JP2010188291A - 圧力調整弁および液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力調整弁の自己封止開閉動作を安定して行うことができる弁体付勢ばねを有する圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】隔壁77を隔ててバルブハウジング71内に形成され、機能液供給手段に連通する1次室75および機能液滴吐出ヘッドに連通する2次室76と、隔壁77に貫通形成され、1次室75と2次室76とを連通する連通流路78と、連通流路78を形成した隔壁77の1次室75側開口縁部を弁座として、連通流路78を1次室75側から開閉する弁体84と、2次室76の1の面を構成すると共に弁体84を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体73と、隔壁77に対向する1次室75の1の壁面を受けとして、受圧膜体73と拮抗しつつ弁体84を閉弁方向に付勢する弁体ばね(弁体付勢ばね85)と、を備え、弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されている。
【選択図】図6
【解決手段】隔壁77を隔ててバルブハウジング71内に形成され、機能液供給手段に連通する1次室75および機能液滴吐出ヘッドに連通する2次室76と、隔壁77に貫通形成され、1次室75と2次室76とを連通する連通流路78と、連通流路78を形成した隔壁77の1次室75側開口縁部を弁座として、連通流路78を1次室75側から開閉する弁体84と、2次室76の1の面を構成すると共に弁体84を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体73と、隔壁77に対向する1次室75の1の壁面を受けとして、受圧膜体73と拮抗しつつ弁体84を閉弁方向に付勢する弁体ばね(弁体付勢ばね85)と、を備え、弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されている。
【選択図】図6
Description
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給する圧力調整弁および液滴吐出装置に関する。
従来、この種の圧力調整弁として、機能液タンクからインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給するものが知られている(特許文献1参照)。この圧力調整弁は、機能液タンクに連通する1次室と、1の壁面が受圧板を有するフィルム状のダイヤフラムで構成され、機能液滴吐出ヘッドに連通する2次室と、1次室および2次室を連通する連通流路と、連通流路を開閉する弁体と、を有している。この弁体は、円板状の弁受部および弁受部の中心から一方向に延びる作動軸部とからなる弁ホルダと、弁受部の作動軸部側に添設され、耐薬品性の部材で平形環状に形成されたバルブシール(弁体本体)と、から構成されている。
機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動に伴って、機能液が2次室から供給されると、2次室が減圧して、ダイヤフラムが凹型に変形する。この変形により、受圧板が弁ホルダの作動軸部を押し、バルブシールが弁座となる連通流路の縁部から離れることで、弁体が開弁する。これにより、1次室の機能液が2次室に流入する。一方、2次室への機能液の流入が進むと2次室が加圧され、ダイヤフラムが凸型に変形する。この変形により、受圧板が弁ホルダの作動軸部から離れ、同時に弁体が弁体ばねにより前進して連通流路を閉弁する。この動作により、機能液が2次室側から一定圧に供給される。
機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動に伴って、機能液が2次室から供給されると、2次室が減圧して、ダイヤフラムが凹型に変形する。この変形により、受圧板が弁ホルダの作動軸部を押し、バルブシールが弁座となる連通流路の縁部から離れることで、弁体が開弁する。これにより、1次室の機能液が2次室に流入する。一方、2次室への機能液の流入が進むと2次室が加圧され、ダイヤフラムが凸型に変形する。この変形により、受圧板が弁ホルダの作動軸部から離れ、同時に弁体が弁体ばねにより前進して連通流路を閉弁する。この動作により、機能液が2次室側から一定圧に供給される。
ところで、弁体の開閉動作は、弁体と1次室を画成する蓋体との間に介設した弁体ばねのばね力に抗するダイヤフラムの押圧力によって、弁体のバルブシールが平坦な弁座に離接することで行われる。しかしながら、上述した従来の圧力調整弁においては、弁体ばねが円筒状のコイルばねで構成されているため、軸線に直交する方向の剛性が弱く、弁体ばねの端部の加工精度やばね螺旋構造の製造誤差によっては、弁体を、弁座に対し平行となる均一な力で付勢することができなくなる問題があった。このため、弁体を、弁座に対して平行姿勢を維持した状態で進退動作させることができず、弁体が弁座に片当りした状態で開閉動作し、応答性が損なわれて精度良く開閉できない問題があった。これによって、2次室内の圧力変動が大きくなり、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能に影響を及ぼすことになる。
