JP2010201382A - 圧力調整弁および液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】弁体を精度良く開閉動作させることができると共に、容易に組立てることができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】隔壁７７を隔ててバルブハウジング７１内に形成され、流入ポート８１に連通する１次室７５および流出ポート８６に連通する２次室７６と、隔壁７７に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８と、連通流路７８を形成した隔壁７７の１次室側開口縁部８２を弁座として、連通流路７８を１次室７５側から開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７７に対向する１次室７５の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体８４を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体ばねが、板ばねで構成されている。
【選択図】図７

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給する圧力調整弁および液滴吐出装置に関する。

従来、この種の圧力調整弁として、機能液タンクからインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を減圧供給するものが知られている（特許文献１参照）。この圧力調整弁は、機能液タンクに連通する１次室と、１の壁面が受圧板を有するフィルム状のダイヤフラムで構成され、機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室と、１次室および２次室を連通する連通流路と、連通流路を開閉する弁体と、弁体を閉弁方向に付勢するコイルばねで構成した弁体ばねと、を有している。この弁体は、円板状の弁受部および弁受部の中心から一方向に延びる作動軸部とからなる弁ホルダと、弁受部の作動軸部側に添設され、耐薬品性の部材で平形環状に形成されたバルブシール（弁体本体）と、から構成されている。
機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動に伴って、機能液が２次室から供給されると、２次室が減圧して、ダイヤフラムが凹型に変形する。この変形により、受圧板が弁ホルダの作動軸部を押し、バルブシールが弁座となる連通流路の縁部から離れることで、弁体が開弁する。これにより、１次室の機能液が２次室に流入する。一方、２次室への機能液の流入が進むと２次室が加圧され、ダイヤフラムが凸型に変形する。この変形により、受圧板が弁ホルダの作動軸部から離れ、同時に弁体が弁体ばねにより前進して連通流路を閉弁する。この動作により、機能液が２次室側から一定圧に供給される。

特開２００６−１４２２１５号公報

ところで、弁体の開閉動作は、弁体ばねのばね力と、これに抗するダイヤフラムの押圧力のバランスによって、弁体のバルブシールが平坦な弁座に離接することで行われる。しかしながら、上述した従来の圧力調整弁においては、弁体ばねが円筒状のコイルばねで構成されているため、軸線に直交する方向の剛性が弱く、弁体ばねの端部の加工精度やばね螺旋構造の製造誤差によっては、弁体を、弁座に対し平行となる均一な力で付勢することができなくなる問題があった。このため、弁体を、弁座に対して平行姿勢を維持した状態で進退動作させることができず、弁体が弁座に片当りした状態で開閉動作し、応答性が損なわれて精度良く開閉できない問題があった。これによって、２次室内の圧力変動が大きくなり、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能に影響を及ぼすことになる。また、圧力調整弁を組立てる際には、弁体に対して弁体ばねを起立状態でセットする必要があるが、円筒状のコイルばねは倒れ易いため、組立作業が極めて煩雑になる問題があった。

本発明は、弁体を精度良く開閉動作させることができると共に、容易に組立てることができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供することを目的とする。

本発明の圧力調整弁は、隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、流入ポートに連通する１次室および流出ポートに連通する２次室と、隔壁に貫通形成され、１次室と２次室とを連通する連通流路と、連通流路を形成した隔壁の１次室側開口縁部を弁座として、連通流路を１次室側から開閉する弁体と、２次室の１の面を構成すると共に弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、隔壁に対向する１次室の１の壁面を受けとして、受圧膜体と拮抗しつつ弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体ばねが、板ばねで構成されていることを特徴とする。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが駆動し機能液を吐出すると、２次室の機能液が機能液滴吐出ヘッド側に流れ、２次室は減圧される。２次室が減圧されると、大気圧に押されて受圧膜体が凹変形し、弁体ばねに抗して弁体を開弁させる。弁体が開弁すると、１次室から２次室に機能液が流入し、２次室の圧力が高まって受圧膜体が元に戻り、弁体ばねが弁体を閉弁させる。これを繰り返すことにより、２次室が一定圧に保たれ、機能液滴吐出ヘッドに所望の圧力で機能液が供給される。この場合、弁体ばねが板ばねで構成されているため、弁体ばねの起立姿勢が安定することによって弁体に対する直進性が維持され、弁体が弁座に対して平行姿勢を維持した状態で進退動作（平行移動）し、弁座に対する弁体の片当りを有効に防止することができる。これによって、精度良く弁体を開閉させることができ、２次室内の圧力調整を適切に行うことができる。また、弁体ばねは板ばねで構成されているため、着座面が広く安定した姿勢でセットすることができる。しかも、板ばねはコイルばねと異なり、構造上狭い空間が生じ難くエアーが付着して残ることがない。なお、閉弁状態の弁体には、１次側の水頭（弁体の受圧面積分）が加わるため、閉弁時の弁体を弁体ばねにより強く押し付ける必要はない。このため、コイルばねよりばねストロークの短い板ばねが有用となる。

