JP2010212584A - 回路基板用金属箔テープ - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置に求められる小型化、軽量化の要求を満たし、かつ、耐熱性や耐折性に優れ、実装された半導体素子の放熱性が高められた回路基板を製造可能な、回路基板用金属箔テープの提供。
【解決手段】回路基板用金属箔テープは、予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用される金属箔テープであって、少なくとも金属箔と接着剤層からなり、該金属箔の厚みが5〜100μmであり、該接着剤の厚みが2〜40μmである。
【選択図】なし
【解決手段】回路基板用金属箔テープは、予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用される金属箔テープであって、少なくとも金属箔と接着剤層からなり、該金属箔の厚みが5〜100μmであり、該接着剤の厚みが2〜40μmである。
【選択図】なし
Description
本発明は、TCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip on Film)、フレキシブルプリント配線板等の回路基板に用いられる回路基板用金属箔テープに関する。
従来、回路基板に半導体素子が接続された半導体装置としては、TCPやCOF等が知られている。TCPは、ポリイミドフィルム等の絶縁フィルム(例えば、12〜100μm厚×35〜70mm幅)、接着剤、銅箔(例えば、18μm厚)の3層構造からなり、インナーリードとしてフライングリードの構造をとっており、配線ピッチは40μm以上が一般的である。これに対し、COFは、絶縁フィルムと銅箔(例えば、8〜35μm厚)からなる2層構造であり、インナーリードが絶縁フィルムに密着していることから、TCPと比較して、より微細な配線形成が容易であり、例えば配線ピッチが30μm以下のインナーリードも可能である。
前記TCPやCOFに代表される半導体装置においては、半導体素子が動作することにより発生する多量の熱を如何に効率よく放熱させるかが問題となっている。即ち、発生した熱は、一部が半導体素子の電極パッド側表面とは反対側の裏面から外部へ放熱され、一部がバンプ、インナーリード及びアウターリードを介して、半導体素子が接続された配線基板から外部へ放熱される。そして残部が半導体素子の表面から封止樹脂と絶縁フィルムとを介して、外部へ放熱される。この放熱が不十分な場合、蓄積された熱により半導体素子が動作不良を起こす恐れがある。従って、半導体素子が発生する熱を如何に効率よく放熱させるかは、半導体装置にとっては重要な問題である。
このような状況下、近年、半導体素子からの発熱量は大きく増加する傾向があり、前記放熱の問題は益々大きな問題になっている。例えば、前記COFの場合、近年のディスプレイの大型化、高解像度化によって、COFの半導体素子に加えられる駆動電圧及び動作周波数が高くなり、これによって半導体素子からの発熱量は増大している。
更に近年、電子装置には、小型・薄型・軽量・高性能・高機能、高品質・高信頼性が要求されるようになっており、このような電子装置に用いられる回路基板も高密度配線が要求されるようになっている。例えば、COF用回路基板の配線の場合には、小型化、高密度化が要求されて微細化し、インナーリードの幅は、例えば15μm以下と小さくなってきている。このため、上記のバンプ、インナーリード及びアウターリードを介しての放熱の効率は低下し、半導体素子の放熱対策が深刻な問題となっている。
このような半導体素子の放熱問題を改善するために、例えば特許文献1には、金属放熱板が接着剤を介して配線基板に接着された放熱板付配線基板が提案されている。しかしながら、そこで提案されている金属放熱板の金属の厚みは0.5〜2mmとされている。このように厚い金属を放熱板として用いた場合、放熱効率は確保できるものの、その厚みのために、配線基板全体が重いものになると同時に、金属の剛性のために配線基板の導体にダメージを与えやすくなるという問題が新たに発生してしまう。さらには金属が接着された部位で配線基板を折り曲げると、導体に著しいストレスが発生し、導体が容易に破断するという問題もある。また、金属放熱板と配線基板とを接着させる接着剤の厚みも40〜150μmと厚く、そのため放熱の効率が低下するとともに、導体へのストレスを与えやすくなるという問題もある。
また、特許文献2には、一方の面に配線及び半導体が配置され、他方の面に放熱部材が配置されたCOF等の半導体装置が提案されている。しかしながら、そこで提案された装置は、放熱部材が配置される位置が制約される上、使用される放熱部材の厚みや特性について関心が払われていないことから、放熱部材が配置された部位での折り曲げ等に対する適性がないものである。その結果、特許文献2の半導体装置には、使用方法が制限されるという問題があった。
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みて、半導体装置に求められる小型化、軽量化の要求を満たし、かつ、耐熱性や耐折性に優れ、実装された半導体素子の放熱性が高められた回路基板を製造可能な、回路基板用金属箔テープの提供を目的とするものである。
本発明によれば、以下に示す回路基板用金属箔テープが提供される。
〔1〕 予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用される金属箔テープであって、少なくとも金属箔と接着剤層からなり、該金属箔の厚みが5〜100μmであり、該接着剤層の厚みが2〜40μmであることを特徴とする回路基板用金属箔テープ。
