６９号公報（図２、図８）

しかしながら、上記のような描画装置において、パルス光を発光する光源を利用した場合、たとえ発光タイミング信号のオン期間の時間幅が等しくても、基板に照射される光量にばらつきが生じるという問題がある。以下、この問題が発生する理由を図１０および図１１を参照して説明する。

図１０は、従来の描画装置においてパルス光（断続的なパルス光）を発光する光源を利用した場合のヘッドの構成を示している。光源からはパルス光（Ｓ１０）が発光され、当該パルス光は光学変調器へ供給される。光学変調器には、基板に光を照射するタイミングを示す露光タイミング信号（Ｓ１３）が入力され、光学変調器は、当該露光タイミング信号にしたがって光源からのパルス光をオン／オフ制御し、露光タイミング信号に応じたパルス光を、出力光（Ｓ１５）として出力する。

図１１は、光学変調器に入力される露光タイミング信号と、そのときに光学変調器から出力される出力光の関係を示している。光学変調器に図１１のＳ１０のようなパルス光と、図１１のＳ１３ａのような露光タイミング信号が供給された場合には、光学変調器から図１１のＳ１５ａのような出力光が出力される。また、光学変調器にＳ１０のようなパルス光と、Ｓ１３ｂのような露光タイミング信号が供給された場合には、光学変調器からＳ１５ｂのような出力光が出力される。また、光学変調器にＳ１０のようなパルス光と、Ｓ１３ｃのような露光タイミング信号が供給された場合には、光学変調器からＳ１５ｃのような出力光が出力される。

図１１において、露光タイミング信号Ｓ１３ａ、Ｓ１３ｂ、Ｓ１３ｃのオン期間の時間幅は同一である。しかしながら、これらの露光タイミング信号Ｓ１３ａ、Ｓ１３ｂ、Ｓ１３ｃのオン期間に対応して光学変調器から出力される出力光Ｓ１５ａ、Ｓ１５ｂ、Ｓ１５ｃの積算光量は、互いに異なっている。すなわち、露光タイミング信号Ｓ１３ａのオン期間に対応して光学変調器から出力される出力光Ｓ１５ａの積算光量は、パルス光の４パルス分の積算光量となり、露光タイミング信号Ｓ１３ｂのオン期間に対応して光学変調器から出力される出力光Ｓ１５ｂの積算光量は、パルス光の３．５パルス分の積算光量となり、露光タイミング信号Ｓ１３ｃのオン期間に対応して光学変調器から出力されるパルス光Ｓ１５ｃの積算光量は、パルス光の３パルス分の積算光量となる。

例えば、光源から出力されるパルス光の強度分布がガウス分布状であって、積算光量が所定の閾値を超えたときに感光するような感材を利用する場合には、同一の領域にパルス光を照射したとしても、当該領域に照射される積算光量に応じて感光範囲が変化する。したがって、オン期間の時間幅が同じであっても、露光タイミング信号の入力タイミングによって感光範囲（オン期間に照射される出力光によって感材が感光する範囲）が変化してしまい、例えば均一な幅の線を描画したい場合でも、描画される線幅にムラが発生してしまうという問題があった。

それゆえに本発明は、パルス光を発光する光源を用いても、ヘッドから照射される積算光量にムラが生じないような描画装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は以下のような構成を採用した。なお、括弧内の参照符号等は、本発明の理解を助けるために後述する実施形態との対応関係の一例を示したものであって、本発明の範囲を何ら限定するものではない。

本発明の描画装置（１）は、パルス光を発光させる光源（３１、３６）と、露光タイミング信号補正手段（３４）と、光変調手段（３５）とを備える。
露光タイミング信号補正手段は、光源から出力されたパルス光（Ｓ１０）、もしくは当該パルス光と同時に当該光源から出力された当該パルス光に対応する電気パルス信号（図９のＳ１１）に基づいて、光源から出力されるパルス光を露光対象物（２０）に照射すべきタイミングを示す露光タイミング信号（Ｓ１３）を、光源から出力されるパルス光に同期するように補正する。
光変調手段は、露光タイミング信号補正手段によって補正された後の露光タイミング信号（以下、補正後露光タイミング信号と称す）（Ｓ１４）によって示されるオン期間においては光源から出力されたパルス光を露光対象物に到達させ、当該オン期間以外の期間においては光源から出力されたパルス光を露光対象物に到達させない。

