JP2010219367A - Method for manufacturing organic printed substrate, organic printed substrate, and high-frequency module device using the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an organic printed substrate capable of fabricating a cavity with high accuracy, and improving production yield and production efficiency. <P>SOLUTION: The method for manufacturing an organic printed substrate 50 comprises a laminating step for laminating prepregs 123a on a core base 21, and a cavity forming step for forming a recessed cavity 10 by removing a predetermined part of the prepreg 123a. The laminating step comprises a step for arranging a heat-resistant film 110 between the core base 21 and the prepreg 123a, and the cavity forming step comprises a step for forming a side wall part 11 of the cavity 10 on the prepreg 123a by cutting a part corresponding to the heat-resistant film 110 on the prepreg 123a by using laser, and a step for forming a bottom part 12 of the cavity 10 on a part where the heat-resistant film 110 on the core base 21 was present. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機プリント基板の製造方法及び有機プリント基板、並びに、有機プリント基板を用いた高周波モジュールに関し、特に、キャビティ構造を有する有機プリント基板の製造方法及び有機プリント基板、並びに、その有機プリント基板を用いた高周波モジュールに関する。   The present invention relates to an organic printed circuit board manufacturing method, an organic printed circuit board, and a high-frequency module using the organic printed circuit board, and more particularly to a method for manufacturing an organic printed circuit board having a cavity structure, an organic printed circuit board, and the organic printed circuit board. The present invention relates to a high-frequency module using

携帯電話機や携帯情報端末、携帯ゲーム機などの電子機器の分野では、電子部品を実装するための基板が広く用いられている。また、電子部品の実装密度を高め、小型化、低背化を図るために、上記基板として、キャビティ構造を有するプリント基板が用いられている。このプリント基板では、プリント基板を構成する絶縁層(樹脂層)にキャビティと呼ばれる凹部が形成されており、このキャビティ内に電子部品が収容される。   In the field of electronic devices such as mobile phones, portable information terminals, and portable game machines, substrates for mounting electronic components are widely used. Further, in order to increase the mounting density of electronic components, and to reduce the size and height, a printed circuit board having a cavity structure is used as the substrate. In this printed circuit board, a recess called a cavity is formed in an insulating layer (resin layer) constituting the printed circuit board, and an electronic component is accommodated in the cavity.

また、従来、プリント基板にキャビティを形成する方法として、キャビティを形成する位置に貫通穴を設けたプリプレグ(ガラス布などに半硬化の熱硬化性樹脂を含浸させた接着シート)を用いて熱プレスにより加熱加圧成形し、この貫通穴部分をキャビティとする方法が知られている。この方法では、加熱加圧成形時に軟化したプリプレグの樹脂がキャビティ内に流れ込むのを抑制するために、樹脂成分等が調整された樹脂流れの少ないプリプレグが用いられる。   Conventionally, as a method of forming a cavity in a printed circuit board, a hot press using a prepreg (an adhesive sheet in which a glass cloth or the like is impregnated with a semi-cured thermosetting resin) is provided with a through hole at a position where the cavity is formed. There is known a method in which the through-hole portion is formed into a cavity by heat and pressure molding. In this method, in order to suppress the resin of the prepreg softened during the heat and pressure molding from flowing into the cavity, a prepreg having a small resin flow in which a resin component or the like is adjusted is used.

しかしながら、この方法では、プリプレグの樹脂流れが少ないため、内層回路の銅箔パターン(配線層)の側面にボイド(空隙)が発生し易くなる。すなわち、回路(配線層)の埋め込み性が低下する。このため、絶縁信頼性が低下するという不都合がある。また、上記した従来の方法では、精度よくキャビティを形成することが困難であるという不都合もある。   However, in this method, since the resin flow of the prepreg is small, voids (voids) are easily generated on the side surface of the copper foil pattern (wiring layer) of the inner layer circuit. That is, the embedding property of the circuit (wiring layer) is lowered. For this reason, there is a disadvantage that the insulation reliability is lowered. In addition, the above-described conventional method has a disadvantage that it is difficult to form a cavity with high accuracy.

そこで、従来、回路の埋め込み性を確保するために十分な樹脂流れを有するプリプレグを用いた場合でも、プリプレグの樹脂がキャビティ内に流れ込むのを抑制することが可能であり、かつ、キャビティを精度よく加工することが可能なキャビティの形成方法が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。   Therefore, conventionally, even when a prepreg having a sufficient resin flow for securing circuit embedding is used, it is possible to suppress the resin of the prepreg from flowing into the cavity, and the cavity can be accurately formed. A method of forming a cavity that can be processed has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

上記特許文献1には、プリプレグの貫通穴内に金属保護層を形成し、熱プレスによる加熱加圧成形後に、この金属保護層をエッチングにより除去する方法が記載されている。この方法では、プリプレグの貫通穴内に形成された金属保護層によって、プリプレグの樹脂がキャビティ内(貫通穴内)に流れ込むのが抑制される。このため、十分な樹脂流れを有するプリプレグを用いることが可能となるので、回路の埋め込み性の低下が抑制される。また、この方法では、プリプレグの貫通穴内に金属保護層が形成されているので、熱プレスによるキャビティの変形が抑制される。したがって、キャビティを精度よく加工することが可能となる。   Patent Document 1 describes a method in which a metal protective layer is formed in a through-hole of a prepreg, and this metal protective layer is removed by etching after hot press molding by hot pressing. In this method, the metal protective layer formed in the through hole of the prepreg suppresses the resin of the prepreg from flowing into the cavity (in the through hole). For this reason, since it becomes possible to use a prepreg having a sufficient resin flow, a decrease in circuit embedding is suppressed. Moreover, in this method, since the metal protective layer is formed in the through hole of the prepreg, deformation of the cavity due to hot pressing is suppressed. Therefore, the cavity can be processed with high accuracy.

特開2005−236194号公報JP 2005-236194 A

しかしながら、上記特許文献1に記載の方法では、プリプレグの貫通穴内に形成される金属保護層はプリプレグと物性が異なるため、熱プレスによる圧力が均等にかからず、積層不良を起こしやすいという不都合がある。このため、特許文献1の方法を用いてキャビティ構造を有するプリント基板を製造した場合、製造されるプリント基板の信頼性が低下するとともに、その製造歩留が低下するという問題点がある。   However, in the method described in Patent Document 1, since the metal protective layer formed in the through hole of the prepreg has different physical properties from the prepreg, the pressure due to the hot press is not evenly applied, and the inconvenience that the stacking failure is likely to occur. is there. For this reason, when the printed circuit board which has a cavity structure using the method of patent document 1 is manufactured, while the reliability of the manufactured printed circuit board falls, the manufacturing yield falls.

また、特許文献1の方法および上記した従来の方法のいずれも、プリプレグにキャビティを形成するための貫通穴を多数設けているため、プリプレグのハンドリング性が悪くなる。このため、プリプレグを積層等する際に、その作業性が低下するという不都合がある。これにより、プリント基板の製造効率が低下するという問題点もある。   Moreover, since both the method of patent document 1 and the above-mentioned conventional method provide many through-holes for forming a cavity in a prepreg, the handleability of a prepreg worsens. For this reason, there is an inconvenience that when the prepreg is laminated, the workability is lowered. Thereby, there also exists a problem that the manufacturing efficiency of a printed circuit board falls.

なお、キャビティ構造を有する基板としては、プリント基板(有機プリント基板)以外に、セラミックス基板も用いられている。このセラミックス基板は、プリント基板に比べて、キャビティ構造を形成し易いという利点があるものの、材質的に脆いため、外部からの荷重による割れや欠けの発生が懸念される。特に、近年では、電子機器の薄型化に伴い、基板も薄型化の方向にあるため、より懸念が大きくなってきている。このため、キャビティ構造を有するプリント基板(有機プリント基板)の要求が高くなってきている。   In addition, as a board | substrate which has a cavity structure, the ceramic substrate is also used besides a printed circuit board (organic printed circuit board). Although this ceramic substrate has an advantage that it is easy to form a cavity structure as compared with a printed circuit board, since it is brittle in material, there is a concern about generation of cracks and chips due to external load. In particular, in recent years, with the thinning of electronic devices, since the substrate is also in the direction of thinning, there is a greater concern. For this reason, the request | requirement of the printed circuit board (organic printed circuit board) which has a cavity structure is increasing.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、キャビティを精度よく加工することが可能であり、かつ、製造歩留および製造効率を向上させることが可能な有機プリント基板の製造方法を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and one object of the present invention is to be able to process a cavity with high accuracy, and to improve manufacturing yield and manufacturing efficiency. It is providing the manufacturing method of the organic printed circuit board which can be made to do.

この発明のもう1つ目的は、精度よくキャビティが形成された信頼性の高い有機プリント基板を提供することである。   Another object of the present invention is to provide a highly reliable organic printed circuit board in which a cavity is accurately formed.

この発明のさらにもう1つの目的は、信頼性の高い高周波モジュールを提供することである。   Yet another object of the present invention is to provide a high-frequency module with high reliability.

上記目的を達成するために、この発明の第1の局面による有機プリント基板の製造方法は、絶縁性の第1樹脂層の主面上に絶縁性の第2樹脂層を積層する積層工程と、第2樹脂層の所定部分を除去することによって、凹状のキャビティを形成するキャビティ形成工程とを備えている。そして、上記積層工程は、第1樹脂層と第2樹脂層との間に離型部材を配する工程を含み、上記キャビティ形成工程は、第2樹脂層における離型部材と対応する部分を除去することにより、第2樹脂層にキャビティの側壁部を形成する工程と、離型部材を除去することにより、第1樹脂層における離型部材が配されていた部分に、キャビティの底面部を形成する工程とを含む。なお、本発明の第1樹脂層は、樹脂基板を含む。   In order to achieve the above object, an organic printed circuit board manufacturing method according to a first aspect of the present invention includes a laminating step of laminating an insulating second resin layer on a main surface of an insulating first resin layer; A cavity forming step of forming a concave cavity by removing a predetermined portion of the second resin layer. The laminating step includes a step of arranging a release member between the first resin layer and the second resin layer, and the cavity forming step removes a portion corresponding to the release member in the second resin layer. Forming the cavity side wall in the second resin layer, and removing the release member to form the bottom surface of the cavity in the portion of the first resin layer where the release member was disposed. Including the step of. The first resin layer of the present invention includes a resin substrate.

この第1の局面による有機プリント基板の製造方法では、上記のように、第1樹脂層の主面上に第2樹脂層を積層した後、第2樹脂層における離型部材と対応する部分を除去することにより凹状のキャビティを形成することによって、積層工程の後にキャビティが形成されるので、キャビティ形成後のキャビティの変形を抑制することができる。また、第2樹脂層における離型部材と対応する部分を除去することによって、第2樹脂層にキャビティの側壁部が形成されるので、キャビティの側壁部がフラットになるように樹脂流れを制御する必要もない。さらに、第1樹脂層と第2樹脂層との間に離型部材を配することによって、離型部材が配されている部分では、第1樹脂層と第2樹脂層とは接着されないので、第2樹脂層における離型部材と対応する部分を容易に除去することができる。これにより、キャビティの底面部を容易に形成することができる。したがって、上記のように構成することによって、キャビティを精度よく加工(形成)することができる。   In the method for manufacturing an organic printed circuit board according to the first aspect, as described above, after the second resin layer is laminated on the main surface of the first resin layer, a portion corresponding to the release member in the second resin layer is formed. By forming the concave cavity by removing the cavity, the cavity is formed after the stacking process, so that deformation of the cavity after the cavity formation can be suppressed. Further, by removing the portion corresponding to the release member in the second resin layer, the side wall portion of the cavity is formed in the second resin layer, so that the resin flow is controlled so that the side wall portion of the cavity becomes flat. There is no need. Furthermore, by arranging the release member between the first resin layer and the second resin layer, the first resin layer and the second resin layer are not bonded in the portion where the release member is arranged. The part corresponding to the release member in the second resin layer can be easily removed. Thereby, the bottom face part of a cavity can be formed easily. Therefore, by configuring as described above, the cavity can be processed (formed) with high accuracy.

また、第1の局面では、第1樹脂層の主面上に第2樹脂層を積層した後に凹状のキャビティを形成することによって、十分な樹脂流れを有する樹脂層(第2樹脂層)を第1樹脂層の主面上に積層することができる。このため、第1樹脂層と第2樹脂層との接着性の低下を抑制することができるとともに、回路(配線層)の埋め込み性を向上させることができる。これにより、絶縁信頼性などの信頼性を向上させることができる。   Further, in the first aspect, by forming a concave cavity after laminating the second resin layer on the main surface of the first resin layer, a resin layer having a sufficient resin flow (second resin layer) is formed. It can laminate | stack on the main surface of 1 resin layer. For this reason, while being able to suppress the fall of the adhesiveness of a 1st resin layer and a 2nd resin layer, the embedding property of a circuit (wiring layer) can be improved. Thereby, reliability, such as insulation reliability, can be improved.

また、第1の局面では、第1樹脂層の主面上に、離型部材を覆うように第2樹脂層が積層されるので、熱プレスによる加熱加圧成形によって積層を行った場合でも、第2樹脂層に均等に圧力をかけることができる。このため、積層不良の発生を抑制することができるので、有機プリント基板の製造歩留を向上させることができる。また、製造される有機プリント基板の信頼性を向上させることもできる。   Further, in the first aspect, since the second resin layer is laminated on the main surface of the first resin layer so as to cover the release member, even when the lamination is performed by heat and pressure molding by hot press, Pressure can be applied evenly to the second resin layer. For this reason, since generation | occurrence | production of a stacking fault can be suppressed, the manufacture yield of an organic printed circuit board can be improved. Moreover, the reliability of the manufactured organic printed circuit board can also be improved.

