JP2010221338A - 加工皿の作製装置及び修正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易かつ高精度で研磨皿その他の加工皿を作製することができ、高い再現性で加工皿を迅速に作製等することができる加工皿の作製装置及び修正方法を提供すること。
【解決手段】カーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置３０が、第１ホルダ３７と第２ホルダ３８とを相対的に３次元的に変位させることによって、加工皿１０の形状を砥石部材２０によって修正するので、砥石部材２０を利用して簡易かつ高精度で加工皿１０を作製することができ、加工皿１０の作製が迅速で再現性の高いものとなる。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学素子の研磨又は研削に用いられる加工皿の作製装置及び修正方法に関し、特にダイヤモンドペレットやウレタンパッド等を貼り付けた加工皿の加工面を簡易かつ高精度で修正可能な加工皿の作製装置及び修正方法に関する。

レンズの研磨装置として、先端に研磨皿を固定したスピンドルを回転させつつ揺動させるとともに、ホルダシャフト下端に揺動可能に取り付けられたレンズ材を研磨皿に対して押し付けるものがある（特許文献１参照）。

ここで、研磨皿の表面には、例えばポリウレタンパッド等が貼り付けられる（特許文献２）。また、研磨皿の表面には、ダイヤモンドペレット等が貼り付けられる場合もある（特許文献３）。なお、研磨皿が使用とともに劣化した場合、例えば修正皿を用いて工具面を研磨して曲率半径を修正することが行われる（特許文献４）。

なお、上記のような研磨皿を用いないでカーブジェネレータでレンズ材を直接研削加工する方法として、筒状のカップ砥石を用いるもの（特許文献５参照）、球面に加工した研削砥石を用いるもの（特許文献６，７参照）がある。

特開昭５９−９３２６２号公報 特開２００６−１３６９５９号公報 特開２００２−１４４２０５号公報 特開２００１−４７３５１号公報 特開２００６−２９７５１１号公報 特開平７−１８６０３２号公報 特開２００２−２５４２８０号公報

上記のような研磨皿の形状精度は、加工後のレンズの形状精度に直接影響するため、研磨皿の形状精度を向上させることが極めて重要となる。

しかしながら、研磨皿の作製は、専用の設備や熟練した技能を要し、経験や勘に頼る手作業に依存するものとなっている。なお、研磨皿の作製は、例えば（１）研磨面に対応する基準面を有する基準皿の作製工程、（２）基準皿の基準面を転写した修正用皿の作製工程、及び（３）修正用皿を利用した研磨皿の研磨面の修正工程からなり、複雑なものとなっている。

そこで、本発明は、簡易かつ高精度で研磨皿その他の加工皿を作製することができ、高い再現性で加工皿を迅速に作製等することができる加工皿の作製装置及び修正方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明に係る加工皿の作製装置は、光学素子の研磨又は研削に用いられる球面状の加工面を有する加工皿を支持可能な第１ホルダと、加工皿に対向して砥石部材を支持可能な第２ホルダと、第１ホルダと第２ホルダとを相対的に３次元的に変位させることによって、加工皿の形状を砥石部材によって修正するカーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置と、駆動装置の動作を制御する制御装置と、を備える。

上記作製装置によれば、カーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置が、第１ホルダと第２ホルダとを相対的に３次元的に変位させることによって、加工皿の形状を砥石部材によって修正するので、砥石部材を利用して簡易かつ高精度で加工皿を作製することができ、加工皿の作製が迅速で再現性の高いものとなる。

本発明の具体的な態様又は側面では、上記加工皿の作製装置において、砥石部材が球面状の砥面を有する。この場合、加工皿の加工面の形状精度を高めることができる。なお、球面状の砥面には、全体に亘って球面としたものに限らず、多数の小径のペレットを集めて配置することによって略球面としたものが含まれる。なお、砥石部材の砥面は、球面状に限らず、カップ状とすることもできる。

