JP2010206114A - 電気ヒューズのテスト方法、及び電気ヒューズ回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】テスト時間を短縮することのできる、電気ヒューズのテスト方法、及び電気ヒューズ回路を提供する。
【解決手段】それぞれが一端で第1ノードと接続され、他端で第2ノードと接続された、複数の電気ヒューズから、複数の切断対象ヒューズを選択する工程と、前記複数の切断対象ヒューズを、少なくとも一の前記切断対象ヒューズを含む切断対象ヒューズブロック単位で、順番に切断する工程と、前記切断する工程の後に、前記切断する工程で切断されなかった非切断ヒューズの前記一端を前記第2ノードから電気的に遮断し、前記各切断対象ヒューズの前記他端を前記第2ノードと電気的に接続する工程と、前記接続する工程の後に、前記第1ノードに電圧を印加し、前記第1ノードと前記第2ノードとの間に電流が流れるか否かを判定することにより、前記複数の切断対象ヒューズの全てが切断されているか否かを判定する工程とを具備する。
【選択図】図3
【解決手段】それぞれが一端で第1ノードと接続され、他端で第2ノードと接続された、複数の電気ヒューズから、複数の切断対象ヒューズを選択する工程と、前記複数の切断対象ヒューズを、少なくとも一の前記切断対象ヒューズを含む切断対象ヒューズブロック単位で、順番に切断する工程と、前記切断する工程の後に、前記切断する工程で切断されなかった非切断ヒューズの前記一端を前記第2ノードから電気的に遮断し、前記各切断対象ヒューズの前記他端を前記第2ノードと電気的に接続する工程と、前記接続する工程の後に、前記第1ノードに電圧を印加し、前記第1ノードと前記第2ノードとの間に電流が流れるか否かを判定することにより、前記複数の切断対象ヒューズの全てが切断されているか否かを判定する工程とを具備する。
【選択図】図3
Description
本発明は、電気ヒューズのテスト方法、及び電気ヒューズ回路に関する。
電気ヒューズは、RAM冗長救済用(リダンダンシ回路)やCHIP情報記憶用(IDFUSE)不揮発性記憶素子として、広く用いられている。電気ヒューズは、必要に応じて切断される。近年、一装置内で使用される電気ヒューズの本数は、増加傾向にある。使用される電気ヒューズの本数が増加するにつれ、多数の電気ヒューズのなかから所望する電気ヒューズだけを選択して切断することが困難になりつつある。
関連技術が、特許文献1(特開2006−197272)に記載されている。図1は、特許文献1に記載された半導体装置を示す回路図である。この半導体装置は、冗長メモリセルに対応して設けられた電気ヒューズ(102a、102b)と、不良メモリセルを示すデータ信号に応じて電気ヒューズ(102a、102b)を選択するセレクタ103と、選択された電気ヒューズ(102a、102b)に電流を流して切断する切断回路105と、電気ヒューズ(102a、102b)の切断状態に基づいて切り替え信号を生成する切り替え信号生成回路104と、切り替え信号に応じて不良メモリセルを冗長メモリセルに切り替える回路とを備えている。
他の関連技術が、特許文献2(特開2007−172720)に記載されている。図2は、特許文献2に記載された電気ヒューズ回路を示す回路図である。この電気ヒューズ回路は、直列に接続された電気ヒューズ素子112とスイッチトランジスタ113とを持つ複数個の電気ヒューズコア111と、電気ヒューズ素子112をプログラムする為に複数の電気ヒューズコア111に接続されたシフトレジスタ114とを有する。シフトレジスタ114でプログラムイネーブル信号が順次生成、転送され、そのプログラムイネーブル信号とプログラムデータの情報に従って、スイッチトランジスタ113が順次導通する。これにより、一本ずつ、電気ヒューズ素子3が溶断される。
電気ヒューズは、過電流を流すことにより、切断される。この際、多数の電気ヒューズの全てを一度に切断するためには、大電流が必要である。各電気ヒューズを確実に切断するために、既述の特許文献2に記載された電気ヒューズ回路は、複数の電気ヒューズに接続された各スイッチトランジスタが順次導通するように、構成されている。
ところで、多数の電気ヒューズを備える装置に対しては、切断対象の電気ヒューズを切断した後に、切断対象の電気ヒューズが正しく切断されたか否かをテストすることが望まれる。しかし、既述の特許文献1及び2には、切断対象の電気ヒューズが正しく切断されたか否かをテストすることに関する記述はない。
切断対象の電気ヒューズ群に接続されたスイッチが順次導通するように構成された電気ヒューズ回路では、テスト時にも、切断対象の電気ヒューズ群に接続されたスイッチを順次導通させることが考えられる。これにより、切断対象の各電気ヒューズが導通しているか否かが、個別に判定される。しかし、このような手法では、切断対象の電気ヒューズの本数が多くなるに従って、テスト時間が増加してしまう、という問題点があった。
