JP2010216978A - エアフローメータ - Google Patents

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Abstract

【課題】エアフローメータ1において、吸気量の真値に対して高精度な信号を出力できるようにする。
【解決手段】エアフローメータ1の信号処理回路部6のDSP35は、センサ電圧検出ブリッジ回路8に電力を供給する電源25の電圧を監視し、電源電圧に応じて、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値VD´を補正する。電源電圧は経時変化するため、吸気量等の他の要素が同一であっても、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値VD´は、電源電圧の変動の影響を受けて経時変化する。そこで、DSP35に、電源電圧を監視する機能、および、電源電圧に応じて電圧値VD´を補正する機能を追加する。これにより、補正後の電圧値VDは、電源電圧の変動の影響がない数値になるので、エアフローメータ1は、吸気量の真値に対して高精度な信号を出力できる。
【選択図】図2

Description

本発明は、所定の空気流路を通過する空気流の流量を検出するエアフローメータに関する。
従来から、例えば、車両の内燃機関に吸入される空気の流量の検出には、空気流との伝熱を利用する熱線式のエアフローメータが用いられている。すなわち、熱線式のエアフローメータは、空気流路に配されて通電により発熱する発熱抵抗体を備えており、この発熱抵抗体の発熱により空気の流れ方向に温度分布を形成し、この温度分布に基づいて空気流量を示す信号を出力する。
そして、エアフローメータから出力される信号は、内燃機関を制御するための電子制御装置(ECU)に入力され、ECUは、この信号に基づいて内燃機関に吸入される空気流の流量を把握するとともに、この流量に基づく燃料噴射制御等の各種の制御処理を実行する(例えば、特許文献1参照)。
また、エアフローメータは、発熱抵抗体を有するとともに温度分布に基づき空気流量に応じた信号を出力するセンサ部と、センサ部から出力される信号に各種の処理を施して出力する信号処理回路部とを備える。ここで、センサ部は、温度分布に応じて変化する電圧値(つまり、空気流量に応じて変化する電圧値)を出力するセンサ電圧検出ブリッジ回路を有し、センサ電圧検出ブリッジ回路から出力される電圧値を、空気流量に応じた信号として出力する。
すなわち、センサ電圧検出ブリッジ回路は、発熱抵抗体の上流側および下流側に抵抗体を有し、これらの上、下流側の抵抗体は、空気流量に応じて抵抗値が変化する。そして、センサ電圧検出ブリッジ回路は、上、下流側の抵抗体の抵抗値変化を電圧値として出力する。なお、発熱抵抗体の温度は、センサ電圧検出ブリッジ回路とは別のブリッジ回路により、所定の基準温度に制御されている。
ところで、センサ電圧検出ブリッジ回路の電圧値は、空気流量のみではなく、様々な要素に応じて変化する。そこで、今後のさらなる燃費向上や排ガスの浄化推進のために、空気流量の真値に対して高精度な信号を出力する必要性から、エアフローメータに関して、センサ電圧検出ブリッジ回路の電圧値に影響を与える要素を明らかにするとともに、このような要素による影響を除去する手段を構成することが望まれている。
特開平11−183220号公報
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、空気流量の真値に対して高精度な信号を出力できるエアフローメータを提供することにある。
〔請求項1の手段〕
請求項1に記載のエアフローメータは、所定の空気流路を通過する空気流との伝熱を利用して、空気流の流量を検出するものである。
そして、エアフローメータは、通電により発熱する発熱抵抗体と、発熱抵抗体の上流側および下流側に抵抗体を有し、空気流の流量変化に伴う抵抗体の抵抗値変化を電圧値として出力するブリッジ回路と、ブリッジ回路に電力を供給する電源の電圧を監視し、電源の電圧に応じて電圧値を補正する補正演算部とを備える。
ブリッジ回路に電力を供給する電源の電圧は経時変化するため、空気流の流量等の他の要素が同一であっても、ブリッジ回路から出力される電圧値(以下、単に電圧値と呼ぶ)は、電源の電圧の変動の影響を受けて経時変化する。
そこで、エアフローメータに、電源の電圧を監視する機能、および、電源の電圧に応じて電圧値を補正する機能を追加する。
これにより、電圧値は電源の電圧の変動の影響がない数値になるので、エアフローメータは空気流の流量の真値に対して高精度な信号を出力できる。
〔請求項2の手段〕
請求項2に記載のエアフローメータによれば、補正演算部は、電圧値を電源の電圧の基準値における数値に補正する。
この手段は、電源の電圧についての補正機能の一態様を示すものである。
〔請求項3の手段〕
