JP2010212168A - 発光装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば、発光部及びレンズ部相互の位置ずれを低減する。
【解決手段】複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）を動作させ、各有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）から、赤色光（ＬＲ）、緑色光（ＬＧ）及び青色光（ＬＢ）を、樹脂層（８０）に向かって出射する。この際、樹脂層（８０）のうち複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）の夫々に重なる複数の部分（８０ａ）の夫々を、複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）の夫々から照射された赤色光（ＬＲ）、緑色光（ＬＧ）及び青色光（ＬＢ）によって変性させる。したがって、樹脂層（８０）のうち複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）の夫々に重なる複数の部分（８０ａ）のみを変性させることができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば、カラー表示が可能なディスプレイ、及びプリンタヘッド等の発光装置を製造するための発光装置の製造方法の技術分野に関する。

この種の発光装置は、有機ＥＬ素子等の発光素子からなる複数の発光部から出射された光を集光するマイクロレンズを備えている場合がある。このようなマイクロレンズは、発光部が形成された装置本体とは別に製造された後、複数のレンズ部と、複数の発光部とを相互に位置合わせした状態で装置本体に配置される。特許文献１乃至４は、複数のレンズ部及び複数の発光部相互の位置合わせを高精度で行う技術が開示されている。

特開２００６−１９６１９７号公報 特開２００７−３０２９０号公報 特開平８−１７１０９９号公報 特開２００８−８７２２０号公報

しかしながら、複数の発光部のピッチが狭小化されるに伴い、複数の発光部及び複数のレンズ部相互の位置合わせを高精度で行うことが困難になってきている問題点がある。より具体的には、例えば、装置本体に形成された複数の発光部と、マイクロレンズを構成する複数のレンズ部とを相互に位置合わせしたとして、装置本体にマイクロレンズを配置する際のハンドリング精度が十分でない場合には、発光部及びレンズ部の夫々の位置が相互にずれたディスプレイやプリンタヘッドが形成されてしまう。発光部及びレンズ部の夫々の位置ずれは、ディプレイが画像を表示する表示性能の低下、及びプリンタヘッドが感光材料に露光する露光精度の低下を招く。

よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、発光部及びレンズ部相互の位置ずれを低減可能な発光装置の製造方法を提供することを課題とする。

本発明に係る発光装置の製造方法は上記課題を解決するために、基板上に配列された複数の発光部を形成する第１工程と、前記複数の発光部から見て前記複数の発光部の夫々から光が出射されるべき側である光出射側に変性膜を形成する第２工程と、前記変性膜のうち前記複数の発光部の夫々に重なる複数の部分の夫々を、前記複数の発光部の夫々から照射された電磁エネルギーによって変性させる第３工程と、前記光出射側において、該変性した複数の部分の夫々が占める複数の領域に複数のレンズ部を形成する第４工程とを備える。

本発明に係る発光装置の製造方法によれば、第１工程において、例えば、有機ＥＬ素子等の自発光素子を各々有してなる複数の発光部が、基板上に一次元的に、又は２次元的に配列されるように、これら発光部を形成する。

第２工程において、前記複数の発光部から見て前記複数の発光部の夫々から光が出射されるべき側である光出射側に変性膜を形成する。「光出射側」とは、当該発光装置の動作時において、各発光部が発光することによって生じた光が出射される側を意味し、例えば、当該発光装置が表示装置である場合には、発光部から見て、画像が表示されるべき側である。また、当該発光装置が、例えば、プリンタに用いられるプリンタヘッドである場合には、発光部から見て、露光対象となる感光用紙が配置されるべき側である。「変性膜」とは、発光部から電磁波等の電磁的手段を用いて直接、或いは間接的に供給されたエネルギーによって、未硬化状態から硬化状態に変化したり、或いはその逆の変化を生じたりする特性を有する膜をいう。

第３工程において、前記変性膜のうち前記複数の発光部の夫々に重なる複数の部分の夫々を、前記複数の発光部の夫々から照射された電磁エネルギーによって変性させる。ここで、「電磁エネルギーによって変性させる」とは、電磁エネルギーに基づくエネルギーによって変性させることを意味する。より具体的には、発光部から複数の部分に照射された電磁エネルギーによって直接複数の部分を変性させてもよいし、電磁エネルギーが熱エネルギー等の他のエネルギーに変換された後、当該他のエネルギーによって複数の部分を変性させてもよいことを意味する。第３工程によれば、変性膜のうち複数の発光部の夫々に重なる複数の部分のみを変性させることができる。言い換えれば、複数の発光部の位置と、変性膜のうち複数の発光部の夫々に重なり、且つ変性した複数の部分の位置とを、平面的に見て相互に一致させることが可能である。

