JP2010193563A - 半導体スイッチ回路 - Google Patents

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Junya Sugano
純弥 菅野
Shigeru Totsuka
茂 戸塚
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Abstract

【課題】電圧駆動型半導体素子の特性にばらつきによりターンオフ時に大きなコレクタ電圧差が生じる場合であっても過大な電流を抑制し、直列接続された電圧駆動型半導体素子の電圧分担をほぼ均一にすることである。
【解決手段】ゲート駆動回路12は、直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子11各々の電圧駆動型半導体素子のゲートにゲート抵抗13を介してゲート信号を供給する。電圧均一化回路22は、各々の電圧駆動型半導体素子のコレクタと各々のゲート駆動回路12との接続線をリアクトル16で互いに磁気結合させ、リアクトル16にコンデンサ17及び抵抗18を直列接続して構成され、電圧均一化回路の一方は電圧駆動型半導体素子11のコレクタに接続され、他方はゲート抵抗13に接続される。
【選択図】 図1

Description

本発明は、直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子のターンオフ時の電圧分担を均一化する半導体スイッチ回路に関する。
例えば、電圧駆動型半導体素子である絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)はゲートに電圧を印加することにより容易にスイッチングすることが可能であるので、電力変換器に幅広く用いられている。特に、産業用では連系電圧が低いため、IGBTの1直列で変換器容量を確保できるケースが多い。
一方、電力用の電力変換器では連系電圧が高いため、IGBTを直列接続しなければならないケースが多い。直列接続の場合は1直列とは異なり、IGBTの特性のばらつきの影響で直列接続したIGBTの一部が破損することがある。これは、IGBTを直列構成にするとターンオフ時に発生する電圧変化(dv/dt)やスイッチング時間のばらつきにより、IGBTの電圧分担に差が生じてくるからである。
例えば、2直列のIGBTに400Vの電圧を印加している場合、各IGBTは200Vずつ電圧を分担することが理想であるが、IGBTの特性のばらつきの影響により過渡的にはどちらか一方が先にオフすると、そのIGBTに最大で400Vの電圧が印加されてしまうことがある。
図28は、2直列のIGBT11a、11bを備えた従来の半導体スイッチ回路の回路図である。直列接続されたIGBT11a、11bは、それぞれゲート駆動回路12a、12bからゲート抵抗13a、13bを介してゲート信号Iga、Igbが供給される。そして、IGBT11a、11bのオンオフにより直流電源14から負荷15に供給される電力が制御される。
図29は図28に示した従来の半導体スイッチ回路のターンオフ時のゲート電圧及びコレクタ電圧の一例を示す波形図であり、図30は図29の期間T1部分の時間スパンを拡大した拡大図である。図29及び図30では、IGBT11a、11bの特性のばらつきにより、IGBT11aがIGBT11bより先にターンオフする場合を示している。
いま、時点t1でターンオフ指令があったとするとゲート電圧Vgがマイナスとなり、IGBT11a、11bはターンオフし始める。IGBT11a、11bの特性のばらつきにより、IGBT11aがIGBT11bより先にターンオフするので、時点t2では、IGBT11aが直流電源14の電圧(例えば、400V)を負担し、IGBT11bは導通状態を保っており負担する電圧は0Vである。すなわち、IGBT11aのコレクタ電圧がHigh側に偏り、IGBT11bのコレクタ電圧がLow側に偏ることになる。
従って、先にターンオフしたIGBT11aのコレクタ電圧Vaが直流電源14の電圧(例えば、400V)となり、まだターンオフしていないIGBT11bのコレクタ電圧Vbはほぼ0Vのままである。期間T1を経過した時点t3になって、IGBT11bもターンオフし始めるので、時点t3以降においては、IGBT11aのコレクタ電圧Vaが徐々に下がり、IGBT11bのコレクタ電圧Vbが徐々に上がり、最終的にはIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbが等しくなって均等に直流電源14の電圧を1/2の200Vずつ負担することになる。このように、最終的には2直列のIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbは等しくなるが、ターンオフする過程では先にターンオフするIGBT11aの負担が大きくなる。
この対策として、デバイスであるIGBTを冗長設計にすることも考えられるが、そうすると、装置が大型になってしまう欠点がある。また、コレクタとゲートとの間にコンデンサ及びコモンモードリアクトルを直列接続したバランス回路を接続し、ターンオフ時のIGBTの特性のばらつきによるコレクタ電圧のばらつきを抑制するようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−42512号公報
しかし、特許文献1のものでは、IGBTの直列間の電圧差がある程度以上となると、バランス回路に短絡電流が流れIGBTを破壊する可能性がある。
図31は特許文献1のものの回路図であり、IGBTの直列間の電圧差により形成されるバランス回路に流れる電流Itを矢印で示している。バランス回路は、IGBT11aのコレクタとゲートとの間にコンデンサCa及びコモンモードリアクトルTrを直列接続し、また、IGBT11bのコレクタとゲートとの間にコンデンサCb及びコモンモードリアクトルTrを直列接続して形成される。このバランス回路に流れる電流Itは、バランス回路の線路の抵抗分をRlineとすると、(1)式で示される。
It=(Va−Vb)/Rline …(1)
すなわち、IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの差電圧が大きいと、バランス回路の線路抵抗Rlineは微少であるため、電流Itが過大となる。
図32は図31に示した回路のIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの差電圧が大きい場合のターンオフ時のゲート電圧、ゲート電流及びコレクタ電圧の一例を示す波形図である。時点t1でターンオフ指令があったとするとゲート電圧Vgがマイナスとなり、IGBT11a、11bはターンオフし始める。IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbに差電圧が生じても、バランス回路により差電圧がなくなるように電流Itが流れる。IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの差電圧が大きくなる時点t2では、バランス回路の線路抵抗Rlineは微少であるため、電流Itが過大となり、大きなゲート電流Igが流れる。
つまり、ある程度、電圧の分担が均一になった後やIGBT11a、11bの特性がかなり近い場合などには効果を発揮するが、ターンオフ時の過渡応答でのスイッチングのdv/dtの大きなばらつきがあると、過渡的には電圧分担に大きな差が生じてしまい、ターンオフ時の過渡応答中に非常に大きな短絡電流Itが流れる。大きな短絡電流Itが流れるとゲートに悪影響を及ぼすおそれがある。
本発明の目的は、電圧駆動型半導体素子の特性のばらつきによりターンオフ時に大きなコレクタ電圧差が生じる場合であっても過大な電流を抑制し、直列接続された電圧駆動型半導体素子の電圧分担をほぼ均一にできる半導体スイッチ回路を提供することである。
本発明の半導体スイッチ回路は、直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子と、各々の電圧駆動型半導体素子のゲートにゲート抵抗を介してゲート信号を供給するゲート駆動回路と、1次巻線及び2次巻線を有し各々の電圧駆動型半導体素子のコレクタとゲート駆動回路との接続線を互いに磁気結合させるコモンモードリアクトルと、リアクトルの1次巻線及び2次巻線にコンデンサ及び抵抗を直列接続して一方が電圧駆動型半導体素子のコレクタに接続され他方がゲート抵抗に接続される電圧均一化回路とを備える。
3個以上の電圧駆動型半導体素子が直列接続されている場合には、電圧均一化回路のリアクトルは、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルの少なくともいずれか一つと磁気結合し、二つ以上と磁気結合したときは、それぞれ磁気結合したリアクトルの1次巻線または2次巻線を直列接続または並列接続する。そして、電圧均一化回路のリアクトルの1次巻線または2次巻線を直列接続または並列接続したときは、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となるように、リアクトルの巻数比、コンデンサの容量及び抵抗値を選定する。
本発明によれば、各々の電圧駆動型半導体素子のコレクタとゲート駆動回路との接続線を互いに磁気結合させるリアクトルに、コンデンサ及び抵抗を直列接続して電圧均一化回路を形成し、その電圧均一化回路を電圧駆動型半導体素子のコレクタとゲート抵抗との間に接続するので、直列接続された電圧駆動型半導体素子の特性にばらつきがあり、ターンオフ時に大きなコレクタ電圧差が生じる場合であっても過大な電流を抑制して、直列接続された電圧駆動型半導体素子の電圧分担をほぼ均一にできる。従って、電圧駆動型半導体素子の利用率を向上させることができ、直列接続の電圧駆動型半導体素子間での動作責務がほぼ等しくなり、システムの寿命の延伸につながる。
また、3個以上の電圧駆動型半導体素子が直列接続されている場合には、電圧均一化回路のリアクトルは、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルの少なくともいずれか一つと磁気結合するので、磁気結合の自由度が増し、磁気結合の仕方を種々選択できる。また、二つ以上と磁気結合したときは、それぞれ磁気結合したリアクトルを直列接続または並列接続とするので、さらに磁気結合の自由度が増し、磁気結合の仕方を種々選択できる。リアクトルを直列接続または並列接続としたときは、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となるように、電圧均一化回路のリアクトルの巻数比、コンデンサの容量及び抵抗値を選定するので、各々の電圧均一化回路の電圧が均一化される。従って、各々の電圧駆動型半導体素子のコレクタ電圧を均一化する際に各々の電圧均一化回路に流れる電流を小さくできる。
