JP2010214515A - ガラス研磨材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
ガラス研磨材の製造方法は、被研磨物の研磨に使用されたガラス研磨材を含む第1の水分散液を回収する工程と、第1の水分散液を凍結させて、氷の結晶の間に該ガラス研磨材の二次粒子を形成させる工程と、該氷を融解させて、該二次粒子を含む第2の水分散液を得る工程と、第2の水分散液から水を除去することにより、該二次粒子を再使用可能なガラス研磨材として回収する工程とを備える。前記再使用可能なガラス研磨材を水洗することが好ましい。前記ガラス研磨材は、希土類元素の酸化物である。
【選択図】 図2
Description
次に、前記使用済みのガラス研磨材を含む研磨液に含まれる粗大なガラス組織を、0.045mmの目開きを有する篩で濾過して除去することにより、使用済みのガラス研磨材を含む第1の水分散液20kgを回収した。このとき、除去された粗大なガラス組織は、30gであった。第1の水分散液に含まれる使用済みのガラス研磨材を前記走査型電子顕微鏡で撮影したところ、図4に示すように、粒径が0.1〜0.2μm程度の一次粒子となっていた。
Claims (3)
- 被研磨物の研磨に使用されたガラス研磨材を含む第1の水分散液を回収する工程と、
第1の水分散液を凍結させて、氷の結晶の間に該ガラス研磨材の二次粒子を形成させる工程と、
該氷を融解させて、該二次粒子を含む第2の水分散液を得る工程と、
第2の水分散液から水を除去することにより、該二次粒子を再使用可能なガラス研磨材として回収する工程とを備えることを特徴とするガラス研磨材の製造方法。 - 前記再使用可能なガラス研磨材を水洗することを特徴とする請求項1記載のガラス研磨材の製造方法。
- 前記ガラス研磨材は、希土類元素の酸化物であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のガラス研磨材の製造方法。
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