請求項3に記載のエアフローメータによれば、補正演算部は、電源の電圧に応じて補正された電圧値を、さらに空気流の温度の基準値における数値に補正する。
空気流の温度も電圧値に影響を与える要素の1つである。そこで、補正演算部に、空気流の温度に応じて電圧値を補正する機能を追加し、さらに、電源の電圧についての補正を、空気流の温度についての補正に先行させる。
これにより、電圧値は、電源の電圧の変動および空気流の温度の変動の影響がない数値になるので、エアフローメータは、空気流の流量の真値に対して、さらに高精度な信号を出力できる。
エアフローメータの吸気管への装着状態を示す配置図である。 エアフローメータの構成を示す構成図である。 (a)はエアフローメータ内に形成される温度分布を示す特性図であり、(b)はセンサ電圧検出ブリッジ回路を構成する抵抗体の配置を示す断面図である。 吸気量とセンサ電圧検出ブリッジ回路の電圧値との相関を、電源電圧の数値ごとに示す特性図である。 電源電圧についての補正を行う場合の吸気温に関する補正係数と、電源電圧についての補正を行わない場合の吸気温に関する補正係数との差を示す説明図である。
実施形態のエアフローメータは、所定の空気流路を通過する空気流との伝熱を利用して、空気流の流量を検出するものである。
そして、エアフローメータは、通電により発熱する発熱抵抗体と、発熱抵抗体の上流側および下流側に抵抗体を有し、空気流の流量変化に伴う抵抗体の抵抗値変化を電圧値として出力するブリッジ回路と、ブリッジ回路に電力を供給する電源の電圧を監視し、電源の電圧に応じて電圧値を補正する補正演算部とを備える。
また、補正演算部は、電圧値を電源の電圧の基準値における数値に補正し、電源の電圧に応じて補正された電圧値を、さらに空気流の温度の基準値における数値に補正する。
〔実施例の構成〕
実施例のエアフローメータ1の構成を、図面を用いて説明する。
エアフローメータ1は、所定の空気流路を通過する空気流との伝熱を利用して、空気流の流量を検出するものであり、例えば、図1に示すように、車両の内燃機関(図示せず)に吸入される空気流(以下、吸気流と呼ぶ)の流量(以下、吸気量と呼ぶ)を検出するために吸気管2内に突出するように配される。
また、エアフローメータ1は、吸気量検出のために吸気流の一部を取り込んで通過させるための検出流路(図示せず)を自身の内部に形成するとともに、この検出流路に配されて通電により発熱する発熱抵抗体3を備えており、発熱抵抗体3の発熱により検出流路における吸気流の流れ方向に温度分布を形成し、この温度分布に基づいて吸気量を示す信号を出力する(図3参照)。
なお、以下の説明では、エアフローメータ1が検出流路に取り込んだ吸気流のことを、「吸気流」と略して呼び、検出流路における吸気流の流れ方向のことを、「吸気流の流れ方向」と略して呼ぶ。
そして、エアフローメータ1から出力される信号は、内燃機関を制御するための電子制御装置(ECU)に入力され、ECUは、この信号に基づいて吸気量を把握するとともに、吸気量に基づく燃料噴射制御等の各種の制御処理を実行する。
また、エアフローメータ1は、図2に示すように、発熱抵抗体3を有するとともに温度分布に基づき吸気量に応じた信号を出力するセンサ部5と、センサ部5から出力される信号に各種の処理を施して出力する信号処理回路部6とを備える。
センサ部5は、発熱抵抗体3と、発熱抵抗体3を所定の基準温度に制御する発熱温度制御ブリッジ回路7と、温度分布に応じて変化する電圧値(つまり、吸気量に応じて変化する電圧値)を出力するセンサ電圧検出ブリッジ回路8とを有する。
発熱温度制御ブリッジ回路7は、吸気流の温度(以下、吸気温と呼ぶ)に応じて抵抗値が変化する吸気温検出抵抗体10、発熱抵抗体3の温度に応じて抵抗値が変化する発熱温度検出抵抗体11、および固定抵抗12、13を有する。また、吸気温検出抵抗体10と固定抵抗12との接続点の電位を示す端子14、および発熱温度検出抵抗体11と固定抵抗13との接続点の電位を示す端子15は、比較器16の入力端に接続され、比較器16は、これらの端子14、15間の電位差に応じて信号を出力する。
また、比較器16から出力される信号は、発熱抵抗体3への通電をオンオフするスイッチング素子17に入力され、発熱抵抗体3は、比較器16から出力される信号によりスイッチング素子17が作動することで通電を受ける。
以上の構成により、発熱温度制御ブリッジ回路7は、発熱抵抗体3の温度を吸気流の温度よりも一定の温度だけ高い基準温度に制御する。
すなわち、発熱抵抗体3の温度が基準温度よりも下がると、発熱温度検出抵抗体11の温度も下がって発熱温度検出抵抗体11の抵抗値が低下し、端子14、15間の電位差の正負が逆転して比較器16から信号の出力が始まる。これにより、スイッチング素子17が作動して発熱抵抗体3への通電が行われ、発熱抵抗体3の温度とともに発熱温度検出抵抗体11の温度も上がって発熱温度検出抵抗体11の抵抗値が上昇する。
