JP2010215417A - ガス分離用セラミック薄膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガス分離用セラミック薄膜は、セラミックス前駆体であるポリカルボシラン(PCS)またはPCSに他の高分子材料を混合したポリマーブレンドなどのケイ素系混合高分子材料をセラミック基材上に成膜し、真空中や不活性ガス中などの無酸素環境下において電離放射線により架橋した後、アルゴンガスなどの高級不活性ガス中で焼成することにより製造される。
【選択図】図1
Description
102 架橋工程
103 焼成工程
Claims (8)
- セラミックス前駆体であるケイ素系混合高分子材料をセラミック基材上に成膜し、無酸素環境下において電離放射線により架橋した後、不活性ガス中で焼成して、セラミック薄膜を作製するガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- 請求項1記載の製造方法において、前記ケイ素系高分子材料が、ポリカルボシラン(PCS)またはPCSに他の高分子材料を混合したポリマーブレンドであり、セラミック薄膜が炭化ケイ素(SiC)薄膜であることを特徴とするガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- 請求項1記載の製造方法において、前記セラミック基材が表面平滑性のない多孔質基材であることを特徴とするガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- 請求項2または3に記載の製造方法において、前記電離放射線が電子線であることを特徴とするガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- 請求項4記載の製造方法において、前記電子線の線量が8〜15MGyであって、照射の初期段階において前記ケイ素系高分子材料を融点以下の温度に保持することを特徴とするガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- セラミックス前駆体であるポリカルボシラン(PCS)またはPCSに他の高分子材料を混合したポリマーブレンドを多孔質セラミック基材上に成膜し、ヘリウムガス中で電子線により架橋した後、アルゴンガス中で焼成して、セラミック薄膜を作製するガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- 請求項6記載の製造方法において、前記アルゴンガス中での焼成工程は、アルゴン流通下でラジカルが消滅するまで加熱した後、一旦室温まで冷却し、その後再びアルゴン流通下でセラミックに転換するまで焼成することを特徴とするガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
- 請求項6または7記載の製造方法において、前記電子線の線量が8〜15MGyであって、照射の初期段階において前記ケイ素系高分子材料をヘリウムガス冷却によって融点以下の温度に保持することを特徴とするガス分離用セラミック薄膜の製造方法。
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2009
- 2009-03-13 JP JP2009060349A patent/JP2010215417A/ja active Pending
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