本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例1の回路図。 図1に示した本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路のターンオフ時のゲート電圧、ゲート電流及びコレクタ電圧の一例を示す波形図 図1のIGBT11a、11bのターンオフ直前の電圧均一化回路の状態を示す回路図。 図1のIGBT11a、11bのターンオフ後にIGBT11aのコレクタ電圧Vaが60Vとなったときの電圧均一化回路の状態を示す回路図。 図1のIGBT11a、11bのターンオフ後にIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbが50Vで均一になったときの電圧均一化回路の状態を示す回路図。 ゲート電圧Vg及びIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの波形図。 ターンオフ時にコレクタ電圧がHigh側に偏る第1段の電圧均一化回路22aの各部の電圧波形図。 ターンオフ時にコレクタ電圧がLow側に偏る第2段の電圧均一化回路22bの各部の電圧波形図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例2の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例3の回路図。 本発明の実施の形態の実施例3における半導体スイッチ回路の第2段のIGBTが短絡故障となった場合の回路図。 本発明の実施の形態の実施例3における電圧均一化回路がない従来の半導体スイッチ回路の第2段のIGBTが短絡故障となったときの各段のIGBTのコレクタ電圧の波形図。 図12の期間T1部分の時間スパンを拡大した拡大図。 本発明の実施の形態の実施例3における半導体スイッチ回路の第2段のIGBTが短絡故障となったときの各段のIGBTのコレクタ電圧の波形図。 図14の期間T1部分の時間スパンを拡大した拡大図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例4の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例5の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例6の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例7の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例8の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例9の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例10の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例11の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例12の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例13の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例14の回路図。 本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例15の回路図。 2直列のIGBT11a、11bを備えた従来の半導体スイッチ回路の回路図。 図28に示した従来の半導体スイッチ回路のターンオフ時のゲート電圧及びコレクタ電圧の一例を示す波形図。 図29の期間T1部分の時間スパンを拡大した拡大図。 特許文献1のものの回路図。 図31に示した回路のIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの差電圧が大きい場合のターンオフ時のゲート電圧、ゲート電流及びコレクタ電圧の一例を示す波形図。
以下本発明の実施の形態を説明する。
図1は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例1の回路図である。図1では、直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子が2直列のIGBT11a、11bである場合の半導体スイッチ回路を示している。
図1に示すように、直列接続されたIGBT11a、11bは、それぞれゲート駆動回路12a、12bからゲート抵抗13a、13bを介してゲート信号Iga、Igbが供給される。そして、IGBT11a、11bのオンオフにより直流電源14から負荷15に供給される電力が制御される。
各々のIGBT11a、11bのコレクタとゲート駆動回路12a、12bとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードリアクトル(以下、単にリアクトルという)16abが設けられている。リアクトル16abは1次巻線20と2次巻線21とからなる磁気結合巻線を有している。第1段の電圧駆動型半導体素子であるIGBT11aのコレクタとゲート駆動回路12aとの接続線には、リアクトル16abの磁気結合巻線のうちの1次巻線20が接続され、第2段の電圧駆動型半導体素子であるIGBT11bのコレクタとゲート駆動回路12bとの接続線には、リアクトル16abの磁気結合巻線のうちの2次巻線21が接続され、リアクトル16abの1次巻線20と2次巻線21とは1対1の巻数比で互いに磁気結合されている。
そして、リアクトル16abの1次巻線20にはコンデンサ17a及び抵抗18aが直列接続されて第1段の電圧均一化回路22aが形成され、同様に、リアクトル16abの2次巻線21にはコンデンサ17b及び抵抗18bが直列接続されて第2段の電圧均一化回路22bが形成されている。
コンデンサ17a、17bは同一容量のコンデンサであり、抵抗18a、18bは同一値の抵抗である。そして、IGBT11aの電圧均一化回路である第1段の電圧均一化回路22aは、一方がIGBT11aのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13aに接続され、同様に、IGBT11bの電圧均一化回路である第2段の電圧均一化回路22bは、一方がIGBT11bのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13bに接続されている。
すなわち、本発明の実施の形態の電圧均一化回路は、リアクトル16ab及びコンデンサ17に加えて抵抗18を設けた点、及び電圧均一化回路の22の一方をIGBT11のコレクタに接続し、電圧均一化回路の22の他方をゲート抵抗13に接続した点を特徴としている。
抵抗18を設けたのは、IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの差電圧が抵抗18に印加されるため、コレクタ電圧Va、Vbの差電圧が大きくなった場合でも短絡電流Itを抑制することができるためである。また、電圧均一化回路の22の他方をゲート抵抗13に接続しゲート抵抗13を介してゲートに接続するのは、ゲート抵抗13を通さずに直接的にゲートに接続すると過大なゲート電流が一時的に流れることがあるので、それを防止するためである。
図2は、図1に示した本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路のターンオフ時のゲート電圧、ゲート電流及びコレクタ電圧の一例を示す波形図であり、図2では、ターンオフ指令の直後の時間スパンを拡大した拡大図を示している。
図2においては、時点t1でターンオフ指令があったとするとゲート電圧Vgがマイナスとなり、また、ゲート電流Igもパルス状のマイナス電流が瞬間的に流れる。これにより、IGBT11a、11bはターンオフし始める。
そして、時点t2にて、IGBT11aのコレクタ電圧Vaが最高値(例えば200V)になり、そのときのIGBT11bのコレクタ電圧Vbは(例えば170V)であるが、時点t2以降においては、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11bのコレクタ電圧Vbとが接近して時点t3でほぼ等しくなる。
IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11bのコレクタ電圧Vbとの差電圧が存在する時点t1〜時点t3の期間においては、その差電圧をなくすようにゲート電流Igが流れる。ゲート電流Igは電圧均一化回路を流れる電流Itに相当する。つまり、電圧均一化回路は、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11bのコレクタ電圧Vbとの差電圧をなくすように電流Itを流すものである。この場合、抵抗18a、18bにより電流Itが過大になるのを抑制する。このように、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11bのコレクタ電圧Vbとの差電圧は短時間の内に同電位となる。
次に、電圧均一化回路の動作について説明する。いま、IGBT11a、11bの特性にばらつきがあり、IGBT11aがIGBT11bより先にターンオフし、IGBT11aのコレクタ電圧Vaが最高値(例えば60V)になり、そのときのIGBT11bのコレクタ電圧Vbはそれよりも低い電圧(例えば40V)で、最終的にIGBT11aのコレクタ電圧Va、Vbが50Vで均一になる場合について説明する。
図3はIGBT11a、11bのターンオフ直前の電圧均一化回路の状態を示す回路図である。IGBT11a、11bがターンオン中(ターンオフ直前)はIGBT11a、11bは導通状態であることから、IGBT11aのコレクタ電圧Va、IGBT11bのコレクタ電圧Vbは0である。また、その差電圧が0であることから電圧均一化回路を流れる電流Itは0である。
すなわち、第1段の電圧均一化回路22aにおいては、リアクトル16abの1次巻線20の電圧LVab及び抵抗18aの電圧RVaは0であり、ゲート電圧Vga(例えば15V)とコンデンサ電圧CVa(例えば15V)とが等しく均衡を保っている。同様に、第2段の電圧均一化回路22bにおいては、リアクトル16abの2次巻線21の電圧LVab及び抵抗18bの電圧RVbは0であり、ゲート電圧Vgb(例えば15V)とコンデンサ電圧CVb(例えば15V)とが等しく均衡を保っている。
図4はIGBT11a、11bのターンオフ後にIGBT11aのコレクタ電圧Vaが60Vとなったときの電圧均一化回路の状態を示す回路図である。IGBT11aのコレクタ電圧Vaが60Vとなったときは、IGBT11bのコレクタ電圧Vbは40Vであり、その差電圧が20Vであることから電圧均一化回路には、その差電流を0とするように電流が流れる。
すなわち、第1段の電圧均一化回路22aにおいては、IGBT11aのターンオフであることからゲート電圧Vga(15V)の極性が反転し、IGBT11aのコレクタ電圧Vaが60Vとなり、コンデンサ17aの電圧CVaは15Vである。この合計電圧(90V)と均衡すべく、第1段の電圧均一化回路22aに、リアクトル16abの1次巻線20の電圧LVabと抵抗18aの電圧RVaとの合計が90Vとなるような電流が流れる。この場合、第1段の電圧均一化回路22aに流れる電流は、IGBT11aのターンオフを遅らせる方向に流れ、抵抗18aにより抑制される。これにより、リアクトル16abの1次巻線20の電圧LVabは例えば80Vとなり、抵抗18aの電圧RVaは例えば10Vとなる。