この結果、端子14、15間の電位差の正負が再度逆転して比較器16から信号の出力が止まり、スイッチング素子17が作動を停止して発熱抵抗体3への通電が止まる。そして、発熱抵抗体3の温度が、再度、基準温度よりも低下すると、同様の動作が繰り返される。
センサ電圧検出ブリッジ回路8は、それぞれ、発熱抵抗体3の上、下流側に配されて吸気量に応じて抵抗値が変化する上流側流量検出抵抗体21、22、および下流側流量検出抵抗体23、24を有し、電源25から電力の供給を受けて通電状態になっている。また、発熱抵抗体3、上流側流量検出抵抗体21、22、および下流側流量検出抵抗体23、24は、所定のシリコン基板26のメンブレン27上に設けられ、上流側から下流側に向かって、上流側流量検出抵抗体22、21、発熱抵抗体3、下流側流量検出抵抗体23、24の順に設けられている(図3参照)。
なお、発熱温度制御ブリッジ回路7を構成する吸気温検出抵抗体10、発熱温度検出抵抗体11、および固定抵抗12、13はシリコン基板26上に設けられている。
また、上流側流量検出抵抗体21と下流側流量検出抵抗体23との接続点の電位を示す端子28、および上流側流量検出抵抗体22と下流側流量検出抵抗体24との接続点の電位を示す端子29は、増幅器30の入力端に接続され、増幅器30は、これらの端子28、29間の電位差に応じた信号を出力する。
以上の構成により、センサ電圧検出ブリッジ回路8は、吸気量に応じた電圧値を出力する。
すなわち、発熱温度制御ブリッジ回路7により基準温度に制御されている発熱抵抗体3によって、図3に示すように、メンブレン27上には、吸気量に応じた温度分布が吸気流の流れ方向に形成される。そして、上流側流量検出抵抗体21、22および下流側流量検出抵抗体23、24の抵抗値は、温度分布に応じた数値(つまり、吸気量に応じた数値)となっている。
このため、例えば、吸気量が増加して温度分布が下流側に偏ると、発熱抵抗体3の上流側では温度が下がって上流側流量検出抵抗体21、22の抵抗値が低下し、発熱抵抗体3の下流側では温度が上がって下流側流量検出抵抗体23、24の抵抗値が上昇する。
この結果、端子28、29間の電位差が変化するので、センサ電圧検出ブリッジ回路8は、端子28、29間の電位差を、吸気量に応じた電圧値として出力することができる。すなわち、センサ電圧検出ブリッジ回路8は、吸気量の変化に伴う上流側流量検出抵抗体21、22および下流側流量検出抵抗体23、24の抵抗値変化を、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値として出力することができる(以下の説明では、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値を、センサ電圧検出ブリッジ回路8の出力電圧値と呼んだり、単に、電圧値と略して呼んだりすることがある)。
信号処理回路部6は、センサ電圧検出ブリッジ回路8から出力される信号(つまり、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値を示す信号)をデジタル値に変換するA/D変換器34、デジタル化された電圧値に各種の演算処理を施すDSP(デジタル・シグナル・プロセッサの略)35、DSP35から出力されるデジタル値をパルス信号の周波数に変換して出力するF/V変換器36、DSP35による演算処理に必要な各種の数値等を記憶するEEPROM37等を有する。
そして、ECUは、信号処理回路部6から出力されるパルス信号の周波数に基づいて吸気量を把握する。
なお、比較器16、増幅器30、A/D変換器34、DSP35、F/V変換器36等は、発熱温度制御ブリッジ回路7やセンサ電圧検出ブリッジ回路8を構成する各種の抵抗体が設けられるシリコン基板26とは別のシリコン基板(図示せず)に搭載され、発熱温度制御ブリッジ回路7やセンサ電圧検出ブリッジ回路8を構成する各種の抵抗体とボンディングワイヤ(図示せず)により電気的に接続されている。
〔実施例の特徴〕
実施例のエアフローメータ1によれば、信号処理回路部6のDSP35は、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値を、各種のパラメータに応じて補正する補正演算部として機能する。そして、ECUは、補正後の電圧値に基づいて吸気量を把握する。
まず、DSP35は、電源25の電圧を監視し、電源25の電圧に応じてセンサ電圧検出ブリッジ回路8の出力電圧値を補正する(以下、電源25の電圧を電源電圧と呼ぶことがある)。
例えば、DSP35は、一定時間ごとにスイッチ39に制御信号を出力して、増幅器30とA/D変換器34との電気的接続を断ち、電源25の出力側とA/D変換器34とを電気的に接続する。これにより、DSP35は、一定時間ごとに電源電圧を監視することができる。