〔2〕前記金属箔の引張破壊伸びが3%以上であることを特徴とする前記〔1〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔3〕前記金属箔の引張弾性率が5〜40GPaであることを特徴とする前記〔1〕又は〔2〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔4〕前記金属箔がアルミニウム箔であることを特徴とする前記〔1〕〜〔3〕の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
〔5〕前記接着剤がアクリル系接着剤であることを特徴とする前記〔1〕〜〔4〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔6〕前記アクリル系熱接着剤がアクリル系ポリマーとエポキシ硬化剤を含有することを特徴とする前記〔5〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔7〕前記接着剤層を構成する接着剤の硬化後の引張弾性率が10MPa以下であることを特徴とする前記〔1〕〜〔6〕の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
〔8〕前記接着剤層に離型性フィルムが積層されていることを特徴とする請求項前記〔1〕〜〔7〕の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
〔1〕 予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用される金属箔テープであって、少なくとも金属箔と接着剤層からなり、該金属箔の厚みが5〜100μmであり、該接着剤層の厚みが2〜40μmであることを特徴とする回路基板用金属箔テープ。
〔2〕前記金属箔の引張破壊伸びが3%以上であることを特徴とする前記〔1〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔3〕前記金属箔の引張弾性率が5〜40GPaであることを特徴とする前記〔1〕又は〔2〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔4〕前記金属箔がアルミニウム箔であることを特徴とする前記〔1〕〜〔3〕の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
〔5〕前記接着剤がアクリル系接着剤であることを特徴とする前記〔1〕〜〔4〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔6〕前記アクリル系熱接着剤がアクリル系ポリマーとエポキシ硬化剤を含有することを特徴とする前記〔5〕に記載の回路基板用金属箔テープ。
〔7〕前記接着剤層を構成する接着剤の硬化後の引張弾性率が10MPa以下であることを特徴とする前記〔1〕〜〔6〕の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
〔8〕前記接着剤層に離型性フィルムが積層されていることを特徴とする請求項前記〔1〕〜〔7〕の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
本発明の請求項1に記載の回路基板用金属箔テープは、特定厚みの金属箔と、特定厚みの接着剤層から構成されていることから、該テープを用いることにより、耐折性、耐熱性を損なうことなく、放熱性に優れた回路基板を与えることができる。なお。本発明の金属箔テープは、絶縁フィルムの半導体素子搭載側に設置することもできれば、半導体素子搭載の反対側にも設置できる。
また、請求項2、請求項3に記載の回路基板用金属箔テープによれば、引張破壊伸びが大きく、または引張弾性率の小さい金属箔を使用していることから、より耐折性に優れた回路基板を与えることができる。
請求項4に記載の発明によれば、金属箔としてアルミニウム箔を用いることにより、熱伝導性や耐腐食性に優れ、かつ、低コストで製造可能な回路基板を与えることができる。
請求項5、6に記載の発明によれば、接着剤層が特定組成であることから、密着性、耐熱性、および耐折性に優れた回路基板用金属箔テープを提供することができる。
請求項7に記載の発明によれば、引張弾性率の低い接着剤を用いていることから、耐折性により優れる回路基板用金属箔テープを得ることができる。
請求項8に記載の金属箔テープは、接着剤層に離型性フィルムが積層されていることにより、取り扱いやすいものである。
また、請求項2、請求項3に記載の回路基板用金属箔テープによれば、引張破壊伸びが大きく、または引張弾性率の小さい金属箔を使用していることから、より耐折性に優れた回路基板を与えることができる。
請求項4に記載の発明によれば、金属箔としてアルミニウム箔を用いることにより、熱伝導性や耐腐食性に優れ、かつ、低コストで製造可能な回路基板を与えることができる。
請求項5、6に記載の発明によれば、接着剤層が特定組成であることから、密着性、耐熱性、および耐折性に優れた回路基板用金属箔テープを提供することができる。
請求項7に記載の発明によれば、引張弾性率の低い接着剤を用いていることから、耐折性により優れる回路基板用金属箔テープを得ることができる。
請求項8に記載の金属箔テープは、接着剤層に離型性フィルムが積層されていることにより、取り扱いやすいものである。
以下、本発明の回路基板用金属箔テープについて詳細に説明する。
本発明の回路基板用金属箔テープ(以下、単に「金属箔テープ」ともいう。)は、少なくとも金属箔と接着剤層からなるものであり、予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用されるものである。本発明の金属箔テープがラミネートされた回路基板は、耐折性を損なうことなく、強度、放熱効率が向上する。このように、ラミネートするだけで回路基板の耐折性を損なうことなく、強度および放熱効率を向上させることができる金属箔テープは従来存在しなかったものである。