なお、描画装置は、光源から出力されるパルス光を電気信号に変換するＯ／Ｅ変換手段（３２）をさらに備え、露光タイミング信号補正手段は、Ｏ／Ｅ変換手段によってパルス光から変換された電気パルス信号（図４のＳ１１）に基づいて露光タイミング信号を補正してもよい。

また、露光タイミング信号補正手段は、補正後露光タイミング信号が示すオン期間の開始タイミングを、電気パルス信号（図４のＳ１１、図９のＳ１１）、もしくは当該電気パルス信号に基づいて生成された当該電気パルス信号に同期したクロック信号（Ｓ１２）の立ち上がりタイミングまたは立ち下がりタイミングと一致させることによって、当該補正後露光タイミング信号を、光源から出力されるパルス光に同期させてもよい。

また、露光タイミング信号補正手段は、オン期間の時間幅を指定するためのオン時間幅指定信号に基づいて、補正後露光タイミング信号が示すオン期間の時間幅を制御するオン時間幅制御手段（図７のカウンタ）を含んでいてもよい。

また、補正後露光タイミング信号が示す各オン期間の間に、複数のパルスからなるパルス光が、光源から光変調手段を通じて露光対象物に照射されてもよい。

本発明によれば、露光タイミング信号と光源から発光されるパルス光とが同期するように、露光タイミング信号の入力タイミングをずらして光学変調器へ入力するので、パルス光を発光する光源を用いても、ヘッドから照射される積算光量にムラが生じることがない。

描画装置１の外観を示す図描画装置１の外観を示す図制御ユニット４０の構成を示す図ヘッド３０の一構成例を示す図描画装置の基本的な動作を示す図図４のヘッド３０において、露光タイミング信号と補正後露光タイミング信号と出力光の関係を示す図露光タイミング信号補正回路３４の一構成例を示す図露光タイミング信号補正回路３４における各種信号を示す図ヘッド３０の他の構成例を示す図従来の描画装置においてパルス光を発光する光源を利用した場合のヘッドの構成図１０のヘッドにおいて、露光タイミング信号と出力光の関係を示す図

（描画装置の全体構成）
図１および図２は、本発明の一実施形態に係る描画装置１の外観を示す図である。描画装置１は、感光性材料が塗布された基板２０を載置するためのステージ１１と、ステージ１１をＹ方向（主走査方向）およびＸ方向（副走査方向）に移動させるためのステージ移動機構１０と、ステージ１１上の基板２０に向けて光を照射するヘッド３０を備える。なお、本実施形態ではヘッド３０は１つであるが、描画装置１が複数のヘッド３０を備えていてもよい。

ステージ移動機構１０は、ステージ１１をＹ方向に移動（主走査）し、主走査が終了する毎に次の主走査の開始位置へとステージ１１をＸ方向に移動（副走査）させる。そして、次の主走査が前回の主走査とは逆向きに行われる。このように、ステージ移動機構１０により、基板２０の主面に沿った方向にヘッド３０がステージ１１に対して相対的に移動可能となっている。ステージ１１がＹ方向に移動するのではなく、ヘッド３０がＹ方向に移動するように構成されてもよい。

なお、図１および図２では図示していないが、描画装置１は後述する制御ユニット４０を有している。

（制御ユニットの構成）
次に、図３を参照して、描画装置１の動作を制御する制御ユニット４０について説明する。

制御ユニット４０は、ＣＰＵ４１、バッファ４２、演算部４３、タイミング制御部４４、モータ制御部４５、およびＨＤＤ４６を備えている。

ＣＰＵ４１は、他の構成部を制御したり、基板２０に描画すべきパターンを表す描画データを生成したりする。

演算部４３は、ＣＰＵ４１によって生成された描画データを、ヘッド３０の制御に適した形式へと変換し、バッファ４２へ出力する。

バッファ４２は、演算部４３から出力される描画データを一時的に保持し、タイミング制御部４４から出力される信号に基づくタイミングで、この描画データをヘッド３０へ出力する。