さらに、第1の局面では、第2樹脂層の積層時に、第2樹脂層にはキャビティを形成するための貫通穴が設けられていないので、ハンドリング性が悪くなるという不都合が生じない。このため、積層等の作業において、その作業性を向上させることができるので、有機プリント基板の製造効率を向上させることができる。   Furthermore, in the first aspect, when the second resin layer is laminated, the second resin layer is not provided with a through hole for forming a cavity, so that there is no inconvenience that handling properties are deteriorated. For this reason, since workability | operativity can be improved in operations, such as lamination | stacking, the manufacturing efficiency of an organic printed circuit board can be improved.

なお、上記第1の局面による方法を用いることによって、両面にキャビティが形成された有機プリント基板を作製することができる。   In addition, the organic printed circuit board by which the cavity was formed in both surfaces is producible by using the method by the said 1st aspect.

上記第1の局面による有機プリント基板の製造方法において、離型部材を、キャビティと同じ外形サイズに形成するのが好ましい。   In the method for manufacturing an organic printed circuit board according to the first aspect, it is preferable that the release member is formed in the same outer size as the cavity.

上記第1の局面による有機プリント基板の製造方法において、好ましくは、キャビティの側壁部を形成する工程は、レーザを用いて、第2樹脂層における離型部材と対応する部分を切断する工程を有し、積層工程に先立って、第1樹脂層の主面におけるレーザ光が照射される部分に、金属層を形成する工程をさらに備えている。このように構成すれば、レーザにより、第2樹脂層をフラットに切断することができるので、第2樹脂層に形成されるキャビティの側壁部を平坦に形成することができる。また、レーザを用いることによって、第2樹脂層における離型部材と対応する部分を精度よく切断することができる。さらに、第1樹脂層の主面におけるレーザ光が照射される部分に金属層を形成しておくことによって、この金属層を加工しないようにレーザの条件を設定しておけば、レーザは金属層を貫通して切断することはないので、レーザ加工における深さ方向(厚み方向)の制御を容易に行うことができる。これにより、キャビティの加工時における深さ方向(厚み方向)の加工精度を向上させることができる。したがって、上記のように構成することにより、容易に、キャビティの加工精度を向上させることができる。   In the method of manufacturing an organic printed circuit board according to the first aspect, preferably, the step of forming the side wall portion of the cavity includes a step of cutting a portion corresponding to the release member in the second resin layer using a laser. In addition, prior to the stacking step, the method further includes a step of forming a metal layer on a portion of the main surface of the first resin layer that is irradiated with the laser light. If comprised in this way, since the 2nd resin layer can be cut | disconnected flat by a laser, the side wall part of the cavity formed in a 2nd resin layer can be formed flat. Moreover, by using a laser, the part corresponding to the release member in the second resin layer can be cut with high accuracy. Further, by forming a metal layer on the main surface of the first resin layer where the laser beam is irradiated, if the laser conditions are set so as not to process the metal layer, the laser will be the metal layer. Therefore, control in the depth direction (thickness direction) in laser processing can be easily performed. Thereby, the processing precision of the depth direction (thickness direction) at the time of the process of a cavity can be improved. Therefore, by configuring as described above, the processing accuracy of the cavity can be easily improved.

上記第1の局面による有機プリント基板の製造方法において、第2樹脂層は、絶縁性の接着シートからなり、接着シートを第1樹脂層上に積層する前に、接着シートにおけるキャビティの外形となる部分の一部を切り抜く工程をさらに備え、キャビティの側壁部を形成する工程は、レーザを用いて、接着シートにおけるキャビティの外形となる部分の切り抜かれていない部分を切断する工程を有しているのが好ましい。   In the method for manufacturing an organic printed circuit board according to the first aspect, the second resin layer is made of an insulating adhesive sheet, and becomes an outer shape of a cavity in the adhesive sheet before the adhesive sheet is laminated on the first resin layer. The step of cutting out a part of the portion is further provided, and the step of forming the side wall portion of the cavity includes a step of cutting an uncut portion of the portion that becomes the outer shape of the cavity in the adhesive sheet using a laser. Is preferred.

この場合において、接着シートの一部を切り抜く工程は、接着シートにおけるキャビティの外形となる部分の四隅以外を切り抜く工程を有しているのが好ましい。   In this case, it is preferable that the step of cutting out a part of the adhesive sheet includes a step of cutting out portions other than the four corners of the portion that is the outer shape of the cavity in the adhesive sheet.

上記第2樹脂層が絶縁性の接着シートからなる場合において、好ましくは、接着シートを積層する工程に先立って、第1樹脂層の主面におけるレーザ光が照射される部分に、金属層を形成する工程を備えている。このように構成すれば、金属層の一部が途切れた状態となるので、第1樹脂層の主面に回路(配線層)を形成する際に、この途切れた部分を介して、金属層の内側の領域から金属層の外側の領域に、回路(配線層)を引き回すことができる。このため、回路(配線層)の引き回し自由度を向上させることができる。なお、接着シートにおけるキャビティの外形となる部分の四隅以外を切り抜けば、金属層は、キャビティの外形となる部分の四隅に形成することになるので、四隅以外の部分を介して、回路(配線層)を引き回すことができる。この場合、回路(配線層)の引き回し自由度をより向上させることができる。   In the case where the second resin layer is made of an insulating adhesive sheet, preferably, prior to the step of laminating the adhesive sheet, a metal layer is formed on a portion irradiated with laser light on the main surface of the first resin layer. The process to do is provided. If comprised in this way, since it will be in the state in which a part of metal layer interrupted, when forming a circuit (wiring layer) in the main surface of the 1st resin layer, via this interrupted part, A circuit (wiring layer) can be routed from the inner region to the outer region of the metal layer. For this reason, the freedom degree of routing of a circuit (wiring layer) can be improved. The metal layer is formed at the four corners of the cavity, if it cuts through the corners other than the four corners of the cavity in the adhesive sheet. ) Can be routed. In this case, the degree of freedom for routing the circuit (wiring layer) can be further improved.

上記第1の局面による有機プリント基板の製造方法において、好ましくは、第1樹脂層および第2樹脂層を連続して貫通する貫通スルーホールを形成する工程と、第1樹脂層におけるキャビティが形成される側と反対側の主面上に、ビルドアップ層を形成する工程とをさらに備えている。このように構成すれば、有機プリント基板におけるビルドアップ層が形成された面(キャビティが形成される側と反対側の面)の全面を、電子部品の実装面とすることができるので、電子部品の実装密度を高めることができる。このため、このような製造方法により得られた有機プリント基板を用いて高周波モジュールを形成すれば、高周波モジュールの小型化を図ることができる。   In the method of manufacturing an organic printed circuit board according to the first aspect, preferably, a step of forming a through hole that continuously penetrates the first resin layer and the second resin layer, and a cavity in the first resin layer are formed. And a step of forming a build-up layer on the main surface on the opposite side to the first side. If comprised in this way, since the whole surface (surface on the opposite side to the side in which a cavity is formed) in which the buildup layer was formed in an organic printed circuit board can be used as a mounting surface of an electronic component, an electronic component The mounting density can be increased. For this reason, if a high frequency module is formed using the organic printed circuit board obtained by such a manufacturing method, size reduction of a high frequency module can be achieved.

また、この場合において、好ましくは、第1樹脂層上に第2樹脂層が積層された積層体をワークとし、枠状のシート部材を介して、2つのワークを、キャビティが形成される面側が互いに対向するように貼り合わせる工程と、張り合わされたワークの外表面上に、ビルドアップ層を形成する工程と、張り合わされたワークの貼り合わせ部を切断することにより、2つのワークに分離する工程とをさらに備えている。このように構成すれば、ビルドアップ層を効率よく形成することができるので、有機プリント基板の製造効率を容易に向上させることができる。   Further, in this case, preferably, the laminate in which the second resin layer is laminated on the first resin layer is a workpiece, and the two workpieces are arranged on the surface side where the cavity is formed via the frame-shaped sheet member. A step of bonding so as to face each other, a step of forming a build-up layer on the outer surface of the bonded workpieces, and a step of separating the bonded workpieces by cutting the bonded portion of the bonded workpieces And further. If comprised in this way, since a buildup layer can be formed efficiently, the manufacturing efficiency of an organic printed circuit board can be improved easily.

この発明の第2の局面による有機プリント基板は、主面上に金属層が形成された絶縁性の第1樹脂層と、第1樹脂層の主面上に形成された絶縁性の第2樹脂層と、第2樹脂層の所定部分が除去されることによって形成された凹状のキャビティとを備えている。そして、上記キャビティは、第1樹脂層に形成された底面部と、第2樹脂層に形成された側壁部とを含んでおり、上記金属層は、キャビティの側壁部の根元部に位置するようにパターニングされている。なお、本発明の第1樹脂層は、樹脂基板を含む。   An organic printed circuit board according to a second aspect of the present invention includes an insulating first resin layer in which a metal layer is formed on a main surface, and an insulating second resin formed on the main surface of the first resin layer. And a concave cavity formed by removing a predetermined portion of the second resin layer. The cavity includes a bottom surface portion formed in the first resin layer and a side wall portion formed in the second resin layer, and the metal layer is positioned at a root portion of the side wall portion of the cavity. It is patterned. The first resin layer of the present invention includes a resin substrate.

この第2の局面による有機プリント基板では、上記のように構成することによって、第1樹脂層の主面上に第2樹脂層を積層した後に、レーザを用いて、第2樹脂層にキャビティの側壁部を形成することができる。また、上記金属層を、キャビティの側壁部の根元部に位置するようにパターニングすることによって、レーザの深さ方向(厚み方向)の制御を容易に行うことができる。これにより、精度よくキャビティが形成された有機プリント基板を得ることができる。   In the organic printed circuit board according to the second aspect, by configuring as described above, after laminating the second resin layer on the main surface of the first resin layer, using the laser, the cavity is formed in the second resin layer. Sidewall portions can be formed. Further, by patterning the metal layer so as to be located at the root portion of the side wall portion of the cavity, the laser depth direction (thickness direction) can be easily controlled. Thereby, the organic printed circuit board in which the cavity was accurately formed can be obtained.

また、第2の局面では、上記のように構成することによって、第1樹脂層の主面上に第2樹脂層を積層した後に、凹状のキャビティを形成することができるので、積層不良の発生を抑制することができる。これにより、有機プリント基板の信頼性を向上させることができる。また、このように構成すれば、十分な樹脂流れを有する樹脂層(第2樹脂層)を第1樹脂層の主面上に積層することができるので、第1樹脂層と第2樹脂層との接着性の低下を抑制することができる。このため、第1樹脂層と第2樹脂層との接着性の低下を抑制することができるとともに、回路(配線層)の埋め込み性を向上させることができる。これにより、絶縁信頼性を向上させることができる。したがって、上記のように構成することにより、信頼性の高い有機プリント基板を得ることができる。   Further, in the second aspect, by configuring as described above, a concave cavity can be formed after laminating the second resin layer on the main surface of the first resin layer. Can be suppressed. Thereby, the reliability of an organic printed circuit board can be improved. In addition, since the resin layer (second resin layer) having a sufficient resin flow can be laminated on the main surface of the first resin layer, the first resin layer and the second resin layer can be laminated. It is possible to suppress a decrease in adhesiveness. For this reason, while being able to suppress the fall of the adhesiveness of a 1st resin layer and a 2nd resin layer, the embedding property of a circuit (wiring layer) can be improved. Thereby, insulation reliability can be improved. Therefore, a highly reliable organic printed circuit board can be obtained by comprising as mentioned above.

なお、上記のように構成された第2の局面による有機プリント基板は、上記第1の局面による製造方法を用いて作製することができる。   In addition, the organic printed circuit board by the 2nd aspect comprised as mentioned above can be produced using the manufacturing method by the said 1st aspect.

上記第2の局面による有機プリント基板において、好ましくは、金属層は、側壁部の根元部の一部に形成されている。このように構成すれば、第1樹脂層の主面に回路(配線層)を形成する際に、金属層の内側の領域(キャビティの底面部)から金属層の外側の領域に、回路(配線層)を引き回すことができるので、回路(配線層)の引き回し自由度を向上させることができる。   In the organic printed circuit board according to the second aspect, preferably, the metal layer is formed on a part of the root portion of the side wall portion. With this configuration, when forming a circuit (wiring layer) on the main surface of the first resin layer, a circuit (wiring) is formed from the inner region of the metal layer (the bottom surface of the cavity) to the outer region of the metal layer. Layer) can be routed, the degree of freedom of routing of the circuit (wiring layer) can be improved.

上記第2の局面による有機プリント基板において、好ましくは、金属層は、側壁部の根元部の一部であって、キャビティの四隅の位置に形成されている。このように構成すれば、回路(配線層)の引き回し自由度をより向上させることができる。   In the organic printed circuit board according to the second aspect, preferably, the metal layer is a part of the base portion of the side wall portion and is formed at the four corner positions of the cavity. If comprised in this way, the routing freedom degree of a circuit (wiring layer) can be improved more.

上記第2の局面による有機プリント基板において、好ましくは、第1樹脂層における第2樹脂層が形成されている面と反対側の面上には、ビルドアップ層が形成されている。このように構成すれば、有機プリント基板におけるビルドアップ層が形成された面(キャビティが形成される側と反対側の面)の全面を、電子部品の実装面とすることができるので、電子部品の実装密度を高めることができる。   In the organic printed circuit board according to the second aspect, a buildup layer is preferably formed on the surface of the first resin layer opposite to the surface on which the second resin layer is formed. If comprised in this way, since the whole surface (surface on the opposite side to the side in which a cavity is formed) in which the buildup layer was formed in an organic printed circuit board can be used as a mounting surface of an electronic component, an electronic component The mounting density can be increased.

この発明の第3の局面による高周波モジュールは、上記第1の局面による製造方法を用いて作製された有機プリント基板と、この有機プリント基板のキャビティ内に形成されたデジタル回路部と、有機プリント基板のキャビティとは反対側の主面側に形成されたアナログ回路部とを備えている。   A high-frequency module according to a third aspect of the present invention includes an organic printed circuit board manufactured using the manufacturing method according to the first aspect, a digital circuit portion formed in a cavity of the organic printed circuit board, and an organic printed circuit board. And an analog circuit portion formed on the main surface side opposite to the cavity.