第４工程において、前記光出射側において、該変性した複数の部分の夫々が占める複数の領域に複数のレンズ部を形成する。第４工程によれば、該変性した複数の部分の夫々が占める複数の領域と、複数の発光部とが平面的に見て相互に重なっているため、マイクロレンズを構成する複数のレンズ部の夫々の位置と、複数の発光部の夫々の位置とを、平面的に見て一致させることができる。

よって、本発明に係る発光装置の製造方法によれば、複数の発光部のピッチが狭小化されるに伴い、複数の発光部及び複数のレンズ部相互の位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、発光部及びレンズ部相互の位置ずれを低減可能である。したがって、本発明に係る発光装置の製造方法によれば、例えば、画像を表示する表示性能が高められたディプレイ、及び、感光材料に露光する露光精度が高められたプリンタヘッド等の発光装置を製造可能である。

本発明に係る発光装置の製造方法の一の態様では、前記光は、可視光であり、前記電磁エネルギーは、前記可視光が有するエネルギーであり、前記第３工程において、前記可視光を前記変性膜に照射することによって前記変性膜を変性させてもよい。

この態様によれば、発光装置の製造時において、発光装置の動作時に各発光部から出射される可視光を用いて変性膜を変性させることが可能である。発光部から直接複数の部分の夫々に可視光が照射されるため、発光部の位置と、レンズ部が形成されるべき領域の位置とを自己整合的に一致させることが可能である。

本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様では、前記複数の発光部は、互いに異なる色光を出射する一の発光部及び他の発光部を含んでおり、前記第３工程において、前記一の発光部及び前記他の発光部の夫々は、前記複数の部分のうち前記一の発光部及び前記他の発光部の夫々に重なる一の部分及び他の部分の夫々に相互に等しいエネルギーが供給されるように、発光強度、または発光時間の少なくとも一方が調整されてもよい。

この態様によれば、例えば、発光装置が、複数の発光部の夫々から出射される赤色、緑色、及び青色の夫々の色光によってカラー画像を表示可能な表示装置である場合であっても、複数の部分について、各色光の波長の違いに起因して変性度合いにばらつきが生じることを低減できる。発光強度及び発光時間は、色光の波長、及び変性膜の材料に応じて個別具体的に設定すればよい。

本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様では、前記変性膜は、赤外線によって変性可能な材料を含んでおり、前記複数の発光部の夫々は、前記赤外線を発生可能な材料を含んでおり、前記第３工程において、前記複数の部分の夫々に、前記複数の発光部の夫々から前記赤外線を照射することによって、前記複数の部分の夫々を変性させてもよい。

この態様によれば、例えば、複数の発光部の夫々から互いに異なる波長の光が出射される場合であっても、各発光部相互で一様な波長を有する赤外線によって複数の部分を一様に変性させることが可能である。

本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様では、前記第３工程に先んじて、電磁波を熱エネルギーに変換する変換層を前記変性膜の表面に形成する第５工程とを備え、前記変性膜は、前記熱エネルギーによって変性する材料を含んでおり、前記第３工程において、前記変換層のうち前記複数の発光部の夫々に重なる複数の変換部の夫々に前記複数の発光部から前記電磁波を照射し、該電磁波が照射された複数の変換部の夫々から前記複数の部分の夫々に前記熱エネルギーを供給してもよい。

この態様によれば、複数の発光部の夫々から、光等の電磁波を複数の部分の夫々に直接照射することなく、一旦電磁エネルギーを変換層によって熱エネルギーに変換した後、複数の部分を変性させることが可能である。

本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様では、前記第４工程において、前記変性膜のうち前記変性した複数の部分を除く他の部分を除去し、前記変性した複数の部分の夫々を用いて前記複数のレンズ部を形成してもよい。