タイミング制御部４４は、バッファ４２からヘッド３０へ描画データの出力タイミングや、ヘッド３０の発光タイミング等を制御する。タイミング制御部４４は、ステージ１１に対するヘッド３０の相対位置に基づいて、それらのタイミングを制御する。ステージ１１に対するヘッド３０のＸ方向（副走査方向）の相対位置は、エンコーダ３３より出力される信号により判断することができる。ステージ１１に対するヘッド３０のＹ方向（主走査方向）の相対位置は、エンコーダ１３より出力される信号により判断することができる。エンコーダ３３は、ヘッド３０を移動させるためのモータ３２の回転量から、ヘッド３０の移動量を示す信号を生成するものである。エンコーダ１３は、ステージ１１を移動させるためのモータ１２の回転量から、ステージ１１の移動量を示す信号を生成するものである。

モータ制御部４５は、ヘッド３０を移動させるためのモータ３２、およびステージ１１を移動させるためのモータ１２を制御する。

ＨＤＤ４６は、基板２０に描画すべきパターンを示す前述の描画データなど、制御ユニット４０において利用する種々のデータを記憶する。

（ヘッドの構成）
次に、ヘッド３０についてより詳細に説明する。

ヘッド３０には、図４に示すように、光源３１、Ｏ／Ｅ（Optical/Electrical）変換回路３２、ＰＬＬ（Phase Locked Loop）回路３３、露光タイミング信号補正回路３４、および光学変調器３５が設けられている。

光源３１は、パルス光（断続的なパルス光）を発光する光源である。光源３１としては、パルス光を発光する任意の種類の光源を利用することができる。例えば、パルス発光レーザ、疑似ＣＷ（Continuos Wave）型レーザ、パルス発光制御されるＬＥＤ（Light Emitting Diode）、シャッター等で高速にオン／オフ制御されるＣＷ光源などを利用することができる。

Ｏ／Ｅ変換回路３２は、光源３１から発光されたパルス光を、光電変換により電気パルス信号に変換する。Ｏ／Ｅ変換回路３２としては、公知の一般的なＯ／Ｅ変換回路を利用することができる。

ＰＬＬ回路３３は、Ｏ／Ｅ変換回路３２から出力される電気パルス信号に同期したクロック信号を発生する。ＰＬＬ回路３３については周知であるため、ここでは詳細な説明は省略する。

露光タイミング信号補正回路３４は、前述の制御ユニット４０からヘッド３０に入力される露光タイミング信号を補正して、光源３１から発光されるパルス光に同期した補正後露光タイミング信号として出力する。露光タイミング信号補正回路３４から出力された補正後露光タイミング信号は、光学変調器３５へ供給される。露光タイミング信号補正回路３４の詳細については後述する。

光学変調器３５は、補正後露光タイミング信号にしたがって、光源３１から発光されるパルス光をオン／オフ制御（すなわち、光源からの光を基板に到達させるか否かを制御）する。光学変調器３５としては、例えばＤＭＤ（Digital Micro Mirror Device）や、ＧＬＶ（Grating Light Valve）など、光源３１から発光されるパルス光をオン／オフ制御可能な任意の素子を利用可能である。なお、光源３１から発光されるパルス光をオン／オフ制御するだけでなく、ヘッド３０から基板に照射されるパルス光のレベルを階調制御信号にしたがって複数段階に調整可能な光学変調器を利用しても構わない。