本発明は、弁体を適切に開閉動作させることができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供することを目的とする。
本発明の圧力調整弁は、機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁であって、隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、機能液供給手段に連通する1次室および機能液滴吐出ヘッドに連通する2次室と、隔壁に貫通形成され、1次室と2次室とを連通する連通流路と、連通流路を形成した隔壁の1次室側開口縁部を弁座として、連通流路を1次室側から開閉する弁体と、2次室の1の面を構成すると共に弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、隔壁に対向する1次室の1の壁面を受けとして、受圧膜体と拮抗しつつ弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばね、を備え、弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが駆動し機能液を吐出すると、2次室の機能液が機能液滴吐出ヘッド側に流れ、2次室は減圧される。2次室が減圧されると、大気圧に押されて受圧膜体が凹変形し、弁体ばねに抗して弁体を開弁させる。弁体が開弁すると、1次室から2次室に機能液が流入し、2次室の圧力が高まって受圧膜体が元に戻り、弁体ばねが弁体を閉弁させる。これを繰り返すことにより、2次室が一定圧に保たれ、機能液滴吐出ヘッドに所望の圧力で機能液が供給される。この場合、弁体ばねが、軸線に直交する方向に対し剛性の高い円錐コイルばねで構成されているため、端部の加工精度等に係らず直進性が維持される。このため、弁体が弁座に対して平行姿勢を維持した状態で、精度良く進退動作(平行移動)し、弁座に対する弁体の片当りを有効に防止することができる。これによって、精度良く弁体を開閉させることができ、2次室内の圧力調整を適切に行うことができる。
この場合、弁体は、1次室に配設された弁座に対し直接開閉動作する弁体本体と、弁体本体を保持する保持部、および保持部から同軸上に連通流路を挿通して延び受圧膜体に当接する作動軸部から成る弁ホルダと、を有し、弁体ばねは、保持部の背面に当接していることが好ましい。
この構成によれば、弁体の開閉動作において、保持部から延び受圧膜体に当接する作動軸部も、弁体ばねの直進性に倣って、ブレを生ずることなく進退する。このため、受圧膜体の変形に伴う弁体の開閉動作にブレが生ずることがなく、この点でも、弁座に対する弁体の片当りを有効に防止することができる。
また、本発明の機能液滴吐出装置は、上記に記載した圧力調整弁と、機能液供給手段と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする。
この構成によれば、精度良く弁体の開閉を行うことにより安定的に圧力調整弁を機能させることによって、機能液滴吐出ヘッドに適量の機能液を送り込むことができる。また、弁体の開閉により圧力変動が調整されて、1次室側で生じる脈動等が吸収されるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動に影響を与えず、吐出不良を防ぐことができる。
以下、添付の図面を参照して、本発明の圧力調整弁を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、圧力調整弁は、機能液滴吐出ヘッドに対し機能液を一定圧力で減圧供給するものである。
図1に示すように、液滴吐出装置1は、石定盤に支持されたX軸支持ベース12a上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在してワークをX軸方向に移動させるX軸テーブル12と、複数本の支柱11を介してX軸テーブル12を跨ぐように架け渡された1対のY軸支持ベース13a上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル13と、Y軸テーブル13に移動自在に吊設され、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド25が搭載された13個のキャリッジユニット14と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置1は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー15と、チャンバー15を貫通して機能液滴吐出ヘッド25に機能液を供給する機能液供給ユニット16(機能液供給手段)と、を備えている。この液滴吐出装置1は、制御装置(図示省略)により装置全体が統括制御され、X軸テーブル12およびY軸テーブル13の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド25を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット16から供給された6色の機能液滴を吐出させ、ワークに所定の描画パターンが描画される。