本発明の別の側面では、駆動装置が、第１ホルダに加工皿に代えて切削工具を支持させた状態で切削工具を砥石部材に対して相対的に変位させることにより、砥石部材の砥面を調製又は創成する。この場合、切削工具を利用して簡易かつ高精度で砥石部材の砥面を加工・創成することができる。

本発明のさらに別の側面では、駆動装置が、第１ホルダに支持された加工皿を中心軸のまわりに回転させる第１回転機構と、第２ホルダに支持された砥石部材を中心軸に対して揺動させる揺動機構とを備える。この場合、中心軸のまわりに回転する加工皿に砥石部材を押し当てつつ、砥石部材を中心軸に対して揺動させる加工が可能になり、加工皿の加工面の球面の精度を高めることができる。

本発明のさらに別の側面では、駆動装置が、第２ホルダに支持された砥石部材を対称軸のまわりに回転させる第２回転機構と、砥石部材を対称軸に沿って先端側に移動させる送込機構とを備える。この場合、砥石部材を対称軸のまわりに回転させつつ、砥石部材を対称軸に沿って先端側に送り込む加工が可能になる。この際、砥石部材の送り込み量の調整によって加工皿の表面すなわち加工面を所望の曲率半径の球面に形成することができる。

本発明のさらに別の側面では、制御装置が、砥石部材の摩耗量に応じて送込機構によって砥石部材を先端側に送り込む際の送り込み量を補正する。すなわち、砥石部材の送り込み量を砥石部材の摩耗度に応じて微調整することにより、砥石部材の磨耗を考慮したより精密な加工が可能になる。

本発明のさらに別の側面では、制御装置が、駆動装置にかかる負荷を監視するとともに負荷の監視結果に基づいて第２ホルダの動作速度を調整することにより、砥石部材による加工皿の加工速度（具体的には切り込み速度）を調整する。この場合、加工皿の加工面の面粗さの一様性等を高めることができる。

本発明のさらに別の側面では、制御装置は、駆動装置にかかる負荷を監視するとともに負荷の監視結果に基づいて第２ホルダの動作速度を調整することにより、切削工具による砥石部材の加工速度を調整する。この場合、砥石部材の砥面の面粗さの一様性等を高めることができる。

本発明に係る加工皿の修正方法は、光学素子の研磨又は研削に用いられる球面状の加工面を有する加工皿を第１ホルダに支持させるとともに、砥石部材を第２ホルダに加工皿に対向するように支持させ、第１ホルダと第２ホルダとを相対的に３次元的に変位させるカーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置によって、加工皿の形状を砥石部材によって修正する。

上記修正方法によれば、カーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置によって加工皿の形状を砥石部材によって修正するので、砥石部材を利用して簡易かつ高精度で加工皿を作製することができ、加工皿の作製が迅速で再現性の高いものとなる。

実施形態に係る加工皿の作製装置の構造と、これを用いた加工皿の修正とを概念的に説明するブロック図である。 図１の作製装置を用いた加工皿の作製を概念的に説明するフローチャートである。 図１の作製装置を用いて砥石部材を修正等する方法を説明する図である。 図３の作製装置を用いた砥石部材の修正等を概念的に説明するフローチャートである。

以下、本発明の一実施形態に係る加工皿の作製装置及び修正方法の図面を参照しつつ説明する。

図１に示すように、加工皿の作製装置１００は、カーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置３０と、駆動装置３０の加工部に研削液を供給する研削液供給部４０と、駆動装置３０の動作を数値的に制御する制御装置７０とを備える。