図５は、描画装置１の基本的な動作を示している。描画装置１では、ヘッド３０が基板２０上を相対的に移動しながら、ヘッド３０内の光学変調器３５が、露光タイミング信号に基づいて光源３１から出力されるパルス光をオン／オフ制御することによって、基板２０上にパターンが描画される。本実施形態では、光学変調器３５は、露光タイミング信号補正回路３４によって露光タイミング信号（Ｓ１３）を補正することによって得られる補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）に基づいて、光源３１から出力されるパルス光をオン／オフ制御する。すなわち、光源３１から出力されるパルス光が、補正後露光タイミング信号のオン期間だけ基板２０に照射されるように、オン／オフ制御する。本実施形態では、後述するように、補正後露光タイミング信号の各オン期間に照射されるパルス光のパルス数を指定（もしくは固定）することができるので、各オン期間における基板２０の感光範囲にムラが生じることが無く、基板２０上に描画される点の大きさや線の太さを安定させることができる。

（露光タイミング信号補正回路の詳細）
次に、露光タイミング信号補正回路３４について詳細に説明する。

露光タイミング信号補正回路３４には、オン時間幅指定信号、オン時間幅指定信号書き込み信号、露光タイミング信号、およびＰＬＬ回路３３で発生されたクロック信号が入力される。

オン時間幅指定信号およびオン時間幅指定信号書き込み信号は、例えば前述の制御ユニット４０のＣＰＵ４１によって生成して露光タイミング信号補正回路３４へ入力することができる。オン時間幅指定信号は、露光タイミング信号補正回路３４から出力される補正後露光タイミング信号のオン期間の時間幅を指定するための信号である。本実施形態では、オン時間幅指定信号は、補正後露光タイミング信号のオン期間の時間幅をＰＬＬ回路３３からのクロック信号のクロックパルス数によって指定するデジタルデータを表すものとする。例えば、補正後露光タイミング信号のオン期間の時間幅を４クロックパルス分の時間幅に指定したい場合には、制御ユニット４０のＣＰＵ４１から「４」を表すオン時間幅指定信号を露光タイミング信号補正回路３４に入力すればよい。このように、本実施形態では、露光タイミング信号補正回路３４は、実際の露光タイミング信号のオン期間の時間幅に関係なく、オン時間幅指定信号で指定された時間幅のオン期間を有する補正後露光タイミング信号を出力することができる。なお、オン時間幅指定信号によって表されるデジタルデータは、露光タイミング信号補正回路３４の内部のレジスタに保持される。オン時間幅書き込み信号は、当該レジスタに保持されたデジタルデータを書き換えるための信号である。当該レジスタに保持されたデジタルデータの値は、オン期間毎に書き換えるようにしてもよいし、必要に応じたタイミングで書き換えるようにしてもよいし、常に一定値のままでもよい。

なお本実施形態では、補正後露光タイミング信号のオン期間の時間幅を、オン時間幅指定信号によって任意に指定できるように、露光タイミング信号補正回路３４を構成しているが、本発明は必ずしもこれに限らない。例えば、補正後露光タイミング信号のオン期間の時間幅が常に一定となるように露光タイミング信号補正回路３４を構成してもよいし、補正後露光タイミング信号のオン期間の時間幅が露光タイミング信号のオン期間の時間幅に応じて自動的に設定されるように露光タイミング信号補正回路３４を構成してもよい。

露光タイミング信号補正回路３４は、ＰＬＬ回路３３で発生されたクロック信号（すなわち、光源３１から発光されるパルス光に同期したクロック信号）を利用することにより、光源３１から発光されるパルス光に同期した補正後露光タイミング信号を生成する。

以下、図６を参照して、露光タイミング信号補正回路３４によって補正される前の露光タイミング信号と、補正後露光タイミング信号との関係を説明する。なお、ここでは一例として、露光タイミング信号補正回路３４内のレジスタに保持されている、オン時間幅指定信号によって指定されたデジタルデータの値が「４」である場合について説明する。

図６のＳ１０は、光源３１から出力されるパルス光を示している。当該パルス光は、Ｏ／Ｅ変換回路３２によって図６のＳ１１のような電気信号に変換される。ＰＬＬ回路３３は、Ｓ１１の電気信号に同期したクロック信号（Ｓ１２）を生成する。なお、本実施形態では、ＰＬＬ回路３３において、Ｓ１１の電気信号と同一の周波数のクロック信号（Ｓ１２）を生成しているが、当該クロック信号を逓倍したクロック信号を生成して露光タイミング信号補正回路３４に供給しても構わない。