この場合、板ばねは、弁体の背面に当接する座板部と、座板部から延び、１の壁面に当接する複数のばね片部と、を有していることが好ましい。

この構成によれば、弁体の開閉動作において、弁体の背面も弁体ばねの直進性に倣って、ブレを生ずることなく進退する。このため、受圧膜体の変形に伴う弁体の開閉動作にブレが生ずることがなく、弁座に対する弁体の片当りを有効に防止することができる。また、ばね片部の幅の広狭により、ばね力の調整を簡単に行うことができる。

複数のばね片部は、座板部から相互に逆方向に延びる２つのばね片部で構成されていることが好ましい。

同様に、複数のばね片部は、座板部から放射状に延びる３つのばね片部で構成され、３つのばね片部は、周方向に均等配置されていることが好ましい。

また、複数のばね片部は、座板部から放射状に延びる４つのばね片部で構成され、４つのばね片部は、周方向に均等配置されていることが好ましい。

これらの構成によれば、ばね片部の支持によって板ばねの起立姿勢が安定すると共に、弁体ばねから弁体への荷重が均一になるため、弁体が弁座に対して平行姿勢を維持した状態で、弁座に片当りすることなく精度良く進退動作（平行移動）を行うことができる。

この場合、座板部は、中心部に開口が形成され、弁体の背面には、開口に係合するばね受け突起が形成されていることが好ましい。

この構成によれば、形成された開口とばね受け突起とを係合させることによって、板ばねを容易に固定し、圧力調整弁に組み込むことができると共に、弁開閉時における板ばねの位置ズレを防ぐことができる。

この場合、流入ポートを介して機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整し、流出ポートを介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給することが好ましい。

この構成によれば、機能液供給手段と機能液滴吐出ヘッドとの間の水頭差に関係なく、機能液供給手段の機能液を適正圧力に減圧して機能液滴吐出ヘッドに供給することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記に記載の圧力調整弁と、機能液供給手段と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする。

この構成によれば、弁座に対する弁体の片当りを有効に防止し、精度良く安定的に圧力調整弁を機能させ得るため、機能液滴吐出ヘッドを適切に駆動させることができ、ワークへの描画品質を向上させることができる。

液滴吐出装置の斜視図である。 （ａ）液滴吐出装置に搭載されたキャリッジユニット（ヘッドユニット）の斜視図、および（ｂ）機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを模式的に表した平面図である。 機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。 機能液供給ユニットを模式的に示した系統図である。 圧力調整弁における２次室側の平面模式図である。 圧力調整弁を流入ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。 （ａ）本実施形態における弁体および弁体ばねの断面図、（ｂ）本実施形態に係る弁体ばねの外観斜視図、である。 （ａ）本実施形態に係る弁体ばねの平面模式図、（ｂ）第１変形例に係る弁体ばねの平面模式図、（ｃ）第２変形例に係る弁体ばねの平面模式図、である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の圧力調整弁を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、圧力調整弁は、機能液滴吐出ヘッドに対し機能液を一定圧力で減圧供給するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１２ａ上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル１２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１３ａ上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５が搭載された１３個のキャリッジユニット１４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー１５と、チャンバー１５を貫通して機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を供給する機能液供給ユニット１６（機能液供給手段）と、を備えている。この液滴吐出装置１は、制御装置（図示省略）により装置全体が統括制御され、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド２５を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークに所定の描画パターンが描画される。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット２１、吸引ユニット２２、ワイピングユニット２３、吐出性能検査ユニット２４から成るメンテナンス装置１８を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド２５の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド２５の機能維持・機能回復を図るようになっている。