この態様によれば、例えば、硬化した複数の部分を残すように、変性膜の他の部分を除去する。その後、硬化した複数の部分にリフロー処理等の処理を施すことによって、レンズ部を形成できる。

本発明に係る発光装置の製造方法の他の態様では、前記第４工程において、前記変性膜のうち前記変性した複数の部分を除去し、前記複数の領域の夫々に前記複数のレンズ部を形成してもよい。

この態様によれば、複数の領域の位置は、平面的に見て複数の発光部の位置と一致しているため、当該複数の領域にレンズ部を形成するだけで、発光部に重なるレンズ部を形成できる。レンズ部を形成する際には、レンズ部を構成する光学材料を、例えば、インクジェット法を用いて複数に領域に滴下し、当該滴下された光学材料を硬化させる。

この態様では、前記第２工程において、前記光出射側に配置された基板の両面のうち前記複数の発光部が形成された一方の面に対向する他方の面に前記変性膜を形成し、前記第４工程において、前記他方の面のうち前記複数の領域に重なる部分を除去することによって、前記複数のレンズ部の夫々のレンズ面を形成してもよい。

この態様によれば、基板に形成されるレンズ面の位置と、発光部の位置とを一致させることが可能である。

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

本発明の第１実施形態に係る発光装置の製造方法によって製造される発光装置の電気的な構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態に係る発光装置の製造方法によって製造される発光装置の具体的な構成を示した部分平面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ´断面図である。 本発明の第１実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その１）である。 本発明の第１実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その２）である。 本発明の第１実施形態に係る発光装置の製造方法の変形例における主要な工程を順に示した工程断面図である。 本発明の第２実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その１）である。 本発明の第２実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その２）である。 本発明の第３実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その１）である。 本発明の第３実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その２）である。 本発明の第４実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その１）である。 本発明の第４実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その２）である。 本発明の第５実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その１）である。 本発明の第５実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その２）である。 本発明の第６実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その１）である。 本発明の第６実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図（その２）である。

以下図面を参照しながら、本発明に係る発光装置の製造方法の各実施形態を説明する。本実施形態では、発光装置の一例として有機ＥＬ装置を挙げる。尚、以下の各実施形態に係る発光装置の製造方法は、相互に同じ波長を有する光を複数の発光部から出射する露光用のラインヘッドを製造する際にも応用可能である。

＜第１実施形態＞
＜１−１：発光装置の構成＞
先ず、図１乃至図３を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法によって製造される有機ＥＬ装置の構成を説明する。図１は、本実施形態に係る発光装置の製造方法によって製造される有機ＥＬ装置の電気的な構成を示したブロック図である。図２は、本実施形態に係る発光装置の製造方法によって製造される有機ＥＬ装置の具体的な構成を示した部分平面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ´断面図である。

図１において、有機ＥＬ装置１は、駆動回路内蔵型のアクティブマトリクス駆動方式で駆動される表示装置である。有機ＥＬ装置１は、画像表示領域１１０にマトリクス状に配列された複数の画素部７０を備えている。複数の画素部７０の夫々は、有機ＥＬ素子７２を備えている。複数の画素部７０は、赤色光（Ｒ）、緑色光（Ｇ）、及び青色光（Ｂ）の夫々を出射する有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを備えている。したがって、複数の画素部７０は、出射され色光に応じて赤色表示用の画素部、緑色表示用の画素部、及び青色表示用の画素部の３種類の画素部から構成されている。

有機ＥＬ装置１は、画像表示領域１１０で縦横に相互に交差するデータ線１１４及び走査線１１２を備えている。データ線１１４及び走査線１１２の交点に対応して各々設けられた複数の画素部７０はマトリクス状に配列されている。更に、画像表示領域１１０には各データ線１１４に対して配列された画素部７０に対応する電源供給線１１７が設けられている。

画像表示領域１１０の周辺に位置する周辺領域には、走査線駆動回路１３０及びデータ線駆動回路１５０が設けられている。走査線駆動回路１３０は複数の走査線１１２に走査信号を順次供給する。データ線駆動回路１５０は、画像表示領域１１０に配線されたデータ線１１４に画像信号を供給する。尚、走査線駆動回路１３０の動作とデータ線駆動回路１５０の動作とは、同期信号線１６０を介して相互に同期が図られる。電源供給線１１７には、外部回路から画素駆動用電源が供給される。図１中、一つの画素部７０に着目すれば、画素部７０には、有機ＥＬ素子７２が設けられると共に、例えばＴＦＴを用いて構成されるスイッチング用トランジスタ７６及び駆動用トランジスタ７４、並びに保持容量７８が設けられている。