本実施形態において、露光タイミング信号補正回路３４から出力される補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）のオン期間の開始タイミングは、露光タイミング信号（Ｓ１３）のオン期間におけるクロック信号（Ｓ１２）の最初の立ち上がりタイミングに一致する。また、補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）のオン期間の時間幅は、露光タイミング信号補正回路３４内のレジスタに保持されている、オン時間幅指定信号によって指定されたデジタルデータの値（ここでは「４」）に応じたクロックパルス数分の時間となる。

例えば、露光タイミング信号補正回路３４に、図６のＳ１２のようなクロック信号と、Ｓ１３ａのような露光タイミング信号が入力された場合には、露光タイミング信号補正回路３４から出力される補正後露光タイミング信号はＳ１４ａのようになる。この場合、Ｓ１５ａのような４パルス分の出力光が、光学変調器３５から出力される。

また例えば、露光タイミング信号補正回路３４に、図６のＳ１２のようなクロック信号と、Ｓ１３ｂのような露光タイミング信号が入力された場合には、露光タイミング信号補正回路３４から出力される補正後露光タイミング信号はＳ１４ｂのようになる。この場合、Ｓ１５ｂのような４パルス分の出力光が、光学変調器３５から出力される。なお、露光タイミング信号（Ｓ１３ｂ）と補正後露光タイミング信号（Ｓ１４ｂ）とでオン期間の開始タイミングがずれているが、図５に示した描画装置２の動作から明らかなように、この程度のずれであれば、描画結果に悪影響を及ぼすことはない。

また例えば、露光タイミング信号補正回路３４に、図６のＳ１２のようなクロック信号と、Ｓ１３ｃのような露光タイミング信号が入力された場合には、露光タイミング信号補正回路３４から出力される補正後露光タイミング信号はＳ１４ｃのようになる。この場合、Ｓ１５ｃのような４パルス分の出力光が、光学変調器３５から出力される。

このように、本実施形態によれば、光源３１から出力されるパルス光に対して、ヘッド３０に入力される露光タイミング信号の入力タイミングが時間的に前後にずれたとしても、露光タイミング信号補正回路３４において、光源３１から出力されるパルス光に同期した補正後露光タイミング信号を生成することができるので、オン期間に出力される出力光の積算光量を安定させることができる。

なお、本実施形態では、補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）のオン期間の開始タイミングを、露光タイミング信号（Ｓ１３）のオン期間におけるクロック信号（Ｓ１２）の最初の立ち上がりタイミングに一致させているが、これに替えて、補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）のオン期間の開始タイミングを、露光タイミング信号（Ｓ１３）のオン期間におけるクロック信号（Ｓ１２）の最初の立ち下がりタイミングに一致させるようにしてもよい。

本実施形態の露光タイミング信号補正回路３４は、例えば図７のような回路構成により実現することができる。このように、本実施形態の露光タイミング信号補正回路３４は簡単な回路により実現することができる。

図８は、図７に示す露光タイミング信号補正回路３４における各種信号を示す図である。Ｓ１６は、補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）のオン時間の開始タイミングを示す信号であり、Ｓ１７は、露光タイミング信号補正回路３４内のカウンタ（レジスタに保持されているクロックパルス数をカウントするためのカウンタ）を用いて生成される、補正後露光タイミング信号（Ｓ１４）のオン時間の終了タイミングを示す信号である。これにより、図８のＳ１４に示すように、クロック信号（Ｓ１２）に同期し、かつレジスタに保持されているクロックパルス数に相当する時間幅のオン期間を有する補正後露光タイミング信号が生成される。

なお、図７に示した露光タイミング信号補正回路３４の構成は単なる一例に過ぎず、同じ機能（すなわち、入力される露光タイミング信号に応じて、光源３１から出力されるパルス光に同期した補正後露光タイミング信号を生成する機能）を実現するために種々の異なる回路構成を採用し得ることは言うまでもない。