この第3の局面による高周波モジュールでは、上記第1の局面による製造方法を用いて作製された有機プリント基板を用いることによって、信頼性の高い高周波モジュールを得ることができる。なお、キャビティ構造を有する上記有機プリント基板を用いて高周波モジュールを構成することにより、セラミックス基板を用いる場合に比べて、欠けや割れの発生を効果的に抑制することができる。   In the high-frequency module according to the third aspect, a high-reliability high-frequency module can be obtained by using the organic printed circuit board manufactured using the manufacturing method according to the first aspect. In addition, by forming a high-frequency module using the organic printed circuit board having a cavity structure, it is possible to effectively suppress the occurrence of chipping and cracking compared to the case of using a ceramic substrate.

この発明の第4の局面による高周波モジュールは、上記第1の局面による製造方法を用いて作製された有機プリント基板と、この有機プリント基板に形成されるデジタル回路部およびアナログ回路部と、有機プリント基板に取り付けられたシールド効果を有する金属板とを備えている。そして、上記有機プリント基板は、その両面にキャビティが形成されており、デジタル回路部は、有機プリント基板の一方面側のキャビティ内に形成されているとともに、アナログ回路部は、有機プリント基板の他方面側のキャビティ内に形成されており、金属板は、アナログ回路部が形成されたキャビティを覆うように取り付けられている。   A high-frequency module according to a fourth aspect of the present invention includes an organic printed circuit board produced using the manufacturing method according to the first aspect, a digital circuit section and an analog circuit section formed on the organic printed circuit board, and an organic printed circuit board. And a metal plate having a shielding effect attached to the substrate. The organic printed circuit board has cavities formed on both sides thereof, the digital circuit unit is formed in the cavity on one side of the organic printed circuit board, and the analog circuit unit is not only the organic printed circuit board. The metal plate is attached to cover the cavity in which the analog circuit portion is formed.

この第4の局面による高周波モジュールでは、上記第1の局面による製造方法を用いて作製された有機プリント基板を用いることによって、信頼性の高い高周波モジュールを得ることができる。また、アナログ回路部が形成されたキャビティを覆うように、シールド効果を有する金属板を取り付けることによって、シールド効果を有する高周波モジュールを容易に形成することができる。なお、キャビティ構造を有する上記有機プリント基板を用いて高周波モジュールを構成することにより、セラミックス基板を用いる場合に比べて、欠けや割れの発生を効果的に抑制することができる。   In the high-frequency module according to the fourth aspect, a high-reliability high-frequency module can be obtained by using the organic printed circuit board manufactured using the manufacturing method according to the first aspect. Moreover, the high frequency module which has a shield effect can be easily formed by attaching the metal plate which has a shield effect so that the cavity in which the analog circuit part was formed may be covered. In addition, by forming a high-frequency module using the organic printed circuit board having a cavity structure, it is possible to effectively suppress the occurrence of chipping and cracking compared to the case of using a ceramic substrate.

上記第3および第4の局面による高周波モジュールにおいて、好ましくは、有機プリント基板は、デジタル回路部とアナログ回路部との間に形成されたグランド層を有している。このように構成すれば、高周波モジュールのノイズ対策を容易に行うことができるので、これによっても、信頼性を高めることができる。   In the high-frequency module according to the third and fourth aspects, the organic printed board preferably has a ground layer formed between the digital circuit portion and the analog circuit portion. If comprised in this way, since the noise countermeasure of a high frequency module can be performed easily, reliability can be improved also by this.

以上のように、本発明によれば、キャビティを精度よく加工することが可能であり、かつ、製造歩留および製造効率を向上させることが可能な有機プリント基板の製造方法を容易に得ることができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to easily obtain a method for manufacturing an organic printed circuit board capable of accurately processing a cavity and improving manufacturing yield and manufacturing efficiency. it can.

また、本発明によれば、精度良くキャビティが形成された信頼性の高い有機プリント基板を容易に得ることができる。   In addition, according to the present invention, a highly reliable organic printed circuit board in which cavities are accurately formed can be easily obtained.

さらに、本発明によれば、信頼性の高い高周波モジュールを容易に得ることができる。   Furthermore, according to the present invention, a highly reliable high frequency module can be easily obtained.

本発明の第1実施形態による有機プリント基板の構造を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the structure of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板をキャビティ側から見た平面図である。It is the top view which looked at the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention from the cavity side. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールの斜視図である。It is a perspective view of the high frequency module using the organic printed circuit board by a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールの断面図である。It is sectional drawing of the high frequency module using the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールをキャビティの反対側から見た平面図(シールドケースを取り除いた状態の図)である。It is the top view (figure of the state where the shield case was removed) which looked at the high frequency module using the organic printed circuit board by a 1st embodiment of the present invention from the opposite side of a cavity. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールの動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the high frequency module using the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 1st Embodiment of this invention. 第1実施形態の変形例による有機プリント基板の構造を説明するための平面図(キャビティを上側から見た図)である。It is a top view (figure which looked at the cavity from the upper part) for demonstrating the structure of the organic printed circuit board by the modification of 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例による有機プリント基板の製造方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by the modification of 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例による有機プリント基板の製造方法を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by the modification of 1st Embodiment. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の構造を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the structure of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールの斜視図である。It is a perspective view of the high frequency module using the organic printed circuit board by a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールの断面図である。It is sectional drawing of the high frequency module using the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板を用いた高周波モジュールの平面図(アナログ回路が形成されているキャビティを上側から見た図)である。It is a top view (figure which looked at the cavity in which the analog circuit is formed from the upper side) of the high frequency module using the organic printed circuit board by a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による有機プリント基板の製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the organic printed circuit board by 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments embodying the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1実施形態)
まず、図1〜図5を参照して、本発明の第1実施形態による有機プリント基板50およびそれを用いた高周波モジュール100について説明する。
(First embodiment)
First, with reference to FIGS. 1-5, the organic printed circuit board 50 by 1st Embodiment of this invention and the high frequency module 100 using the same are demonstrated.

第1実施形態による有機プリント基板50は、図1に示すように、一方の主面側に、電子部品(図示せず)を収容するための凹状のキャビティ10が形成されている。すなわち、第1実施形態の有機プリント基板50は、片面にキャビティ構造を有する多層配線板からなる。   As shown in FIG. 1, the organic printed circuit board 50 according to the first embodiment has a concave cavity 10 for housing an electronic component (not shown) on one main surface side. That is, the organic printed circuit board 50 of the first embodiment is composed of a multilayer wiring board having a cavity structure on one side.

また、有機プリント基板50は、上記キャビティ10が形成されるキャビティ部材20を含んでいる。このキャビティ部材20の具体的な構造は、絶縁性のコア基材21の両方の主面上に、それぞれ、所定のパターンに形成された銅(Cu)からなる配線層22(22aおよび22b)が形成されている。また、コア基材21の両方の主面上には、配線層22を覆うように、所定の厚み(たとえば、約0.3mm)を有する絶縁性の樹脂層23(23aおよび23b)がそれぞれ形成されている。この樹脂層23の主面上には、それぞれ、銅(Cu)からなる配線層24(24aおよび24b)が形成されている。なお、コア基材21は、本発明の「第1樹脂層」の一例であり、樹脂層23a(23)は、本発明の「第2樹脂層」の一例である。   The organic printed circuit board 50 includes a cavity member 20 in which the cavity 10 is formed. A specific structure of the cavity member 20 is that the wiring layers 22 (22a and 22b) made of copper (Cu) formed in a predetermined pattern are formed on both main surfaces of the insulating core base material 21, respectively. Is formed. Insulating resin layers 23 (23a and 23b) having a predetermined thickness (for example, about 0.3 mm) are formed on both main surfaces of the core base material 21 so as to cover the wiring layer 22, respectively. Has been. On the main surface of the resin layer 23, wiring layers 24 (24a and 24b) made of copper (Cu) are formed. The core base material 21 is an example of the “first resin layer” in the present invention, and the resin layer 23a (23) is an example of the “second resin layer” in the present invention.

また、キャビティ部材20の所定部分には、厚み方向に貫通する貫通スルーホール25が形成されている。この貫通スルーホール25は、その内面に、銅メッキによるスルーホールメッキ層25aが形成されている。なお、上記貫通スルーホール25は、穴径φ0.2mm、スルーホールランド最小φ0.35mm程度に形成されているのが好ましい。また、貫通スルーホール25の内部は、層の均一性を保持するために、導電性または絶縁性の樹脂26が埋め込まれている。さらに、配線層24(24aおよび24b)上には、銅メッキ層27が形成されている。そして、各層の配線層が、上記貫通スルーホール25などを介して、互いに電気的に接続(層間接続)されている。   Further, a through through hole 25 penetrating in the thickness direction is formed in a predetermined portion of the cavity member 20. This through-hole 25 has a through-hole plating layer 25a formed by copper plating on the inner surface thereof. The through-hole 25 is preferably formed with a hole diameter of 0.2 mm and a through-hole land minimum of 0.35 mm. Further, in the through through hole 25, a conductive or insulating resin 26 is embedded in order to maintain the uniformity of the layer. Further, a copper plating layer 27 is formed on the wiring layer 24 (24a and 24b). The wiring layers in each layer are electrically connected (interlayer connection) to each other through the through-through hole 25 and the like.

また、キャビティ部材20の一方の主面側には、上記した凹状のキャビティ10が形成されている。このキャビティ10は、側壁部11と底面部12とを含んでおり、図2に示すように、平面的に見て、略矩形状に形成されている。   Further, the concave cavity 10 described above is formed on one main surface side of the cavity member 20. The cavity 10 includes a side wall portion 11 and a bottom surface portion 12, and is formed in a substantially rectangular shape as seen in a plan view as shown in FIG.

ここで、第1実施形態では、上記キャビティ10は、コア基材21の主面上に樹脂層23(23a)が積層された後、この樹脂層23aの所定部分がレーザによって除去されることにより形成されている。このため、図1に示すように、コア基材21の主面にキャビティ10の底面部12が形成されているとともに、コア基材21上に形成された樹脂層23aにキャビティ10の側壁部11が形成されている。   Here, in the first embodiment, the cavity 10 is formed by laminating a resin layer 23 (23a) on the main surface of the core base material 21, and then removing a predetermined portion of the resin layer 23a by a laser. Is formed. Therefore, as shown in FIG. 1, the bottom surface portion 12 of the cavity 10 is formed on the main surface of the core base material 21, and the side wall portion 11 of the cavity 10 is formed on the resin layer 23 a formed on the core base material 21. Is formed.

また、第1実施形態では、図1および図2に示すように、コア基材21の一方の主面上には、キャビティ10の側壁部11の根元部(レーザ光が照射される部分)に位置するように、銅層22cが線状にパターニングされている。この銅層22cは、図2に示すように、平面的に見て、キャビティ10の側壁部11に沿った環状(キャビティ10の縁の全周)に形成されているとともに、キャビティ10の外形と略同じ大きさに構成されている。なお、銅層22cの線幅は、0.2mm程度である。また、銅層22cは、本発明の「金属層」の一例である。   Moreover, in 1st Embodiment, as shown in FIG.1 and FIG.2, on the one main surface of the core base material 21, the root part (part irradiated with a laser beam) of the side wall part 11 of the cavity 10 is provided. The copper layer 22c is patterned linearly so as to be positioned. As shown in FIG. 2, the copper layer 22 c is formed in an annular shape (the entire circumference of the edge of the cavity 10) along the side wall portion 11 of the cavity 10 as viewed in a plan view. It is comprised by the substantially same magnitude | size. The line width of the copper layer 22c is about 0.2 mm. The copper layer 22c is an example of the “metal layer” in the present invention.

また、上記キャビティ10は、その内部に所望の電子部品を所望の向きで実装した後、樹脂埋めをすることが可能な大きさ、および、深さに形成されている。キャビティ10の深さは、樹脂層23(23a)の厚みによって調整することができる。また、キャビティ10の底面部12(コア基材21の主面上)には、キャビティ内部に実装される電子部品と電気的に接続される実装用端子22d(配線層)が形成されている。   The cavity 10 is formed to have such a size and depth that a resin can be filled after a desired electronic component is mounted in a desired direction. The depth of the cavity 10 can be adjusted by the thickness of the resin layer 23 (23a). A mounting terminal 22d (wiring layer) that is electrically connected to an electronic component mounted inside the cavity is formed on the bottom surface 12 of the cavity 10 (on the main surface of the core substrate 21).

また、キャビティ部材20の他方の主面(キャビティ10と反対側の面)上には、ビルドアップ層30が形成されている。そして、このビルドアップ層30の最外表面が、電子部品が実装される実装面31となっている。この実装面31は、ビルドアップ層30によって形成されているため、実装面31には、貫通スルーホールやスルーホールランドを形成する必要がない。このため、実装面31の全面を部品実装に使用することが可能となる。これにより、電子部品の実装密度が高められる。また、このような有機プリント基板50を用いて高周波モジュールを作製すれば、モジュールの小型化を図ることが可能となる。   A buildup layer 30 is formed on the other main surface (surface opposite to the cavity 10) of the cavity member 20. The outermost surface of the buildup layer 30 is a mounting surface 31 on which electronic components are mounted. Since the mounting surface 31 is formed by the build-up layer 30, it is not necessary to form a through-through hole or a through-hole land on the mounting surface 31. Therefore, the entire mounting surface 31 can be used for component mounting. Thereby, the mounting density of an electronic component is raised. Moreover, if a high frequency module is produced using such an organic printed circuit board 50, it becomes possible to reduce the size of the module.

なお、上記有機プリント基板50の内層には、グランド層40が形成されている。また、有機プリント基板50の積層層数は、必要に応じて上記以外の層数に変更することが可能である。   A ground layer 40 is formed on the inner layer of the organic printed circuit board 50. Moreover, the number of laminated layers of the organic printed circuit board 50 can be changed to the number of layers other than the above as needed.

