JP2010232361A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】モリセルトランジスタ素子以外の周辺回路の特性を低減させることなく、書込み特性の劣化を抑制した半導体記憶装置を提供すること。
【解決手段】ホットエレクトロン注入による書込み方式の半導体記憶装置101において、例えば、P+半導体基板10と、P+半導体基板10上に形成されるP−エピ層(半導体層)であって、P+半導体基板10よりも高い抵抗を持つP−エピ層11(半導体層)と、P−エピ層11に形成されたメモリセルトランジスタ素子20と、メモリセルトランジスタ素子20の下方のP−エピ層11内に、底部がP+半導体基板10に到達する深さで形成されたP+不純物拡散領域12であって、P−エピ層11よりも低い抵抗を持つP+不純物拡散領域12と、を備える半導体記憶装置である。
【選択図】図1
【解決手段】ホットエレクトロン注入による書込み方式の半導体記憶装置101において、例えば、P+半導体基板10と、P+半導体基板10上に形成されるP−エピ層(半導体層)であって、P+半導体基板10よりも高い抵抗を持つP−エピ層11(半導体層)と、P−エピ層11に形成されたメモリセルトランジスタ素子20と、メモリセルトランジスタ素子20の下方のP−エピ層11内に、底部がP+半導体基板10に到達する深さで形成されたP+不純物拡散領域12であって、P−エピ層11よりも低い抵抗を持つP+不純物拡散領域12と、を備える半導体記憶装置である。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体記憶装置に関するもので、特にホットエレクトロン注入による書き込みを行う半導体記憶装置に関するものである。
従来、ホットエレクトロン注入による書き込みを行う半導体記憶装置は、P−半導体基板にメモリセルトランジスタが形成されている。この半導体記憶装置において、メモリセルトランジスタ素子のデータ書き込みは、ゲート電極及びドレイン領域に高電圧を印加して、ソース領域・ドレイン領域間の高電界により発生したホットエレクトロンをゲート電極・ドレイン領域間の電界によりゲート電極方向に引き込むことにより行われる。その際、ホールが同時に発生して、ドレイン領域・半導体基板間の電界により、基板電流として半導体基板に流れる。
しかしながら、P−半導体基板の抵抗率が数Ω・cmと高いため、基板電流による電圧降下が発生して、ソール領域及びドレイン領域近傍の基板電位浮きが起こり、書込み特性が劣化するという問題があった。
この問題を解決する為、低抵抗であるP+半導体基板上にこれよりも高抵抗であるP−半導体層(例えばエピタキシャル層)を積層し、当該P−半導体層にメモリセルトランジスタ素子を形成することにより、高抵抗のP−半導体層を薄膜化して、基板電流による電圧降下量を抑制して、ソール領域及びドレイン領域近傍の基板電位浮きを抑える構造がある(例えば特許文献1等)。
上記基板電位浮きを抑える構造では、P+半導体基板が十分低抵抗なため、電圧降下はP−半導体層の膜厚分(電流経路長分)の抵抗で決まる。
しかしながら、本構造では、周辺回路とP+半導体基板との距離を一定以上確保する必要があるため、具体的には、例えば、例えば、周辺回路を構成するPMOSトランジスタをP−半導体層に形成するために設けるNウエル領域に対して、P+半導体基板が影響しないように、当該NウエルとP+半導体基板との距離を一定以上確保する必要があるため、P+半導体基板とメモリセルトランジスタ素子とのソース領域及びドレイン領域との距離をそれ以上縮められない。
このため、やはり、メモリセルトランジスタ素子下方でのP−半導体層での電圧降下抑制に限界があり、ソール領域及びドレイン領域近傍の基板電位浮きが起こり、書込み特性が劣化するという問題があった。
そこで、本発明の課題は、メモリセルトランジスタ素子以外の周辺回路の特性を低減させることなく、書込み特性の劣化を抑制した半導体記憶装置を提供することにある。
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
本発明の半導体記憶装置は、