図２に示すように、各キャリッジユニット１４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド２５と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２５を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート２６と、機能液滴吐出ヘッド２５に機能液を大気圧基準で供給する圧力調整弁２７と、を有するヘッドユニット１９を備えている。各キャリッジユニット１４は、一対のＹ軸支持ベース１３ａに掛け渡されたブリッジプレート１３ｂに吊設されている（図１参照）。各キャリッジユニット１４は、ブリッジプレート１３ｂ上に配設されたサブタンク４１から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁２７を介して各機能液滴吐出ヘッド２５に機能液が供給されるようになっている。なお、キャリッジユニット１４の個数および各キャリッジユニット１４に搭載される機能液滴吐出ヘッド２５の個数は任意である。

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針３４を有する機能液導入部３１と、機能液導入部３１の側方に連なる２連のヘッド基板３２と、ヘッド基板３２の下方に連なる２連のポンプ部３３と、ポンプ部３３に連なるノズルプレート３５と、を備えている。機能液導入部３１には、後述するヘッド側チューブ４３の一部が接続され、ノズルプレート３５のノズル面ＮＦには、２列のノズル列ＮＬが相互に平行に列設されており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル３６で構成されている。ヘッド基板３２は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置が接続されており、制御装置から出力された駆動波形が各ポンプ部３３に印加されることで、各吐出ノズル３６から機能液が吐出される。

図１および図４に示すように、機能液供給ユニット１６は、チャンバー１５に併設のタンクキャビネット５０に収容された６個（６色）のメインタンク４０と、各ブリッジプレート１３ｂ上に配設された複数（１３個）のサブタンク４１と、メインタンク４０と複数のサブタンク４１とを接続するタンク側チューブ４２と、各サブタンク４１と各機能液滴吐出ヘッド２５を接続する複数のヘッド側チューブ４３と、を備えている。各ヘッド側チューブ４３には、機能液滴吐出ヘッド２５と共にキャリッジユニット１４に搭載された圧力調整弁２７が介設されている。

メインタンク４０から送液された機能液は、タンク側チューブ４２を通って各サブタンク４１に貯留される。各サブタンク４１の機能液は、各機能液滴吐出ヘッド２５の駆動に応じ、ヘッド側チューブ４３および圧力調整弁２７を介して、機能液滴吐出ヘッド２５に自然水頭で供給される。

次に、図５および図６を参照して、本実施形態に係る圧力調整弁２７について説明する。
圧力調整弁２７は、主要部を成す調整弁本体６１と、調整弁本体６１の流入側に差込み接合した流入コネクター６２と、調整弁本体６１の流出側に差込み接合した流出コネクター６３と、を備えている。そして、流入コネクター６２には、押えナット６４を介して、図外の機能液タンク（サブタンク４１）に連なるチューブ２９が接続され、同様に流出コネクター６３には、押えナット６４を介して、図外の機能液滴吐出ヘッド２５に連なるチューブ２９が接続される。

調整弁本体６１は、略円板状で、かつ前面および後面の中央部が凹型形成されたバルブハウジング７１と、バルブハウジング７１と共に１次室７５を画成する蓋体７２と、バルブハウジング７１に受圧膜体７３を固定することでバルブハウジング７１と共に２次室７６を画成する膜体押え部材７４と、で構成されている。また、１次室７５および２次室７６は、バルブハウジング７１の一部を構成する隔壁７７を隔てて同軸上に配設されており、隔壁７７の中心部（軸心）には、１次室７５および２次室７６を連通する連通流路７８が貫通形成されている。