第1実施形態による高周波モジュール100は、図3および図4に示すように、上記した有機プリント基板50に電子部品60が実装されることによって構成されており、1セグモジュール(地上デジタルテレビ1セグメント放送受信用モジュール)として機能する。   As shown in FIGS. 3 and 4, the high-frequency module 100 according to the first embodiment is configured by mounting an electronic component 60 on the organic printed circuit board 50 described above. Function as a broadcast receiving module).

具体的には、有機プリント基板50のキャビティ10の内部に、デジタルIC61(60)が実装されている。このデジタルIC61は、OFDM復調ICからなり、ボンディングワイヤ70を介して、実装用端子22d(図2参照)と電気的に接続されている。そして、デジタルIC61およびボンディングワイヤ70を保護するために、キャビティ10内に封止樹脂が充填されている。このため、デジタルIC61およびボンディングワイヤ70が、封止樹脂層71によって樹脂封止されている。また、有機プリント基板50の実装面31には、RF−IC(チューナIC)からなるアナログIC62(60)、バンドパスフィルタ63(60)、水晶発振子64(60)および受動部品65(60)(抵抗素子、キャパシタ素子、インダクタ素子など)などが表面実装されている。   Specifically, a digital IC 61 (60) is mounted inside the cavity 10 of the organic printed circuit board 50. The digital IC 61 is composed of an OFDM demodulating IC and is electrically connected to the mounting terminal 22d (see FIG. 2) via a bonding wire 70. In order to protect the digital IC 61 and the bonding wire 70, the cavity 10 is filled with a sealing resin. Therefore, the digital IC 61 and the bonding wire 70 are resin-sealed by the sealing resin layer 71. Further, on the mounting surface 31 of the organic printed circuit board 50, an analog IC 62 (60) made of RF-IC (tuner IC), a bandpass filter 63 (60), a crystal oscillator 64 (60), and a passive component 65 (60). (Resistance element, capacitor element, inductor element, etc.) are surface-mounted.

また、キャビティ10の内部にデジタルIC61が実装されることによって、有機プリント基板50の一方の主面側(キャビティ10が形成されている面側)にデジタル回路80(デジタル回路部)が形成されている。一方、実装面31にアナログIC62、バンドパスフィルタ63、水晶発振子64および受動部品65が実装されることによって、有機プリント基板50の他方の主面側(キャビティ10が形成されている面と反対の面側)にアナログ回路85(アナログ回路部)が形成されている。また、デジタル回路80とアナログ回路85との間には、上記グランド層40が配置されており、これら両回路(デジタル回路80およびアナログ回路85)が、グランド層40と電気的に接続されている。   In addition, by mounting the digital IC 61 inside the cavity 10, a digital circuit 80 (digital circuit portion) is formed on one main surface side (surface side where the cavity 10 is formed) of the organic printed circuit board 50. Yes. On the other hand, by mounting the analog IC 62, the bandpass filter 63, the crystal oscillator 64, and the passive component 65 on the mounting surface 31, the other main surface side of the organic printed circuit board 50 (opposite to the surface on which the cavity 10 is formed). An analog circuit 85 (analog circuit portion) is formed on the surface side of the substrate. The ground layer 40 is disposed between the digital circuit 80 and the analog circuit 85, and both the circuits (the digital circuit 80 and the analog circuit 85) are electrically connected to the ground layer 40. .

上記のように、第1実施形態による高周波モジュール100は、チューナとして動作させるための主要部品(RF−IC62(アナログIC62)、OFDM復調IC61(デジタルIC61)、バンドパスフィルタ63、水晶発振子64(60)など)を全て内蔵している。   As described above, the high-frequency module 100 according to the first embodiment includes the main components (RF-IC 62 (analog IC 62), OFDM demodulator IC 61 (digital IC 61), bandpass filter 63, crystal oscillator 64 ( 60) etc. are all built-in.

また、有機プリント基板50の実装面31には、高周波ノイズなどを遮蔽(シールド)するための金属製のシールドケース90が装着されている。このシールドケース90は、L字状に折り曲げられた3つの半田付け端子91を有している。また、有機プリント基板50の実装面31には、シールドケース90の半田付け端子91に対応したランド(半田付けパッド)32が3カ所に設けられている。そして、このランド32にシールドケース90の半田付け端子91が半田接合されることにより、電子部品60を覆うようにシールドケース90が有機プリント基板50に取り付けられている。   In addition, a metal shield case 90 for shielding (shielding) high-frequency noise and the like is mounted on the mounting surface 31 of the organic printed circuit board 50. The shield case 90 has three solder terminals 91 bent in an L shape. The mounting surface 31 of the organic printed circuit board 50 is provided with lands (soldering pads) 32 corresponding to the soldering terminals 91 of the shield case 90 at three locations. The shield case 90 is attached to the organic printed circuit board 50 so as to cover the electronic component 60 by soldering the solder terminals 91 of the shield case 90 to the lands 32.

なお、第1実施形態による高周波モジュール100は、図5に示すように、平面的に見て、一辺の長さaが約6mmの正方形形状に形成されている。   As shown in FIG. 5, the high-frequency module 100 according to the first embodiment is formed in a square shape having a side length “a” of about 6 mm in plan view.

次に、図6を参照して、第1実施形態による高周波モジュール100の動作について説明する。   Next, the operation of the high-frequency module 100 according to the first embodiment will be described with reference to FIG.

まず、受信入力端子86に入力された受信信号は、受信帯域内の信号を選択するバンドパスフィルタ63を通過した後、RF−IC62に入力される。このRF−IC62は、高周波増幅部(図示せず)、ミキサ(図示せず)、フィルタ(図示せず)および中間周波増幅部(図示せず)を含んでおり、RF−IC62に入力された所定の信号は、高周波増幅部で増幅され、ミキサによって、増幅部からの高周波信号が中間周波信号(IF信号)に変換される。変換されたIF信号は、フィルタによってIF周波数帯域のイメージ妨害信号が除去される。そして、中間周波増幅部で必要な信号レベルまで増幅されて、IF信号として出力される。出力されたIF信号は、OFDM復調IC61に入力され、アナログ−デジタル(A/D)変換された後、デジタル信号処理が行われ、MPEG2−TS(トランスポートストリーム)信号として、デジタル出力端子87に出力される。   First, the reception signal input to the reception input terminal 86 is input to the RF-IC 62 after passing through the band-pass filter 63 that selects a signal within the reception band. The RF-IC 62 includes a high frequency amplifier (not shown), a mixer (not shown), a filter (not shown), and an intermediate frequency amplifier (not shown), and is input to the RF-IC 62. The predetermined signal is amplified by the high frequency amplification unit, and the high frequency signal from the amplification unit is converted into an intermediate frequency signal (IF signal) by the mixer. From the converted IF signal, an image interference signal in the IF frequency band is removed by a filter. Then, the signal is amplified to a necessary signal level by the intermediate frequency amplifier and output as an IF signal. The output IF signal is input to the OFDM demodulating IC 61, subjected to analog-digital (A / D) conversion, and then subjected to digital signal processing to be output to the digital output terminal 87 as an MPEG2-TS (transport stream) signal. Is output.

次に、図1および図7〜図22を参照して、本発明の第1実施形態による有機プリント基板50の製造方法について説明する。   Next, with reference to FIG. 1 and FIGS. 7-22, the manufacturing method of the organic printed circuit board 50 by 1st Embodiment of this invention is demonstrated.

まず、図7に示すように、コア基材21の両面に形成された銅箔(図示せず)をパターニングすることにより、コア基材21の両方の主面上に配線層22(22aおよび22b)を形成する。このとき、図8に示すように、コア基材21の一方の主面上において、キャビティを形成する位置に、形成するキャビティの外形仮想線m(外形となる部分)に沿うように、銅層22cを線状(線幅約0.2mm)にパターニングする。また、銅層22cの内側の領域には、実装用端子22dを形成する。なお、コア基材21には、層間接続のためのスルーホール(図示せず)を形成してもよい。   First, as shown in FIG. 7, the wiring layers 22 (22a and 22b) are formed on both main surfaces of the core substrate 21 by patterning copper foil (not shown) formed on both surfaces of the core substrate 21. ). At this time, as shown in FIG. 8, on one main surface of the core base material 21, the copper layer is formed at the position where the cavity is formed, along the outer imaginary line m (the outer portion) of the cavity to be formed. 22c is patterned into a line shape (line width of about 0.2 mm). In addition, a mounting terminal 22d is formed in a region inside the copper layer 22c. The core base material 21 may be formed with a through hole (not shown) for interlayer connection.

次に、図7に示すように、コア基材21の両方の主面上に、それぞれ、所定の厚みを有するプリプレグ123(123aおよび123b)、および、銅箔124を順に配置する。このプリプレグ123(123a)は、形成するキャビティの深さによって所望の厚みのものを用いることができる。なお、プリプレグ123aは、本発明の「第2樹脂層」および「接着シート」の一例である。   Next, as shown in FIG. 7, prepregs 123 (123 a and 123 b) having a predetermined thickness and copper foil 124 are sequentially arranged on both main surfaces of the core substrate 21. As this prepreg 123 (123a), one having a desired thickness can be used depending on the depth of the cavity to be formed. The prepreg 123a is an example of the “second resin layer” and the “adhesive sheet” in the present invention.

ここで、第1実施形態では、コア基材21の一方の主面上に配置されたプリプレグ123aとコア基材21との間に、形成するキャビティと同じ外形サイズを有する耐熱フィルム110を配しておく。具体的には、まず、プリプレグ123aのコア基材21と対向する面にポリイミドからなる上記耐熱フィルム110を貼り付ける。次に、耐熱フィルム110とコア基材21の銅層22cとが対応するように、このプリプレグ123aをコア基材21の一方の主面上に配置する。なお、耐熱フィルム110は、本発明の「離型部材」の一例である。また、この耐熱フィルム110は、所定の厚み(たとえば、約20μm〜約50μm)のものを使用することができる。   Here, in the first embodiment, the heat-resistant film 110 having the same outer size as the cavity to be formed is arranged between the prepreg 123a arranged on one main surface of the core substrate 21 and the core substrate 21. Keep it. Specifically, first, the heat-resistant film 110 made of polyimide is attached to the surface of the prepreg 123a facing the core substrate 21. Next, the prepreg 123 a is disposed on one main surface of the core base material 21 so that the heat resistant film 110 and the copper layer 22 c of the core base material 21 correspond to each other. The heat-resistant film 110 is an example of the “release member” in the present invention. In addition, the heat resistant film 110 having a predetermined thickness (for example, about 20 μm to about 50 μm) can be used.

続いて、コア基材21の両方の主面上に配置されたプリプレグ123、および、銅箔124を、熱プレスによる加熱加圧成形によって、コア基材21上に積層する。これにより、図9に示すように、コア基材21の両方の主面上に、それぞれ、プリプレグ123aおよび123bからなる樹脂層23aおよび23bが形成される。このとき、プリプレグ123a(樹脂層23a)のキャビティが形成される部分は、耐熱フィルム110によって、コア基材21と接着されていない状態となっている。なお、必要な層数によって、さらに、プリプレグおよび銅箔の積層、銅箔のパターニングを繰り返してもよい。これにより、コア基材21の主面上にプリプレグ123が積層された積層体20aが形成される。   Subsequently, the prepreg 123 and the copper foil 124 arranged on both main surfaces of the core base material 21 are laminated on the core base material 21 by heat and pressure molding by hot pressing. As a result, as shown in FIG. 9, resin layers 23a and 23b made of prepregs 123a and 123b are formed on both main surfaces of the core base material 21, respectively. At this time, the part where the cavity of the prepreg 123a (resin layer 23a) is formed is not bonded to the core base material 21 by the heat-resistant film 110. Depending on the number of layers required, the lamination of the prepreg and the copper foil and the patterning of the copper foil may be repeated. Thereby, the laminated body 20a in which the prepreg 123 is laminated on the main surface of the core base material 21 is formed.

次に、図10に示すように、積層体20aの所定領域(キャビティが形成される領域以外の領域)に、厚み方向に貫通する貫通スルーホール25を形成する。次に、図11に示すように、銅メッキを施すことにより、貫通スルーホール25の内面にスルーホールメッキ層25aを形成する。そして、図12に示すように、貫通スルーホール25の内部に、導電性または絶縁性の樹脂26を埋め込むことにより、積層体20aの主面を平坦にする。続いて、図13に示すように、積層体20aの両方の主面上に、それぞれ、銅メッキ層27を形成する。その後、図14に示すように、銅箔124、メッキ層25aおよび27を所定のパターンにパターニングする。これにより、キャビティ部材20が形成される。   Next, as shown in FIG. 10, a through-through hole 25 penetrating in the thickness direction is formed in a predetermined region (region other than the region where the cavity is formed) of the stacked body 20a. Next, as shown in FIG. 11, a through-hole plating layer 25 a is formed on the inner surface of the through-through hole 25 by performing copper plating. Then, as shown in FIG. 12, the main surface of the stacked body 20 a is flattened by embedding a conductive or insulating resin 26 in the through through hole 25. Subsequently, as shown in FIG. 13, copper plating layers 27 are formed on both main surfaces of the stacked body 20a. Thereafter, as shown in FIG. 14, the copper foil 124 and the plating layers 25a and 27 are patterned into a predetermined pattern. Thereby, the cavity member 20 is formed.

次に、図15〜図17に示すように、このキャビティ部材20(積層体20a)をワーク120として、2つのワーク120を重ねて積層する。具体的には、ワーク120の縁部(捨て部)120a(図16参照)と対応する枠状のプリプレグ(シート部材)111を、2つのワーク120の間に挟む。そして、ワーク120(キャビティ部材20)のキャビティが形成される面同士が互いに対向するようにして(キャビティ形成面が内側となるようにして)、2つのワーク120を積層する(貼り合わせる)。   Next, as shown in FIGS. 15 to 17, the cavity member 20 (laminated body 20 a) is used as a workpiece 120, and two workpieces 120 are stacked and stacked. Specifically, a frame-shaped prepreg (sheet member) 111 corresponding to the edge (discarding portion) 120 a (see FIG. 16) of the workpiece 120 is sandwiched between the two workpieces 120. Then, the two workpieces 120 are stacked (bonded) so that the surfaces of the workpiece 120 (cavity member 20) where the cavities are formed face each other (with the cavity forming surface on the inside).