また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット21、吸引ユニット22、ワイピングユニット23、吐出性能検査ユニット24から成るメンテナンス装置18を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド25の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド25の機能維持・機能回復を図るようになっている。
図2に示すように、各キャリッジユニット14は、R・G・B・C・M・Yの6色、各2個(計12個)の機能液滴吐出ヘッド25と、12個の機能液滴吐出ヘッド25を6個ずつ2群に分けて支持するヘッドプレート26と、機能液滴吐出ヘッド25に機能液を大気圧基準で供給する圧力調整弁27と、を有するヘッドユニット19を備えている。各キャリッジユニット14は、一対のY軸支持ベース13aに掛け渡されたブリッジプレート13bに吊設されている(図1参照)。各キャリッジユニット14は、ブリッジプレート13b上に配設されたサブタンク41から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁27を介して各機能液滴吐出ヘッド25に機能液が供給されるようになっている。なお、キャリッジユニット14の個数および各キャリッジユニット14に搭載される機能液滴吐出ヘッド25の個数は任意である。
図3に示すように、機能液滴吐出ヘッド25は、いわゆる2連のインクジェットヘッドであり、2連の接続針34を有する機能液導入部31と、機能液導入部31の側方に連なる2連のヘッド基板32と、ヘッド基板32の下方に連なる2連のポンプ部33と、ポンプ部33に連なるノズルプレート35と、を備えている。機能液導入部31には、後述するヘッド側チューブ43の一部が接続され、ノズルプレート35のノズル面NFには、2列のノズル列NLが相互に平行に列設されており、各ノズル列NLは、等ピッチで並べた180個の吐出ノズル36で構成されている。ヘッド基板32は、フレキシブルフラットケーブル(図示省略)を介して上記の制御装置が接続されており、制御装置から出力された駆動波形が各ポンプ部33に印加されることで、各吐出ノズル36から機能液が吐出される。
図1および図4に示すように、機能液供給ユニット16は、チャンバー15に併設のタンクキャビネット50に収容された6個(6色)のメインタンク40と、各ブリッジプレート13b上に配設された複数(13個)のサブタンク41と、メインタンク40と複数のサブタンク41とを接続するタンク側チューブ42と、各サブタンク41と各機能液滴吐出ヘッド25を接続する複数のヘッド側チューブ43と、を備えている。各ヘッド側チューブ43には、機能液滴吐出ヘッド25と共にキャリッジユニット14に搭載された圧力調整弁27が介設されている。
メインタンク40から送液された機能液は、タンク側チューブ42を通って各サブタンク41に貯留される。各サブタンク41の機能液は、各機能液滴吐出ヘッド25の駆動に応じ、ヘッド側チューブ43および圧力調整弁27を介して、機能液滴吐出ヘッド25に自然水頭で供給される。
次に、図5および図6を参照して、本実施形態に係る圧力調整弁27について説明する。
圧力調整弁27は、主要部を成す調整弁本体61と、調整弁本体61の流入側に差込み接合した流入コネクター62と、調整弁本体61の流出側に差込み接合した流出コネクター63と、を備えている。そして、流入コネクター62には、押えナット64を介して、図外のサブタンク41に連なるチューブ29が接続され、同様に流出コネクター63には、押えナット64を介して、図外の機能液滴吐出ヘッド25に連なるチューブ29が接続される。
圧力調整弁27は、主要部を成す調整弁本体61と、調整弁本体61の流入側に差込み接合した流入コネクター62と、調整弁本体61の流出側に差込み接合した流出コネクター63と、を備えている。そして、流入コネクター62には、押えナット64を介して、図外のサブタンク41に連なるチューブ29が接続され、同様に流出コネクター63には、押えナット64を介して、図外の機能液滴吐出ヘッド25に連なるチューブ29が接続される。
調整弁本体61は、略円板状で、かつ前面および後面の中央部が凹型形成されたバルブハウジング71と、バルブハウジング71と共に1次室75を画成する蓋体72と、バルブハウジング71に受圧膜体73を固定することでバルブハウジング71と共に2次室76を画成する膜体押え部材74と、で構成されている。また、1次室75および2次室76は、バルブハウジング71の一部を構成する隔壁77を隔てて同軸上に配設されており、隔壁77の中心部(軸心)には、1次室75および2次室76を連通する連通流路78が貫通形成されている。