駆動装置３０は、台座３１上に第１ステージ３２と第２ステージ３３とを載置した構造を有する。ここで、第１ステージ３２は、第１可動部３５を支持しており、この第１可動部３５は、第１ホルダ３７を介してワークである加工皿１０を間接的に支持している。この第１ステージ３２は、加工皿１０を支持する第１可動部３５を、例えば水平なＺ軸方向に沿った所望の位置に移動させることができる。また、第１ステージ３２は、加工皿１０を支持する第１可動部３５を、Ｚ軸方向に垂直なＸＹ面に沿って変位させる微調整機構を有している。なお、第１可動部３５は、第１回転機構として、加工皿１０を第１ホルダ３７とともにＺ軸に平行な水平回転軸ＲＡ１のまわりに所望の速度で回転させることができる。一方、第２ステージ３３は、第２可動部３６を支持しており、この第２可動部３６は、第２ホルダ３８を介して砥石部材２０を間接的に支持している。第２ステージ３３は、揺動機構として、加工皿１０を支持する第２可動部３６を、例えば水平なＹ軸に平行な鉛直旋回軸ＰＸのまわりに所望の角度範囲及び角速度で揺動させることができる。また、第２ステージ３３は、砥石部材２０を支持する第２可動部３６等をＺ軸方向に沿った所望の位置に移動させることができ、鉛直旋回軸ＰＸまでの相対的な距離を調整することができる。なお、第２可動部３６は、第２回転機構として、第２ホルダ３８とともに砥石部材２０をＺ軸に平行に配置可能な水平回転軸ＲＡ２のまわりに所望の角速度で回転させることができる。さらに、第２可動部３６は、送込機構として、第２ホルダ３８とともに砥石部材２０を水平回転軸ＲＡ２に沿って先端側に所望の速度で移動させる送り込みを実行することができる。

第１ホルダ３７に保持される加工皿１０は、軸１０ａを設けた凸又は凹の球状面を有する台座１０ｂの表面上に、加工層１０ｃを貼り付けた構造を有する。加工層１０ｃは、加工皿１０が研磨皿である場合、例えば硬質の発泡ポリウレタンのシートとすることができるが、加工層１０ｃは、加工皿１０がスムージング用の精研削皿である場合、例えばダイヤモンドペレットとすることができる。なお、ダイヤモンドペレットは、ダイヤモンド砥粒をボンドで焼結したペレット状の精研削砥石とすることができる。加工皿１０の表面１０ｓは、加工の対象であるガラスの光学面に対応する凸又は凹の球状面となっている。ただし、加工皿１０の表面１０ｓは、ポリウレタンのシート表面の場合、例えば花びら状に切ったシートを球状の加工皿に貼り付けるため、放射状に溝が形成され、ダイヤモンドペレット表面の場合、球状の加工皿に小径のペレットを貼り付けるため隙間が形成される場合と、ダイヤモンドペレットに目標曲率半径と同一のＲを形成させる場合とがある。

第２ホルダ３８に保持される砥石部材２０は、軸状の台座２０ｂ上に、凹又は凸の球状面を有する砥石層２０ｃを貼り付けた構造を有する。砥石層２０ｃは、ダイヤモンド粒子をボンド材料で焼結したものである。砥石層２０ｃの表面２０ｓは、加工皿１０の表面１０ｓの仕上げ後の目標とする曲率半径に対してその正負を反転させた曲率半径の球面になっている。このように、砥石層２０ｃの表面２０ｓを加工皿１０の仕上げ後の曲率半径に対応させることで、加工皿１０の表面１０ｓの加工精度を高めることができる。特に、砥石層２０ｃの表面２０ｓを球面状の砥面とすることで、加工皿１０の加工の再現性や信頼性を高めることができる。