スイッチング用トランジスタ７６のゲート電極には走査線１１２が電気的に接続されており、スイッチング用トランジスタ７６のソース電極にはデータ線１１４が電気的に接続され、スイッチング用トランジスタ７６のドレイン電極には駆動用トランジスタ７４のゲート電極が電気的に接続されている。また、駆動用トランジスタ７４のドレイン電極には、電源供給線１１７が電気的に接続されており、駆動用トランジスタ７４のソース電極には有機ＥＬ素子７２の陽極が電気的に接続されている。尚、図１に例示した画素回路の構成の他にも、電流プログラム方式の画素回路、電圧プログラム方式の画素回路、電圧比較方式の画素回路、サブフレーム方式の画素回路等の各種方式の画素回路を採用することが可能である。

次に図２及び図３を参照しながら有機ＥＬ装置１の具体的な構成を説明する。

図２において、有機ＥＬ装置１は、画像表示領域１１０を構成するように図中Ｘ方向及びＹ方向に沿って配列された複数の画素領域７０ｇに臨む有機ＥＬ層５０を備えている。相互に隣り合う有機ＥＬ層５０は、隔壁部４７によって互いに隔てられている。

図３において、有機ＥＬ装置１は、素子基板１０、対向基板２０、素子基板１０上に形成され、且つ、本発明の「発光部」の一例である有機ＥＬ素子７２、駆動用トランジスタ７４、隔壁部４７、本発明の「変性膜」の一例であるポジ型感光樹脂からなる樹脂層８０、及びマイクロレンズ４０を備えている。尚、有機ＥＬ素子７２は、出射する赤色光、緑色光、及び青色光の夫々に応じて有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの３種類の有機ＥＬ素子に分けられている。また、本実施形態では、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂは、図中下側に光を出射するボトムエミッション型の有機ＥＬ素子である。

素子基板１０は、例えば、ガラス基板等の透明基板である。有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂがボトムエミッション型の発光素子であるため、基板１０における有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂに重ならない領域に、図１に示す駆動用トランジスタ７４及びスイッチング用トランジスタ７６が設けられている。素子基板１０は、素子基板１０上に有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂが形成されているだけでなく、図１に示す走査線駆動回路１３０及びデータ線駆動回路１５０等の各種回路を備えている。

有機ＥＬ素子７２Ｒは、有機ＥＬ層５０Ｒと、透明な陽極７３と、陰極７５とを備えて構成されている。

有機ＥＬ層５０は、複数の有機ＥＬ層５０を互いに隔てる隔壁部４７に囲まれた凹部に有機ＥＬ材料を塗布することによって形成されている。より具体的には、有機ＥＬ層５０は、塗布法の一例であるインクジェット法を用いて各有機ＥＬ材料を含むインクを隔壁部４７に囲まれた凹部に塗布することによって形成されている。

陰極７５は、素子基板１０上において複数の画素領域７０ｇ（図２参照。）に渡って形成されており、複数の有機ＥＬ素子７２によって相互に共用される共通電極である。より具体的には、陰極７５は、例えば、素子基板１０上で平面的に見て複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂ間で物理的に接続された電極、或いは一枚の連続した電極として延在している。したがって、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々は、各有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々に対応した有機ＥＬ層５０Ｒ、５０Ｇ及び５０Ｂと、陰極７５のうち各有機ＥＬ素子が形成された領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に重なる部分と、各有機ＥＬ層５０Ｒ、５０Ｇ及び５０Ｂの下側に形成された陽極７３とから構成されている。また、陰極７５は、例えばＡｇ等の反射材料で構成された電極であり、有機ＥＬ層５０Ｒ、５０Ｇ及び５０Ｂから出射された光を図中下側に反射する。