ホットエレクトロン注入による書込み方式の半導体記憶装置において、
第1伝導型の半導体基板と、
前記半導体基板上に形成される第1伝導型の半導体層であって、前記半導体基板よりも高い抵抗を持つ半導体層と、
前記半導体層の表層領域に形成されソース領域及びドレイン領域と前記ソース・ドレイン領域間の前記半導体層上に順次形成されたゲート絶縁層及びゲート電極とを有するメモリセルトランジスタ素子と、
前記メモリセルトランジスタ素子の下方の前記半導体層内に、底部が前記半導体基板に到達する深さで形成された第1伝導型の拡散領域であって、前記半導体層よりも低い抵抗を持つ拡散領域と、
を備える半導体記憶装置である。
本発明の半導体記憶装置は、
ホットエレクトロン注入による書込み方式の半導体記憶装置において、
第1伝導型の半導体基板と、
前記半導体基板上に形成される第1伝導型の半導体層であって、前記半導体基板よりも高い抵抗を持つ半導体層と、
前記半導体層の表層領域に形成されソース領域及びドレイン領域と前記ソース・ドレイン領域間の前記半導体層上に順次形成されたゲート絶縁層及びゲート電極とを有するメモリセルトランジスタ素子と、
前記メモリセルトランジスタ素子の下方の前記半導体層内に、底部が前記半導体基板に到達する深さで形成された第1伝導型の拡散領域であって、前記半導体層よりも低い抵抗を持つ拡散領域と、
を備える半導体記憶装置である。
本発明によれば、メモリセルトランジスタ素子以外の周辺回路の特性を低減させることなく、書込み特性の劣化を抑制した半導体記憶装置を提供することができる。
以下、本発明の一例である実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、実質的に同様の機能を有する部材には、全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
図1は、本実施形態に係る半導体装置を示す概略断面図である。
なお、図1中、メモリセルトランジスタ素子20は複数集積されてアレイ状に配設されるが、簡略のため一つのメモリセルトランジスタ素子を示している。また、周辺回路トランジスタ素子30は、メモリセルトランジスタ素子の読み出しや書込みをするために必要な周辺回路であり、PMOSトランジスタ素子やNMOSトランジスタ素子等が配設されるが、簡略化のために、一つのPMOSトランジスタ素子を示している。また、図1中、層間絶縁層、コンタクトホール、メタル配線、パッシペーション保護層等、周知の構成は簡略化のため省略している。
なお、図1中、メモリセルトランジスタ素子20は複数集積されてアレイ状に配設されるが、簡略のため一つのメモリセルトランジスタ素子を示している。また、周辺回路トランジスタ素子30は、メモリセルトランジスタ素子の読み出しや書込みをするために必要な周辺回路であり、PMOSトランジスタ素子やNMOSトランジスタ素子等が配設されるが、簡略化のために、一つのPMOSトランジスタ素子を示している。また、図1中、層間絶縁層、コンタクトホール、メタル配線、パッシペーション保護層等、周知の構成は簡略化のため省略している。
本実施形態に係る半導体記憶装置101は、ホットエレクトロン注入による書込み方式の半導体記憶装置であり、図1に示すように、例えば、P+シリコン半導体基板10(第1伝導型の半導体基板:以下、P+半導体基板と称する)と、P+半導体基板10上に形成されたP−シリコンエピタキシャル半導体層11(第1伝導型の半導体層:以下、P−エピ層と称する)と、P−エピ層11に形成されたメモリセルトランジスタ素子20と、P−エピ層11に形成された周辺回路トランジスタ素子30と、を備えている。そして、メモリセルトランジスタ素子20の下方のP−エピ層11内には、P+不純物拡散領域12(第1伝導型の拡散領域)が配設されている。
P+半導体基板10は、P−エピ層11よりも低い抵抗を持つ基板である。つまり、P−エピ層11は、P+半導体基板10よりも高い抵抗を持つ層である。具体的には、P+半導体基板の抵抗率は、例えば0.01〜0.02Ω・cmである。P−エピ層11の抵抗率は、例えば数Ω・cm程度(例えば1〜10Ω・cm)である。