本発明に係る電気ヒューズのテスト方法は、それぞれが一端で第1ノードと接続され、他端で第2ノードと接続された、複数の電気ヒューズから、複数の切断対象ヒューズを選択する工程と、前記複数の切断対象ヒューズを、少なくとも一の前記切断対象ヒューズを含む切断対象ヒューズブロック単位で、順番に切断する工程と、前記切断する工程の後に、前記切断する工程で切断されなかった非切断ヒューズの前記一端を前記第2ノードから電気的に遮断し、前記各切断対象ヒューズの前記他端を前記第2ノードと電気的に接続する工程と、前記接続する工程の後に、前記第1ノードに電圧を印加し、前記第1ノードと前記第2ノードとの間に電流が流れるか否かを判定することにより、前記複数の切断対象ヒューズの全てが切断されているか否かを判定する工程とを具備する。
この発明によれば、各切断対象ヒューズが切断された後に、複数の切断対象ヒューズだけが、他端で第2ノードに接続される。これにより、複数の切断対象ヒューズだけが、第1ノードと第2ノードとの間で並列に接続される。この状態で第1ノードに電圧を印加すると、全ての切断対象ヒューズが正しく切断されていれば、電流が流れない。一方、複数の切断対象ヒューズのうちで切断が失敗したヒューズが存在する場合には、電流が流れる。従って、複数の切断対象ヒューズが切断されたか否かを、一度にテストすることができ、テスト時間を短縮できる。
本発明に係る電気ヒューズの制御回路は、それぞれが、一端で第1ノードと接続され、他端で第2ノードと接続された、複数の電気ヒューズと、前記複数の電気ヒューズの各々と前記第2ノードとの間に設けられたスイッチ回路と、切断時に、前記複数の電気ヒューズのなかから選択された複数の切断対象ヒューズが、前記第1ノードと前記第2ノードとの間を流れる電流により切断されるように、前記スイッチ回路を切り替える、セレクタ回路と、テスト時に、前記スイッチ回路を切り替える、テスト回路とを具備する。前記セレクタ回路は、前記複数の切断対象ヒューズが、少なくとも一の前記切断対象ヒューズを含む切断対象ヒューズブロック単位で、順番に切断されるように、前記スイッチ回路を切り替える。前記テスト回路は、前記複数の切断対象ヒューズだけが前記他端で前記第2ノードと電気的に接続されるように、前記スイッチ回路を切り替える。
本発明によれば、テスト時間を短縮することのできる、電気ヒューズのテスト方法、及び電気ヒューズ回路が提供される。
以下に、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について詳細に説明する。図3は、本実施形態に係る電気ヒューズ回路10を示す回路図である。
図3に示されるように、電気ヒューズ回路10は、複数の電気ヒューズ2(2−1〜2−5)と、スイッチ回路3と、切り替え制御回路4とを備えている。
複数の電気ヒューズ2は、第1ノード1とグランド5(第2ノード)との間に、並列に配置されている。複数の電気ヒューズ2の各々は、一端(21−1〜21−5)と、他端(22−1〜22−5)とを備えている。各電気ヒューズ2は、一端21で第1ノード1と電気的に接続されており、他端22でグランド5に接続されている。
スイッチ回路3は、各電気ヒューズ2の他端22とグランド5との間の導通・非導通を切り替えるために設けられている。スイッチ回路3は、複数の電気ヒューズ2に対応して、複数のNMOSトランジスタ31を備えている。複数のNMOSトランジスタ31の各々は、電気ヒューズ2の他端22とグランド5との間に設けられている。
切り替え制御回路4は、スイッチ回路3の制御を行う回路である。切り替え制御回路4は、複数のマルチプレクサ回路41と、DCMODE端42(合成抵抗測定モード端)と、ヒューズセレクタ回路43と、電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44(テスト回路)とを備えている。
複数のマルチプレクサ回路41は、複数のNMOSトランジスタ31に対応して設けられている。複数のマルチプレクサ回路41の各々は、出力端と、二つの入力端と、制御端とを備えている。その出力端は、各NMOSトランジスタ31のゲートに接続されている。その二つの入力端は、一方がヒューズセレクタ回路43に接続されており、他方が電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44に接続されている。その制御端は、DCMODE端42に接続されている。各マルチプレクサ回路41は、DCMODE端42から供給される制御信号の論理レベルにより、二つの入力端から入力された信号のいずれかを出力端から出力する。
DCMODE端42は、テストモードと切断モードとの切替を行うために設けられている。DCMOD端42は、各マルチプレクサ回路41に対して、切断モード時にはヒューズセレクタ回路43から供給された信号が出力され、テストモード時には電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44から供給された信号が出力されるように、制御信号を供給する。