駆動用トランジスタ７４は、図１に示すデータ線１１４を介して、そのゲート電極に供給されたデータ信号に応じてオンオフされ、駆動電流を各有機ＥＬ素子７２に供給する。

対向基板２０は、陰極７５上に配置されており、有機ＥＬ素子７２を封止している。

マイクロレンズ４０は、有機ＥＬ装置１の動作時において、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々が光を出射する光出射側である図中下側に設けられている。マイクロレンズ４０は、複数のレンズ部４１を備えて構成されている。複数のレンズ部４１の夫々は、平面的に見て有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々に重なる領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に形成されている。有機ＥＬ装置１によれば、各有機ＥＬ素子７２の位置と、レンズ部４１の位置とが一致しているため、有機ＥＬ装置１の動作時において各有機ＥＬ素子７２から出射される光の光取り出し効率が高められている。加えて、画像表示領域１１０における輝度のばらつきが低減可能となっている。

＜１−２：発光装置の製造方法＞
次に、図４及び図５を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する。図４及び図５は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図である。本実施形態では、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の夫々に示す工程が、本発明の「第１工程」、「第２工程」、及び「第２工程」の夫々の一例であり、図５（ｄ）乃至（ｆ）に示す一連の工程が、本発明の「第４工程」の一例を構成している。

図４（ａ）に示すように、素子基板１０上に、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂ、陽極７３、駆動用トランジスタ７４、隔壁部４７、隔壁部４７、ならびに陰極７５を形成する。これと並行して、図示しないスイッチング用トランジスタ７６及び保持容量７８を素子基板１０上に形成する。

次に、図４（ｂ）に示すように、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂから見て、有機ＥＬ装置１の動作時において複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から光が出射されるべき側である光出射側、即ち図中下側に、ポジ型感光樹脂から構成された、本発明の「変性膜」の一例である樹脂層８０を形成する。

次に、図４（ｃ）に示すように、各々が本発明の「一の発光部」及び「他の発光部」の一例である複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを動作させ、各有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂから、各々が本発明の「互いに異なる色光」の一例である赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢを、樹脂層８０に向かって出射する。この際、樹脂層８０のうち複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々に重なる複数の部分８０ａの夫々を、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から照射された赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢによって変性させる。

したがって、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、樹脂層８０のうち複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々に重なる複数の部分８０ａのみを変性させることができる。言い換えれば、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の位置と、樹脂層８０のうち複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々に重なり、且つ変性した複数の部分８０ａの位置とを、平面的に見て相互に一致させることが可能である。

ここで、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂは、有機ＥＬ装置１の動作を制御する制御回路等の制御手段の制御下で、赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢによって複数の部分８０ａの夫々に相互に等しいエネルギーが供給されるように、発光強度、または発光時間の一方が調整される。また、発光強度、または発光時間のどちらか一方だけでなく、発光強度と発光時間の両方を夫々調整することも好ましい。これによれば、樹脂層８０の各々一部である複数の部分８０ａについて、各色光の波長の違いに起因して変性度合いにばらつきが生じることを低減できる。

尚、各有機ＥＬ素子７２から出射される光が、単一波長の可視光等の光である場合には、各有機ＥＬ素子７２相互で発光強度及び発光時間を調整することなく、複数の部分８０ａを変性させることができる。

また、本実施形態では、樹脂層８０が赤外線によって変性可能な材料を含んでいると共に、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の有機ＥＬ層５０Ｒ、５０Ｇ及び５０Ｂが、赤外線を発生可能な材料を含んでいてもよい。このような樹脂層８０、並びに、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂによれば、複数の部分８０ａの夫々に、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から各色光と共に赤外線を照射し、当該赤外線によって複数の部分８０ａを変性させることも可能である。したがって、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から互いに異なる波長の赤色光、緑色光及び青色光の夫々が出射される場合であっても、各有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂ相互で一様な波長を有する赤外線によって複数の部分８０ａを一様に変性させることも可能である。

次に、図５（ｄ）に示すように、変性した複数の部分８０ａを除去する。ここで、複数の部分８０ａが占めていた領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＧの夫々は、後述する複数のレンズ部４１が形成される領域である。

次に、図５（ｅ）に示すように、複数の部分８０ａが除去された領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に、例えば、インクジェット法を用いて光学材料を滴下し、その後、当該光学材料を硬化させることによって、複数のレンズ部４１を備えたマイクロレンズ４０を形成する。複数のレンズ部４１は、領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に形成されているため、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの位置と、複数のレンズ部４１の位置とが自己整合的に相互に一致している。