次に、図18および図19に示すように、積層された2つのワーク120の外表面上に、ビルドアップ層30を必要な層数だけ形成する。   Next, as shown in FIGS. 18 and 19, the build-up layers 30 are formed in the required number of layers on the outer surfaces of the two stacked workpieces 120.

その後、図20に示すように、積層されたワーク120の捨て部(枠状のプリプレグ111によって接着されている部分)をルーターなどで切断し、2つのワーク120に分離する。   After that, as shown in FIG. 20, the discarded portion (the portion bonded by the frame-shaped prepreg 111) of the stacked workpieces 120 is cut with a router or the like and separated into two workpieces 120.

続いて、図21に示すように、分離したワーク120において、ビルドアップ層30が形成されている面とは反対側の面にレーザ光を照射することによって、プリプレグ123a(樹脂層23a)の所定部分を切断する。このとき、レーザ光は、コア基材21の一方の主面上に形成した銅層22c上に照射する。なお、上記レーザには、たとえば、炭酸ガスレーザやUV−YAGレーザなどを用いることができる。また、レーザは、銅層22cを加工しないような条件に設定しておく。これにより、図22に示すように、プリプレグ123a(樹脂層23a)における耐熱フィルム110と対応する部分がレーザによって除去され、ビルドアップ層30が形成されている面とは反対側の面に、凹状のキャビティ10が形成される。   Subsequently, as shown in FIG. 21, in the separated work 120, the surface opposite to the surface on which the buildup layer 30 is formed is irradiated with laser light, whereby a predetermined prepreg 123a (resin layer 23a) is formed. Cut the part. At this time, the laser beam is irradiated onto the copper layer 22 c formed on one main surface of the core base material 21. For example, a carbon dioxide laser or a UV-YAG laser can be used as the laser. The laser is set to a condition that does not process the copper layer 22c. Thereby, as shown in FIG. 22, the part corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 123a (resin layer 23a) is removed by the laser, and the concave surface is formed on the surface opposite to the surface on which the buildup layer 30 is formed. The cavity 10 is formed.

ここで、上述したように、プリプレグ123aのキャビティが形成される部分は、耐熱フィルム110によって、コア基材21と接着されていない状態となっているため、プリプレグ123a(樹脂層23a)におけるレーザによって切断された部分は、容易に取り除かれる。そして、コア基材21における耐熱フィルム110が配されていた部分が、キャビティ10の底面部12となり、プリプレグ123a(樹脂層23a)におけるレーザで切断された部分が、キャビティ10の側壁部11となる。   Here, as described above, the portion where the cavity of the prepreg 123a is formed is not bonded to the core base material 21 by the heat-resistant film 110, so that the laser in the prepreg 123a (resin layer 23a) is used. The cut part is easily removed. The portion of the core base material 21 where the heat-resistant film 110 is disposed becomes the bottom surface portion 12 of the cavity 10, and the portion of the prepreg 123 a (resin layer 23 a) cut by the laser becomes the side wall portion 11 of the cavity 10. .

最後に、ソルダーレジスト(図示せず)の形成、電極端子の表面処理などを行う。このようにして、図1に示した第1実施形態による有機プリント基板50が製造される。   Finally, formation of solder resist (not shown), surface treatment of electrode terminals, and the like are performed. In this way, the organic printed circuit board 50 according to the first embodiment shown in FIG. 1 is manufactured.

また、上記した製造方法によって製造された有機プリント基板50に、電子部品60(図3および図4参照)を実装することにより、図3に示した第1実施形態による高周波モジュール100が製造される。   Moreover, the high frequency module 100 by 1st Embodiment shown in FIG. 3 is manufactured by mounting the electronic component 60 (refer FIG. 3 and FIG. 4) on the organic printed circuit board 50 manufactured by the manufacturing method mentioned above. .

第1実施形態では、上記のように、コア基材21の主面上にプリプレグ123(123a)を積層した後、プリプレグ123a(樹脂層23a)における耐熱フィルム110と対応する部分を除去することにより凹状のキャビティ10を形成することによって、積層工程の後にキャビティ10が形成されるので、キャビティ形成後のキャビティ10の変形を抑制することができる。また、プリプレグ123a(樹脂層23a)における耐熱フィルム110と対応する部分を除去することによって、プリプレグ123a(樹脂層23a)にキャビティ10の側壁部11が形成されるので、キャビティ10の側壁部11がフラットになるように樹脂流れを制御する必要もない。さらに、コア基材21とプリプレグ123a(樹脂層23a)との間に耐熱フィルム110を配することによって、耐熱フィルム110が配されている部分では、コア基材21とプリプレグ123a(樹脂層23a)とは接着されないので、プリプレグ123a(樹脂層23a)における耐熱フィルム110と対応する部分を容易に除去することができる。これにより、キャビティ10の底面部12を容易に形成することができる。したがって、上記のように構成することによって、キャビティ10を精度よく加工(形成)することができる。   In the first embodiment, as described above, after the prepreg 123 (123a) is laminated on the main surface of the core substrate 21, the portion corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 123a (resin layer 23a) is removed. By forming the concave cavity 10, the cavity 10 is formed after the stacking step, so that deformation of the cavity 10 after the cavity formation can be suppressed. Further, by removing the portion corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 123a (resin layer 23a), the sidewall portion 11 of the cavity 10 is formed in the prepreg 123a (resin layer 23a). There is no need to control the resin flow to be flat. Furthermore, by disposing the heat resistant film 110 between the core base material 21 and the prepreg 123a (resin layer 23a), the core base material 21 and the prepreg 123a (resin layer 23a) are provided in the portion where the heat resistant film 110 is disposed. Therefore, the portion corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 123a (resin layer 23a) can be easily removed. Thereby, the bottom face part 12 of the cavity 10 can be formed easily. Therefore, by configuring as described above, the cavity 10 can be processed (formed) with high accuracy.

また、第1実施形態では、コア基材21の主面上にプリプレグ123を積層した後に凹状のキャビティ10を形成することによって、十分な樹脂流れを有するプリプレグをコア基材21の主面上に積層することができる。このため、コア基材21とプリプレグ123(樹脂層23)との接着性の低下を抑制することができるとともに、回路(配線層22(22a))の埋め込み性を向上させることができる。これにより、絶縁信頼性などの信頼性を向上させることができる。   Further, in the first embodiment, the prepreg 123 having the sufficient resin flow is formed on the main surface of the core substrate 21 by forming the concave cavity 10 after laminating the prepreg 123 on the main surface of the core substrate 21. Can be stacked. For this reason, while being able to suppress the adhesive fall of the core base material 21 and the prepreg 123 (resin layer 23), the embedding property of a circuit (wiring layer 22 (22a)) can be improved. Thereby, reliability, such as insulation reliability, can be improved.

また、第1実施形態では、コア基材21の一方の主面上に、耐熱フィルム110を覆うようにプリプレグ123a(樹脂層23a)が積層されるので、熱プレスによる加熱加圧成形によって積層を行った場合でも、プリプレグ123aに均等に圧力をかけることができる。このため、積層不良の発生を抑制することができるので、有機プリント基板の製造歩留を向上させることができる。また、製造される有機プリント基板の信頼性を向上させることもできる。   Moreover, in 1st Embodiment, since the prepreg 123a (resin layer 23a) is laminated | stacked on one main surface of the core base material 21 so that the heat-resistant film 110 may be covered, lamination | stacking is carried out by the heat press molding by hot press. Even when it is performed, it is possible to apply pressure evenly to the prepreg 123a. For this reason, since generation | occurrence | production of a stacking fault can be suppressed, the manufacture yield of an organic printed circuit board can be improved. Moreover, the reliability of the manufactured organic printed circuit board can also be improved.

さらに、第1実施形態では、プリプレグ123の積層時に、プリプレグ123(123a)にはキャビティ10を形成するための貫通穴が設けられていないので、ハンドリング性が悪くなるという不都合が生じない。このため、積層等の作業において、その作業性を向上させることができるので、有機プリント基板の製造効率を向上させることができる。   Furthermore, in the first embodiment, when the prepreg 123 is stacked, the prepreg 123 (123a) is not provided with a through hole for forming the cavity 10, so that there is no inconvenience that handling properties are deteriorated. For this reason, since workability | operativity can be improved in operations, such as lamination | stacking, the manufacturing efficiency of an organic printed circuit board can be improved.

また、第1実施形態では、上記のように、レーザを用いて、プリプレグ123a(樹脂層23a)における耐熱フィルム110と対応する部分を切断することによって、プリプレグ123a(樹脂層23a)をフラットに切断することができるので、プリプレグ123a(樹脂層23a)に形成されるキャビティ10の側壁部11を平坦に形成することができる。また、レーザを用いることによって、プリプレグ123a(樹脂層23a)における耐熱フィルム110と対応する部分を精度よく切断することができる。また、コア基材21の一方の主面におけるレーザ光が照射される部分に銅層22cを線状に形成しておくことによって、この銅層22cを加工しないようにレーザの条件を設定しておけば、レーザは銅層22cを貫通して切断することはないので、レーザ加工における深さ方向(厚み方向)の制御を容易に行うことができる。これにより、キャビティ10の加工時における深さ方向(厚み方向)の加工精度を向上させることができる。したがって、上記のように構成することにより、容易に、キャビティ10の加工精度を向上させることができる。   In the first embodiment, as described above, the laser is used to cut the portion corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 123a (resin layer 23a), thereby cutting the prepreg 123a (resin layer 23a) into a flat shape. Therefore, the side wall part 11 of the cavity 10 formed in the prepreg 123a (resin layer 23a) can be formed flat. Moreover, the part corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 123a (resin layer 23a) can be cut | disconnected accurately by using a laser. In addition, by forming a copper layer 22c in a linear shape on the portion of one core surface of the core substrate 21 that is irradiated with laser light, laser conditions are set so as not to process the copper layer 22c. In this case, since the laser does not cut through the copper layer 22c, it is possible to easily control the depth direction (thickness direction) in laser processing. Thereby, the processing precision of the depth direction (thickness direction) at the time of processing of the cavity 10 can be improved. Therefore, by configuring as described above, the processing accuracy of the cavity 10 can be easily improved.

また、第1実施形態では、キャビティ部材20(積層体20a)におけるキャビティ10が形成される側と反対側の主面上に、ビルドアップ層30を形成することによって、有機プリント基板50におけるビルドアップ層30が形成された面(キャビティ10が形成される側と反対側の面)の全面を、電子部品60の実装面31とすることができるので、電子部品60の実装密度を高めることができる。このため、このような製造方法により得られた有機プリント基板50を用いて高周波モジュール100を形成すれば、高周波モジュールの小型化を図ることができる。   In the first embodiment, the build-up layer 30 is formed on the main surface of the cavity member 20 (laminated body 20a) opposite to the side where the cavity 10 is formed, so that the build-up in the organic printed circuit board 50 is performed. Since the entire surface on which the layer 30 is formed (the surface opposite to the side on which the cavity 10 is formed) can be used as the mounting surface 31 of the electronic component 60, the mounting density of the electronic components 60 can be increased. . For this reason, if the high frequency module 100 is formed using the organic printed circuit board 50 obtained by such a manufacturing method, the high frequency module can be reduced in size.

また、第1実施形態では、キャビティ部材20(積層体20a)をワーク120とし、枠状のプリプレグ111を介して、2つのワーク120を、キャビティ10が形成される面側が互いに対向するように積層し、積層されたワーク120の外表面上に、ビルドアップ層30を形成することによって、ビルドアップ層30を効率よく形成することができるので、有機プリント基板の製造効率を容易に向上させることができる。   In the first embodiment, the cavity member 20 (laminated body 20a) is the workpiece 120, and the two workpieces 120 are laminated via the frame-shaped prepreg 111 so that the surface sides on which the cavities 10 are formed face each other. In addition, since the buildup layer 30 can be efficiently formed by forming the buildup layer 30 on the outer surface of the stacked workpieces 120, the manufacturing efficiency of the organic printed circuit board can be easily improved. it can.

また、第1実施形態による高周波モジュール100では、上記した製造方法を用いて製造された有機プリント基板50を用いているため、信頼性の高い高周波モジュールを得ることができる。なお、キャビティ構造を有する上記有機プリント基板50を用いて高周波モジュールを構成することにより、セラミックス基板を用いる場合に比べて、欠けや割れの発生を効果的に抑制することができる。このため、これによっても、信頼性が向上される。また、有機プリント基板50を薄型化した場合でも、欠けや割れの心配がないため、高周波モジュールの薄型化を図ることもできる。   Moreover, since the high frequency module 100 according to the first embodiment uses the organic printed circuit board 50 manufactured by using the above-described manufacturing method, a highly reliable high frequency module can be obtained. Note that by forming the high-frequency module using the organic printed circuit board 50 having a cavity structure, it is possible to effectively suppress the occurrence of chipping and cracking compared to the case of using a ceramic substrate. For this reason, this also improves the reliability. Further, even when the organic printed circuit board 50 is thinned, there is no fear of chipping or cracking, so that the high-frequency module can be thinned.

また、第1実施形態による高周波モジュール100では、アナログ回路85とデジタル回路80との間にグランド層40が形成されているため、高周波モジュールのノイズ対策を容易に行うことができるので、これによっても、信頼性を高めることができる。   In the high frequency module 100 according to the first embodiment, since the ground layer 40 is formed between the analog circuit 85 and the digital circuit 80, noise countermeasures of the high frequency module can be easily performed. , Can increase the reliability.

次に、図21および図23〜図25を参照して、第1実施形態の変形例による有機プリント基板150について説明する。   Next, an organic printed circuit board 150 according to a modification of the first embodiment will be described with reference to FIGS. 21 and 23 to 25.