ヒューズセレクタ回路43は、切断時に、複数の電気ヒューズ2のうちから複数の切断対象ヒューズ(切断対象ヒューズ群)を選択する為に設けられている。ヒューズセレクタ回路43は、切断モード時に、複数の切断対象のヒューズ2に接続されたNMOSトランジスタ31が、順次導通するように、各マルチプレクサ回路41に対してセレクタ信号を供給する。
電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44は、テスト時に、切断対象ヒューズ群だけを選択するために設けられている。電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44は、複数の電気ヒューズ2に対応して、複数のレジスタ45を有している。複数のレジスタ45の各々には、対応する電気ヒューズ2が切断対象ヒューズであるか否かを示す情報(ヒューズ切断情報)が格納されている。各レジスタ45は、各マルチプレクサ回路41に対して、ヒューズ切断情報に応じた信号を、切断情報信号として供給する。ヒューズ切断情報は、例えば、メモリBIST(Built−In Self Test)に記憶されたフェイル情報や、電気ヒューズのテストを行うテスタ(図示せず)から、電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44に格納される。
続いて、本実施形態に係る電気ヒューズ回路の動作方法について説明する。図4は、電気ヒューズ回路の動作方法を示すフローチャートである。
ステップS1;切断対象ヒューズの選択
まず、切断対象ヒューズ群を切断するにあたり、DCMODE端42から、切断モードである旨を示す制御信号が各マルチプレクサ回路41に供給される。この制御信号により、各マルチプレクサ回路41は、ヒューズセレクタ回路43から供給されるセレクタ信号を出力するように、設定される。一方、第1ノード1には、図示しないテスタにより、切断対象ヒューズを切断するための電圧が印加される。この状態で、ヒューズセレクタ回路43が、複数の電気ヒューズ2の中から、切断対象ヒューズ群を選択する。本実施形態では、切断対象ヒューズ群として、電気ヒューズ2−1、2−3、及び2−5が選択されるものとする。
まず、切断対象ヒューズ群を切断するにあたり、DCMODE端42から、切断モードである旨を示す制御信号が各マルチプレクサ回路41に供給される。この制御信号により、各マルチプレクサ回路41は、ヒューズセレクタ回路43から供給されるセレクタ信号を出力するように、設定される。一方、第1ノード1には、図示しないテスタにより、切断対象ヒューズを切断するための電圧が印加される。この状態で、ヒューズセレクタ回路43が、複数の電気ヒューズ2の中から、切断対象ヒューズ群を選択する。本実施形態では、切断対象ヒューズ群として、電気ヒューズ2−1、2−3、及び2−5が選択されるものとする。
ステップS2;切断
そして、ヒューズセレクタ回路43は、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に対応する各マルチプレクサ回路41に対して、順次、セレクタ信号を供給する。セレクタ信号は、各マルチプレクサ回路41を介して各NMOSトランジスタ31に供給される。セレクタ信号が供給された各NMOSトランジスタ31は、導通状態となる。これにより、第1ノード1から、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)を介してグランド5に電流が流れ、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)が切断される。この際、セレクタ信号が順次供給されるため、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)は、一本ずつ、順番に切断されることになる。一本ずつ順番に電流が流れるため、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に十分な量の電流を流すことができる。これにより、各切断対象ヒューズを、確実に切断することができる。
そして、ヒューズセレクタ回路43は、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に対応する各マルチプレクサ回路41に対して、順次、セレクタ信号を供給する。セレクタ信号は、各マルチプレクサ回路41を介して各NMOSトランジスタ31に供給される。セレクタ信号が供給された各NMOSトランジスタ31は、導通状態となる。これにより、第1ノード1から、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)を介してグランド5に電流が流れ、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)が切断される。この際、セレクタ信号が順次供給されるため、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)は、一本ずつ、順番に切断されることになる。一本ずつ順番に電流が流れるため、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に十分な量の電流を流すことができる。これにより、各切断対象ヒューズを、確実に切断することができる。