膜体押え部材７４および蓋体７２は、バルブハウジング７１に対し、前後方向から挟み込むようにねじ止めして組み込まれており（図示省略）、いずれも円形の受圧膜体７３の中心を通る軸線と同心円となる円形の外形を有している。バルブハウジング７１および膜体押え部材７４は、受圧膜体７３の周縁部およびシールリング１１１を挟み込んで相互に液密に突合せ接合されている。

１次室７５は、隔壁７７を主体とするバルブハウジング７１の後面と、バルブハウジング７１の開放端を閉蓋する蓋体７２とにより、受圧膜体７３と同心となる略円柱形状に形成されている。また、１次室７５の上部には、１次室７５から径方向斜めに延びる流入ポート８１が形成され、中心部には、連通流路７８に連なる１次室側開口縁部８２が開口している。そして、この１次室側開口縁部８２には、１次室７５側から連通流路７８を開閉する弁体８４が臨む一方、これに対応して、１次室側開口縁部８２により、弁体８４が離接する弁座８３が構成されている。また、弁体８４は、これと蓋体７２との間に介設した弁体付勢ばね（弁体ばね）８５（詳細は後述する）によって、閉弁方向（２次室７６側）に弱い力で付勢されている。

流入ポート８１は、流入コネクター６２が差込み接合される接合受け部１１２と、接合受け部１１２に連なり、フィルタ１１３を収容するフィルタ収容部１１４と、フィルタ収容部１１４と１次室７５とを連通する流入流路部１１５と、から構成されている。接合受け部１１２には、流入コネクター６２の接続口部１２８が差し込み接合される。フィルタ収容部１１４には、フィルタ１１３が、流入コネクター６２との間に介設した押えばね１１６に付勢された状態で収容されている。また、流入流路部１１５は、流入ポート８１に対し１次室７５側に偏って形成されている。

２次室７６は、バルブハウジング７１の前面と、バルブハウジング７１の開放端を閉蓋する受圧膜体７３と、で形成されており、受圧膜体７３は、シールリング１１１を介在した状態で、膜体押え部材７４によりバルブハウジング７１に取り付けられている。また、２次室７６の下部には、２次室７６から真下に延びる流出ポート８６が形成され、中心部には、連通流路７８に連なる２次室側開口部８７が開口している。そして、この２次室側開口部８７の周縁部と後述する受圧膜体７３との間には、受圧膜体７３を前方向に向かって付勢する膜体付勢ばね８８が介設されている。

受圧膜体７３は、樹脂フィルムで構成した膜体本体９１と、膜体本体９１の中央部に接着した樹脂製の受圧板９２とで構成されている。受圧板９２は、膜体本体９１と同心上に、且つ膜体本体９１に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に上記の弁体８４が離接するようになっている。

弁体８４は、弾性材で構成され、弁の機能を奏するリング状の弁体本体８４ａと、弁体本体８４ａを保持する弁ホルダ９３と、を備えている（詳細は、後述する。）。弁体本体８４ａは、弁座８３となる１次室側開口縁部８２に離接することで連通流路７８を開閉する。また、弁ホルダ９３の先端部（作動軸部９７）は、連通流路７８を挿通して延在しており、この先端部が上記の受圧板９２に当接し開閉動作するようになっている。

流出ポート８６は、流入ポート８１と同様の形態を有しており、流出コネクター６３が差込み接合される接合受け部１１２と、接合受け部１１２と２次室７６とを連通する流出流路部（図示省略）と、から構成されている。接合受け部１１２には、流出コネクター６３の接続口部１２８が差し込み接合される。なお、流入ポート８１および流出ポート８６は、機能液の流れ方向とフィルタ１１３の有無とにおいて異なるが、接合部分の基本形態は同一である。

ここで、図７（ａ）を参照して、本実施形態の圧力調整弁２７に組み込まれた弁体８４および弁体付勢ばね８５について詳細に説明する。上述したように、弁体８４は、弁体本体８４ａおよび弁体本体８４ａを保持する弁ホルダ９３から構成されており、弁体本体８４ａが、弁座８３となる１次室側開口縁部８２に離接することで弁体８４が開閉し、１次室７５から２次室７６に間欠的に機能液が流入する。