制御装置７０は、高精度の数値制御を可能にするものであり、駆動装置３０に内蔵されたモータや位置センサ等を駆動することによって、第１及び第２ステージ３２，３３や、第１及び第２可動部３５，３６を目的とする状態に適宜動作させる。例えば、第１ステージ３２の第１可動部３５によって、第１ホルダ３７に保持された加工皿１０をその中心軸と一致する水平回転軸ＲＡ１のまわりに比較的低速で回転させる。同時に、第２ステージ３３の第２可動部３６によって、第２ホルダ３８に保持された砥石部材２０をその対称軸と一致する水平回転軸ＲＡ２のまわりに比較的高速で回転させつつ、第２ステージ３３によって第２可動部３６すなわち砥石部材２０を鉛直旋回軸ＰＸのまわりに揺動させる。この際、第２ステージ３３によって第２可動部３６すなわち砥石部材２０を水平回転軸ＲＡ２に沿って先端側に適宜移動させる送り込みを行うことで、砥石部材２０をその表面２０ｓに沿って表面２０ｓの曲率中心のまわりに揺動させることができる。つまり、加工皿１０の表面１０ｓの形状を、砥石部材２０の表面２０ｓの先端から鉛直旋回軸ＰＸまでの距離（目標曲率半径）に一致させる加工が可能になる。なお、砥石部材２０をその表面２０ｓの曲率中心のまわりに揺動させることで、球面型の砥石部材２０による加工精度を高めることができる。つまり、球面型の砥石部材２０を回転させた場合、その表面２０ｓの移動速度は、中心と周辺とで大きく異なるため、加工に偏りが生じ易いが、球面型の砥石部材２０の水平回転軸ＲＡ２を遥動させることで、一様な加工を達成でき、加工皿１０の表面１０ｓの仕上げ後における形状精度を高めることができる。
なお、砥石部材２０を水平回転軸ＲＡ２に沿って先端側に移動させる送り込みは、砥石部材２０を徐々に前進させることにより、その表面２０ｓが目標の曲率半径を有するものとなるようにするため、上記曲率半径に対応する目標の送り込み量となるまで徐々に行われる。この際、第２可動部３６に内蔵されたモータの負荷を監視し、その負荷が増大した場合、第２可動部３６による切り込み動作の速度を遅くする。具体的には、例えば第２可動部３６に内蔵されたモータの負荷が設定した１以上の閾値を超えた場合、送り込みの速度を２段階以上で又は連続的に低下させることができる。これにより、加工皿１０の加工速度を調整することができ、加工皿１０の表面１０ｓの面粗さの一様性を高めることができる。

なお、砥石部材２０は、加工皿１０の加工を繰り返すことで徐々に磨耗する。例えば、砥石部材２０の表面２０ｓの磨耗厚みが所定の閾値以下である場合、制御装置７０は、砥石層２０ｃが一様に磨耗しているとして、第２可動部３６による送り込み量の値を磨耗厚み分だけ修正する。これにより、砥石部材２０の磨耗を考慮した動作が可能になり、加工皿１０の加工精度を高めることができる。砥石部材２０の磨耗の程度は、加工皿１０の処理枚数によって判定することができる。また、砥石部材２０の磨耗は、加工皿１０のＲ変化（曲率変化）や厚み等を計測することによっても判定することができ、砥石部材２０を直接測定することによっても判定することができる。このようにして得られた砥石部材２０の磨耗の程度に関する情報は、処理枚数の場合、制御装置７０において摩耗量（寸法）に換算されて保管され、加工皿１０等の計測結果の場合、オペレータが制御装置７０に摩耗量を直接入力する。一方、砥石部材２０の表面２０ｓの磨耗厚みが所定の閾値を超えて非一様に磨耗している場合等、表面２０ｓの曲率半径の変化が激しいときは、砥石部材２０を廃棄することもできるが、後述する図３の方法を用いて砥石部材２０の砥面形状の再調製を行うこともできる。

図２は、図１に示す加工皿の作製装置１００を用いた加工の流れを説明するフローチャートである。

まず、制御装置７０に基本データを入力する（ステップＳ１１）。この基本データには、目標曲率半径、砥石部材２０の直径及び長さ等が含まれる。なお、目標曲率半径は、加工皿１０の表面１０ｓの目標曲率半径を意味し、砥石部材２０の砥面形状の曲率半径に相当するものとなっている。