本発明の回路基板用金属箔テープ(以下、単に「金属箔テープ」ともいう。)は、少なくとも金属箔と接着剤層からなるものであり、予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用されるものである。本発明の金属箔テープがラミネートされた回路基板は、耐折性を損なうことなく、強度、放熱効率が向上する。このように、ラミネートするだけで回路基板の耐折性を損なうことなく、強度および放熱効率を向上させることができる金属箔テープは従来存在しなかったものである。
本発明の金属箔テープを構成する前記金属箔の厚みは、5〜100μmであり、好ましくは7〜90μm、より好ましくは10〜80μm、さらに好ましくは20〜60μmである。該厚みが5μm未満では、放熱効率が低下するとともに、強度が低下してしまい、ハンドリングが難しくなる。一方、100μmを超えると、重くなりすぎるとともに、耐折性が低下してしまう傾向がある。従って、5〜100μmの厚みの金属箔を用いることで、強度、放熱効率および耐折性を備えた回路基板用金属箔テープとすることができる。
金属箔の材質としては、銅、アルミニウム、ニッケル、タングステン等の任意の金属やニクロム、ステンレス等の任意の合金を使用することができ、耐折性や加工性等の観点から銅およびアルミニウムが好ましく、さらに、コストや耐腐食性等の観点でアルミニウムがより好ましい。
なお、金属箔は、単層の形態を有していてもよく、積層された形態を有していてもよい。
なお、金属箔は、単層の形態を有していてもよく、積層された形態を有していてもよい。
本発明の金属箔テープに用いる金属箔は、その引張破壊伸びが3%以上であることが好ましく、4%以上であることがより好ましい。引張破壊伸びが3%以上の金属箔を用いることで、より耐折性に優れた金属箔テープとすることができる。なお、該引張破壊伸びの上限値に制限はないが、製造が容易であることから通常30%であり、好ましくは20%である。
また、引張弾性率が5〜40GPaの範囲にある金属箔を用いることが好ましく、より好ましくは10〜35GPaであり、更に好ましくは15〜30GPaである。引張弾性率が5GPa以上の金属箔を用いることで、しわ等の外観上の不具合を起こすことなく、十分な強度のテープとすることができ、また、40GPa以下とすることで、回路基板に形成された配線に与えるダメージが小さくなり、耐折性が向上する。
また、引張弾性率が5〜40GPaの範囲にある金属箔を用いることが好ましく、より好ましくは10〜35GPaであり、更に好ましくは15〜30GPaである。引張弾性率が5GPa以上の金属箔を用いることで、しわ等の外観上の不具合を起こすことなく、十分な強度のテープとすることができ、また、40GPa以下とすることで、回路基板に形成された配線に与えるダメージが小さくなり、耐折性が向上する。
このように、本発明に好適に用いることができる、引張破壊伸びが大きく、及び/又は引張弾性率が低い金属箔は、例えば200℃以上の高温で金属箔を焼鈍処理することで好適に得ることができる。
金属箔の形成方法は特に制限されず、例えば、圧延方法や電解方法などを採用することができる。
本発明の金属箔テープの接着剤層に用いられる接着剤としては、アクリル系、エポキシ系、シリコーン系等任意の接着剤を用いることができる。これらの中では、耐熱性や接着性等の観点から、アクリル系接着剤を好適に用いることができる。アクリル系接着剤は、アクリル系ポリマーを主成分又はベースポリマーとして含んでいるものである。
前記アクリル系ポリマーとしては、特に制限されないが、主構成単量体成分(モノマー主成分)として、(メタ)アクリル酸アルキルエステル(アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル)が用いられることが好ましい。(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸イソアミル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸イソノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸イソデシル、(メタ)アクリル酸ウンデシル、(メタ)アクリル酸ドデシルなどの(メタ)アクリル酸C1−12アルキルエステルが好ましい。
なお、アクリル系ポリマーにおいて、(メタ)アクリル酸エステルは単量体主成分として用いられているので、(メタ)アクリル酸エステルの割合としては、単量体成分全量に対して50重量%以上の割合で用いられていることが重要であり、好ましくは70重量%以上、さらに好ましくは80重量%以上である。(メタ)アクリル酸エステルの割合の上限としては、もちろん、100重量%以下であるが、好ましくは97重量%以下、さらに好ましくは95重量%以下である。
このようなアクリル系ポリマーを構成するモノマー成分としては、(メタ)アクリル酸エステルをモノマーが主成分でありさえすれば、(メタ)アクリル酸エステルと共重合が可能な他のモノマー成分(以下、「共重合性モノマー成分」と称する場合がある)が1種又は2種以上用いられていてもよい。このような共重合性モノマー成分としては、(メタ)アクリル酸エステルと共重合が可能な他のモノマー成分として公知のモノマー成分の中から適宜選択することができる。