そして、DSP35は、監視により把握した電源電圧の現在値を利用して、デジタル化された電圧値を補正する。ここで、吸気量に対する電圧値の感度は、例えば、図4に示すように、電源電圧に応じて変化する。つまり、電源25の使用劣化により、電源電圧が初期値から現在値に低下した場合、吸気量に対する電圧値の感度は低下する。そこで、DSP35は、例えば、電源電圧の初期値と現在値との比率(初期値/現在値)を算出するとともに、この比率を利用して、電圧値を、電源電圧が初期値であるとした場合の数値に補正する。
例えば、電源電圧の初期値をVCC1、電源電圧の現在値をVCC2、補正前の電圧値をVD´、補正後の電圧値をVDで表記すると、補正後の電圧値VDは以下の数式により算出できる。
〔数式〕VD=VD´×VCC1/VCC2
なお、電源電圧の初期値VCC1は、例えば、EEPROM37に記憶されており、EEPROM37からDSP35に読み出されて補正演算に利用される。
また、電圧値VD´の電源電圧による補正方法は、このような態様に限定されず、例えば、EEPROM37に吸気量と電圧値との相関を電源電圧の数値ごとにマップデータとして記憶しておき、このマップデータに基づいて電圧値VD´を補正してもよい。
次に、DSP35は、電源電圧についての補正後の電圧値VDを、吸気温の基準値における電圧値VDrに補正する。
ここで、EEPROM37は、電圧値VDを、吸気温の基準値における電圧値VDrに補正するための補正係数を、例えば、電圧値VDと吸気温とをパラメータとするマップデータとして記憶している。
そして、DSP35は、このマップデータに電圧値VDの数値、および、吸気温センサ(図示せず)から得られる吸気温の数値を当てはめて補正係数を算出する。この結果、例えば、補正係数の数値がK1として算出された場合、K1を電圧値VDに乗じることで、吸気温の基準値における電圧値VDrを得ることができる。
〔実施例の効果〕
実施例のエアフローメータ1によれば、信号処理回路部6のDSP35は、センサ電圧検出ブリッジ回路8に電力を供給する電源25の電圧を監視し、電源電圧に応じて、センサ電圧検出ブリッジ回路8の電圧値VD´を補正する。
電源電圧は経時変化するため、吸気量等の他の要素が同一であっても、電圧値VD´は、電源電圧の変動の影響を受けて経時変化する。
そこで、DSP35に、電源電圧を監視する機能、および、電源電圧に応じて電圧値VD´を補正する機能を追加する。
これにより、電源電圧についての補正後の電圧値VDは、電源電圧の変動の影響がない値になるので、エアフローメータ1は高精度な信号を出力できる。
また、DSP35は、電源電圧についての補正後の電圧値VDを、吸気温の基準値における電圧値VDrに補正する。
これにより、電圧値VDrは、電源電圧の変動、および吸気温の変動の影響がない値になるので、エアフローメータ1は、吸気量の真値に対して高精度な信号を出力できる。
なお、吸気温についての補正を行うための補正係数は、電圧値VD、吸気温および吸気量に応じて変化する。このため、例えば、電源電圧についての補正を行わずに、電圧値VD´の数値を電圧値VDに用いて補正係数を算出すると、図5に示すように、吸気量がGiではなくGi´であるときの数値(K2)として算出されてしまう(なお、Giは吸気量の真値であり、Gi´は、電源電圧についての補正を行わずに算出した吸気量の値である)。
この結果、吸気温の基準値における電圧値VDrは、誤差の大きな数値となってECUに出力されてしまう。これに対し、電源電圧についての補正後の電圧値VDを用いて補正係数を算出することで、エアフローメータ1は、吸気量の真値Giに対して高精度な信号を出力できる。
〔変形例〕
実施例のエアフローメータ1によれば、EEPROM37は、吸気温についての補正をするための補正係数を、電圧値VDと吸気温とをパラメータとするマップデータとして記憶していたが、補正係数を算出するためのマップデータは、このような態様に限定されない。例えば、電圧値VDと吸気温とをパラメータとする吸気量に関するマップデータ、および吸気温と吸気量とをパラメータとする補正係数に関するマップデータをEEPROM37に記憶しておき、電圧値VDと吸気温とに基づいて吸気量を求め、さらに、求めた吸気量と吸気温とに基づいて補正係数を算出してもよい。
さらに、実施例のエアフローメータ1は、車両の内燃機関に吸入される吸気量を検出するために用いられていたが、エアフローメータ1の使用用途は、このような吸気量の検出に限定されず、様々な空気流路を通過する空気流の流量検出に用いることができる。
1 エアフローメータ
3 発熱抵抗体
8 センサ電圧検出ブリッジ回路(ブリッジ回路)
21 上流側流量検出抵抗体(抵抗体)
22 上流側流量検出抵抗体(抵抗体)
23 下流側流量検出抵抗体(抵抗体)
24 下流側流量検出抵抗体(抵抗体)
25 電源
35 DSP(補正演算部)
VD´ 電圧値
VD 電圧値(電源の電圧の基準値における数値)
VDr 電圧値(空気流の温度の基準値における数値)
VCC1 電源電圧の初期値(電源の電圧の基準値)