一方、第2段の電圧均一化回路22bにおいても同様に、IGBT11bのターンオフであることからゲート電圧Vgb(15V)の極性が反転する。IGBT11bのコレクタ電圧Vbは40Vとなり、コンデンサ17aの電圧CVbは15Vである。この合計電圧(70V)と均衡すべく、第2段の電圧均一化回路22bに、リアクトル16abの2次巻線21の電圧LVabと抵抗18aの電圧RVaとの合計が70Vとなるような電流が流れる。リアクトル16abは第1段の電圧均一化回路22aと磁気結合されているので、リアクトル16abの2次巻線21の電圧LVabは80Vである。このことから、第2段の電圧均一化回路22bには第1段の電圧均一化回路22aとは逆向きの電流(IGBT11bのターンオフを早める方向の電流)が流れ、抵抗18bの電圧RVbは逆極性の10Vとなる。この場合も、第2段の電圧均一化回路22bに流れる電流は、抵抗18bにより抑制される。
次に、図5はIGBT11a、11bのターンオフ後にIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbが50Vで均一になったときの電圧均一化回路の状態を示す回路図である。IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの双方が50Vとなったときは、その差電圧が0であることから電圧均一化回路22a、22bを流れる電流Itは0であり、抵抗18a、18bの電圧RVa、RVbは0である。また、ターンオフ状態であることからゲート電圧Vga、Vgb(15V)の極性はターンオンのときから反転したままである。
第1段の電圧均一化回路22aにおいては、ゲート電圧Vga(15V)、IGBT11aのコレクタ電圧Va(50V)、コンデンサ17aの電圧CVa(15V)の合計電圧(80V)がリアクトル電圧LVab(80V)と均衡を保っている。同様に、第2段の電圧均一化回路22bにおいては、ゲート電圧Vgb(15V)、IGBT11bのコレクタ電圧Vb(50V)、コンデンサ17bの電圧CVb(15V)の合計電圧(80V)がリアクトル電圧LVab(80V)と均衡を保っている。
図6乃至図8は、ターンオフ時にコレクタ電圧がHigh側に偏る場合における図3乃至図5で説明した特性を有するIGBT11a、11bの電圧均一化回路の各部の動作波形を示す波形図であり、図6はゲート電圧Vg及びIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbの波形図、図7は第1段の電圧均一化回路22aの各部の電圧波形図、図8は第2段の電圧均一化回路22bの各部の電圧波形図である。
図6において、時点t1以前の電圧均一化回路の状態は図3に示す状態である。すなわち、IGBT11a、11bは導通状態であり、IGBT11aのコレクタ電圧Va、IGBT11bのコレクタ電圧Vbは0である。この状態で、時点t1においてターンオフ指令があったとすると、ゲート電圧Vgの極性が反転しマイナスとなり、ゲート電流Igもパルス状のマイナス電流が瞬間的に流れる。これにより、IGBT11a、11bはターンオフし始める。この場合、IGBT11aがIGBT11bより先にターンオフして、IGBT11aのコレクタ電圧VaがIGBT11bのコレクタ電圧Vbより先に立ち上がる。
また、図7及び図8に示すように、リアクトルLVabは0からマイナス方向に下降し、第1段の電圧均一化回路22aの抵抗18aの電圧も0から徐々に下降する。そして、第2段の電圧均一化回路22bの抵抗18bの電圧は、第1段の電圧均一化回路22aの抵抗18aの電圧と極性が反転した電圧となる。
そして、時点t2にて、IGBT11aのコレクタ電圧Vaが最高値(60V)になり、IGBT11bのコレクタ電圧Vbがそれよりも低い電圧(例えば40V)となる。図6の時点t2での電圧均一化回路の状態は図4に示す状態である。時点t2においては、図7及び図8に示すように、IGBT11a、11bの電圧均一化回路の抵抗18a、18bの電圧(絶対値)は最高値となる。
時点t2以降においては、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11bのコレクタ電圧Vbとが接近して時点t3でほぼ等しくなる。これにより、IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbが50Vで均一になる。図6の時点t3での電圧均一化回路の状態は図5に示す状態である。時点t3においては、図7及び図8に示すように、IGBT11a、11bの電圧均一化回路の抵抗18a、18bの電圧は0となる。このように、IGBT11a、11bの特性にばらつきによりターンオフ時に大きなコレクタ電圧差が生じる場合であっても過大な電流を抑制できている。
以上述べたように、本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例1によれば、IGBT11a、11bのコレクタとゲートとの間に、コンデンサ17a、17b、リアクトル16ab、抵抗18a、18bを直列に接続して電圧均一化回路を形成し、直列接続されたIGBT11a、11bの電圧分担に差が生じた場合、その差電圧に応じた電圧が電圧均一化回路の抵抗18a、18bに分圧され循環電流が抑制される。これにより、IGBT11a、11bの特性にばらつきがあったとしても、過渡的にも定常的にも直列接続されたIGBT11a、11bの電圧分担を均一にすることができる。
図9は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例2の回路図である。この実施例2は、図1に示した実施例1に対し、コンデンサ17a、17bに代えて、IGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbを分圧する分圧回路19a、19bのコンデンサ17a1、17b1としたものである。
図9に示すように、IGBT11aのコレクタ電圧Vaを分圧する分圧回路19aは、コンデンサ17a1、17a2を有し、一方はIGBT11aのコレクタに接続され、他方はIGBT11aのエミッタに接続されている。そして、分圧回路19aのコンデンサ17a1、17a2の接続点から電圧均一化回路のリアクトル16abに接続されている。同様に、IGBT11bのコレクタ電圧Vbを分圧する分圧回路19bは、コンデンサ17b1、17b2を有し、一方はIGBT11bのコレクタに接続され、他方はIGBT11bのエミッタに接続されている。そして、分圧回路19bのコンデンサ17b1、17b2の接続点から電圧均一化回路のリアクトル16abに接続されている。
このように、電圧均一化回路はIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vbを分圧する分圧回路19a、19bを介してIGBT11a、11bのコレクタに接続されるので、電圧均一化回路に入力されるコレクタ電圧を低減できる。従って、電圧均一化回路に流れる電流を調整することができる。
以上の説明では、電圧駆動型半導体素子であるIGBT11が2直列の場合について説明したが、3直列接続にも適用できる。
図10は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例3の回路図である。この実施例3は、図1に示した実施例1に対し、2直列のIGBT11a、11bに代えて、3直列のIGBT11a、11b、11cを備え、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルのいずれか一つと磁気結合したリアクトルを有し、各々の電圧均一化回路22a、22b、22cのリアクトル16ab、16bcの電圧が等価回路で同じとなるようにしたものである。図10では、第1のリアクトル16abの磁気結合巻線の巻数比を2対1とし、第2のリアクトル16bcの磁気結合巻線の巻数比を1対2とし、真ん中の第2段の電圧均一化回路22bのリアクトル16abの2次巻線21bとリアクトル16bcの1次巻線20bとを直列接続したものを示している。図1と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
直列接続された3個のIGBT11a、11b、11cは、それぞれゲート駆動回路12a、12b、12cからゲート抵抗13a、13b、13cを介してゲート信号Iga、Igb、Igcが供給される。そして、IGBT11a、11b、11cのオンオフにより直流電源14から負荷15に供給される電力が制御される。IGBT11a、11bのコレクタと各々のゲート駆動回路12a、12bとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第1のリアクトル16abが設けられ、IGBT11b、11cのコレクタと各々のゲート駆動回路12b、12cとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第2のリアクトル16bcが設けられている。
第1段の電圧均一化回路22aは第1のリアクトル16abの1次巻線20aにコンデンサ17a及び抵抗18aが直列接続されて形成され、真ん中の第2段の電圧均一化回路22bは、直列接続された第1のリアクトル16abの2次巻線21b及び第2のリアクトル16bcの1次巻線20bにコンデンサ17b及び抵抗18bが直列接続されて形成される。また、第3段の電圧均一化回路はリアクトル16bcの2次巻線21cにコンデンサ17c及び抵抗18cが直列接続されて形成される。
そして、第2段の電圧均一化回路22bは、直列接続された第1のリアクトル16abの2次巻線21b及び第2のリアクトル16bcの1次巻線20bにコンデンサ17b及び抵抗18bが直列接続されて形成される。コンデンサ17a、17b、17cは同一容量のコンデンサであり、抵抗18a、18b、18cも同一値の抵抗である。
つまり、真ん中に位置する第2段の電圧均一化回路22bでは、第1のリアクトル16abの2次巻線21bと第2のリアクトル16bcの1次巻線20bとが直列接続されることから、第1のリアクトル16abの巻数比(1次巻線20a/2次巻線21b)が2対1となるように、第2のリアクトル16bcの巻数比(1次巻線20b/2次巻線21c)が1/2となるように選定される。これにより、各々の電圧均一化回路は同一の等価回路となる。
そして、第1段の電圧均一化回路22aは、一方がIGBT11aのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13aに接続され、第2段の電圧均一化回路22bは、一方がIGBT11bのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13bに接続され、同様に、第3段の電圧均一化回路22cは、一方がIGBT11cのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13bに接続される。