具体的には、共重合性モノマー成分としては、例えば、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシブチル等の(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルの他、ビニルアルコール、アリルアルコールなどの水酸基含有モノマー;(メタ)アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イソクロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー又はその酸無水物(無水マレイン酸、無水イコタン酸など);(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−メチロールプロパン(メタ)アクリルアミド、N−メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミドなどのアミド系モノマー;(メタ)アクリル酸アミノエチル、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸t−ブチルアミノエチルなどのアミノ基含有モノマー;(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸メチルグリシジルなどのエポキシ基含有モノマー;アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ含有モノマー;N−ビニル−2−ピロリドン、N−メチルビニルピロリドン、N−ビニルピリジン、N−ビニルピペリドン、N−ビニルピリミジン、N−ビニルピペラジン、N−ビニルピラジン、N−ビニルピロール、N−ビニルイミダゾール、N−ビニルオキサゾール、N−ビニルモルホリン、N−ビニルカプロラクタム、N−(メタ)アクリロイルモルホリンなどの窒素原子含有環を有するモノマーなどの官能基含有モノマー成分が挙げられる。
また、共重合性モノマー成分としては、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー;スチレン、置換スチレン(α−メチルスチレン等)、ビニルトルエンなどのスチレン系モノマー;エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー;塩化ビニル、塩化ビニリデン;2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネートなどのイソシアネート基含有モノマー;(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸エトキシエチルなどのアルコキシ基含有モノマー;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマーの他、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ(メタ)アクリレート、ヘキシルジ(メタ)アクリレートなどの多官能モノマーも用いることができる。
共重合性モノマー成分としては、(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキル等の水酸基含有モノマー、(メタ)アクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー又はその酸無水物、ジアルキル(メタ)アクリルアミド等のアミド系モノマーなどの官能基含有モノマー成分が好適であり、特に、カルボキシル基含有モノマーもしくは水酸基含有モノマーを好適に用いることができる。従って、アクリル系ポリマーとしては、官能基を含有するアクリル系ポリマーが好適であり、特に、カルボキシル基や水酸基を含有するアクリル系ポリマーを好適に用いることができる。
アクリル系ポリマーを調製するための重合方法としては、特に制限されず、公知の重合方法(溶液重合方法、乳化重合方法、UV重合方法、塊状重合方法など)の中から適宜選択することができるが、簡便性、コスト等の観点から、溶液重合方法が好ましい。
なお、重合に際しては、必要に応じて重合開始剤を用いることができる。重合開始剤としては、例えば、2,2´−アゾビスイソブチロニトリル、2,2´−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2´−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2´−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、1,1´−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2,2´−アゾビス(2,4,4−トリメチルペンタン)、ジメチル2,2´−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ系重合開始剤;ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ジクミルパーオキサイド、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロドデカン等の過酸化物系重合開始剤などの油溶性重合開始剤が挙げられる。重合開始剤は1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
なお、重合に際しては、必要に応じて重合開始剤を用いることができる。重合開始剤としては、例えば、2,2´−アゾビスイソブチロニトリル、2,2´−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2´−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2´−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、1,1´−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2,2´−アゾビス(2,4,4−トリメチルペンタン)、ジメチル2,2´−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ系重合開始剤;ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ジクミルパーオキサイド、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロドデカン等の過酸化物系重合開始剤などの油溶性重合開始剤が挙げられる。重合開始剤は1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