Claims (3)

  1. 所定の空気流路を通過する空気流との伝熱を利用して、前記空気流の流量を検出するエアフローメータにおいて、
    通電により発熱する発熱抵抗体と、
    この発熱抵抗体の上流側および下流側に抵抗体を有し、前記空気流の流量変化に伴う前記抵抗体の抵抗値変化を電圧値として出力するブリッジ回路と、
    このブリッジ回路に電力を供給する電源の電圧を監視し、この電源の電圧に応じて前記電圧値を補正する補正演算部とを備えるエアフローメータ。
  2. 請求項1に記載のエアフローメータにおいて、
    前記補正演算部は、前記電圧値を、前記電源の電圧の基準値における数値に補正することを特徴とするエアフローメータ。
  3. 請求項1または請求項2に記載のエアフローメータにおいて、
    前記補正演算部は、前記電源の電圧に応じて補正された前記電圧値を、さらに前記空気流の温度の基準値における数値に補正することを特徴とするエアフローメータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019039870A (ja) * 2017-08-28 2019-03-14 ファナック株式会社 検出装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1123334A (ja) * 1997-07-08 1999-01-29 Hitachi Ltd 発熱抵抗体式空気流量測定装置およびその計測誤差補正方法および装置
JPH11311559A (ja) * 1998-04-30 1999-11-09 Aichi Keiso Kk センサー回路系
JP2001324364A (ja) * 2000-05-15 2001-11-22 Hitachi Ltd 熱式空気流量測定装置とその流量計及びそれを用いた内燃機関並びに熱式空気流量測定方法
JP2005283604A (ja) * 2005-06-27 2005-10-13 Hitachi Ltd 熱式空気流量計

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1123334A (ja) * 1997-07-08 1999-01-29 Hitachi Ltd 発熱抵抗体式空気流量測定装置およびその計測誤差補正方法および装置
JPH11311559A (ja) * 1998-04-30 1999-11-09 Aichi Keiso Kk センサー回路系
JP2001324364A (ja) * 2000-05-15 2001-11-22 Hitachi Ltd 熱式空気流量測定装置とその流量計及びそれを用いた内燃機関並びに熱式空気流量測定方法
JP2005283604A (ja) * 2005-06-27 2005-10-13 Hitachi Ltd 熱式空気流量計

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019039870A (ja) * 2017-08-28 2019-03-14 ファナック株式会社 検出装置

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