ステップS3;切断対象ヒューズだけを並列的に接続
続いて、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)が正しく切断されたか否かのテストが行われる。テストにあたっては、まず、DCMODE端42から、テストモードである旨を示す制御信号が、各マルチプレクサ回路41に供給される。これにより、各マルチプレクサ回路41は、電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44から供給される切断情報信号を出力するように、設定される。ここで、電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44は、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に対応する各マルチプレクサ回路41に対して、NMOSトランジスタ31が導通状態となるような信号を、切断情報信号として供給する。一方、複数の電気ヒューズ2のうち切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)ではない電気ヒューズ2(非切断ヒューズ2−2、2−3)に対応する各マルチプレクサ回路41に対しては、NMOSトランジスタ31が遮断状態となるような信号を、切断情報信号として供給する。
続いて、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)が正しく切断されたか否かのテストが行われる。テストにあたっては、まず、DCMODE端42から、テストモードである旨を示す制御信号が、各マルチプレクサ回路41に供給される。これにより、各マルチプレクサ回路41は、電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44から供給される切断情報信号を出力するように、設定される。ここで、電気ヒューズ切断情報レジスタ回路44は、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に対応する各マルチプレクサ回路41に対して、NMOSトランジスタ31が導通状態となるような信号を、切断情報信号として供給する。一方、複数の電気ヒューズ2のうち切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)ではない電気ヒューズ2(非切断ヒューズ2−2、2−3)に対応する各マルチプレクサ回路41に対しては、NMOSトランジスタ31が遮断状態となるような信号を、切断情報信号として供給する。
上述の処理により、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)は、一端21が第1ノード1と接続され、他端22が各NMOSトランジスタ31を介してグランド5に接続される。一方、非切断ヒューズ(2−2、2−4)の他端22は、グランド5から遮断される。すなわち、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)だけが、第1ノード1とグランド5との間で、並列に接続されることになる。
ステップS4;電流が流れるか否かの判定
続いて、テスタにより、第1ノード1に電圧が印加される。このとき、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)が全て切断されていれば、電圧を印加しても電流は流れない。一方、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)の中に切断不良のヒューズが含まれていれば、電流が流れる。従って、テスタにより、電流が流れるか否かを判定することで、切断不良のヒューズが存在するか否かを判定することができる。この際、一度だけ第1ノード1に電圧を印加するだけで判定を行うことができるので、テスト時間を短縮することができる。
続いて、テスタにより、第1ノード1に電圧が印加される。このとき、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)が全て切断されていれば、電圧を印加しても電流は流れない。一方、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)の中に切断不良のヒューズが含まれていれば、電流が流れる。従って、テスタにより、電流が流れるか否かを判定することで、切断不良のヒューズが存在するか否かを判定することができる。この際、一度だけ第1ノード1に電圧を印加するだけで判定を行うことができるので、テスト時間を短縮することができる。