重合開始剤の使用量は、通常の使用量でよく、例えば、全モノマー成分100重量部に対して0.01〜1重量部である。
溶液重合方法によりアクリル系ポリマーの重合を行う場合、重合時の溶剤としては、一般的に用いられている溶剤であれば適宜選択して用いることができ、例えば、酢酸エチル、酢酸n−ブチル等のエステル類;トルエン等の芳香族炭化水素類;n−ヘキサン等の脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン等の脂環式炭化水素類;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類などの中から1種又は2種以上組み合わせて用いることができる。
接着剤層を形成するためのアクリル系接着剤組成物には、アクリル系ポリマーと架橋反応できる官能基を有する硬化剤が配合されていてもよい。硬化剤としては、公知の硬化剤の中から適宜選択することができ、例えば、メチル化メチロールメラミン、ブチル化ヘキサメチロールメラミン等の多官能メラミン化合物;ジグリシジルアニリン、グリセリンジグリシジルエーテル等の多官能エポキシ化合物;トリレンジイシアネート、ヘキサメチレンジイシアネート、ポリメチレンポリフェニルイシアネート、ジフェニルメタンジイシアネート、トリメチロールプロパントリレンジイシアネート、ポリエーテルポリイシアネート、ポリエステルポリイシアネート等の多官能イシアネート化合物などが挙げられる。硬化剤は1種又は2種以上組み合わせて使用することができる。本発明の硬化剤としては、エポキシ硬化剤を好適に用いることができる。硬化剤の使用量としては、アクリル系ポリマー100重量部に対して、通常、0.01〜20重量部、好ましくは0.1〜10重量部の範囲とするのがよい。
接着剤層を形成するためのアクリル系接着剤組成物中には、これらの成分の他に、必要に応じて、例えば、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、可塑剤、軟化剤、充填剤、着色剤(顔料や染料など)、老化防止剤、界面活性剤、難燃剤、帯電防止剤、酸化防止剤等の公知の添加剤などが含まれていてもよい。
前記成分からなる接着剤は、その硬化後の引張弾性率が10MPa以下であることが好ましい。該引張弾性率が10MPa以下であれば、耐折性に優れる接着剤層となる。かかる観点から、該引張弾性率は5MPa以下であることが好ましく、より好ましくは2MPa以下、特に好ましくは1MPa以下である。その下限は、概ね0.05MPaであり、好ましくは0.1MPaである。
接着剤層の形成方法は、特に制限されず、例えば、基材としての金属箔の所定の面上に直接接着剤を塗布する方法や、予め離型処理が施されたポリエステル等の剥離可能なフィルム上に接着剤層を形成した後、金属箔上に転写する方法等が挙げられる。なお、接着剤の塗布に際しては、慣用の塗工機(例えば、グラビヤロールコーター、ディップロールコーター、バーコーター、ナイフコーター、スプレーコーター、ダイコーターなど)を用いることができる。
本発明の回路基板用金属箔テープを構成する接着剤層の厚みは、2〜40μmであり、好ましくは3〜30μm、さらに好ましくは5〜20μmである。接着剤層の厚みが2μm未満であると均一な層形成が困難であるとともに密着性低下の恐れがあり、40μmを超えると回路基板の耐折性が損なわれるとともに、放熱効率の低下を招いてしまう。従って、接着剤層の厚みを2〜40μmとすることで、密着性、耐折性および放熱性に優れた回路基板用金属箔テープとすることができる。
接着剤層中には、熱伝導性フィラー、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素などを配合することにより、放熱性を向上させることができる。
本発明の金属箔テープ全体の厚みは、7〜140μmが好ましく、より好ましくは10〜120μm、更に好ましくは15〜100μmである。該厚みが薄すぎると、強度が低下してしまい、ハンドリングが難しくなる。一方、該厚みが厚すぎると、耐折性が低下してしまう恐れがある。但し、この全体の厚みは、後記離型フィルムの厚みは含まない厚みである。
なお、金属箔の厚みに対する接着剤層の厚みの比(接着剤層の厚み/金属箔の厚み)は、1/50〜2が好ましく、より好ましくは1/20〜1/1である。該比が小さすぎると被着体に対する接着力が弱くなる恐れがあり、該比が大きすぎると不要な接着剤を用いてしまうとともに、放熱効率が低下する恐れがある。
本発明の金属箔テープの幅は、被着体の大きさを考慮して定められるが、通常5〜500mmが好ましく、より好ましくは10〜300mm、更に好ましくは20〜200mmである。該幅が狭すぎるとハンドリングが悪くなり、広すぎてもハンドリングが悪くなる。
このように得られた回路基板用金属箔テープは、離型性フィルムが保護フィルムとして接着剤層にラミネートなどにより積層された状態で保管し、使用に際し保護フィルムを剥がして電子装置にラミネートすることにより放熱シートとして使用可能な、保護フィルム付き回路基板用金属箔テープとすることができる。
前記保護フィルムとしては、離型処理が施されたポリエステルフィルムや、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等の任意のフィルムを用いることができる。