本発明の実施の形態の実施例3によれば、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルの少なくともいずれか一つと磁気結合したリアクトルを有するので、直列接続されたIGBT11a、11b、11cの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。また、各電圧均一化回路のリアクトルのインダクタンスが同じとなるように、巻数比の異なるリアクトルを採用しているので、磁気結合した各電圧均一化回路のリアクトル電圧は同じとなり均一化が図れる。
ここで、図11に示すように、実施例3の半導体スイッチ回路における第2段のIGBT11bが短絡故障Sとなった場合には、健全な第1段のIGBT11aと第3段のIGBT11cとで直流電源14の電圧を分担することになる。
図12は、リアクトル20とコンデンサ17と抵抗18とからなる電圧均一化回路22がない従来の場合の各段のIGBT11a〜11cのコレクタ電圧Va〜Vcの波形図であり、図13は図12の期間T1部分の時間スパンを拡大した拡大図である。図12及び図13では、IGBT11a、11bの特性のばらつきにより、IGBT11aがIGBT11cより先にターンオフした場合を示している。
いま、第2段のIGBT11bが短絡故障Sである状態で、時点t1でターンオフ指令があったとするとゲート電圧Vgがマイナスとなり、IGBT11a、11cはターンオフし始めるが、IGBT11bは短絡故障Sであるため導通状態のままであるので、コレクタ電圧Vbは0Vで変化しない。
IGBT11a、11cの特性のばらつきにより、IGBT11aがIGBT11cより先にターンオフするので、時点t2では、IGBT11aが直流電源14の電圧(例えば、400V)のほぼ全部を負担し、一方、遅れてターンオフするIGBT11cが負担する電圧はほぼ0Vに近い小さな値である。 従って、先にターンオフしたIGBT11aのコレクタ電圧Vaがほぼ直流電源14の電圧(例えば、400V)となり、まだターンオフしていないIGBT11cのコレクタ電圧Vcは0Vに近い小さな値である。期間T1を経過した時点t2になって、IGBT11cもターンオフし始めるので、時点t2以降においては、IGBT11aのコレクタ電圧Vaが徐々に下がり、IGBT11cのコレクタ電圧Vcが徐々に上がり、最終的にはIGBT11a、11cのコレクタ電圧Va、Vcがほぼ等しくなって均等に直流電源14の電圧を1/2の200Vずつ負担することになる。このように、最終的には2直列のIGBT11a、11bのコレクタ電圧Va、Vcは等しくなるが、ターンオフする過程では先にターンオフするIGBT11aの負担が大きくなる。
これに対し、実施例3のように、リアクトル20とコンデンサ17と抵抗18とからなる電圧均一化回路22を有している場合には、図14及び図15に示すように、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11cのコレクタ電圧Vcとの差電圧が小さくなる。
図14は、実施例3の場合、すなわち、リアクトル20とコンデンサ17と抵抗18とからなる電圧均一化回路22を有した場合の各段のIGBT11a〜11cのコレクタ電圧Va〜Vcの波形図であり、図15は図14の期間T1部分の時間スパンを拡大した拡大図である。
第2段のIGBT11bが短絡故障Sである状態で、時点t1でターンオフ指令があったとするとゲート電圧Vgがマイナスとなり、IGBT11a、11cはターンオフし始めるが、IGBT11bは短絡故障Sであるため導通状態のままであるので、コレクタ電圧Vbは0Vで変化しない。
IGBT11a、11cの特性のばらつきにより、IGBT11aがIGBT11cより先にターンオフするので、IGBT11aのコレクタ電圧VaがIGBT11cのコレクタ電圧Vcよりやや高めとなるが、電圧均一化回路22により、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11cのコレクタ電圧Vcとの差電圧が速やかに0Vとなるので、IGBT11aのコレクタ電圧VaとIGBT11cのコレクタ電圧Vcとは時点t1と時点t2との間に差電圧が小さくなる。
図16は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例4の回路図である。この実施例4は、図10に示した実施例3に対し、自己以外の他のすべて電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合したリアクトルを有し、各々の電圧均一化回路のリアクトルを直列接続したものである。図10と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
第1段の電圧均一化回路22aにはリアクトル16ab、16acが接続され、第2段の電圧均一化回路22bにはリアクトル16ab、16bcが接続され、第3段の電圧均一化回路22cにはリアクトル16bc、16acが接続されている。
すなわち、IGBT11a、11bのコレクタと各々のゲート駆動回路12a、12bとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第1のリアクトル16abが設けられ、IGBT11b、11cのコレクタと各々のゲート駆動回路12b、12cとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第2のリアクトル16bcが設けられ、IGBT11a、11cのコレクタと各々のゲート駆動回路12a、12cとの接続線には互いに磁気結合させる第3のリアクトル16acが設けられている。これらのリアクトル16ab、16bc、16acの磁気結合巻線の巻数比は1対1である。
第1段の電圧均一化回路22aは、直列接続された第1のリアクトル16abの1次巻線20ab及び第3のリアクトル16acの1次巻線20acにコンデンサ17a及び抵抗18aが直列接続されて形成され、第2段の電圧均一化回路22bは、直列接続された第1のリアクトル16abの2次巻線21b及び第2のリアクトル16bcの1次巻線20bにコンデンサ17b及び抵抗18bが直列接続されて形成される。同様に、第3段の電圧均一化回路22cは、直列接続された第2のリアクトル16bcの2次巻線21ca及び第3のリアクトル16acの2次巻線21cbにコンデンサ17c及び抵抗18cが直列接続される。コンデンサ17a、17b、17cは同一容量のコンデンサであり、抵抗18a、18b、18cも同一値の抵抗である。また、リアクトル16ab、16bc、16acの巻数比は1対1であるので、各段の電圧均一化回路22a、22b、22cの等価回路は同じとなる。
このように、各々の電圧均一化回路22a、22b、22cは、自己以外の他のすべて電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合したリアクトルを有し、これらのリアクトルを直列接続して、各々の電圧均一化回路の直列接続されたリアクトルの電圧が同じとなるように形成される。
本発明の実施の形態の実施例4によれば、自己以外の他のすべての電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合したリアクトルを有するので、直列接続されたIGBT11a、11b、11cの特性にばらつきがあったとしても、より電圧分担を均一にすることができる。また、磁気結合した各電圧均一化回路の直列接続されたリアクトル電圧は同じとなり均一化が図れる。また、リアクトル16ab、16bc、16acは巻数比が1対1で同じあるので、磁気結合巻線の巻数比が1対1でない特殊なリアクトルを用意する必要がない。
図17は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例5の回路図である。この実施例5は、図16に示した実施例4に対し、3直列のIGBT11a、11b、11cに代えて、4直列のIGBT11a〜11dを備え、自己以外の他のすべて電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合したリアクトルを有し、各々の電圧均一化回路のリアクトルを並列接続したものである。図16と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
第1段の電圧均一化回路22aには第1のリアクトル16ab、16ac、16adが接続され、第2段の電圧均一化回路22bには第1のリアクトル16ab、16bc、16bdが接続され、第3段の電圧均一化回路22cには第2のリアクトル16bc、16ac、16cdが接続され、第4段の電圧均一化回路22eにはリアクトル16cd、16bd、16adが接続されている。
第1段の電圧均一化回路22aは、並列接続された第1のリアクトル16abの1次巻線20ab、第2のリアクトル16acの1次巻線20ac、第3のリアクトル16adの1次巻線20adにコンデンサ17a1、17a2、17a3がそれぞれ直列接続され、これらの並列回路に共通の抵抗18が直列接続されて形成される。第2段の電圧均一化回路22b、第3段の電圧均一化回路22c、第4段の電圧均一化回路22eについても、第1段の電圧均一化回路22aと同様に形成される。
以上の説明では、4直列のIGBT11a〜11dを備えた場合について説明したが、n直列のIGBT11a〜11nを備えた場合にも同様に適用できる。n直列のIGBT11a〜11nの場合には、各々の電圧均一化回路22a〜22dは自己以外の他のn−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するn−1個のリアクトルを有し、各々の電圧均一化回路22a〜22dの磁気結合巻線を並列接続とする。
本発明の実施の形態の実施例4によれば、各々の電圧均一化回路22は、自己以外の他のすべて電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合したリアクトルを並列接続して形成されるので、各段の電圧均一化回路22のリアクトル電圧がより均一化され、直列接続されたIGBT11a〜11eの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。
図18は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例6の回路図である。この実施例6は、図10に示した実施例3に対し、直列接続の第1のリアクトル16abの磁気結合巻線の巻数比を2対1とし、第2のリアクトル16bcの磁気結合巻線の巻数比を1対2とすることに代えて、第1のリアクトル16ab及び第2のリアクトル16bcの磁気結合巻線の巻数比は1対1として、真ん中の第2段電圧均一化回路22bにおいてリアクトル16ab、16bcを並列接続し、各段の電圧均一化回路22a、22b、22cのリアクトルの巻線のインダクタンス、コンデンサの容量、抵抗値が等価回路で同じとなるようにしたものである。図10と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