弁体本体８４ａは、断面円形のリング形状を有しており、いわゆるＯリングで構成されている。この場合の弁体本体８４ａは、耐薬品性のＯリング（パーフルオロゴム）で構成されており、通常に用いられるシリコンゴム製のＯリングに比して硬質なものとなっている。そして、弁ホルダ９３に装着した弁体本体８４ａの前端部分が、弁座８３に離接して弁の機能を奏するようになっている。

弁ホルダ９３は、断面略「Ｔ」字状に形成されており、軸線方向の後方から同軸上において、弁体付勢ばね８５が当接する厚肉円板状のホルダベース９４と、ホルダベース９４に連なり、弁体本体８４ａが装着される装着部９５と、装着部９５に連なり、弁体本体８４ａを抜止め状態に保持する抜止め部９６と、抜止め部９６の中心部から前方に延設された作動軸部９７と、で一体に形成されている。そして、弁体本体８４ａは、作動軸部９７側から抜止め部９６を乗り越えて装着部９５から抜止め部９６に至る部分に装着されている。また、作動軸部９７は、上記の連通流路７８に挿通して、その先端が受圧板９２の位置まで達している（図６参照）。

ホルダベース９４は、１次室７５側の受圧部を構成すると共に、その背面には、後述する弁体付勢ばね８５の座板部５１が当接している。この場合、ホルダベース９４の背面における中心位置には、座板部５１が位置決め状態で係合するばね受け突起５３が突設されている。ホルダベース９４は、その背面で１次室７５の圧力を受けると共に、弁体付勢ばね８５により閉弁方向に弱い力で付勢されている。ホルダベース９４の前面、装着部９５の周面および抜止め部９６の周面は、断面「Ｊ」字状に連なっており、このうち弁体本体８４ａが装着される装着部９５から抜止め部９６にかけての部分が、弁体本体８４ａと相補的形状に形成されている。

抜止め部９６は、弁体本体８４ａが弁座８３に当接する部位を僅かに残して、弁体本体８４ａを弁座８３側から抜止め状態に保持する。また、作動軸部９７は、断面円形で連通流路７８より僅かに細径に形成され、先端部が半球状に形成されている。また、作動軸部９７は、弁体付勢ばね８５によって２次室７６側に付勢されたときに、上記した受圧板９２に当接する長さに形成されている。

一方、弁体付勢ばね８５は、板ばねで構成されており、弁体８４の背面に当接する座板部５１と、座板部５１から延びる複数（図７（ｂ）では４つ）のばね片部５２と、で一体に形成されている。座板部５１には、その中心部に円形の開口部５４が形成されており、この開口部５４と弁体８４のばね受け突起５３とが係合することにより、弁体８４と弁体付勢ばね８５とが相互に位置決めされるようになっている（図７（ａ）参照）。一方、複数（図７（ｂ）では４つ）のばね片部５２は、弁体付勢ばね８５としてばね性を発揮する部分であり、座板部５１から相互に９０°の角度を有して放射状に延設されている（図８（ａ）参照）。すなわち、４つのばね片部５２は、周方向に均一に並び、座板部５１を中心に十字状に配設されている。各ばね片部５２は、略「Ｓ」字状を為すように湾曲形成され、その先端部は、蓋体７２に着座するようになっている。

この場合、各ばね片部５２の先端部は、蓋体７２に形成した浅溝７２ａに着座するように嵌合固定することが好ましい（図６参照）。また、図示しないが、この先端部を、蓋体７２側にネジ止め固定してもよいし、膜体押え部材７４により蓋体７２に押え固定してもよい。もっとも、上記のばね受け突起５３を潰すようにかしめて、弁体付勢ばね８５を弁体８４側に固定するようにしてもよい。
このような構造によって、弁体付勢ばね８５は、弁体８４に対して起立状態を維持し易く、安定した高い直進性を有し、付勢方向に対しブレを生ずることなく伸縮する。したがって、本実施形態の弁体付勢ばね８５は、弁体８４が弁座８３に対して平行姿勢を維持した状態で、精度良く進退動作（平行移動）し、弁座８３に対する弁体８４の片当りを有効に防止することができる。