本発明の金属箔テープは、例えば、TCP、COFやフレキシブルプリント配線板等の回路が予め形成された任意の回路基板に用いることができる。また、回路基板全面にラミネートしても、回路基板の一部にラミネートしても良く、その設置箇所としては特に限定されなく、例えば、絶縁フィルムの半導体素子搭載側と反対側の絶縁フィルム面にラミネートすることができる。また、絶縁フィルムの半導体素子搭載側の例えば配線の周りや、カバーレイフィルム上、ソルダーレジスト上などにもラミネートすることができる。半導体素子搭載側にラミネートすると、発熱体である半導体素子とより近い、つまり熱伝達の経路として絶縁フィルムを介さない位置に設置することになるので、放熱性をより向上させることができる。
本発明の金属箔テープを被着体である回路基板にラミネートする方法は特に限定されないが、例えば、熱ラミネータ等を用いると接着剤層と被着体の間に気泡が入りにくいので好ましい。
放熱板を被着体に設置した後の接着剤層の硬化について、温度条件は特に限定されないが、例えば、50℃〜260℃、より好ましくは80℃〜200℃、さらに好ましくは100〜180℃で行うことができる。温度が低すぎると十分な接着力を得るには長時間の硬化が必要となるため生産性が低下してしまい、温度が高すぎると接着剤層の劣化や発泡の恐れがある。また、硬化時間についても特に限定されないが、例えば、10秒〜12時間で行うことができる。
本発明の回路基板用金属箔テープは、TCP、COFやフレキシブルプリント配線板等の任意の回路基板に用いることができるが、特に導体幅30μm以下の回路を有し、半導体が搭載されたTCPやCOF等の回路基板に使用することで、半導体駆動時の発熱等による温度上昇により引き起こされるトラブルを防止できる。更に、本発明の金属箔テープがラミネートされた部位で回路基板を折り曲げても、回路へのダメージが小さいので、断線等のトラブルが起り難い耐折性に優れた回路基板を得ることができる。
以下、実施例に基づき本発明を具体的に説明する。しかし、本発明は本実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
厚みが50μm、幅500mmのアルミニウム箔(住軽アルミ箔株式会社製、1085−O、両面光沢材、引張破壊伸び4.2%、引張弾性率27.5GPa)の一方の面上に、硬化後の引張弾性率が0.38MPaの、メタクリル酸アルキルエステル及びメタクリル酸を共重合して得られたアクリル系ポリマーにエポキシ化合物が配合されたアクリル系接着剤を塗布し、130℃で1分間乾燥して、厚みが8μmの接着剤層を形成した後、該接着剤層上に、一方の面がシリコーン系離型処理剤により離型処理が施された厚み25μmの離型性フィルム(三菱樹脂株式会社製、MRX)を保護フィルムとして重ね合わせ、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する積層体とし、更に48mm幅にスリットして回路基板用金属箔テープを得た。
厚みが50μm、幅500mmのアルミニウム箔(住軽アルミ箔株式会社製、1085−O、両面光沢材、引張破壊伸び4.2%、引張弾性率27.5GPa)の一方の面上に、硬化後の引張弾性率が0.38MPaの、メタクリル酸アルキルエステル及びメタクリル酸を共重合して得られたアクリル系ポリマーにエポキシ化合物が配合されたアクリル系接着剤を塗布し、130℃で1分間乾燥して、厚みが8μmの接着剤層を形成した後、該接着剤層上に、一方の面がシリコーン系離型処理剤により離型処理が施された厚み25μmの離型性フィルム(三菱樹脂株式会社製、MRX)を保護フィルムとして重ね合わせ、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する積層体とし、更に48mm幅にスリットして回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープをポリイミドフィルムに後記条件でラミネートした。硬化した後の接着力は0.76kN/mと優れており、260℃1分の加熱処理による気泡の発生や膨れ・剥がれは確認されなかった。
また、0.5mm幅の導体を有する回路加工シートにラミネートした後のMIT試験機による耐折性試験では、474回と優れた耐折性を示した。
また、0.5mm幅の導体を有する回路加工シートにラミネートした後のMIT試験機による耐折性試験では、474回と優れた耐折性を示した。
(実施例2)
金属箔に、30μm厚のアルミニウム箔(日本製箔株式会社製、1N30、片面光沢材、引張破壊伸び5.3%、引張弾性率23.4GPa)を用い、105mmにスリットした以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
金属箔に、30μm厚のアルミニウム箔(日本製箔株式会社製、1N30、片面光沢材、引張破壊伸び5.3%、引張弾性率23.4GPa)を用い、105mmにスリットした以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
(実施例3)
金属箔に、厚みが9μmの銅箔(福田金属箔粉工業株式会社製、RCF−T5B、引張破壊伸び12.1%、引張弾性率23.0GPa)を用いた以外は実施例1と同様にして、銅箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
金属箔に、厚みが9μmの銅箔(福田金属箔粉工業株式会社製、RCF−T5B、引張破壊伸び12.1%、引張弾性率23.0GPa)を用いた以外は実施例1と同様にして、銅箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
(実施例4)