第1段の電圧均一化回路22aは、第1のリアクトル16abの1次巻線20aにコンデンサ17a及び抵抗18aが直列接続されて形成され、コンデンサ17aの容量が2Cで抵抗18aの値がRである場合を示している。同様に、第3段の電圧均一化回路22cは、第2のリアクトル16bcの2次巻線21cにコンデンサ17c及び抵抗18cが直列接続されて形成され、コンデンサ17cの容量が2Cで抵抗18aの値がRである場合を示している。
一方、真ん中の第2段の電圧均一化回路22bには、第1のリアクトル16abの2次巻線21b及び第2のリアクトル16bcの1次巻線20bが並列接続され、第1のリアクトル16abの2次巻線21bにはコンデンサ17b1及び抵抗18b1が直列接続され、第2のリアクトル16bcの一次巻線20bにはコンデンサ17b2及び抵抗18b2が直列接続されている。そして、コンデンサ17b1、17b2の容量は他の電圧均一化回路22a、22cのコンデンサ17a、17cの容量2Cの1/2のCとし、抵抗18b1、18b2の値は他の電圧均一化回路の抵抗18a、18cの値Rの2倍の2Rとする。これにより、各段の電圧均一化回路22a、22b、22cのリアクトル16ab、16bcのインダクタンス、コンデンサの容量、抵抗値が等価回路で同じとなる。
本発明の実施の形態の実施例6によれば、第1のリアクトル16abと第2のリアクトル16bcとの巻数比は1対1として、真ん中の第2段電圧均一化回路22bにおいて第1のリアクトル16abの2次巻線21b及び第2のリアクトル16bcの一次巻線20bを並列接続し、各段の電圧均一化回路22a、22b、22cのリアクトル16ab、16bcの巻線のインダクタンス、コンデンサの容量、抵抗値が等価回路で同じとなるようにするので、磁気結合した各段の電圧均一化回路22a、22b、22cのリアクトル電圧は同じとなり均一化が図れ、直列接続されたIGBT11a、11b、11cの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。
図19は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例7の回路図である。この実施例7は、図18に示した実施例6に対し、直列接続の電圧駆動型半導体素子の個数をn個にしたものである。直列接続のn個のIGBT111〜IGBT11nを用意し、n−1個のリアクトル1612〜16(n−1)nを用意し、リアクトル1612〜16(n−1)nの巻数比は1対1として、最上段の第1段の電圧均一化回路221及び最下段の第nの電圧均一化回路以外の中間段の電圧均一化回路222〜22(n−1)においてはリアクトルを並列接続し、各々の電圧均一化回路221〜22nのリアクトルの巻線のインダクタンス、コンデンサの容量、抵抗値が等価回路で同じとなるようにしたものである。なお、図19では、IGBT111〜11nのコレクタ電圧をV1〜Vnで示し、ゲート信号をIg1〜Ignで示している。
最上段の第1段の電圧均一化回路221は第1のリアクトル1612の1次巻線201にコンデンサ171及び抵抗181が直列接続されて形成され、コンデンサ171の容量が2Cで抵抗181の値がRである場合を示している。同様に、最下段のIGBT11nの電圧均一化回路はリアクトル16(n−1)nの2次巻線21nにコンデンサ17n及び抵抗18nが直列接続されて形成され、コンデンサ17nの容量が2Cで抵抗18nの値がRである場合を示している。
中間段の電圧均一化回路222〜22(n−1)、例えば、2段目の第2段の電圧均一化回路222は、第1のリアクトル1612の2次巻線21bにはコンデンサ1721及び抵抗1821が直列接続され、第2のリアクトル1623の1次巻線202にはコンデンサ1722及び抵抗1822が直列接続されたものが並列接続されている。そして、コンデンサ1721、1722の容量は、最上段の第1段の電圧均一化回路221や最下段の第n段の電圧均一化回路22nのコンデンサ171、17nの容量2Cの1/2のCとし、抵抗1821、1822の値は最上段の第1段の電圧均一化回路222や最下段の第n段の電圧均一化回路22nの抵抗181、18nの値Rの2倍の2Rとする。これにより、各々の電圧均一化回路のリアクトルのインダクタンス、コンデンサの容量、抵抗値が等価回路で同じとなる。以下、3段目のIGBT113〜(n−1)段目のIGBT11(n−1)の電圧均一化回路についても同様である。
本発明の実施の形態の実施例7によれば、最上段及び最下段のリアクトルの巻数比は1対1として、中間段の電圧均一化回路においてリアクトル、コンデンサ、抵抗を直列接続したものを並列接続し、各々の電圧均一化回路のリアクトルのインダクタンス、コンデンサの容量、抵抗値が等価回路で同じとなるようにするので、磁気結合した各段の電圧均一化回路のリアクトル電圧は同じとなり均一化が図れ、直列接続されたIGBT11a〜11nの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。
図20は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例8の回路図である。この実施例8は、図10に示した実施例3に対し、3直列のIGBT11a、11b、11cに代えて、4直列のIGBT11a〜11dを備え、2段目の第2段の電圧均一化回路22bは自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルのいずれか一つと磁気結合したリアクトルを有し、2段目の第2段の電圧均一化回路22bのリアクトルの磁気結合巻線を直列接続し、各段の電圧均一化回路のリアクトルの電圧が等価回路で同じとなるようにしたものである。図20では、第1のリアクトル16abの巻数比は3対1とし、第2のリアクトル16bc及び第3のリアクトル16bdの巻数比を1対3とし、IGBT11a〜11dは環流ダイオードを有したものを示している。図10と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
直列接続された4個のIGBT11a〜11dは、それぞれゲート駆動回路12a〜12dからゲート抵抗13a〜13dを介してゲート信号Iga〜Igdが供給される。そして、IGBT11a〜11dのオンオフにより直流電源14から負荷15に供給される電力が制御される。IGBT11a、11bのコレクタと各々のゲート駆動回路12a、12bとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第1のリアクトル16abが設けられ、IGBT11b、11cのコレクタと各々のゲート駆動回路12b、12cとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第2のリアクトル16bcが設けられ、IGBT11b、11dのコレクタと各々のゲート駆動回路12b、12dとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第3のリアクトル16bdが設けられている。
第1段の電圧均一化回路22aは第1のリアクトル16abの1次巻線20aにコンデンサ17a及び抵抗18aが直列接続されて形成され、2段目の第2段の電圧均一化回路22bは、直列接続された第1のリアクトル16abの2次巻線21b、第2のリアクトル16bcの1次巻線20bc、第3のリアクトル16bdの1次巻線20bdにコンデンサ17b及び抵抗18bが直列接続されて形成される。さらに、第3段の電圧均一化回路22cは第2のリアクトル16bcの2次巻線21cにコンデンサ17c及び抵抗18cが直列接続されて形成され、第4の電圧均一化回路は第3のリアクトル16bdの2次巻線21dにコンデンサ17d及び抵抗18dが直列接続されて形成される。コンデンサ17a〜17dは同一容量のコンデンサであり、抵抗18a〜18dも同一値の抵抗である。
つまり、2段目の第2段の電圧均一化回路22bについては、第1のリアクトル16abの2次巻線21b、第2のリアクトル16bcの1次巻線20bc、第3のリアクトル16bdの1次巻線20bdが直列接続されて構成される。そして、第1のリアクトル16abの磁気結合巻線の巻数比(1次巻線20a/2次巻線21b)が3/1となるように、第2のリアクトル16bcの磁気結合巻線の巻数比(1次巻線20bc/2次巻線21c)が1/3となるように、さらに、第3のリアクトル16bdの磁気結合巻線の巻数比(1次巻線20bd/2次巻線21d)が1/3となるように選定される。これにより、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となる。
また、第1段の電圧均一化回路22aは、一方がIGBT11aのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13aに接続され、第2段の電圧均一化回路22bは、一方がIGBT11bのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13bに接続され、第3段の電圧均一化回路22cは、一方がIGBT11cのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13cに接続され、同様に、IGBT11dの電圧均一化回路は、一方がIGBT11dのコレクタに接続され他方がゲート抵抗13dに接続される。
本発明の実施の形態の実施例8によれば、第2段の電圧均一化回路22bのリアクトルが自己以外の他のすべての電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合するので、直列接続されたIGBT11a〜11dは第2段の電圧均一化回路22bのリアクトルを介して互いに磁気結合することになり、直列接続されたIGBT11a〜11dの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。また、各電圧均一化回路のリアクトルの電圧が同じとなるように、巻数比の異なるリアクトルを採用しているので、磁気結合した各電圧均一化回路のリアクトル電圧は同じとなり均一化が図れる。
図21は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例9の回路図である。この実施例9は、図20に示した実施例8に対し、4直列のIGBT11a〜11dに代えて、n直列のIGBT111〜11nを備え、2段目の第2段の電圧均一化回路222は、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルのいずれか一つと磁気結合したリアクトルを有し、2段目の第2段の電圧均一化回路222のリアクトルの磁気結合巻線を直列接続し、各段の電圧均一化回路のリアクトルの電圧が等価回路で同じとなるようにしたものである。なお、図21では、IGBT111〜11nのコレクタ電圧をV1〜Vnで示し、ゲート信号をIg1〜Ignで示している。