P−エピ層11は、例えば、厚み3〜10μm(例えば4.5μm程度)で形成されている。そして、P−エピ層11には、メモリセルトランジスタ素子20と、P−エピ層11に形成された周辺回路トランジスタ素子30と、を備えている。P−エピ層11の周辺回路トランジスタ素子30形成領域には、Nウエル13が配設されている。このNウエル13の底部は、P+半導体基板10と離間して配設されている。この離間距離R1(エピ層厚み方向に沿った距離)は、例えば0.2〜2μmとする。この離間距離R1を確保することで、P+半導体基板10に流れる基板電流による周辺回路トランジスタ素子30への影響が抑制される。
メモリセルトランジスタ素子20は、トレンチ型絶縁領域14で分離されたP−エピ層11に形成されている。一方、周辺回路トランジスタ素子30は、トレンチ型絶縁領域14で分離されたP−エピ層11内のNウエル13に形成されている。
メモリセルトランジスタ素子20は、周知の構成であり、例えば、P−エピ層11表層領域に形成されたN+不純物拡散層からなるソース領域21及びドレイン領域22と、これに挟まれるP−エピ層11表層領域(チャネル領域)上に順次形成されるゲート絶縁層23及びゲート電極24と、ゲート絶縁層23及びゲート電極24の側面を覆うサイドウォール25と、等から構成されている。
同様に、周辺回路トランジスタ素子30も、周知の構成であり、例えば、P−エピ層11内のNウエル13表層領域に形成されたP+不純物拡散層からなるソース領域31及びドレイン領域32と、これに挟まれるP−エピ層11内のNウエル13表層領域(チャネル領域)上に順次形成されるゲート絶縁層33及びゲート電極34と、ゲート絶縁層33及びゲート電極34の側面を覆うサイドウォール35と、等から構成されている。
P+不純物拡散領域12は、例えば、メモリセルトランジスタ素子20の下方のP−エピ層11内であって、底部がP+半導体基板10に到達する深さで配設されている。そして、P+不純物拡散領域12は、P−エピ層11により低い抵抗を持つ層である。P+不純物拡散領域12の抵抗率は、P+半導体基板10と同様又は高いことがよく、例えば0.01〜0.1Ω・cmである。つまり、P+不純物拡散領域12は、例えば、P−エピ層11よりも低抵抗領域がP+半導体基板10から連続するように形成されるように配設されている。
P+不純物拡散領域12は、メモリセルトランジスタ素子20(具体的には当該素子のソース領域21、ドレイン領域22、及びこれに挟まれる領域(チャネル領域))と離間して配設されている。この離間距離R2(厚み方向に沿った距離)は、メモリセルトランジスタ素子20のゲート絶縁層23(つまり、P−エピ層11表面)からP+不純物拡散領域12に到達する距離で例えば1.5〜4.5μmとすることがよい。なお、言い換えれば、この離間距離R2は、メモリセルトランジスタ素子20のゲート絶縁層23とP+不純物拡散領域12との対向距離である。メモリセルトランジスタ素子20におけるソース領域21、ドレイン領域22、及びこれに挟まれる領域(チャネル領域)の厚みが1μm程度であることから、この離間距離R2を上記範囲で確保することで、メモリセルトランジスタ素子20に対し、P+半導体基板10に流れる基板電流以外、例えば動作電流や接合耐圧等の特性に影響が抑制される。
次に、本実施形態に係る半導体記憶装置101の製造方法の一例につき説明する。図2及び図3は、本実施形態に係る半導体記憶装置101の製造方法を示す工程図である。
本実施形態に係る半導体記憶装置101の製造方法では、まず、図2(A)に示すように、P+半導体基板10を準備する。
次に、図2(B)に示すように、例えば、CVD(気相成長法)等により、公知のエピタキシャル成長装置により、P+半導体基板10の表面にP−エピ層11を形成する。
次に、図2(C)に示すように、P+半導体基板10表面に、レジストを塗布すると共に露光及び現像によりパターニングして所定の開口部を持つインプラレジスト(不図示)を形成する。このインプラレジストは、周辺回路トランジスタ素子30形成領域が開口するように形成する。そして、N型イオン注入を行い、P−エピ層11内のうち周辺回路トランジスタ素子30形成領域に所定深さ(P+半導体基板10に底部が到達しない深さ)から基板表面にかけてNウエル13を形成する。その後、アニール処理を施し、Nウエル13を活性化させる。このN型イオン注入や、アニール処理は、周知の条件で行われる。