次に、制御装置７０に加工量データを入力する（ステップＳ１２）。加工量データは、加工皿１０の表面１０ｓが砥石部材２０の表面２０ｓと接触して加工皿１０の加工を開始した加工開始位置又は加工開始時から砥石部材２０を送り込む量を意味し、加工皿１０の表面層の切込量に相当するものとなっている。

次に、ワーク側の第１ホルダ３７に加工皿１０を固定し（ステップＳ１３）、砥石軸側の第２ホルダ３８に砥石部材２０を固定する（ステップＳ１４）。

次に、第１ステージ３２等を利用して加工皿１０と砥石部材２０との位置決めすなわち位置調整を行う（ステップＳ１５）。これにより、加工皿１０の表面１０ｓと砥石部材２０の表面２０ｓとを接触させる加工開始位置を設定することができる。この際の加工皿１０や砥石部材２０の座標情報は、制御装置７０のメモリに保管され、後述する切削加工処理の際に利用される。

次に、第１可動部３５によって加工皿１０を適当な回転数で回転させるとともに、第２可動部３６によって砥石部材２０を適当な回転数で回転させる（ステップＳ１６）。加工皿１０や砥石部材２０の回転数は、適宜増減調整することができる。

次に、研削液供給部４０を動作させて、駆動装置３０の加工部に加工液を供給する（ステップＳ１７）。この加工液は、加工皿１０等の表面の加熱を防止すること、加工面浄化を促進すること、加工面のダメージを防止しつつ良好な仕上げ面を得ること等を目的として使用される。

次に、第２ステージ３３等を適宜動作させて、加工皿１０に対する切削加工処理を行う（ステップＳ１８）。この際、第２ステージ３３を適宜動作させて砥石部材２０を鉛直旋回軸ＰＸのまわりに揺動させるとともに、第２可動部３６を適宜動作させて砥石部材２０を水平回転軸ＲＡ２に沿って先端側に移動させる送り込みを行う。

なお、以上のステップＳ１３〜Ｓ１８は、加工皿１０が目標の球面に修正又は調製されるまで繰り返される。

以上の工程で得られた加工皿１０は、レンズ等の光学素子の研磨に利用される。詳細な説明は省略するが、上端に加工皿１０を固定したスピンドル（不図示）を回転させつつ揺動させるとともに、カンザシ（不図示）の下端に揺動可能に取り付けられたレンズ材の凹面又は凸面を、研磨液の供給下で加工皿１０に対して適当な圧力で押し付けることにより、レンズ材の表面を研磨することができ、透明に近い面（最終目標の光学面に近い状態）又は透明な鏡面（最終目標の光学面）を得ることができる。

図３は、図１の加工皿の作製装置１００を用いて、砥石部材２０を加工する方法を説明する図である。この場合、第１ホルダ３７に、加工皿１０の代わりに切削工具である切削用バイト５０を固定している。第１ホルダ３７に保持される切削用バイト５０は、軸５０ａの先端部５０ｃに、ダイヤモンドチップを固定した構造を有する。

この場合、図１の加工皿１０の場合と異なり、第１可動部３５によって切削用バイト５０を回転させない。例えば、加工皿１０の表面１０ｓの頂点があった位置に切削用バイト５０の先端部５０ｃを一致させる。そして、第２ステージ３３等を利用することにより、砥石部材２０に対して、図１の作製装置１００の場合と同様に回転、揺動、及び送り込みからなる加工動作を行わせることで、砥石部材２０の表面２０ｓを目標どおりの曲率半径に加工することができる。このように、加工皿１０を切削用バイト５０に取り替えて砥石部材２０を研削時と同様に加工動作させるだけの簡単な手法の採用により、砥石部材２０の加工精度を簡易に高めることができる。特に、加工皿１０の表面１０ｓの加工と、砥石部材２０の表面２０ｓの加工とを共通の作製装置１００で行うことにより、砥石部材２０の表面２０ｓである砥面と、加工皿１０の表面１０ｓである加工面との曲率半径を一致させ易くなり、これら砥面や加工面の修正が極めて容易かつ高精度となる。