直列接続されたn個のIGBT111〜11nは、それぞれゲート駆動回路121〜12nからゲート抵抗131〜13nを介してゲート信号Ig1〜Ignが供給される。そして、IGBT111〜11nのオンオフにより直流電源14から負荷15に供給される電力が制御される。IGBT111、112のコレクタと各々のゲート駆動回路121、122との接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第1のリアクトル1612が設けられ、IGBT112、113のコレクタと各々のゲート駆動回路122、123との接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第2のリアクトル1623が設けられ、以下同様に、IGBT112、11nのコレクタと各々のゲート駆動回路122、12nとの接続線には互いに磁気結合させるコモンモードの第n−1のリアクトル162nが設けられている。
第1段の電圧均一化回路221は第1のリアクトル1612の1次巻線201にコンデンサ171及び抵抗181が直列接続されて形成され、2段目の第2段の電圧均一化回路222は、直列接続された第1のリアクトル1612の2次巻線212及び第2のリアクトル1623の1次巻線2023〜第n−1のリアクトル162nの1次巻線202nにコンデンサ172及び抵抗182が直列接続されて形成される。さらに、第i段の電圧均一化回路22iは第i−1のリアクトル162iの2次巻線21iにコンデンサ17i及び抵抗18iが直列接続されて形成される。コンデンサ171〜17nは同一容量のコンデンサであり、抵抗181〜18nも同一値の抵抗である。
つまり、2段目の第2段の電圧均一化回路222については、第1のリアクトル1612の2次巻線212及び第2のリアクトル1623〜第n−1のリアクトル162nの1次巻線2023〜第n−1のリアクトル162nの1次巻線202nが直列接続されて構成される。そして、第1のリアクトル1612の磁気結合巻線の巻数比(1次巻線201/2次巻線212)がn−1/1となるように、第2のリアクトル1623〜第n−1のリアクトル162nの磁気結合巻線の巻数比(1次巻線20/2次巻線21)が1/n−1となるように選定される。これにより、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となる。
本発明の実施の形態の実施例9によれば、第2段の電圧均一化回路222のリアクトルが自己以外の他のすべての電圧均一化回路のリアクトルと磁気結合するので、直列接続されたIGBT111〜11nは第2段の電圧均一化回路222のリアクトルを介して互いに磁気結合することになり、直列接続されたIGBT111〜11nの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。また、各電圧均一化回路のリアクトルの電圧が同じとなるように、巻数比の異なるリアクトルを採用しているので、磁気結合した各電圧均一化回路のリアクトル電圧は同じとなり均一化が図れる。
図22は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例10の回路図である。この実施例10は、図21に示した実施例9に対し、2段目の第2段の電圧均一化回路222に代えて、1段目の第1段の電圧均一化回路221は、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルのいずれか一つと磁気結合したリアクトルを有し、第1段の電圧均一化回路221のリアクトルの磁気結合巻線を直列接続し、各段の電圧均一化回路のリアクトルの電圧が等価回路で同じとなるようにしたものである。図22と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
1段目の第1段の電圧均一化回路221は、直列接続された第1のリアクトル1612の1次巻線2012〜第n−1のリアクトル161nの1次巻線201nの1次巻線201nにコンデンサ171及び抵抗181が直列接続されて形成される。さらに、第i段の電圧均一化回路22iは第i−1のリアクトル161iの2次巻線21iにコンデンサ17i及び抵抗18iが直列接続されて形成される。コンデンサ171〜17nは同一容量のコンデンサであり、抵抗181〜18nも同一値の抵抗である。
つまり、1段目の第1段の電圧均一化回路221については、第1のリアクトル1612の1次巻線2012〜第n−1のリアクトル161nの1次巻線201(n−1)が直列接続されて構成される。そして、第1のリア
クトル1612〜第n−1のリアクトル161nの磁気結合巻線の巻数比(1次巻線20/2次巻線21)が1/n−1となるように選定される。これにより、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となる。本発明の実施の形態の実施例10の場合には、実施例9と同じ効果が得られる。
図23は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例11の回路図である。この実施例11は、図22に示した実施例10に対し、n個(n=2m+1)直列のIGBT111〜11nを備え、中間段の第m+1段の電圧均一化回路22m+1に二つのリアクトル16m(m+1)、16(m+1)(m+2)を設け、第1段から第m段のm個の電圧均一化回路221〜22mのうちの一つが自己以外の他のm−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm−1個のリアクトルを有し、第m+2段から第2m+1段のm個の電圧均一化回路22m+2〜22nのうちの一つが自己以外の他のm−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm−1個のリアクトルを有するように構成したものである。
図23では、第1段の電圧均一化回路221及び第n段の電圧均一化回路22nが自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm個のリアクトルを有した電圧均一化回路である場合を示している。
第m+1段の電圧均一化回路22m+1は、第m段の電圧均一化回路と1対mの巻数比で互いに磁気結合するリアクトル16m(m+1)の2次巻線と、第m+2段の電圧均一化回路とm対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル16(m+1)(m+2)の1次巻線とを並列接続して形成される。
第1段の電圧均一化回路221は、第2段の電圧均一化回路222から第m+1段の電圧均一化回路22m+1までの自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm個のリアクトル1612〜161(m+1)を有し、自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合したm個のリアクトル1612〜161(m+1)の1次巻線を直列接続し、コンデンサ171及び抵抗181を直列接続して形成されている。また、残りの電圧均一化回路222〜22mは、m個のリアクトル1612〜161(m+1)の2次巻線にコンデンサ171〜17m及び抵抗181〜18mを直列接続して形成されている。
同様に、第n段の電圧均一化回路22nは、第m+1段の電圧均一化回路22m+1から電圧均一化回路22n−1(=2m)までの自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm個のリアクトル16(m+1)n〜16(n−1)nを有し、自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合したm個のリアクトル16(m+1)n〜16(n−1)nの1次巻線を直列接続し、コンデンサ17n及び抵抗18nを直列接続して形成されている。また、残りの電圧均一化回路22m+1〜22n−1(=2m)は、m個のリアクトル16(m+1)n〜16(n−1)nの2次巻線にコンデンサ17(m+1)〜17(n−1)及び抵抗18(m+1)〜18(n−1)を直列接続して形成されている。
本発明の実施の形態の実施例11によれば、実施例10の効果に加え、中間段の第m+1段の電圧均一化回路22m+1に二つのリアクトル16m(m+1)、16(m+1)(m+2)を設けるので、直列接続する電圧駆動型半導体素子の数が増えた場合に、リアクトルの巻数比が大きくなるのを防止できる。
図24は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例12の回路図である。この実施例12は、図20に示した実施例8に対し、巻数比が3対1のリアクトルに代えて、巻数比が2対1(巻数比が1対2)と巻数比が1対1との2種類のリアクトルを用意し、中間段の電圧均一化回路のリアクトルの磁気結合巻線を直列接続し、各々の電圧均一化回路のリアクトルの電圧が等価回路で同じとなるようにしたものである。図20と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
第1段の電圧均一化回路22aは第1のリアクトル16abの1次巻線20aにコンデンサ17a及び抵抗18aが直列接続されて形成される。第2段の電圧均一化回路22bは直列接続された第1のリアクトル16abの2次巻線21b及び第2のリアクトル16bcの1次巻線20bにコンデンサ17b及び抵抗18bが直列接続されて形成される。第3段の電圧均一化回路22cは直列接続された第2のリアクトル16bcの2次巻線21c及び第3のリアクトル16bdの1次巻線20cにコンデンサ17c及び抵抗18cが直列接続されて形成される。第4段の電圧均一化回路22eは第3のリアクトル16bdの2次巻線21dにコンデンサ17d及び抵抗18dが直列接続されて形成される。さらに、コンデンサ17a〜17dは同一容量のコンデンサであり、抵抗18a〜18dも同一値の抵抗である。
このように最上段の第1段の電圧均一化回路22aについては巻数比が2対1となるリアクトルが用いられ、最下段の第4段の電圧均一化回路22eについては巻数比が1対2となるリアクトルが用いられ、中間段の第2段の電圧均一化回路22bについては巻数比が2対1となるリアクトル及び巻数比が1対1となるリアクトルの直列接続が用いられている。第3段の電圧均一化回路22cについては巻数比が1対1となるリアクトル及び巻数比が1対2となるリアクトルの直列接続が用いられている。これにより、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となる。
本発明の実施の形態の実施例12によれば、巻数比が2対1(巻数比が1対2)となるリアクトルと巻数比が1対1となるリアクトルとの2種類のリアクトルが必要であるが、いずれの電圧均一化回路22も等価回路は同じとなるので、直列接続されたIGBT11a〜11dの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。
図25は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例13の回路図である。この実施例13は、図24に示した実施例12に対し、直列接続の電圧駆動型半導体素子の個数をn個にしたものである。なお、図25では、IGBT111〜11nのコレクタ電圧をV1〜Vnで示し、ゲート信号をIg1〜Ignで示している。