接着剤に、硬化後の引張弾性率が3.29MPaのアクリル系接着剤を用いた以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
接着剤に、硬化後の引張弾性率が3.29MPaのアクリル系接着剤を用いた以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
(実施例5)
接着剤層厚みを15μmとした以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
接着剤層厚みを15μmとした以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力、耐熱性および耐折性の結果を表1に示す。
(比較例1)
金属箔として厚みが150μmのアルミニウム箔を用いた以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力および耐熱性は特に問題は認められなかったが、アルミニウム箔が150μmと厚かったため、耐折性が80回と極めて劣る結果であった。
金属箔として厚みが150μmのアルミニウム箔を用いた以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力および耐熱性は特に問題は認められなかったが、アルミニウム箔が150μmと厚かったため、耐折性が80回と極めて劣る結果であった。
(比較例2)
接着剤層厚みを50μmとした以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力は良好であったが、260℃で1時間加熱後に、接着剤層での発泡が多数確認された。また、耐折性は95回と劣る結果であった。
接着剤層厚みを50μmとした以外は実施例1と同様にして、アルミニウム箔/接着剤層/保護フィルムの層構成を有する回路基板用金属箔テープを得た。
得られた金属箔テープの接着力は良好であったが、260℃で1時間加熱後に、接着剤層での発泡が多数確認された。また、耐折性は95回と劣る結果であった。
(評価)
実施例1〜5および比較例1〜2により得られた回路基板用金属箔テープについて、下記の評価方法により、接着力、耐熱性、耐折性を評価した。評価結果は表1に示した。
なお、耐熱性の評価については、耐熱試験により接着剤層に気泡の発生が見られなかった場合を「○(良好)」とし、気泡の発生が見られた場合を「×(不良)」として評価を行った。
実施例1〜5および比較例1〜2により得られた回路基板用金属箔テープについて、下記の評価方法により、接着力、耐熱性、耐折性を評価した。評価結果は表1に示した。
なお、耐熱性の評価については、耐熱試験により接着剤層に気泡の発生が見られなかった場合を「○(良好)」とし、気泡の発生が見られた場合を「×(不良)」として評価を行った。
(厚みの測定方法)
厚みの測定は、デジマイクロメーター(株式会社ニコン製、MS−11C+MFC−101)およびデジマイクロヘッドに超硬フラット測定子(株式会社ミツトヨ製、パーツNo.120056)を用いて行った。
なお、金属箔の厚みについては金属箔単体で測定し、接着剤層については、金属箔と接着剤層の2層の合計の厚みを測定し、その値と金属箔の厚みの差を接着剤層の厚みとした。
厚みの測定は、デジマイクロメーター(株式会社ニコン製、MS−11C+MFC−101)およびデジマイクロヘッドに超硬フラット測定子(株式会社ミツトヨ製、パーツNo.120056)を用いて行った。
なお、金属箔の厚みについては金属箔単体で測定し、接着剤層については、金属箔と接着剤層の2層の合計の厚みを測定し、その値と金属箔の厚みの差を接着剤層の厚みとした。
(接着力の評価方法)
ポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製、カプトン150EN)と、回路基板用金属箔テープとを、回路基板用金属箔テープの接着剤層とポリイミドフィルムが接するように重ね合わせ、熱ラミネータ装置を用いて120℃で0.5m/分の送り速度熱ラミネートを行い、160℃で2時間硬化して、回路基板用金属箔テープとポリイミドフィルムの積層体とした。なお、回路基板用金属箔テープが保護フィルムを有する場合には、予め保護フィルムを剥がして、ポリイミドフィルムとラミネートした。次に金属箔を2mm幅にエッチング加工して測定用試料とし、測定用試料のポリイミドフィルム側を、両面テープで厚さ1mmのステンレス板に固定し、50mm/分の速度で、金属箔を90°方向に引き剥がし、その際の引き剥がし強さを接着力とした。
ポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製、カプトン150EN)と、回路基板用金属箔テープとを、回路基板用金属箔テープの接着剤層とポリイミドフィルムが接するように重ね合わせ、熱ラミネータ装置を用いて120℃で0.5m/分の送り速度熱ラミネートを行い、160℃で2時間硬化して、回路基板用金属箔テープとポリイミドフィルムの積層体とした。なお、回路基板用金属箔テープが保護フィルムを有する場合には、予め保護フィルムを剥がして、ポリイミドフィルムとラミネートした。次に金属箔を2mm幅にエッチング加工して測定用試料とし、測定用試料のポリイミドフィルム側を、両面テープで厚さ1mmのステンレス板に固定し、50mm/分の速度で、金属箔を90°方向に引き剥がし、その際の引き剥がし強さを接着力とした。
(耐熱性の評価方法)
ポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製、カプトン150EN)に、得られた回路基板用金属箔テープを重ね合わせ、熱ラミネータ装置を用いて120℃で0.5m/分の送り速度で熱ラミネートを行い、160℃で2時間硬化して、耐熱性評価用試料とし、260℃オーブンに1分間入れ、接着剤層の変化の様子を観察した。
ポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製、カプトン150EN)に、得られた回路基板用金属箔テープを重ね合わせ、熱ラミネータ装置を用いて120℃で0.5m/分の送り速度で熱ラミネートを行い、160℃で2時間硬化して、耐熱性評価用試料とし、260℃オーブンに1分間入れ、接着剤層の変化の様子を観察した。
(耐折性の評価方法)
COF用銅張積層板(住友金属鉱山株式会社製 、エスパーフレックス 導体厚み8μm /ポリイミド厚み38μm)をエッチング加工し、ポリイミド幅10mmで導体幅0.5mmの回路加工シートを得た。該回路加工シートに、10mm幅に切断された回路基板用金属箔テープを貼り合わせ、120℃、0.5m/分で熱ラミネート後、160℃で2時間硬化を行い、耐折性試験用試料とした。試験はMIT試験機(東洋精機株式会社製、MIT耐揉疲労試験機MIT−DA)を用い、回路加工シートと回路基板用金属箔テープが重なった部分で屈曲試験を行い、回路加工シートの導体が破断するまでの屈曲回数を測定した(折り曲げ角度±135°、曲率半径R=0.8mm、折り曲げ速度175rpm、荷重100gf/10mmW)。
COF用銅張積層板(住友金属鉱山株式会社製 、エスパーフレックス 導体厚み8μm /ポリイミド厚み38μm)をエッチング加工し、ポリイミド幅10mmで導体幅0.5mmの回路加工シートを得た。該回路加工シートに、10mm幅に切断された回路基板用金属箔テープを貼り合わせ、120℃、0.5m/分で熱ラミネート後、160℃で2時間硬化を行い、耐折性試験用試料とした。試験はMIT試験機(東洋精機株式会社製、MIT耐揉疲労試験機MIT−DA)を用い、回路加工シートと回路基板用金属箔テープが重なった部分で屈曲試験を行い、回路加工シートの導体が破断するまでの屈曲回数を測定した(折り曲げ角度±135°、曲率半径R=0.8mm、折り曲げ速度175rpm、荷重100gf/10mmW)。
(引張弾性率・引張破壊伸びの測定方法)
金属箔については、引張試験機(株式会社島津製作所、Autograph AGS−H)を用い、長さ150mm、幅10mmの試料を、チャック間距離50mm、引張速度5mm/分で測定した。また、接着剤については、アルミニウム箔(住軽アルミ箔株式会社製、1085−O、両面光沢材)上に接着剤を塗布し、130℃で4分間乾燥し、更に160℃で2時間硬化させて、厚みが50μmの接着剤層を形成した後、アルミニウム箔をエッチングにより完全に取り除いて接着剤単膜とし、該接着剤単膜を長さ150mm、幅10mmにカットして、引張試験機(株式会社島津製作所、Autograph AG−IS)を用い、チャック間距離50mm、引張速度50mm/分で測定した。測定はJIS K7127に準拠して行った。
金属箔については、引張試験機(株式会社島津製作所、Autograph AGS−H)を用い、長さ150mm、幅10mmの試料を、チャック間距離50mm、引張速度5mm/分で測定した。また、接着剤については、アルミニウム箔(住軽アルミ箔株式会社製、1085−O、両面光沢材)上に接着剤を塗布し、130℃で4分間乾燥し、更に160℃で2時間硬化させて、厚みが50μmの接着剤層を形成した後、アルミニウム箔をエッチングにより完全に取り除いて接着剤単膜とし、該接着剤単膜を長さ150mm、幅10mmにカットして、引張試験機(株式会社島津製作所、Autograph AG−IS)を用い、チャック間距離50mm、引張速度50mm/分で測定した。測定はJIS K7127に準拠して行った。
Claims (8)
- 予め回路が形成された回路基板にラミネートされて使用される金属箔テープであって、少なくとも金属箔と接着剤層からなり、該金属箔の厚みが5〜100μmであり、該接着剤層の厚みが2〜40μmであることを特徴とする回路基板用金属箔テープ。
- 前記金属箔の引張破壊伸びが3%以上であることを特徴とする請求項1に記載の回路基板用金属箔テープ。
- 前記金属箔の引張弾性率が5〜40GPaであることを特徴とする請求項1又は2に記載の回路基板用金属箔テープ。
- 前記金属箔がアルミニウム箔であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
- 前記接着剤層がアクリル系接着剤からなることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
- 前記アクリル系接着剤層がアクリル系ポリマーとエポキシ硬化剤を含有することを特徴とする請求項5に記載の回路基板用金属箔テープ。
- 前記接着剤層を構成する接着剤の硬化後の引張弾性率が10MPa以下であることを特徴とする請求項1〜6の何れかの項に記載の回路基板用金属箔テープ。
- 前記接着剤層に離型性フィルムが積層されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の回路基板用金属箔テープ。
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JP2012119563A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 半導体装置用フレキシブル基板および半導体装置 |
JP2013038360A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-21 | Toray Ind Inc | 金属支持フレキシブル基板ならびにそれを用いたテープオートメーテッドボンディング用金属支持キャリアテープ、led実装用金属支持フレキシブル回路基板および回路形成用銅箔積層済み金属支持フレキシブル回路基板 |
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