次に、図2(D)に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)によりインプラレジスト(不図示)を除去すると共にP+半導体基板10表面を平坦化した後、P+半導体基板10表面に、レジストを塗布すると共に露光及び現像によりパターニングして所定の開口部を持つ他のインプラレジスト(不図示)を形成する。この他のインプラレジストは、メモリセルトランジスタ素子20形成領域が開口するように形成する。そして、P型イオン注入を行い、P−エピ層11内のうちメモリセルトランジスタ素子20形成領域に所定深さ(P+半導体基板10に底部が到達する深さ)で当該P−エピ層11内に埋め込まれるようにP+不純物拡散領域12を形成する。その後、アニール処理(例えば温度1050℃、6時間)を施し、P+不純物拡散領域12を活性化させる。
ここで、P型イオン注入は、例えば、加速エネルギー1.5keV程度、ドーズ量1E14〜1E16cm−2の条件でボロン(B)をイオン注入して行う。
次に、図3(E)に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)により他のインプラレジスト(不図示)を除去すると共にP+半導体基板10表面を平坦化した後、レジストを塗布すると共に露光及び現像によりパターニングして所定の開口部を持つ他のエッチングレジスト(不図示)を形成し、STI(Sharrow Trench Isoration)によりトレンチ(溝)を形成する。このトレンチ(溝)は、P+半導体基板10の深さ方向に所定の深さで且つ所定の各トランジスタ素子形成領域を取り囲むように形成する。そして、トレンチに、例えば、酸化膜を埋め込みトレンチ型絶縁領域14を形成する。
次に、図3(F)に示すように、例えば、トレンチ型絶縁領域14に囲まれた一方のP−エピ層11上(Nウエル13が形成されていないP−エピ層11)上に、ゲート絶縁層23及びゲート電極24を順次形成し、これを挟むP−エピ層11表層領域にN型のイオン注入してソース領域21及びドレイン領域22を形成する。その後、ゲート絶縁層23及びゲート電極24の側面にサイドウォール25を形成する。このようにして、メモリセルトランジスタ素子20を形成する。なお、メモリセルトランジスタ素子20の形成方法は、これに限られるわけではなく、周知の方法を採用すればよい。
次に、図3(G)に示すように、例えば、トレンチ型絶縁領域14に囲まれた他方のP−エピ層11上(Nウエル13が形成たP−エピ層11)上に、ゲート絶縁層33及びゲート電極34を順次形成し、これを挟むP−エピ層11(Nウエル13)表層領域にイオン注入してソース領域31及びドレイン領域32を形成する。その後、ゲート絶縁層33及びゲート電極34の側面にサイドウォール35を形成する。このようにして、周辺回路トランジスタ素子30を形成する。なお、周辺回路トランジスタ素子30の形成方法も、これに限られるわけではなく、周知の方法を採用すればよい。
その後、図示しないが、例えば、層間絶縁層、コンタクトホール、メタル配線、及びパッシペーション保護層を形成して、本実施形態に係る半導体記憶装置101が得られる。
次に、本実施形態に係る半導体記憶装置101の作用について説明する。本実施形態に係る半導体記憶装置101の作用を説明するための模式図である。
本実施形態に係る半導体記憶装置101では、メモリセルトランジスタ素子20のデータ書き込みは、図4に示すように、メモリセルトランジスタ素子20のソース領域21及びドレイン領域22間に高電圧(ソース電圧Vs、ドレイン電圧Vd)を印加して、ソース領域21及びドレイン領域22間に高電圧により発生したホットエレクトロンをゲート電極24及びドレイン領域22間の電界によりゲート電極24(ゲート電圧Vg)方向に引き込むことにより行われる。その際、ホールが同時に発生して、ドレイン領域22及びP+半導体基板10間の電界により、基板電流としてP−エピ層11、そしてP+不純物拡散領域12を通じてP+半導体基板10(GNP)に流れる。