第1段の電圧均一化回路221は、第2段の電圧均一化回路222と磁気結合巻線が2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル1612を有し、一方、第n段の電圧均一化回路22nは第n−1段の電圧均一化回路22n−1と磁気結合巻線が1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル16(n−1)nを有している。
そして、第2段の電圧均一化回路222は、第1段の電圧均一化回路221と磁気結合巻線が2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル1612と、第3段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル1623との双方を有し、これらの磁気結合巻線は直列接続されて形成されている。同様に、第n−1段の電圧均一化回路22n−1は、第n段の電圧均一化回路22nと磁気結合巻線が1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル16(n−1)nと、第n−2段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル16(n−2)(n−1)との双方を有し、これらリアクトルの磁気結合巻線は直列接続されて形成されている。
また、中間段の第i段(i=3〜n−2)の電圧均一化回路222〜22n−1は、第i−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトル、及び第i+1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有しており、これらリアクトルの磁気結合巻線は直列接続されて形成されている。
本発明の実施の形態の実施例13によれば、直列接続の電圧駆動型半導体素子の個数が増えても、巻数比が2対1(巻数比が1対2)となるリアクトルと巻数比が1対1となるリアクトルとの2種類のリアクトルで構成が可能である。
図26は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例14の回路図である。この実施例14は、図24に示した実施例12の直列接続のリアクトルに、並列接続のリアクトルを組み合わせたものである。図24と同一要素には同一符号を付し重複する説明は省略する。
最上段の第1段の電圧均一化回路22aについては、巻数比が2対1となるリアクトルが用いられ、2段目の第2段の電圧均一化回路22bについては、巻数比が1対2となる2個のリアクトルの直列接続が用いられている。そして、3段目の第3段の電圧均一化回路22cについては、巻数比が1対2となるリアクトルと巻数比が2対1となるリアクトルとの並列接続が用いられている。
つまり、中間段では、直列接続のリアクトルを有した電圧均一化回路22b、22dと、並列接続のリアクトルを有した電圧均一化回路22cとを交互に配置し、最下段の電圧均一化回路22eについては、巻数比が1対2となるリアクトルを用いている。
本発明の実施の形態の実施例14によれば、直列接続のリアクトルを有した電圧均一化回路と、並列接続のリアクトルを有した電圧均一化回路とを交互に配置するので、各段の電圧均一化回路のリアクトル電圧がより均一化され、直列接続されたIGBT11a〜11eの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。
図27は本発明の実施の形態に係わる半導体スイッチ回路の実施例15の回路図である。この実施例15は、図26に示した実施例14に対し、直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子をn個(n=2m+1、mは2以上)とし、二つのリアクトルの磁気結合巻線を並列接続した第m+1段の電圧均一化回路22m+1を中央段に設置し、第1段の電圧均一化回路221と第m+1段の電圧均一化回路22m+1との間の電圧平均回路12、及び第m+1段の電圧均一化回路22m+1と第n段(n=2m+1)の電圧均一化回路との間の電圧平均回路12を複数個としたものである。なお、図27では、IGBT111〜11nのコレクタ電圧をV1〜Vnで示し、ゲート信号をIg1〜Ignで示している。
図27に示すように、第1段の電圧均一化回路221は、リアクトル1612にて第2段の電圧均一化回路222と磁気結合される。すなわち、磁気結合巻線が2対1の巻数比で互いに磁気結合されている。
第2段の電圧均一化回路222は、リアクトル1612により第1段の電圧均一化回路221と2対1の巻数比で互いに磁気結合されるとともに、リアクトル1623により第3段の電圧均一化回路223と1対1の巻数比で互いに磁気結合されている。そして、リアクトル1612、1623の磁気結合巻線(リアクトル1612の2次巻線212、リアクトル1623の1次巻線202)は直列接続されて、コンデンサ171及び抵抗181に直列に接続される。
図示省略の第i段(i=3〜m−1)の電圧均一化回路22iは、リアクトル16(i−1)iにて第i−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合されるとともに、リアクトルi(i+1)にて第i+1段の電圧均一化回路22i+1と1対1の巻数比で互いに磁気結合される。そして、リアクトル16(i−1)iの2次巻線21iとリアクトル16i(i+1)の1次巻線20iは直列接続されて、コンデンサ17i及び抵抗18iに直列に接続される。
また、図示省略の第m段の電圧均一化回路は、リアクトル16(m−1)mにて第m−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合されるとともに、リアクトル16m(m+1)にて第m+1段の電圧均一化回路22m+1と1対2の巻数比で互いに磁気結合される。そして、リアクトル16(m−1)mの2次巻線21mとリアクトル16m(m+1)の1次巻線20mは直列接続されて、コンデンサ17m及び抵抗18mに直列に接続される。
次に、第m+1段の電圧均一化回路22m+1は、リアクトル16m(m+1)にて第m段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合されるともに、リアクトル(m+1)(m+2)にて第m+2段の電圧均一化回路22m+2と2対1の巻数比で互いに磁気結合される。そして、リアクトル16m(m+1)の2次巻線21m+1とリアクトル16(m+1)(m+2)の1次巻線20m+1は直列接続されて、コンデンサ17m+1及び抵抗18m+1に直列に接続される。
また、第m+2段の電圧均一化回路22m+2は、リアクトル16(m+1)(m+2)にて第m+1段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合されるともに、図示省略のリアクトル(m+2)(m+3)にて第m+3段の電圧均一化回路22m+3と1対1の巻数比で互いに磁気結合される。そして、リアクトル16(m+1)(m+2)の2次巻線21m+2とリアクトル16(m+2)(m+3)の1次巻線20m+2は直列接続されて、コンデンサ17m+2及び抵抗18m+2に直列に接続される。
さらに、図示省略の第j段(j=m+3〜2m−1)の電圧均一化回路22jは、リアクトル16(j−1)jにて第j−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合されるとともに、リアクトルj(j+1)にて第j+1段の電圧均一化回路22j+1と1対1の巻数比で互いに磁気結合される。そして、リアクトル16(j−1)jの2次巻線21jとリアクトル16j(j+1)の1次巻線20jは直列接続されて、コンデンサ17j及び抵抗18jに直列に接続される。
第n−1(2m)段の電圧均一化回路22n−1は、リアクトル16(n−2)(n−1)にて第n−2段の電圧均一化回路22n−2と1対1の巻数比で互いに磁気結合されるとともに、リアクトル16(n−1)nにて第n段の電圧均一化回路22nと1対2の巻数比で互いに磁気結合される。そして、リアクトル16(n−2)(n−1)の2次巻線21n−1とリアクトル16(n−1)nの1次巻線20n−1は直列接続されて、コンデンサ17n−1及び抵抗18n−1に直列に接続される。
第n(2m+1)段の電圧均一化回路22nは、リアクトル16(n−1)nにて第n−1段の電圧均一化回路22n−1と1対2の巻数比で互いに磁気結合され、リアクトル16(n−1)nの2次巻線21nにはコンデンサ17n−1及び抵抗18n−1が直列に接続される。
本発明の実施の形態の実施例15によれば、直列接続される電圧駆動型半導体素子の数が増えた場合であっても、直列接続のリアクトルを有した電圧均一化回路と、並列接続のリアクトルを有した電圧均一化回路とを組み合わせて配置できるので、各段の電圧均一化回路のリアクトル電圧がより均一化され、直列接続されたIGBT11a〜11nの特性にばらつきがあったとしても電圧分担を均一にすることができる。
11…IGBT、12…ゲート駆動回路、13…ゲート抵抗、14…直流電源、15…負荷、16…リアクトル、17…コンデンサ、18…抵抗、19…分圧回路、20…1次巻線、21…2次巻線、22…電圧均一化回路

Claims (14)

  1. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子と、各々の前記電圧駆動型半導体素子のゲートにゲート抵抗を介してゲート信号を供給するゲート駆動回路と、各々の前記電圧駆動型半導体素子のコレクタと前記ゲート駆動回路との接続線を互いに磁気結合させるコモンモードリアクトルと、前記リアクトルの磁気結合巻線にコンデンサ及び抵抗を直列接続して一方が各々の前記電圧駆動型半導体素子のコレクタに接続され他方が各々の前記ゲート抵抗に接続される電圧均一化回路とを備えたことを特徴とする半導体スイッチ回路。
  2. 3個以上の電圧駆動型半導体素子が直列接続されている場合、前記電圧均一化回路の前記リアクトルは、自己以外の他の電圧均一化回路のリアクトルの少なくともいずれか一つと磁気結合し、二つ以上と磁気結合したときは、それぞれ磁気結合したリアクトルの磁気結合巻線を直列接続または並列接続したことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  3. 前記電圧均一化回路のリアクトルの磁気結合巻線を直列接続または並列接続したときは、各々の電圧均一化回路が同一の等価回路となるように、前記リアクトルの巻数比、コンデンサの容量または抵抗値を選定することを特徴とする請求項2に記載の半導体スイッチ回路。
  4. 前記コンデンサは、前記電圧駆動型半導体素子のコレクタ電圧を分圧する分圧回路のコンデンサの一部を用いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体スイッチ回路。