尚、本実施形態では、切断時に、各切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)が、一本ずつ、順番に切断される。但し、複数の切断対象ヒューズ(2−1、2−3、2−5)に対して切断に必要な電流を同時に流すことができる場合には、必ずしも一本ずつ、切断を行う必要はない。すなわち、切断対象ヒューズ群(2−1、2−3、2−5)の全体を、それぞれが複数の切断対象ヒューズを有する複数のブロック(切断対象ヒューズブロック)にわける。そして、切断対象ヒューズブロック単位で、順番に、切断を行う。このとき、切断対象ヒューズブロック内に含まれる複数の切断対象ヒューズは、同時に切断が行われる。このような切断方法は、例えば、ヒューズセレクタ回路43とマルチプレクサ回路41との間の配線経路を工夫することにより、実現することができる。このような切断方法を採用した場合であっても、本実施形態で述べたのと同様の作用効果を奏することが可能である。
1 第1ノード
2 電気ヒューズ
2−1、2−3、2−5 切断対象ヒューズ
2−2、2−4 非切断ヒューズ
3 スイッチ回路
31 NMOSトランジスタ
4 切り替え制御回路
41 マルチプレクサ回路
42 DCMODE端
43 セレクタ
44 電気ヒューズ切断情報設定回路
45 レジスタ
5 第2ノード(グランド)
10 電気ヒューズ回路
102 ヒューズ
103 セレクタ
104 切り替え信号生成回路
105 切断回路
111 電気ヒューズコア
112 電気ヒューズ素子
113 スイッチトランジスタ
114 シフトレジスタ
2 電気ヒューズ
2−1、2−3、2−5 切断対象ヒューズ
2−2、2−4 非切断ヒューズ
3 スイッチ回路
31 NMOSトランジスタ
4 切り替え制御回路
41 マルチプレクサ回路
42 DCMODE端
43 セレクタ
44 電気ヒューズ切断情報設定回路
45 レジスタ
5 第2ノード(グランド)
10 電気ヒューズ回路
102 ヒューズ
103 セレクタ
104 切り替え信号生成回路
105 切断回路
111 電気ヒューズコア
112 電気ヒューズ素子
113 スイッチトランジスタ
114 シフトレジスタ
Claims (4)
- 複数の電気ヒューズから、複数の切断対象ヒューズを選択する工程と、
前記複数の切断対象ヒューズを、少なくとも一つの前記切断対象ヒューズを含む切断対象ヒューズブロック単位で、順番に切断する工程と、
前記切断する工程の後に、前記複数の切断対象ヒューズの各々の一端を第1ノードと電気的に接続し、前記各切断対象ヒューズの他端を、第2ノードと電気的に接続する工程と、
前記接続する工程の後に、前記第1ノードに電圧を印加し、前記第1ノードと前記第2ノードとの間に電流が流れるか否かを判定することにより、前記複数の切断対象ヒューズの全てが切断されているか否かを判定する工程と、
を具備する
電気ヒューズのテスト方法。 - 請求項1に記載された電気ヒューズのテスト方法であって、
前記切断する工程は、電流を流すことにより、前記複数の切断対象ヒューズの各々を切断する工程を含んでいる
電気ヒューズのテスト方法。 - 請求項1又は2に記載されたテスト方法であって、
前記第2ノードは、グランドである
電気ヒューズのテスト方法。 - それぞれが、一端で第1ノードと接続され、他端で第2ノードと接続された、複数の電気ヒューズと、
前記複数の電気ヒューズの各々と前記第2ノードとの間に設けられたスイッチ回路と、
切断時に、前記複数の電気ヒューズのなかから選択された複数の切断対象ヒューズが、前記第1ノードと前記第2ノードとの間を流れる電流により切断されるように、前記スイッチ回路を切り替える、セレクタ回路と、
テスト時に、前記スイッチ回路を切り替える、テスト回路と、
を具備し、
前記セレクタ回路は、前記複数の切断対象ヒューズが、少なくとも一の前記切断対象ヒューズを含む切断対象ヒューズブロック単位で、順番に切断されるように、前記スイッチ回路を切り替え、
前記テスト回路は、前記複数の切断対象ヒューズだけが前記他端で前記第2ノードと電気的に接続されるように、前記スイッチ回路を切り替える
電気ヒューズ回路。
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JP2009052690A JP2010206114A (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 電気ヒューズのテスト方法、及び電気ヒューズ回路 |
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JP2009052690A JP2010206114A (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 電気ヒューズのテスト方法、及び電気ヒューズ回路 |
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