図４は、図３に示すように図１の加工皿の作製装置１００を転用した装置での砥石部材の修正又は調製の流れを説明するフローチャートである。

まず、制御装置７０に基本データを入力する（ステップＳ２１）。この基本データには、目標曲率半径、砥石部材２０の直径及び長さ等が含まれる。なお、目標曲率半径は、砥石部材２０の表面２０ｓの目標曲率半径を意味し、加工皿１０の加工面形状の曲率半径に相当するものとなっている。

次に、制御装置７０に加工量データを入力する（ステップＳ２２）。加工量データは、砥石部材２０の表面２０ｓが切削用バイト５０の先端部５０ｃと接触して砥石部材２０の加工を開始した加工開始位置又は加工開始時から砥石部材２０を送り込む量を意味し、砥石部材２０の表面層の切込量に相当するものとなっている。

次に、ワーク側の第１ホルダ３７に切削用バイト５０を固定し（ステップＳ２３）、砥石軸側の第２ホルダ３８に砥石部材２０を固定する（ステップＳ２４）。

次に、第１ステージ３２等を利用して切削用バイト５０と砥石部材２０との位置決めを行う（ステップＳ２５）。これにより、切削用バイト５０の先端部５０ｃと砥石部材２０の表面２０ｓとを接触させる加工開始位置を特定することができる。この際の切削用バイト５０や砥石部材２０の座標情報は、制御装置７０のメモリに保管され、後述する切削加工処理の際に利用される。

次に、第２可動部３６によって砥石部材２０を適当な回転数で回転させる（ステップＳ２６）。砥石部材２０の回転数は、適宜増減調整することができる。

次に、研削液供給部４０を動作させて、駆動装置３０の加工部に加工液を供給する（ステップＳ２７）。

次に、第２ステージ３３等を適宜動作させて、砥石部材２０に対する研削加工処理を行う（ステップＳ２８）。この際、第２ステージ３３を適宜動作させて砥石部材２０を目標とする曲率中心のまわりに揺動させるとともに、第２可動部３６を適宜動作させて砥石部材２０を先端側に移動させる送り込みを行う。

なお、以上のステップＳ２３〜Ｓ２８は、砥石部材２０が目標の球面に加工されるまで繰り返される。

以上説明した、本実施形態に係る加工皿の作製装置１００によれば、カーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置３０が、第１ホルダ３７と第２ホルダ３８とを相対的に３次元的に変位させることによって、加工皿１０の形状を砥石部材２０によって修正するので、砥石部材２０を利用して簡易かつ高精度で加工皿１０を作製することができ、加工皿１０の作製が迅速で再現性の高いものとなる。

以上、実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、加工皿１０が研磨又は精研削の研磨皿であるとしたが、粗研削用の研削皿の加工に図１に示す作製装置１００を用いることもできる。

また、上記実施形態では、砥石部材２０が全体に亘って凹又は凸の球面状の表面２０ｓを有するとしたが、これに代えて、例えば多数の小径の焼結体ペレットを貼り付けた略球面のペレット層、或いはカップ状の砥石を用いることもできる。なお、カップ状砥石を用いる場合、予め先端面の形状を加工皿１０の表面１０ｓの形状に近づけておくこと、つまり、加工皿１０の目標の曲率半径とカップ状砥石の先端面の曲率半径とを一致させておくことで、加工皿１０の高精度な加工が当初から可能になる。