この第1実施形態の変形例では、図23に示すように、上記第1実施形態の構成において、コア基材21の一方の主面上に形成される銅層22cが、キャビティ10の側壁部12の根元部の一部に位置するように、線状(線幅約0.2mm)にパターニングされている。具体的には、上記銅層22cが、キャビティ10の四隅に位置するようにパターニングされている。このため、第1実施形態の変形例では、銅層22cの一部が途切れた状態となっている。そして、この途切れた部分を介して、キャビティ10の底面部11(コア基材21の主面上)に形成された実装用端子22d(配線層)が、銅層22cの外側の領域(キャビティ10の外側の領域)に延設されている。   In the modification of the first embodiment, as shown in FIG. 23, in the configuration of the first embodiment, the copper layer 22 c formed on one main surface of the core substrate 21 is formed on the side wall portion of the cavity 10. It is patterned in a line shape (line width of about 0.2 mm) so as to be located at a part of the 12 root portions. Specifically, the copper layer 22 c is patterned so as to be positioned at the four corners of the cavity 10. For this reason, in the modification of 1st Embodiment, it is in the state which a part of copper layer 22c interrupted. The mounting terminals 22d (wiring layers) formed on the bottom surface 11 of the cavity 10 (on the main surface of the core base material 21) are connected to the region outside the copper layer 22c (cavity 10) through the interrupted portion. The outer region of the

第1実施形態の変形例のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。   Other configurations of the modified example of the first embodiment are the same as those of the first embodiment.

また、第1実施形態の変形例による有機プリント基板150は、上記第1実施形態の製造方法において、コア基材21に形成された銅箔(図示せず)をパターニングする際に、その一部を、たとえば、図24に示すような形状にパターニングする。具体的には、コア基材21の一方の主面上において、キャビティを形成する位置に、形成するキャビティの外形仮想線mの一部(四隅部)に沿うように、銅層22cを線状(線幅約0.2mm)にパターニングする。また、銅層22cの内側の領域から外側の領域に延びるように、実装用端子22dを形成する。   Further, the organic printed circuit board 150 according to the modification of the first embodiment is partly patterned when a copper foil (not shown) formed on the core base material 21 is patterned in the manufacturing method of the first embodiment. Is patterned into a shape as shown in FIG. Specifically, the copper layer 22c is linearly formed on one main surface of the core base material 21 so as to follow a part (four corners) of the external imaginary line m of the cavity to be formed at a position where the cavity is formed. Patterning is performed (line width is about 0.2 mm). Also, the mounting terminal 22d is formed so as to extend from the inner region to the outer region of the copper layer 22c.

また、プリプレグ123aの積層前に、コア基材21の一方の主面上に積層するプリプレグ123aの一部を、図25に示すような形状に切り抜いておく。具体的には、形成するキャビティの外形仮想線mの一部(四隅以外の部分)を金型等でミシン目状に切り抜き部1231aを形成しておく。   Further, before the prepreg 123a is laminated, a part of the prepreg 123a to be laminated on one main surface of the core base material 21 is cut out into a shape as shown in FIG. Specifically, a part of the outer imaginary line m (a part other than the four corners) of the cavity to be formed is formed as a perforated portion 1231a with a mold or the like.

その後、上記第1実施形態と同様の方法を用いて、プリプレグ123aの所定部分を除去する前の工程まで行う。   Then, using the method similar to the said 1st Embodiment, it carries out to the process before removing the predetermined part of the prepreg 123a.

続いて、レーザを用いて、積層されたプリプレグ123aの耐熱フィルム110(図21参照)と対応する部分を除去する。このとき、コア基材21の一方の主面上に形成した銅層22c上にレーザ光を照射することにより、プリプレグ123aにおける切り抜かれていない部分(キャビティの外形仮想線mの四隅部分)を切断する。これにより、プリプレグ123aにおける耐熱フィルム110(図21参照)と対応する部分がレーザによって除去され、有機プリント基板の片面に凹状のキャビティ10が形成される。   Then, the part corresponding to the heat-resistant film 110 (refer FIG. 21) of the laminated | stacked prepreg 123a is removed using a laser. At this time, by irradiating a laser beam onto the copper layer 22c formed on one main surface of the core substrate 21, uncut portions in the prepreg 123a (four corner portions of the imaginary virtual line m of the cavity) are cut. To do. Thereby, the part corresponding to the heat-resistant film 110 (refer FIG. 21) in the prepreg 123a is removed with a laser, and the concave cavity 10 is formed in the single side | surface of an organic printed circuit board.

第1実施形態の変形例では、上記のように構成することによって、第1樹脂層の主面に回路(配線層)を形成する際に、この途切れた部分を介して、銅層22cの内側の領域(キャビティ10の内側の領域)から銅層22cの外側の領域(キャビティ10の外側の領域)に、実装用端子22dを引き回すことができる。このため、実装用端子22dの引き回し自由度を向上させることができる。   In the modification of the first embodiment, when the circuit (wiring layer) is formed on the main surface of the first resin layer with the above-described configuration, the inside of the copper layer 22c is interposed through the disconnected portion. The mounting terminal 22d can be routed from the region (region inside the cavity 10) to the region outside the copper layer 22c (region outside the cavity 10). For this reason, the freedom degree of routing of the mounting terminal 22d can be improved.

なお、プリプレグ123aにおけるキャビティ10の外形仮想線mの四隅以外を切り抜けば、銅層22cは、キャビティ10の外形仮想線mの四隅に形成することになるので、四隅以外の部分を介して、実装用端子22dを引き回すことができる。この場合、実装用端子22dの引き回し自由度をより向上させることができる。   Note that if the copper layer 22c is formed at the four corners of the outer imaginary line m of the cavity 10 by cutting through the corners other than the four outer imaginary lines m of the cavity 10 in the prepreg 123a, the copper layer 22c is mounted via the portions other than the four corners. The terminal 22d can be routed. In this case, the degree of freedom in routing the mounting terminal 22d can be further improved.

(第2実施形態)
図26〜図29を参照して、本発明の第2実施形態による有機プリント基板250およびそれを用いた高周波モジュール300について説明する。
(Second Embodiment)
With reference to FIGS. 26-29, the organic printed circuit board 250 by the 2nd Embodiment of this invention and the high frequency module 300 using the same are demonstrated.

第2実施形態による有機プリント基板250は、図26に示すように、両方の主面側に、電子部品(図示せず)を収容するための凹状のキャビティ210(210aおよび210b)が形成されている。すなわち、第2実施形態の有機プリント基板250は、両面にキャビティ構造を有する多層配線板からなる。   As shown in FIG. 26, the organic printed circuit board 250 according to the second embodiment has concave cavities 210 (210a and 210b) for accommodating electronic components (not shown) on both main surface sides. Yes. That is, the organic printed circuit board 250 according to the second embodiment is composed of a multilayer wiring board having a cavity structure on both sides.

また、有機プリント基板250は、絶縁性のコア基材221を有しており、コア基材221の両面に、配線層222および樹脂層223が積層されている。また、樹脂層223aおよび223bの主面上には、それぞれ、銅(Cu)からなる配線層224(224aおよび224b)が形成されている。さらに、樹脂層223aおよび223bの主面上には、それぞれ、配線層224(224aおよび224b)を覆うように、所定の厚み(たとえば、約0.3mm)を有する樹脂層225(225aおよび225b)が形成されている。樹脂層225aおよび225bの主面上には、それぞれ、配線層226aおよび226bが形成されている。なお、樹脂層223aおよび223bは、本発明の「第1樹脂層」の一例であり、樹脂層225は、本発明の「第2樹脂層」の一例である。   The organic printed circuit board 250 has an insulating core base material 221, and a wiring layer 222 and a resin layer 223 are laminated on both surfaces of the core base material 221. In addition, wiring layers 224 (224a and 224b) made of copper (Cu) are formed on the main surfaces of the resin layers 223a and 223b, respectively. Furthermore, resin layers 225 (225a and 225b) having a predetermined thickness (for example, about 0.3 mm) are provided on the main surfaces of resin layers 223a and 223b so as to cover wiring layers 224 (224a and 224b), respectively. Is formed. On the main surfaces of the resin layers 225a and 225b, wiring layers 226a and 226b are formed, respectively. The resin layers 223a and 223b are examples of the “first resin layer” in the present invention, and the resin layer 225 is an example of the “second resin layer” in the present invention.

また、有機プリント基板250の所定部分には、厚み方向に貫通する貫通スルーホール(図示せず)が形成されている。   Further, a through through hole (not shown) penetrating in the thickness direction is formed in a predetermined portion of the organic printed circuit board 250.

有機プリント基板250のキャビティ210は、側壁部211と底面部212とを含んでおり、上記した第1実施形態と同様、平面的に見て、略矩形状に形成されている。このキャビティ210は、樹脂層223の主面にキャビティ210の底面部212が形成されているとともに、樹脂層225にキャビティ210の側壁部211が形成されている。   The cavity 210 of the organic printed circuit board 250 includes a side wall portion 211 and a bottom surface portion 212, and is formed in a substantially rectangular shape when seen in a plan view as in the first embodiment. In the cavity 210, the bottom surface portion 212 of the cavity 210 is formed on the main surface of the resin layer 223, and the side wall portion 211 of the cavity 210 is formed in the resin layer 225.

また、樹脂層223の一方の主面上(コア基材221と反対側の主面上)には、キャビティ210の側壁部211の根元部に位置するように、銅層224cが線状にパターニングされている。この銅層224cの線幅は、0.2mm程度である。また、キャビティ210の底面部212には、キャビティ内部に実装される電子部品と電気的に接続される実装用端子(図示せず)が形成されている。また、上記有機プリント基板250の内層には、グランド層240が形成されている。なお、銅層224cは、本発明の「金属層」の一例である。   Further, on one main surface of the resin layer 223 (on the main surface opposite to the core base material 221), the copper layer 224c is linearly patterned so as to be located at the root portion of the side wall portion 211 of the cavity 210. Has been. The line width of the copper layer 224c is about 0.2 mm. A mounting terminal (not shown) that is electrically connected to an electronic component mounted inside the cavity is formed on the bottom surface portion 212 of the cavity 210. A ground layer 240 is formed on the inner layer of the organic printed circuit board 250. The copper layer 224c is an example of the “metal layer” in the present invention.

また、有機プリント基板250の積層層数は、必要に応じて上記以外の層数に変更することが可能である。   Further, the number of laminated layers of the organic printed circuit board 250 can be changed to a number other than the above as necessary.

第2実施形態による有機プリント基板250のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。   Other configurations of the organic printed circuit board 250 according to the second embodiment are the same as those of the first embodiment.

第2実施形態による高周波モジュール300は、図27および図28に示すように、上記した両面キャビティ構造の有機プリント基板250に電子部品60が実装されることによって構成されており、1セグモジュールとして機能する。   As shown in FIGS. 27 and 28, the high-frequency module 300 according to the second embodiment is configured by mounting the electronic component 60 on the organic printed circuit board 250 having the above-described double-sided cavity structure, and functions as a 1-segment module. To do.

具体的には、有機プリント基板250の一方のキャビティ210aの内部に、デジタルIC61が実装されている。このデジタルIC61(60)は、OFDM復調ICからなり、ボンディングワイヤ70を介して、実装用端子(図示せず)と電気的に接続されている。そして、デジタルIC61およびボンディングワイヤ70を保護するために、キャビティ210a内に封止樹脂が充填されている。このため、デジタルIC61およびボンディングワイヤ70が、封止樹脂層71によって樹脂封止されている。また、有機プリント基板250の他方のキャビティ210bの内部に、RF−IC(チューナIC)からなるアナログIC62(60)、バンドパスフィルタ63(60)、水晶発振子64(60)および受動部品65(60)(抵抗素子、キャパシタ素子、インダクタ素子など)が表面実装されている。   Specifically, the digital IC 61 is mounted inside one cavity 210 a of the organic printed circuit board 250. The digital IC 61 (60) is composed of an OFDM demodulating IC and is electrically connected to a mounting terminal (not shown) via a bonding wire 70. In order to protect the digital IC 61 and the bonding wire 70, the cavity 210a is filled with a sealing resin. Therefore, the digital IC 61 and the bonding wire 70 are resin-sealed by the sealing resin layer 71. Further, an analog IC 62 (60) made of an RF-IC (tuner IC), a bandpass filter 63 (60), a crystal oscillator 64 (60), and a passive component 65 (inside the other cavity 210b of the organic printed circuit board 250). 60) (resistive element, capacitor element, inductor element, etc.) is surface mounted.

また、キャビティ210aの内部にデジタルIC61が実装されることによって、有機プリント基板250の一方の主面側にデジタル回路80(デジタル回路部)が形成されている。一方、キャビティ210bの内部にアナログIC62、バンドパスフィルタ63、水晶発振子64および受動部品65が実装されることによって、有機プリント基板250の他方の主面側にアナログ回路85(アナログ回路部)が形成されている。また、デジタル回路80とアナログ回路85との間には、上記グランド層240が配置されており、これら両回路(デジタル回路80およびアナログ回路85)が、グランド層240と電気的に接続されている。   Further, the digital IC 61 is mounted inside the cavity 210 a, thereby forming a digital circuit 80 (digital circuit portion) on one main surface side of the organic printed circuit board 250. On the other hand, the analog IC 62, the bandpass filter 63, the crystal oscillator 64, and the passive component 65 are mounted inside the cavity 210b, whereby an analog circuit 85 (analog circuit portion) is formed on the other main surface side of the organic printed circuit board 250. Is formed. In addition, the ground layer 240 is disposed between the digital circuit 80 and the analog circuit 85, and both the circuits (the digital circuit 80 and the analog circuit 85) are electrically connected to the ground layer 240. .

上記のように、第2実施形態による高周波モジュール300は、チューナとして動作させるための主要部品(RF−IC62(アナログIC62)、OFDM復調IC61(デジタルIC61)、バンドパスフィルタ63、水晶発振子64など)を全て内蔵している。   As described above, the high-frequency module 300 according to the second embodiment includes the main components (RF-IC 62 (analog IC 62), OFDM demodulator IC 61 (digital IC 61), bandpass filter 63, crystal oscillator 64, etc.) that operate as a tuner. ) Are all built-in.