膜体押え部材74および蓋体72は、バルブハウジング71に対し、前後方向から挟み込むようにねじ止めして組み込まれており(図示省略)、いずれも円形の受圧膜体73の中心を通る軸線と同心円となる円形の外形を有している。バルブハウジング71および膜体押え部材74は、受圧膜体73の周縁部およびシールリング111を挟み込んで相互に液密に突合せ接合されている。
1次室75は、隔壁77を主体とするバルブハウジング71の後面と、バルブハウジング71の開放端を閉蓋する蓋体72とにより、受圧膜体73と同心となる略円柱形状に形成されている。また、1次室75の上部には、1次室75から径方向斜めに延びる流入ポート81が形成され、中心部には、連通流路78に連なる1次室側開口縁部82が開口している。そして、この1次室側開口縁部82には、1次室75側から連通流路78を開閉する弁体84が臨む一方、これに対応して、1次室側開口縁部82により、弁体84が離接する弁座83が構成されている。また、弁体84は、これと蓋体72との間に介設した弁体付勢ばね(弁体ばね)85(詳細は後述する)によって、閉弁方向(2次室76側)に弱い力で付勢されている。
流入ポート81は、流入コネクター62が差込み接合される接合受け部112と、接合受け部112に連なり、フィルタ113を収容するフィルタ収容部114と、フィルタ収容部114と1次室75とを連通する流入流路部115と、から構成されている。接合受け部112には、流入コネクター62の接続口部128が差し込み接合される。フィルタ収容部114には、フィルタ113が、流入コネクター62との間に介設した押えばね116に付勢された状態で収容されている。また、流入流路部115は、流入ポート81に対し1次室75側に偏って形成されている。
フィルタ113は、円形ステンレス製のフィルタエレメント117と、フィルタエレメント117をセットする受けホルダ118と、フィルタエレメント117を押える押えホルダ120とで構成され、フィルタ収容部114の当接段部に着座するように設けられている。そして、上記の押えばね116およびフィルタ113は、流入コネクター62を引抜くことで、取り出し得るようになっている。
2次室76は、バルブハウジング71の前面と、バルブハウジング71の開放端を閉蓋する受圧膜体73と、で形成されており、受圧膜体73は、膜体押え部材74によりバルブハウジング71に取り付けられている。また、2次室76の下部には、2次室76から真下に延びる流出ポート86が形成され、中心部には、連通流路78に連なる2次室側開口部87が開口している。そして、この2次室側開口部87の周縁部と後述する受圧膜体73との間には、受圧膜体73を前方向に向かって付勢する膜体付勢ばね88が介設されている。
バルブハウジング71の前面周縁部であるリング状端面121には、断面矩形の環状溝122が形成され、環状溝122には、リング状端面121と受圧膜体73との間をシールする上記のシールリング111が装着されている。また、リング状端面121における環状溝122の外側には、膜体押え部材74を取付けるための複数の取付けねじ124が螺合するねじ孔(図示省略)が複数(6個)形成されている。
受圧膜体73は、樹脂フィルムで構成した膜体本体91と、膜体本体91の中央部に接着した樹脂製の受圧板92とで構成されている。膜体本体91の周縁部には、バルブハウジング71のねじ孔に対応する部位に複数(6個)の切抜き孔(図示省略)が形成されている。受圧板92は、膜体本体91と同心上に、且つ膜体本体91に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に上記の弁体84が離接するようになっている。
膜体押え部材74は、バルブハウジング71のリング状端面121と同じ大きさのドーナツ状に形成されており、その周縁部には、複数(6個)のバカ孔127が形成されている。これにより、環状溝122にシールリング111を装着したバルブハウジング71のリング状端面121に受圧膜体73をセットし、これに膜体押え部材74を複数本の取付けねじ124でねじ止めすることで、2次室76が構成される。
弁体84は、弾性材で構成され、弁の機能を奏するリング状の弁体本体84aと、弁体本体84aを保持する弁ホルダ93と、を備えている(詳細は、後述する。)。弁体本体84aは、弁座83となる1次室側開口縁部82の周縁部に離接することで連通流路78を開閉する。また、弁ホルダ93の先端部(作動軸部97)は、連通流路78を挿通して延在しており、この先端部が上記の受圧板92に当接し開閉動作するようになっている(図6参照)。
流出ポート86は、流入ポート81と同様の形態を有しており、流出コネクター63が差込み接合される接合受け部112と、接合受け部112と2次室76とを連通する流出流路部(図示省略)と、から構成されている。接合受け部112には、流出コネクター63の接続口部128が差し込み接合される。なお、流入ポート81および流出ポート86は、機能液の流れ方向とフィルタ113の有無とにおいて異なるが、接合部分の基本形態は同一である。