ここで、上述のように、P+半導体基板10が十分低抵抗なために、電圧降下の程度は高抵抗のP−エピ層11(半導体層)の膜厚分(電流経路長分)の抵抗で決まるため、当該P−エピ層11を薄膜化した方が電圧降下抑制効果が高まる。一方で、例えば、周辺回路トランジスタ素子30を形成するためのNウエル13に対してP+半導体基板10が影響しないように、Nウエル13とP+半導体基板10とを一定距離離間させる必要があることから、P−エピ層11の厚みも所定以上確保する必要があり、電圧降下抑制効果に限界が出てくる。
そこで、メモリセルトランジスタ素子20の下方のP−エピ層(半導体層)内に、底部がP+半導体基板10に到達する深さで形成されたP+不純物拡散領域12であって、P−エピ層11(半導体層)よりも低い抵抗を持つP+不純物拡散領域12を配設させることで、メモリセルトランジスタ素子20のソース領域21及びドレイン領域22下方の高抵抗であるP−エピ層11の厚みを実質的に薄膜化させることができる。
このように、周辺回路トランジスタ素子30下方のP−エピ層11の厚みを所定以上確保しつつ、メモリセルトランジスタ素子20下方のP−エピ層11の厚みを実質的に薄膜化させることで、周辺回路トランジスタ素子30の特性を確保しつつ、データ書き込み時に発生するホールによる基板電流によるP−エピ層11における電圧降下を抑制できるため、メモリセルトランジスタ素子20のソース領域21及びドレイン領域22近傍の基板電位浮きが減少される。
したがって、本実施形態に係る半導体記憶装置101では、メモリセルトランジスタ素子20以外の周辺回路(本実施形態では周辺回路トランジスタ素子30)の特性を低減させることなく、書込み特性の劣化を抑制することができる。
なお、上記本実施形態に係る半導体記憶装置101は、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能である
10 P+シリコン半導体基板(半導体基板)
11 P−シリコンエピタキシャル半導体層(P−エピ層)
12 P+不純物拡散領域
13 Nウエル
14 トレンチ型絶縁領域
20 メモリセルトランジスタ素子
21 ソース領域
22 ドレイン領域
23 ゲート絶縁層
24 ゲート電極
25 サイドウォール
30 周辺回路トランジスタ素子
31 ソース領域
32 ドレイン領域
33 ゲート絶縁層
34 ゲート電極
35 サイドウォール
101 半導体記憶装置
11 P−シリコンエピタキシャル半導体層(P−エピ層)
12 P+不純物拡散領域
13 Nウエル
14 トレンチ型絶縁領域
20 メモリセルトランジスタ素子
21 ソース領域
22 ドレイン領域
23 ゲート絶縁層
24 ゲート電極
25 サイドウォール
30 周辺回路トランジスタ素子
31 ソース領域
32 ドレイン領域
33 ゲート絶縁層
34 ゲート電極
35 サイドウォール
101 半導体記憶装置
Claims (3)
- ホットエレクトロン注入による書込み方式の半導体記憶装置において、
第1伝導型の半導体基板と、
前記半導体基板上に形成される第1伝導型の半導体層であって、前記半導体基板よりも高い抵抗を持つ半導体層と、
前記半導体層の表層領域に形成されソース領域及びドレイン領域と前記ソース・ドレイン領域間の前記半導体層上に順次形成されたゲート絶縁層及びゲート電極とを有するメモリセルトランジスタ素子と、
前記メモリセルトランジスタ素子の下方の前記半導体層内に、底部が前記半導体基板に到達する深さで形成された第1伝導型の拡散領域であって、前記半導体層よりも低い抵抗を持つ拡散領域と、
を備える半導体記憶装置。 - 前記メモリセルトランジスタ素子のゲート絶縁層から前記拡散領域に到達するまでの距離が、1.5〜4.5μmである、請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記拡散領域が、前記半導体基板と同等又は前記半導体基板よりも高い抵抗を持つ拡散領域である、請求項1に記載の半導体記憶装置。
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