また、有機プリント基板250の他方の主面側には、キャビティ210bの形成により、立壁部245が形成されている。この立壁部245は、約0.4mmの幅b(図29参照)を有しており、その上面には、グランド層240と電気的に接続された端子246が形成されている。そして、立壁部245の上面に、金属製の平板からなるシールド板260が、キャビティ210bの開口を覆うように(電子部品60を覆うように)取り付けられている。また、シールド板260は、上記端子246と半田接続されており、これによって、接地シールド効果を有するように構成されている。なお、シールド板260は、本発明の「シールド効果を有する金属板」の一例である。   Further, a standing wall portion 245 is formed on the other main surface side of the organic printed circuit board 250 by forming the cavity 210b. The standing wall portion 245 has a width b (see FIG. 29) of about 0.4 mm, and a terminal 246 that is electrically connected to the ground layer 240 is formed on the upper surface thereof. And the shield board 260 which consists of metal flat plates is attached to the upper surface of the standing wall part 245 so that the opening of the cavity 210b may be covered (the electronic component 60 is covered). Further, the shield plate 260 is connected to the terminal 246 by soldering, and is thereby configured to have a ground shield effect. The shield plate 260 is an example of the “metal plate having a shielding effect” in the present invention.

また、第2実施形態による高周波モジュール300は、図29に示すように、平面的に見て、一辺の長さaが約6mmの正方形形状に形成されている。   In addition, as shown in FIG. 29, the high-frequency module 300 according to the second embodiment is formed in a square shape with a side length a of about 6 mm as viewed in a plan view.

なお、第2実施形態による高周波モジュール300の動作は、上記第1実施形態と同様であるため、その説明は省略する。   The operation of the high-frequency module 300 according to the second embodiment is the same as that of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

第2実施形態による高周波モジュール300では、上記のように、アナログ回路85を形成するための電子部品60(アナログIC62、バンドパスフィルタ63、水晶発振子64および受動部品65など)が収容されたキャビティ210bを覆うように、立壁部245の上面に、シールド板260を取り付けることによって、接地シールド効果を有する高周波モジュールを容易に得ることができる。   In the high-frequency module 300 according to the second embodiment, as described above, the cavity in which the electronic component 60 (the analog IC 62, the bandpass filter 63, the crystal oscillator 64, the passive component 65, etc.) for forming the analog circuit 85 is accommodated. By attaching the shield plate 260 to the upper surface of the standing wall 245 so as to cover 210b, a high-frequency module having a ground shield effect can be easily obtained.

また、第2実施形態による高周波モジュール300では、両面キャビティ構造を有する有機プリント基板250を用いることによって、アナログ回路85を平板状のシールド板260で覆うことができる。このため、金属板をケース状に加工する必要がないので、シールド板260の加工が容易となり、その加工費を低減することができる。   In the high frequency module 300 according to the second embodiment, the analog circuit 85 can be covered with the flat shield plate 260 by using the organic printed circuit board 250 having a double-sided cavity structure. For this reason, since it is not necessary to process a metal plate into a case shape, the process of the shield board 260 becomes easy and the processing cost can be reduced.

次に、図26、図29および図30〜図36を参照して、本発明の第2実施形態による有機プリント基板250の製造方法について説明する。   Next, with reference to FIG. 26, FIG. 29 and FIGS. 30 to 36, a method for manufacturing the organic printed circuit board 250 according to the second embodiment of the present invention will be described.

まず、図30に示すように、コア基材221の両面に形成された銅箔(図示せず)をパターニングすることにより、コア基材221の両方の主面上に配線層222を形成する。次に、両面に、プリプレグ323および銅箔を積層した後、銅箔のパターニングを行う。必要な層数まで、このような工程を繰り返す。   First, as shown in FIG. 30, a wiring layer 222 is formed on both main surfaces of the core substrate 221 by patterning copper foil (not shown) formed on both surfaces of the core substrate 221. Next, after the prepreg 323 and the copper foil are laminated on both surfaces, the copper foil is patterned. Repeat these steps until the required number of layers.

このとき、図31に示すように、プリプレグ323(樹脂層223)の主面上において、キャビティを形成する位置に、形成するキャビティの外形仮想線(外形となる部分)に沿うように、銅層224cを線状(線幅約0.2mm)にパターニングする。また、銅層224cの内側の領域には、実装用端子(図示せず)を形成する。   At this time, as shown in FIG. 31, on the main surface of the prepreg 323 (resin layer 223), the copper layer is formed at the position where the cavity is formed, along the outer imaginary line of the cavity to be formed (the portion that becomes the outer shape). The 224c is patterned into a line (line width of about 0.2 mm). In addition, a mounting terminal (not shown) is formed in a region inside the copper layer 224c.

次に、図32に示すように、プリプレグ323aおよび323bの主面上(コア基材221とは反対の主面上)に、それぞれ、所定の厚みを有するプリプレグ325、および、銅箔326を順に配置する。このプリプレグ325は、形成するキャビティの深さによって所望の厚みのものを用いることができる。なお、プリプレグ323aおよび323bは、本発明の「第1樹脂層」の一例であり、プリプレグ325は、本発明の「第2樹脂層」および「接着シート」の一例である。   Next, as shown in FIG. 32, a prepreg 325 having a predetermined thickness and a copper foil 326 are sequentially formed on the main surfaces of the prepregs 323a and 323b (on the main surface opposite to the core base material 221). Deploy. As the prepreg 325, a material having a desired thickness can be used depending on the depth of the cavity to be formed. The prepregs 323a and 323b are examples of the “first resin layer” of the present invention, and the prepreg 325 is an example of the “second resin layer” and the “adhesive sheet” of the present invention.

ここで、第2実施形態では、プリプレグ325(樹脂層225)と内層となるプリプレグ323(323aおよび323b)との間に、形成するキャビティと同じ外形サイズを有する耐熱フィルム110を配しておく。具体的には、まず、プリプレグ325のコア基材221側の面にポリイミドからなる上記耐熱フィルム110を貼り付ける。次に、耐熱フィルム110と銅層224cとが対応するように、このプリプレグ325を内層のプリプレグ323(323aおよび323b)上に配置する。   Here, in the second embodiment, the heat-resistant film 110 having the same outer size as the cavity to be formed is disposed between the prepreg 325 (resin layer 225) and the prepreg 323 (323a and 323b) serving as the inner layer. Specifically, first, the heat-resistant film 110 made of polyimide is attached to the surface of the prepreg 325 on the core base material 221 side. Next, the prepreg 325 is disposed on the inner prepreg 323 (323a and 323b) so that the heat-resistant film 110 and the copper layer 224c correspond to each other.

続いて、図33に示すように、プリプレグ323(323aおよび323b)上に配置されたプリプレグ325、および、銅箔326を、熱プレスによる加熱加圧成形によって積層する。これにより、プリプレグ323(323aおよび323b)の主面上に、それぞれ、プリプレグ325からなる樹脂層225が形成される。このとき、プリプレグ325(樹脂層225)のキャビティが形成される部分は、耐熱フィルム110によって、プリプレグ323(323aおよび323b)と接着されていない状態となっている。なお、必要な層数によって、さらに、プリプレグおよび銅箔の積層、銅箔のパターニングを繰り返してもよい。   Subsequently, as shown in FIG. 33, the prepreg 325 and the copper foil 326 arranged on the prepreg 323 (323a and 323b) are laminated by hot pressing with hot press. Thereby, the resin layer 225 which consists of prepreg 325 is formed on the main surface of prepreg 323 (323a and 323b), respectively. At this time, the portion of the prepreg 325 (resin layer 225) where the cavity is formed is not bonded to the prepreg 323 (323a and 323b) by the heat-resistant film 110. Depending on the number of layers required, the lamination of the prepreg and the copper foil and the patterning of the copper foil may be repeated.

次に、図示しない貫通スルーホールを形成することによって、層間接続を行った後、プリプレグ325上に積層された銅箔326をパターニングすることによって、図34に示すように、配線層226(226a、226b)および端子246(図29参照)を形成する。   Next, after making interlayer connection by forming a through-through hole (not shown), the copper foil 326 laminated on the prepreg 325 is patterned to form a wiring layer 226 (226a, 226a, 226b) and terminals 246 (see FIG. 29).

続いて、図35に示すように、プリプレグ325(樹脂層225)にレーザ光を照射することによって、プリプレグ325(樹脂層225)の所定部分を切断する。このとき、レーザ光は、プリプレグ323(323aおよび323b)上に形成した銅層224c上に照射する。また、レーザは、銅層224cを加工しないような条件に設定しておく。これにより、図36に示すように、プリプレグ325(樹脂層225)における耐熱フィルム110と対応する部分がレーザによって除去され、有機プリント基板250の両面に、凹状のキャビティ210(210aおよび210b)が形成される。   Subsequently, as shown in FIG. 35, the prepreg 325 (resin layer 225) is irradiated with laser light to cut a predetermined portion of the prepreg 325 (resin layer 225). At this time, the laser beam is irradiated onto the copper layer 224c formed on the prepreg 323 (323a and 323b). The laser is set to a condition that does not process the copper layer 224c. As a result, as shown in FIG. 36, portions corresponding to the heat-resistant film 110 in the prepreg 325 (resin layer 225) are removed by the laser, and concave cavities 210 (210a and 210b) are formed on both surfaces of the organic printed circuit board 250. Is done.

ここで、上述したように、プリプレグ325のキャビティが形成される部分は、耐熱フィルム110によって、内層のプリプレグ323(323aおよび323b)と接着されていない状態となっているため、プリプレグ325(樹脂層225)におけるレーザによって切断された部分は、容易に取り除かれる。そして、コア基材221における耐熱フィルム110が配されていた部分が、キャビティ210の底面部212となり、プリプレグ325(樹脂層225)におけるレーザで切断された部分が、キャビティ210の側壁部211となる。   Here, as described above, the portion where the cavity of the prepreg 325 is formed is not bonded to the inner layer prepreg 323 (323a and 323b) by the heat-resistant film 110, so that the prepreg 325 (resin layer) The part cut by the laser in 225) is easily removed. The portion of the core base material 221 where the heat resistant film 110 is disposed becomes the bottom surface portion 212 of the cavity 210, and the portion of the prepreg 325 (resin layer 225) cut by the laser becomes the side wall portion 211 of the cavity 210. .

最後に、ソルダーレジスト(図示せず)の形成、電極端子の表面処理などを行う。このようにして、図26に示した第1実施形態による有機プリント基板250が製造される。   Finally, formation of solder resist (not shown), surface treatment of electrode terminals, and the like are performed. In this way, the organic printed circuit board 250 according to the first embodiment shown in FIG. 26 is manufactured.

また、上記した製造方法によって製造された有機プリント基板250に、電子部品60(図27参照)を実装することにより、図27に示した第1実施形態による高周波モジュール300が製造される。   Further, by mounting the electronic component 60 (see FIG. 27) on the organic printed circuit board 250 manufactured by the above-described manufacturing method, the high-frequency module 300 according to the first embodiment shown in FIG. 27 is manufactured.

第2実施形態による有機プリント基板250の製造方法の効果は、上記第1実施形態と同様である。   The effect of the manufacturing method of the organic printed circuit board 250 according to the second embodiment is the same as that of the first embodiment.

また、第2実施形態による高周波モジュール300では、上記した製造方法を用いて製造された有機プリント基板250を用いているため、上記第1実施形態と同様、信頼性の高い高周波モジュールを得ることができる。なお、キャビティ構造を有する上記有機プリント基板250を用いて高周波モジュールを構成することにより、セラミックス基板を用いる場合に比べて、欠けや割れの発生を効果的に抑制することができる。   Moreover, since the high frequency module 300 according to the second embodiment uses the organic printed circuit board 250 manufactured by using the above-described manufacturing method, a highly reliable high frequency module can be obtained as in the first embodiment. it can. Note that by forming a high-frequency module using the organic printed circuit board 250 having a cavity structure, it is possible to effectively suppress the occurrence of chips and cracks compared to the case of using a ceramic substrate.

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments but by the scope of claims for patent, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

たとえば、上記第1および第2実施形態では、コア基材とプリプレグとの間、プリプレグとプリプレグとの間に配する耐熱フィルムとして、ポリイミドからなる耐熱フィルムを用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、上記耐熱フィルムとして、ポリイミド以外の材料からなる耐熱フィルムを用いてもよい。ポリイミド以外の材料としては、たとえば、アラミド樹脂などが挙げられる。   For example, in the first and second embodiments, an example in which a heat-resistant film made of polyimide is used as the heat-resistant film disposed between the core base material and the prepreg and between the prepreg and the prepreg has been described. However, the heat-resistant film may be a heat-resistant film made of a material other than polyimide. Examples of materials other than polyimide include aramid resin.

また、上記第1および第2実施形態では、プリプレグを用いて樹脂層(絶縁層)を形成した例を示したが、本発明はこれに限らず、プリプレグ以外の部材(材料)を用いて樹脂層(絶縁層)を形成してもよい。たとえば、樹脂付き銅箔や、フィルム状または液状の熱硬化性絶縁材料を用いて樹脂層(絶縁層)を形成してもよい。   Moreover, although the example which formed the resin layer (insulating layer) using the prepreg was shown in the said 1st and 2nd embodiment, this invention is not restricted to this, Resin using members (materials) other than a prepreg A layer (insulating layer) may be formed. For example, the resin layer (insulating layer) may be formed using a copper foil with resin or a film-like or liquid thermosetting insulating material.

また、上記第1および第2実施形態では、1層のプリプレグ(樹脂層)をレーザで切断することによってキャビティを形成した例を示したが、本発明はこれに限らず、積層された複数層のプリプレグ(樹脂層)をレーザで切断することによってキャビティを形成してもよい。   In the first and second embodiments, an example in which a cavity is formed by cutting one layer of a prepreg (resin layer) with a laser is shown. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of stacked layers are used. The cavity may be formed by cutting the prepreg (resin layer) with a laser.