ここで、図7を参照して、本実施形態の圧力調整弁27に組み込まれた弁体84および弁体付勢ばね85について詳細に説明する。上述したように、弁体84は、弁体本体84aおよび弁体本体84aを保持する弁ホルダ93から構成されており、弁体本体84aが、弁座83となる1次室側開口縁部82に離接することで弁体84が開閉し、1次室75から2次室76に間欠的に機能液が流入する。
弁体本体84aは、断面円形のリング形状を有しており、いわゆるOリングで構成されている。この場合の弁体本体84aは、耐薬品性のOリング(パーフルオロゴム)で構成されており、通常に用いられるシリコンゴム製のOリングに比して硬質なものとなっている。そして、弁ホルダ93に装着した弁体本体84aの前端部分が、弁座83に離接して弁の機能を奏するようになっている。
弁ホルダ93は、断面略「T」字状に形成されており、軸線方向の後方から同軸上において、弁体付勢ばね85が当接する厚肉円板状のホルダベース94と、ホルダベース94に連なり、弁体本体84aが着座する着座部95と、着座部95に連なり、弁体本体84aを抜止め状態に保持する抜止め部96と、抜止め部96の中心部から前方に延設された作動軸部97と、で一体に形成されている。そして、弁体本体84aは、作動軸部97側から抜止め部96を乗り越えて着座部95から抜止め部96に至る部分に装着されている。また、作動軸部97は、上記の連通流路78に挿通して、その先端が受圧板92の位置まで達している(図6参照)。なお、請求項に言う保持部は、上記のホルダベース94、着座部95および抜止め部96により構成されている。
ホルダベース94は、1次室75側の受圧部を構成すると共に、その背面には、後述する弁体付勢ばね85が当接する弁体側環状ばね受部101が形成されている。ホルダベース94は、その背面で1次室75の圧力を受けると共に、弁体付勢ばね85により閉弁方向に弱い力で付勢されている。ホルダベース94の前面、着座部95の周面および抜止め部96の周面は、断面「J」字状に連なっており、このうち弁体本体84aが装着される着座部95から抜止め部96にかけての部分が、弁体本体84aと相補的形状に形成されている。
抜止め部96は、連結座部の他端に連なり、弁体本体84aが弁座83に当接する部位を僅かに残して、弁体本体84aを弁座83側から抜止め状態に保持する。すなわち、抜止め部96の前端は、弁体本体84aの前端部分より後退した位置にあり、弁体本体84aの内径より僅かに太径に形成されている。この場合、着座部95から抜止め部96にかけての周面と弁体本体84aの周面との間には、嵌合いゼロで設計されており、装着した弁体本体84aは自由状態で弁ホルダ93に装着されている。
作動軸部97は、断面円形で連通流路78より僅かに細径に形成され、先端部が半球状に形成されている。また、作動軸部97は、弁体付勢ばね85によって2次室76側に付勢されたときに、上記した受圧板92に当接する長さに形成されている。
一方、弁体付勢ばね85は、円錐コイルばねで構成されており、上記の蓋体72を受けにして、弁体84を背面側から受圧膜体73(受圧板92)に向って(閉弁方向)付勢している。弁体付勢ばね85の基端部は、蓋体72の中心に設けた蓋体側環状ばね受部102に嵌合するようにして当接し、先端部は、弁体84の背面に形成した弁体側環状ばね受部101に嵌合するようにして当接している。言うまでもないが、弁体付勢ばね85は、線材の螺旋形状を円錐台形状としたものであり、基端部から先端部に向かって先細りのテーパー形状を為すように螺旋加工されている。このため、弁体付勢ばね85は、構造上、軸線に直交する方向に剛性が強く、付勢方向に対しブレを生ずることなく伸縮する。すなわち、実施形態の弁体付勢ばね85は、高い直進性を有している。なお、実施形態における弁体付勢ばね85の線材は、断面円形に形成されているが、断面方形のものであってもよい。
ここで、弁体付勢ばね85による弁体84の開閉動作について説明する。
機能液滴吐出ヘッド25が駆動し機能液を吐出すると、2次室76の機能液が機能液滴吐出ヘッド25側に流れ、2次室76は減圧される。2次室76が減圧されると、大気圧に押されて受圧膜体73が凹変形し、弁体付勢ばね85に抗して、閉状態の弁体84を開弁させる。弁体84が開弁すると、1次室75から2次室76に機能液が流入し、2次室76の圧力が高まって受圧膜体73が元に戻り、弁体付勢ばね85が弁体84を閉弁させる。このとき、弁体付勢ばね85は、端部の加工精度等に係らず直進性が維持されるため、弁体84が弁座83に対して平行姿勢を維持した状態で、精度良く進退動作(平行移動)することができる。また、作動軸部97も、弁体付勢ばね85の直進性に倣って進退することによって、弁座83に対する弁体84の片当りを有効に防止することができる。