  5. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子が2個であり、前記リアクトルは1対1の巻数比で互いに磁気結合させたことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  6. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子が3個であり、第1段の電圧均一化回路と第2段の電圧均一化回路とを磁気結合するリアクトルは2対1の巻数比で互いに磁気結合させ、第2段の電圧均一化回路と第3段の電圧均一化回路とを磁気結合するリアクトルは1対2の巻数比で互いに磁気結合させ、第2段の電圧均一化回路の磁気結合巻線は直列接続としたことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  7. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子がn個であり、各々の前記電圧均一化回路は自己以外の他のn−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するn−1個のリアクトルを有し、各々の前記電圧均一化回路の磁気結合巻線は直列接続としたことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  8. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子がn個であり、各々の前記電圧均一化回路は自己以外の他のn−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するn−1個のリアクトルを有し、各々の前記電圧均一化回路の磁気結合巻線は並列接続としたことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  9. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子がn個であり、第1段の電圧均一化回路は第2段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線にコンデンサと抵抗とが直列接続されて形成され、第n段の電圧均一化回路は第n−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線に前記第1段の電圧均一化回路と同じ容量のコンデンサと同じ抵抗値の抵抗とが直列接続されて形成され、第i段(i=2〜n−1)の電圧均一化回路は、第i−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第i+1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを並列接続し、並列接続された各々の磁気結合巻線に第1段の電圧均一化回路のコンデンサの1/2容量のコンデンサと第1段の電圧均一化回路の抵抗の2倍の抵抗値の抵抗とを直列接続したことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  10. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子がn個であり、n個の前記電圧均一化回路のうちの一つが自己以外の他のn−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するn−1個のリアクトルを有し、各々のリアクトルは1対n−1の巻数比で互いに磁気結合させ、自己以外の他のn−1個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合した電圧均一化回路の磁気結合巻線を直列接続としたことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  11. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子がn個(n=2m+1)であり、第m+1段の前記電圧均一化回路は第m段の電圧均一化回路と1対mの巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第m+2段の電圧均一化回路とm対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを並列接続し、第1段から第m段のm個の前記電圧均一化回路のうちの一つが自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm個のリアクトルを有し、各々のリアクトルは1対mの巻数比で互いに磁気結合させ、自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合した電圧均一化回路の磁気結合巻線を直列接続とし、第m+2段から第2m+1段のm個の前記電圧均一化回路のうちの一つが自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合するm個のリアクトルを有し、各々のリアクトルはm対1の巻数比で互いに磁気結合させ、自己以外の他のm個の電圧均一化回路とそれぞれ磁気結合した電圧均一化回路の磁気結合巻線を直列接続としたことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  12. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子がn個であり、第1段の電圧均一化回路は第2段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有し、第n段の電圧均一化回路は第n−1段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有し、第2段の電圧均一化回路は第1段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルと第3段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルとを有し、第n−1段の電圧均一化回路は第n段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルと第n−2段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルとを有し、第i段(i=3〜n−2)の電圧均一化回路は、第i−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルと、第i+1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルとを有したことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  13. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子が5個であり、第1段の電圧均一化回路は第2段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有し、第2段の電圧均一化回路は第1段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第3段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを並列接続し、第3段の電圧均一化回路は第2段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第4段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを並列接続し、第4段の電圧均一化回路は第3段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第5段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第5段の電圧均一化回路は第4段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有したことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
  14. 直列接続された複数個の電圧駆動型半導体素子が2m+1(mは2以上)個であり、第1段の電圧均一化回路は第2段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有し、第2段の電圧均一化回路は第1段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第3段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第i段(i=3〜m−1)の電圧均一化回路は第i−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第i+1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第m段の電圧均一化回路は第m−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第m+1段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第m+1段の電圧均一化回路は第m段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第m+2段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを並列接続し、第m+2段の電圧均一化回路は第m+1段の電圧均一化回路と2対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第m+3段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第j段(j=m+3〜2m−1)の電圧均一化回路は第j−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第j+1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第2m段の電圧均一化回路は第2m−1段の電圧均一化回路と1対1の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線と第2m+1段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルの磁気結合巻線とを直列接続し、第2m+1段の電圧均一化回路は第2m段の電圧均一化回路と1対2の巻数比で互いに磁気結合するリアクトルを有したことを特徴とする請求項1に記載の半導体スイッチ回路。
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