また、上記第1および第2実施形態では、高周波モジュールを1セグモジュールとして機能するように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、高周波モジュールを1セグモジュール以外のモジュールとして機能するように構成してもよい。また、高周波モジュールには、ベアチップICやWL−CSPなどからなる集積回路素子、LPF(Low Pass Filter)、水晶発振子、受動部品以外に、トランジスタ、メモリ、ダイオード(LEDを含む)などの電子部品を実装することができる。   In the first and second embodiments, the example in which the high-frequency module is configured to function as a 1-segment module has been described. However, the present invention is not limited thereto, and the high-frequency module functions as a module other than the 1-segment module. You may comprise. The high-frequency module includes electronic components such as transistors, memories, and diodes (including LEDs) in addition to integrated circuit elements such as bare chip ICs and WL-CSPs, LPFs (Low Pass Filters), crystal oscillators, and passive components. Can be implemented.

なお、上記第1および第2実施形態において、高周波モジュールの形状および寸法、並びに、回路構成等は、適宜変更することができる。   In the first and second embodiments, the shape and dimensions of the high-frequency module, the circuit configuration, and the like can be changed as appropriate.

また、上記第1実施形態の変形例では、コア基材の一方の主面上において、キャビティを形成する位置に、形成するキャビティの外形仮想線の一部(四隅部)に沿うように、銅層を線状にパターニングした例を示したが、本発明はこれに限らず、上記銅層は、形成するキャビティの外形仮想線の四隅以外の一部に沿うように、パターニングされていてもよい。この場合、プリプレグの切り抜き部は、形成するキャビティの外形仮想線において、銅層が形成される部分以外の部分に形成される。   Further, in the modification of the first embodiment, the copper is formed on one main surface of the core base material so that the cavity is formed at a position along the part of the virtual imaginary line (four corners) of the cavity to be formed. Although the example in which the layer is linearly patterned has been shown, the present invention is not limited to this, and the copper layer may be patterned so as to be along a part other than the four corners of the external imaginary line of the cavity to be formed. . In this case, the cut-out portion of the prepreg is formed in a portion other than the portion where the copper layer is formed in the outline virtual line of the cavity to be formed.

また、上記第2実施形態において、レーザが照射される位置に形成される銅層を、第1実施形態の変形例のように構成してもよい。この場合、第1実施形態の変形例のように、プリプレグの一部に切り抜き部が形成される。   Moreover, in the said 2nd Embodiment, you may comprise the copper layer formed in the position irradiated with a laser like the modification of 1st Embodiment. In this case, a cutout portion is formed in a part of the prepreg as in the modification of the first embodiment.

また、上記第2実施形態において、アナログ回路が形成されるキャビティの開口は、シールド板によって、完全に塞がれていてもよいし、完全に塞がれていなくてもよい。   In the second embodiment, the opening of the cavity in which the analog circuit is formed may be completely blocked by the shield plate or may not be completely blocked.

10、210、210a、210b キャビティ
11、211 側壁部
12、212 底面部
20 キャビティ部材
20a 積層体
21 コア基材(第1樹脂層)
22、22a、22b 配線層
22c、224c 銅層(金属層)
22d 実装用端子
23、23a 樹脂層(第2樹脂層)
30 ビルドアップ層
31 実装面
40、240 グランド層
50、250 有機プリント基板
60 電子部品
61 デジタルIC、OFDM復調IC
62 アナログIC、RF−IC
63 バンドパスフィルタ
64 水晶発振子
65 受動部品
71 封止樹脂層
80 デジタル回路(デジタル回路部)
85 アナログ回路(アナログ回路部)
90 シールドケース
100、300 高周波モジュール
110 耐熱フィルム(離型部材)
111 プリプレグ(シート部材)
120 ワーク
123a プリプレグ(第2樹脂層、接着シート)
1231a 切り抜き部
223a、223b 樹脂層(第1樹脂層)
225、225a、225b 樹脂層(第2樹脂層)
245 立壁部
260 シールド板(シールド効果を有する金属板)
323a、323b プリプレグ(第1樹脂層)
325 プリプレグ(第2樹脂層、接着シート)
10, 210, 210a, 210b Cavity 11, 211 Side wall part 12, 212 Bottom part 20 Cavity member 20a Laminate 21 Core substrate (first resin layer)
22, 22a, 22b Wiring layer 22c, 224c Copper layer (metal layer)
22d Mounting terminal 23, 23a Resin layer (second resin layer)
30 Build-up layer 31 Mounting surface 40, 240 Ground layer 50, 250 Organic printed circuit board 60 Electronic component 61 Digital IC, OFDM demodulation IC
62 Analog IC, RF-IC
63 Band pass filter 64 Crystal oscillator 65 Passive component 71 Sealing resin layer 80 Digital circuit (digital circuit part)
85 Analog circuit (Analog circuit part)
90 Shield case 100, 300 High-frequency module 110 Heat-resistant film (release member)
111 prepreg (sheet member)
120 work 123a prepreg (second resin layer, adhesive sheet)
1231a Cutout part 223a, 223b Resin layer (first resin layer)
225, 225a, 225b Resin layer (second resin layer)
245 Standing wall 260 Shield plate (metal plate with shielding effect)
323a, 323b Prepreg (first resin layer)
325 prepreg (second resin layer, adhesive sheet)

Claims (15)

絶縁性の第1樹脂層の主面上に絶縁性の第2樹脂層を積層する積層工程と、
前記第2樹脂層の所定部分を除去することによって、凹状のキャビティを形成するキャビティ形成工程とを備え、
前記積層工程は、前記第1樹脂層と前記第2樹脂層との間に離型部材を配する工程を含み、
前記キャビティ形成工程は、
前記第2樹脂層における前記離型部材と対応する部分を除去することにより、前記第2樹脂層に前記キャビティの側壁部を形成する工程と、
前記離型部材を除去することにより、前記第1樹脂層における前記離型部材が配されていた部分に、前記キャビティの底面部を形成する工程とを含むことを特徴とする、有機プリント基板の製造方法。
A laminating step of laminating an insulating second resin layer on the main surface of the insulating first resin layer;
A cavity forming step of forming a concave cavity by removing a predetermined portion of the second resin layer,
The laminating step includes a step of arranging a release member between the first resin layer and the second resin layer,
The cavity forming step includes
Forming a side wall portion of the cavity in the second resin layer by removing a portion corresponding to the release member in the second resin layer;
A step of forming a bottom surface portion of the cavity in a portion of the first resin layer where the release member is disposed by removing the release member. Production method.
前記離型部材を、キャビティと同じ外形サイズに形成することを特徴とする、請求項1に記載の有機プリント基板の製造方法。   The method of manufacturing an organic printed circuit board according to claim 1, wherein the release member is formed to have the same outer size as the cavity. 前記キャビティの側壁部を形成する工程は、レーザを用いて、前記第2樹脂層における前記離型部材と対応する部分を切断する工程を有し、
前記積層工程に先立って、前記第1樹脂層の前記主面におけるレーザ光が照射される部分に、金属層を形成する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の有機プリント基板の製造方法。
The step of forming the side wall portion of the cavity includes a step of cutting a portion corresponding to the release member in the second resin layer using a laser,
3. The organic material according to claim 1, further comprising a step of forming a metal layer on a portion of the first surface of the first resin layer irradiated with laser light prior to the laminating step. A method for manufacturing a printed circuit board.
前記第2樹脂層は、絶縁性の接着シートからなり、
前記接着シートを前記第1樹脂層上に積層する前に、前記接着シートにおける前記キャビティの外形となる部分の一部を切り抜く工程をさらに備え、
前記キャビティの側壁部を形成する工程は、レーザを用いて、前記接着シートにおける前記キャビティの外形となる部分の切り抜かれていない部分を切断する工程を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機プリント基板の製造方法。
The second resin layer is made of an insulating adhesive sheet,
Before laminating the adhesive sheet on the first resin layer, further comprising a step of cutting out a part of the outer shape of the cavity in the adhesive sheet,
The step of forming the side wall portion of the cavity includes a step of cutting a portion of the adhesive sheet that is an outer shape of the cavity that is not cut out using a laser. The manufacturing method of the organic printed circuit board of any one of these.
前記接着シートの一部を切り抜く工程は、前記接着シートにおけるキャビティの外形となる部分の四隅以外を切り抜く工程を有することを特徴とする、請求項4に記載の有機プリント基板の製造方法。   5. The method of manufacturing an organic printed circuit board according to claim 4, wherein the step of cutting out a part of the adhesive sheet includes a step of cutting out portions other than the four corners of the portion of the adhesive sheet that forms the outer shape of the cavity. 前記接着シートを積層する工程に先立って、前記第1樹脂層の前記主面におけるレーザ光が照射される部分に、金属層を形成する工程を備えることを特徴とする、請求項4または5に記載の有機プリント基板の製造方法。   Prior to the step of laminating the adhesive sheet, the method further comprises a step of forming a metal layer on a portion irradiated with laser light on the main surface of the first resin layer. The manufacturing method of the organic printed circuit board of description. 前記第1樹脂層および前記第2樹脂層を連続して貫通する貫通スルーホールを形成する工程と、
前記第1樹脂層におけるキャビティが形成される側と反対側の主面上に、ビルドアップ層を形成する工程とをさらに備えることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機プリント基板の製造方法。
Forming a through-hole that continuously penetrates the first resin layer and the second resin layer;
7. The method according to claim 1, further comprising a step of forming a buildup layer on a main surface opposite to the side where the cavity is formed in the first resin layer. Manufacturing method of organic printed circuit board.
前記第1樹脂層上に第2樹脂層が積層された積層体をワークとし、枠状のシート部材を介して、2つの前記ワークを、キャビティが形成される面側が互いに対向するように貼り合わせる工程と、
前記張り合わされたワークの外表面上に、前記ビルドアップ層を形成する工程と、
前記張り合わされたワークの貼り合わせ部を切断することにより、2つのワークに分離する工程とをさらに備えることを特徴とする、請求項7に記載の有機プリント基板の製造方法。
A laminate in which the second resin layer is laminated on the first resin layer is used as a workpiece, and the two workpieces are bonded to each other through a frame-shaped sheet member so that the surfaces on which the cavities are formed face each other. Process,
Forming the build-up layer on the outer surface of the bonded workpiece;
The method for manufacturing an organic printed circuit board according to claim 7, further comprising a step of cutting the bonded portion of the bonded workpieces into two workpieces.
主面上に金属層が形成された絶縁性の第1樹脂層と、
前記第1樹脂層の前記主面上に形成された絶縁性の第2樹脂層と、
前記第2樹脂層の所定部分が除去されることによって形成された凹状のキャビティとを備え、
前記キャビティは、前記第1樹脂層に形成された底面部と、前記第2樹脂層に形成された側壁部とを含み、
前記金属層は、前記キャビティの側壁部の根元部に位置するようにパターニングされていることを特徴とする、有機プリント基板。
An insulating first resin layer having a metal layer formed on the main surface;
An insulating second resin layer formed on the main surface of the first resin layer;
A concave cavity formed by removing a predetermined portion of the second resin layer,
The cavity includes a bottom surface portion formed in the first resin layer and a side wall portion formed in the second resin layer,
The organic printed circuit board, wherein the metal layer is patterned so as to be located at a root portion of a side wall portion of the cavity.
前記金属層は、前記側壁部の根元部の一部に形成されていることを特徴とする、請求項9に記載の有機プリント基板。   The organic printed circuit board according to claim 9, wherein the metal layer is formed on a part of a base portion of the side wall portion. 前記金属層は、前記側壁部の根元部の一部であって、前記キャビティの四隅の位置に形成されていることを特徴とする、請求項9または10に記載の有機プリント基板。   11. The organic printed circuit board according to claim 9, wherein the metal layer is a part of a base portion of the side wall portion and is formed at positions of four corners of the cavity. 前記第1樹脂層における前記第2樹脂層が形成されている面と反対側の面上には、ビルドアップ層が形成されていることを特徴とする、請求項9〜11のいずれか1項に記載の有機プリント基板。   The buildup layer is formed on the surface of the first resin layer opposite to the surface on which the second resin layer is formed. Organic printed circuit board as described in 2. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の製造方法を用いて作製された有機プリント基板と、
前記有機プリント基板のキャビティ内に形成されたデジタル回路部と、
前記有機プリント基板の前記キャビティとは反対側の主面側に形成されたアナログ回路部とを備えることを特徴とする、高周波モジュール。
An organic printed circuit board produced using the production method according to any one of claims 1 to 8,
A digital circuit formed in the cavity of the organic printed circuit board;
A high-frequency module, comprising: an analog circuit portion formed on a main surface side opposite to the cavity of the organic printed circuit board.
請求項1〜6のいずれか1項に記載の製造方法を用いて作製された有機プリント基板と、
前記有機プリント基板に形成されるデジタル回路部およびアナログ回路部と、
前記有機プリント基板に取り付けられたシールド効果を有する金属板とを備え、
前記有機プリント基板は、その両面にキャビティが形成されており、
前記デジタル回路部は、前記有機プリント基板の一方面側の前記キャビティ内に形成されているとともに、前記アナログ回路部は、前記有機プリント基板の他方面側の前記キャビティ内に形成されており、
前記金属板は、前記アナログ回路部が形成された前記キャビティを覆うように取り付けられていることを特徴とする、高周波モジュール。
An organic printed circuit board produced using the production method according to any one of claims 1 to 6,
A digital circuit portion and an analog circuit portion formed on the organic printed circuit board;
A metal plate having a shielding effect attached to the organic printed circuit board,
The organic printed circuit board has cavities formed on both sides thereof,
The digital circuit part is formed in the cavity on one side of the organic printed circuit board, and the analog circuit part is formed in the cavity on the other side of the organic printed circuit board,
The high-frequency module, wherein the metal plate is attached so as to cover the cavity in which the analog circuit portion is formed.
前記有機プリント基板は、前記デジタル回路部と前記アナログ回路部との間に形成されたグランド層を有することを特徴とする、請求項13または14に記載の高周波モジュール。   The high frequency module according to claim 13 or 14, wherein the organic printed circuit board includes a ground layer formed between the digital circuit portion and the analog circuit portion.
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