以上のように、本実施形態によれば、露光タイミング信号と光源から発光されるパルス光とが同期するように、露光タイミング信号を補正して補正後露光タイミング信号として光学変調器へ入力するので、パルス光を発光する光源を用いても、ヘッドから照射される積算光量にムラが生じることがない。

また、本実施形態によれば、オン時間幅指定信号によって指定された時間幅のオン期間を有する補正後露光タイミング信号を生成することができるので、補正前の露光タイミング信号のオン時間幅や入力タイミングによらず、常に所望の時間幅のオン期間を有する補正後露光タイミング信号を生成することができる。

なお、上記実施形態では、光源３１から出力されるパルス光をＯ／Ｅ変換回路３２を用いて電気パルス信号に変換していたが、図９に示すように、パルス光と同時に当該パルス光に対応する電気パルス信号も出力するタイプの光源３６を利用する場合には、Ｏ／Ｅ変換回路３２を設けることなく、当該光源３６から出力される電気パルス信号をＰＬＬ回路３３に供給することによって、上記実施形態と同様の動作が可能である。

また、上記実施形態では、光源３１、Ｏ／Ｅ変換回路３２、ＰＬＬ回路３３、露光タイミング信号補正回路がヘッド３０内に設けられている例を説明したが、これらは必ずしも
ヘッド３０内に設けられている必要はない。

また、上記実施形態では、基板に対して所定のパターンを描画する装置の例を説明したが、本発明はこれに限らず、任意の露光対象物に対して光を照射する装置に広く適用できる。例えば、本発明は、レーザ光を用いて対象物に所定のパターンの穴あけ等を行う装置（加工装置）等にも適用できる。

本発明は、例えば、パルス光を利用する露光装置や加工装置として有用である。

１描画装置
１０ステージ移動機構
１１ステージ
２０基板
３０ヘッド

Claims

パルス光を発光させる光源と、
前記光源から出力されたパルス光、もしくは当該パルス光と同時に当該光源から出力された当該パルス光に対応する電気パルス信号に基づいて、前記光源から出力されるパルス光を露光対象物に照射すべきタイミングを示す露光タイミング信号を、前記光源から出力されるパルス光に同期するように補正する露光タイミング信号補正手段と、
前記露光タイミング信号補正手段によって補正された補正後露光タイミング信号によって示されるオン期間においては前記光源から出力されたパルス光を前記露光対象物に到達させ、当該オン期間以外の期間においては前記光源から出力されたパルス光を前記露光対象物に到達させない光変調手段とを備える描画装置。
請求項１に記載の描画装置であって、
当該描画装置は、前記光源から出力されるパルス光を電気信号に変換するＯ／Ｅ変換手段をさらに備え、
前記露光タイミング信号補正手段は、前記Ｏ／Ｅ変換手段によって前記パルス光から変換された電気パルス信号に基づいて前記露光タイミング信号を補正することを特徴とする。
請求項１または請求項２に記載の描画装置であって、
前記露光タイミング信号補正手段は、前記補正後露光タイミング信号が示すオン期間の開始タイミングを、前記電気パルス信号、もしくは当該電気パルス信号に基づいて生成された当該電気パルス信号に同期したクロック信号の立ち上がりタイミングまたは立ち下がりタイミングと一致させることによって、当該補正後露光タイミング信号を、前記光源から出力されるパルス光に同期させることを特徴とする。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の描画装置であって、
前記露光タイミング信号補正手段は、オン期間の時間幅を指定するためのオン時間幅指定信号に基づいて、前記補正後露光タイミング信号が示すオン期間の時間幅を制御するオン時間幅制御手段を含むことを特徴とする。
請求項１〜４のいずれか１項に記載の描画装置であって、
前記補正後露光タイミング信号が示す各オン期間の間に、複数のパルスからなるパルス光が、前記光源から前記光変調手段を通じて前記露光対象物に照射されることを特徴とする。
請求項１〜５のいずれか１項に記載の描画装置であって、
前記露光対象物に対する露光結果が、当該露光対象物に対して照射される積算光量に依存して変化することを特徴とする。