次に、図５（ｆ）に示すように、対向基板２０を配置することによって、有機ＥＬ装置１が組み上げられる。このようにして製造された有機ＥＬ装置１によれば、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの位置と、マイクロレンズ４０を構成する複数のレンズ部４１の位置とが自己整合的に相互に一致しているため、マイクロレンズを有機ＥＬ装置１の本体と別に形成した後、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部４１とが相互に重なるように、有機ＥＬ装置１の本体にマイクロレンズを配置する場合に比べて、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの位置と、複数のレンズ部４１の位置との位置合わせ精度が格段に高められている。

よって、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂのピッチが狭小化されるに伴い、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部４１とについて、相互に位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部４１との間の位置ずれを低減可能である。したがって、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、画像を表示する表示性能が高められた有機ＥＬ装置１を製造できる。また、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、感光材料に露光する露光精度が高められたプリンタヘッド等の発光装置を製造することも可能である。

（変形例）
次に、図６を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法の変形例を説明する。図６は、本例に係る発光装置の製造方法における主要な工程を順に示した工程断面図である。尚、以下では、上述の発光装置の製造方法と共通する部分に共通の参照符号を付し、その部分についての詳細な説明を省略する。

本例に係る発光装置の製造方法では、図６（ａ）に示すように、熱エネルギーによって変性する材料を含む樹脂層８０を形成する。

次に、図６（ｂ）に示すように、樹脂層８０の表面、より具体的には、樹脂層８０の図中下面に赤色光ＬＲ等の電磁波を熱エネルギーに変換する変換層８１を形成する。変換層８１は、電磁波のエネルギーを熱エネルギー変換する変換効率が他の材料より相対的に高い材料を選択して用いることができる。より具体的には、変換層８１、例えば、タングステン、モリブデン、或いはクロム等の金属材料によって構成される。

次に、図６（ｃ）に示すように、変換層８１のうち複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々に重なる複数の変換部８１ａの夫々に、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢを照射し、赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢが照射された複数の変換部８１ａの夫々から複数の部分８０ａの夫々に熱エネルギーを供給してもよい。これにより、樹脂層８０のうち複数の部分８０ａのみを変性させる。その後、複数の部分８０ａを除去した後、領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に光学材料を滴下し、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々と位置が一致する複数のレンズ部４１からなるマイクロレンズ４０を形成する。

本例に係る発光装置の製造方法によれば、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から出射された色光等の電磁波によって複数の部分８０ａを一様に変性させることが困難な場合であっても、一旦電磁エネルギーを変換層８１によって熱エネルギーに変換した後、複数の部分８０ａを変性させることが可能である。

＜第２実施形態＞
次に、図７及び図８を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する。図７及び図８は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図である。

図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、素子基板１０上の形成された有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂから見て、光の出射側である図中下側に、ネガ型感光材料から構成された樹脂層１８０を形成する。

次に、図７（ｃ）に示すように、樹脂層１８０のうち領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＧの夫々を占める複数の部分１８０ａに、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢを照射し、複数の部分１８０ａを変性させる。より具体的には、複数の部分１８０ａを未硬化状態から硬化状態に変化させる。

次に、図８（ｄ）に示すように、樹脂層１８０のうち硬化した複数の部分１８０ａを除く他の部分を除去する。

次に、図８（ｅ）に示すように、硬化した複数の部分１８０ａに、リフロー処理等の熱処理を施し、各々レンズ面１４１ｓを有する複数のレンズ部１４１からなるマイクロレンズ１４０を形成する。その後、対向基板２０で有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを封止することによって有機ＥＬ装置を組み上げる。

このように、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の位置に対して自己整合的に位置が一致する複数のレンズ部１４１を形成することによって、第１実施形態に係る発光装置の製造方法と同様に、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂのピッチが狭小化されるに伴い、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部とについて、相互に位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部１４１との間の位置ずれを低減可能である。したがって、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、画像を表示する表示性能が高められた有機ＥＬ装置を製造できる。また、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、感光材料に露光する露光精度が高められたプリンタヘッド等の発光装置を製造することも可能である。

＜第３実施形態＞
次に、図９及び図１０を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する。図９及び図１０は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図である。