機能液滴吐出ヘッド25が駆動し機能液を吐出すると、2次室76の機能液が機能液滴吐出ヘッド25側に流れ、2次室76は減圧される。2次室76が減圧されると、大気圧に押されて受圧膜体73が凹変形し、弁体付勢ばね85に抗して、閉状態の弁体84を開弁させる。弁体84が開弁すると、1次室75から2次室76に機能液が流入し、2次室76の圧力が高まって受圧膜体73が元に戻り、弁体付勢ばね85が弁体84を閉弁させる。このとき、弁体付勢ばね85は、端部の加工精度等に係らず直進性が維持されるため、弁体84が弁座83に対して平行姿勢を維持した状態で、精度良く進退動作(平行移動)することができる。また、作動軸部97も、弁体付勢ばね85の直進性に倣って進退することによって、弁座83に対する弁体84の片当りを有効に防止することができる。
以上の構成によれば、弁体付勢ばね85が円錐コイルばねであることによって、受圧膜体73の変形に伴う弁体84の開閉動作が精度良く行われる。したがって、2次室76内の圧力調整を適切に行うことができる。
1…液滴吐出装置 16…機能液供給ユニット 25…機能液滴吐出ヘッド 27…圧力調整弁 71…バルブハウジング 73…受圧膜体 75…1次室 76…2次室 77…隔壁 78…連通流路 82…1次室側開口縁部 83…弁座 84…弁体 84a…弁体本体 85…弁体付勢ばね 93…弁ホルダ 94…ホルダベース 95…着座部 96…抜止め部 97…作動軸部
Claims (3)
- 機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁であって、
隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、前記機能液供給手段に連通する1次室および前記機能液滴吐出ヘッドに連通する2次室と、
前記隔壁に貫通形成され、前記1次室と前記2次室とを連通する連通流路と、
前記連通流路を形成した前記隔壁の1次室側開口縁部を弁座として、前記連通流路を前記1次室側から開閉する弁体と、
前記2次室の1の面を構成すると共に前記弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、
前記隔壁に対向する前記1次室の1の壁面を受けとして、前記受圧膜体と拮抗しつつ前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばね、を備え、
前記弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されていることを特徴とする圧力調整弁。 - 前記弁体は、前記1次室に配設され前記弁座に対し直接開閉動作する弁体本体と、
前記弁体本体を保持する保持部、および前記保持部から同軸上に前記連通流路を挿通して延び前記受圧膜体に当接する作動軸部から成る弁ホルダと、を有し、
前記弁体ばねは、前記保持部の背面に当接していることを特徴とする請求項1に記載の圧力調整弁。 - 請求項1または2に記載の圧力調整弁と、
前記機能液供給手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009036069A JP2010188291A (ja) | 2009-02-19 | 2009-02-19 | 圧力調整弁および液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009036069A JP2010188291A (ja) | 2009-02-19 | 2009-02-19 | 圧力調整弁および液滴吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010188291A true JP2010188291A (ja) | 2010-09-02 |
Family
ID=42814931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009036069A Pending JP2010188291A (ja) | 2009-02-19 | 2009-02-19 | 圧力調整弁および液滴吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010188291A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012255506A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Fujikin Inc | 逆止弁 |
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2009
- 2009-02-19 JP JP2009036069A patent/JP2010188291A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012255506A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Fujikin Inc | 逆止弁 |
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