また、上記実施形態では、第２ステージ３３や第２可動部３６を適宜動作させることにより、砥石部材２０を鉛直旋回軸ＰＸのまわりに揺動させるとともに、砥石部材２０を水平回転軸ＲＡ２に沿って先端側に送り込んでいるが、砥石部材２０の加工に際しての移動方法はこれに限らない。すなわち、第２ステージ３３や第２可動部３６とは異なる駆動機構を用いて、砥石部材２０を加工皿１０に対して他の手法で３次元的に移動させることによっても、加工皿１０の表面１０ｓを所望の曲率半径の球面に加工することができる。

また、切削用バイト５０は、砥石部材２０に球面を加工できる限り、他の種類の切削工具に置き換えることができる。

１０…加工皿、 １０ａ…軸(追加)、１０ｂ…台座、 １０ｃ…加工層、 １０ｓ…表面、 ２０…砥石部材、 ２０ｂ…台座、 ２０ｃ…砥石層、 ２０ｓ…表面、 ３０…駆動装置、３１…台座(追加) ３２…第１ステージ、 ３３…第２ステージ、 ３５…第１可動部、 ３６…第２可動部、 ３７…第１ホルダ、 ３８…第２ホルダ、 ４０…研削液供給部、 ５０…切削用バイト、 ５０ａ…軸、 ５０ｃ…先端部、 ７０…制御装置、 １００…加工皿の作製装置、 ＰＸ…鉛直旋回軸、 ＲＡ１…水平回転軸、 ＲＡ２…水平回転軸

Claims (9)

1. 光学素子の研磨又は研削に用いられる球面状の加工面を有する加工皿を支持可能な第１ホルダと、
   前記加工皿に対向して砥石部材を支持可能な第２ホルダと、
   前記第１ホルダと前記第２ホルダとを相対的に３次元的に変位させることによって、前記加工皿の形状を前記砥石部材によって修正するカーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置と、
   前記駆動装置の動作を制御する制御装置と、
   を備える加工皿の作製装置。
2. 前記砥石部材は、球面状の砥面を有することを特徴とする請求項１に記載の加工皿の作製装置。
3. 前記駆動装置は、前記第１ホルダに前記加工皿に代えて切削工具を支持させた状態で前記切削工具を前記砥石部材に対して相対的に変位させることにより、前記砥石部材の砥面を調製することを特徴とする請求項１及び請求項２のいずれか一項に記載の加工皿の作製装置。
4. 前記駆動装置は、前記第１ホルダに支持された前記加工皿を中心軸のまわりに回転させる第１回転機構と、前記第２ホルダに支持された前記砥石部材を前記中心軸に対して揺動させる揺動機構とを備えることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の加工皿の作製装置。
5. 前記駆動装置は、前記第２ホルダに支持された前記砥石部材を対称軸のまわりに回転させる第２回転機構と、前記砥石部材を前記対称軸に沿って先端側に移動させる送込機構とを備えることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の加工皿の作製装置。
6. 前記制御装置は、前記砥石部材の摩耗量に応じて前記送込機構によって前記砥石部材を先端側に送り込む際の送り込み量を補正することを特徴とする請求項５に記載の加工皿の作製装置。
7. 前記制御装置は、前記駆動装置にかかる負荷を監視するとともに負荷の監視結果に基づいて前記第２ホルダの動作速度を調整することにより、前記砥石部材による前記加工皿の加工速度を調整することを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の加工皿の作製装置。
8. 前記制御装置は、前記駆動装置にかかる負荷を監視するとともに負荷の監視結果に基づいて前記第２ホルダの動作速度を調整することにより、前記切削工具による前記砥石部材の加工速度を調整することを特徴とする請求項３に記載の加工皿の作製装置。
9. 光学素子の研磨又は研削に用いられる球面状の加工面を有する加工皿を第１ホルダに支持させるとともに、前記砥石部材を第２ホルダに前記加工皿に対向するように支持させ、
   前記第１ホルダと前記第２ホルダとを相対的に３次元的に変位させるカーブジェネレータ型の駆動機構を有する駆動装置によって、前記加工皿の形状を前記砥石部材によって修正することを特徴とする加工皿の修正方法。

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