図９（ａ）乃至（ｃ）に示すように、上述の第１実施形態と同様に、樹脂層２８０の各々一部である複数の部分２８０ａを変性させる。

次に、図１０（ｄ）に示すように、素子基板１０が露出するように複数の部分２８０ａを除去し、開口部２８０ｂを形成する。

次に、図１０（ｅ）に示すように、開口部２８０ｂから素子基板２０をエッチングすることによって、領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々にレンズ面２４１ｓを形成する。

次に、図１０（ｆ）樹脂層２８０を除去した後、レンズ面２４１ｓを覆うように光学材料を塗布することによって、領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に複数のレンズ部２４１を形成し、これら複数のレンズ部２４１を有するマイクロレンズ２４０を形成する。

本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、上述した発光装置の製造方法と同様に、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の位置に対して自己整合的に位置が一致する複数のレンズ部２４１を形成することによって、第１実施形態に係る発光装置の製造方法と同様に、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂのピッチが狭小化されるに伴い、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部とについて、相互に位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部１４１との間の位置ずれを低減可能である。

＜第４実施形態＞
次に、図１１及び図１２を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する。図１１及び図１２は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図である。以下で説明する発光装置の製造方法によれば、トップエミッション型の有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ装置を製造する。

図１１（ａ）に示すように、素子基板１０上に、透明な陰極７５ａを有する有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを形成した後、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを対向基板２０によって封止する。

次に、図１１（ｂ）に示すように、図中上側である光出射側に配置された対向基板２０の両面のうち複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂが形成された側に臨む一方の面に対向する他方の面に樹脂層３８０を形成する。

次に、図１１（ｃ）に示すように、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から、樹脂層３８０のうち領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々を占める複数の部分３８０ａに、赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢを照射し、複数の部分３８０ａを変性させる。

次に、図１２（ｄ）に示すように、樹脂層３８０のうち変性させた複数の部分３８０ａを除去する。

次に、図１２（ｅ）に示すように、複数の部分３８０ａを除去した領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢに光学材料を滴下し、硬化させることによって、複数のレンズ部３４１を有するマイクロレンズ３４０を形成する。

本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、上述の実施形態に係る発光装置の製造方法と同様に、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の位置に対して自己整合的に位置が一致する複数のレンズ部３４１を形成することによって、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂのピッチが狭小化されるに伴い、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部とについて、相互に位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部３４１との間の位置ずれを低減可能である。

＜第５実施形態＞
次に、図１３及び図１４を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する。図１３及び図１４は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図である。

図１３（ａ）に示すように、第４実施形態と同様に、素子基板１０上に、透明な陰極７５ａを有する有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを形成した後、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂを対向基板２０によって封止する。

次に、図１３（ｂ）に示すように、図中上側である光出射側に配置された対向基板２０の両面のうち複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂが形成された側に臨む一方の面に対向する他方の面に樹脂層４８０を形成する。

次に、図１３（ｃ）に示すように、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々から、樹脂層４８０のうち領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々を占める複数の部分４８０ａに、赤色光ＬＲ、緑色光ＬＧ及び青色光ＬＢを照射し、複数の部分４８０ａを変性させる。より具体的には、複数の部分４８０ａを硬化させる。

次に、図１４（ｄ）に示すように、樹脂層４８０のうち硬化させた複数の部分４８０ａを除く他の部分を除去する。

次に、図１４（ｅ）に示すように、硬化させた複数の部分４８０ａに対してリフロー処理等の熱処理を施すことによって複数のレンズ部４４１を備えたマイクロレンズ４４０を形成する。

本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、上述の実施形態に係る発光装置の製造方法と同様に、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の位置に対して自己整合的に位置が一致する複数のレンズ部４４１を形成することによって、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂのピッチが狭小化されるに伴い、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部とについて、相互に位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部４４１との間の位置ずれを低減可能である。

＜第６実施形態＞
次に、図１５及び図１６を参照しながら、本実施形態に係る発光装置の製造方法を説明する。図１５及び図１６は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の主要な工程を順に示した工程断面図である。

図１５（ａ）乃至（ｃ）に示すように、上述の第５実施形態と同様に、樹脂層５８０の各々一部である複数の部分５８０ａを変性させる。

次に、図１６（ｄ）に示すように、対向基板２０が露出するように複数の部分５８０ａを除去し、開口部５８０ｂを形成する。

次に、図１６（ｅ）に示すように、開口部５８０ｂから対向基板２０をエッチングすることによって、領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々にレンズ面５４１ｓを形成する。

次に、図１６（ｆ）に示すように、樹脂層５８０を除去した後、レンズ面５４１ｓを覆うように光学材料を塗布することによって、領域ＳＲ、ＳＧ及びＳＢの夫々に複数のレンズ部５４１を形成し、これら複数のレンズ部５４１を有するマイクロレンズ５４０を形成する。

本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、上述した発光装置の製造方法と同様に、本実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂの夫々の位置に対して自己整合的に位置が一致する複数のレンズ部５４１を形成することによって、上述の発光装置の製造方法と同様に、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂのピッチが狭小化されるに伴い、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部とについて、相互に位置合わせを高精度で行うことが困難な場合であっても、複数の有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂと、複数のレンズ部５４１との間の位置ずれを低減可能である。

１・・・有機ＥＬ装置、１０・・・素子基板、２０・・・対向基板、７２Ｒ，７２Ｇ，７２Ｂ・・・有機ＥＬ素子、４１，１４１，２４１，３４１，４４１，５４１・・・レンズ部、４０，１４０，２４０，３４０，４４０，５４０・・・マイクロレンズ

Claims (8)

1. 基板上に配列された複数の発光部を形成する第１工程と、
   前記複数の発光部から見て前記複数の発光部の夫々から光が出射されるべき側である光出射側に変性膜を形成する第２工程と、
   前記変性膜のうち前記複数の発光部の夫々に重なる複数の部分の夫々を、前記複数の発光部の夫々から照射された電磁エネルギーによって変性させる第３工程と、
   前記光出射側において、該変性した複数の部分の夫々が占める複数の領域に複数のレンズ部を形成する第４工程と
   を備えたことを特徴とする発光装置の製造方法。
2. 前記光は、可視光であり、
   前記電磁エネルギーは、前記可視光が有するエネルギーであり、
   前記第３工程において、前記可視光を前記変性膜に照射することによって前記変性膜を変性させること
   を特徴とする請求項１に記載の発光装置の製造方法。
3. 前記複数の発光部は、互いに異なる色光を出射する一の発光部及び他の発光部を含んでおり、
   前記第３工程において、前記一の発光部及び前記他の発光部の夫々は、前記複数の部分のうち前記一の発光部及び前記他の発光部の夫々に重なる一の部分及び他の部分の夫々に相互に等しいエネルギーが供給されるように、発光強度、または発光時間の少なくとも一方が調整されること
   を特徴とする請求項１に記載の発光装置の製造方法。
4. 前記変性膜は、赤外線によって変性可能な材料を含んでおり、
   前記複数の発光部の夫々は、前記赤外線を発生可能な材料を含んでおり、
   前記第３工程において、前記複数の部分の夫々に、前記複数の発光部の夫々から前記赤外線を照射することによって、前記複数の部分の夫々を変性させること
   を特徴とする請求項１に記載の発光装置の製造方法。
5. 前記第３工程に先んじて、電磁波を熱エネルギーに変換する変換層を前記変性膜の表面に形成する第５工程とを備え、
   前記変性膜は、前記熱エネルギーによって変性する材料を含んでおり、
   前記第３工程において、前記変換層のうち前記複数の発光部の夫々に重なる複数の変換部の夫々に前記複数の発光部から前記電磁波を照射し、該電磁波が照射された複数の変換部の夫々から前記複数の部分の夫々に前記熱エネルギーを供給すること
   を特徴とする請求項１に記載の発光装置の製造方法。
6. 前記第４工程において、前記変性膜のうち前記変性した複数の部分を除く他の部分を除去し、前記変性した複数の部分の夫々を用いて前記複数のレンズ部を形成すること
   を特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
7. 前記第４工程において、前記変性膜のうち前記変性した複数の部分を除去し、前記複数の領域の夫々に前記複数のレンズ部を形成すること
   を特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
8. 前記第２工程において、前記光出射側に配置された基板の両面のうち前記複数の発光部が形成された一方の面に対向する他方の面に前記変性膜を形成し、
   前記第４工程において、前記他方の面のうち前記複数の領域に重なる部分を除去することによって、前記複数のレンズ部の夫々のレンズ面を形成すること
   を特徴とする請求項７に記載の発光装置の製造方法。

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