ここで、弁体付勢ばね８５による弁体８４の開閉動作について説明する。
機能液滴吐出ヘッド２５が駆動し機能液を吐出すると、２次室７６の機能液が機能液滴吐出ヘッド２５側に流れ、２次室７６は減圧される。２次室７６が減圧されると、大気圧に押されて受圧膜体７３が凹変形し、弁体付勢ばね８５に抗して、閉状態の弁体８４を開弁させる。弁体８４が開弁すると、１次室７５から２次室７６に機能液が流入し、２次室７６の圧力が高まって受圧膜体７３が元に戻り、弁体付勢ばね８５が弁体８４を閉弁させる。このとき、弁体付勢ばね８５は、端部の加工精度等に係らず直進性が維持されるため、弁体８４が弁座８３に対して平行姿勢を維持した状態で、精度良く進退動作（平行移動）することができる。また、作動軸部９７も、弁体付勢ばね８５の直進性に倣って進退することによって、弁座８３に対する弁体８４の片当りを有効に防止することができる。

なお、図８（ｂ）および（ｃ）は、本実施形態の変形例に係る弁体付勢ばね８５である。図８（ｂ）における変形例（第１変形例）では、３つのばね片部５２が周方向に均一に並び、蓋体７２側にネジ止めまたは嵌め込みによって固定されている。すなわち、各ばね片部５２が相互に１２０°の角度を有して座板部５１から放射状に延設されている。この場合には、弁体付勢ばね８５を３点支持で蓋体７２に着座させることができ、弁体付勢ばね８５を安定に着座させることができる。
また、図８（ｃ）における変形例（第２変形例）では、２つのばね片部５２が、座板部５１を介して相互に逆方向に延設されている。すなわち、２つのばね片部５２が、座板部５１を中心に一文字状に延設されている。これらの場合、本実施形態と同様に、座板部５１に対して均一に放射状に配置されることによって、弁体８４に対する弁体付勢ばね８５の起立姿勢を安定的に維持することができる。

以上の構成によれば、弁体付勢ばね８５が板ばねであることによって、受圧膜体７３の変形に伴う弁体８４の開閉動作が精度良く行われる。したがって、２次室７６内の圧力調整を適切に行うことができる。

１６…機能液供給ユニット ２５…機能液滴吐出ヘッド ５１…座板部 ５２…ばね片部 ５３…ばね受け突起 ５４…開口部 ７１…バルブハウジング ７３…受圧膜体 ７５…１次室 ７６…２次室 ７７…隔壁 ７８…連通流路 ８１…流入ポート ８２…１次室側開口縁部 ８３…弁座 ８４…弁体 ８５…弁体付勢ばね ８６…流出ポート

Claims (8)

1. 隔壁を隔ててバルブハウジング内に形成され、流入ポートに連通する１次室および流出ポートに連通する２次室と、
   前記隔壁に貫通形成され、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路と、
   前記連通流路を形成した前記隔壁の１次室側開口縁部を弁座として、前記連通流路を前記１次室側から開閉する弁体と、
   前記２次室の１の面を構成すると共に前記弁体を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体と、
   前記隔壁に対向する前記１次室の１の壁面を受けとして、前記受圧膜体と拮抗しつつ前記弁体を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、
   前記弁体ばねが、板ばねで構成されていることを特徴とする圧力調整弁。
2. 前記板ばねは、前記弁体の背面に当接する座板部と、
   前記座板部から延び、前記１の壁面に当接する複数のばね片部と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
3. 前記複数のばね片部は、前記座板部から相互に逆方向に延びる２つのばね片部で構成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力調整弁。
4. 前記複数のばね片部は、前記座板部から放射状に延びる３つのばね片部で構成され、
   前記３つのばね片部は、周方向に均等配置されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力調整弁。
5. 前記複数のばね片部は、前記座板部から放射状に延びる４つのばね片部で構成され、
   前記４つのばね片部は、周方向に均等配置されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力調整弁。
6. 前記座板部は、中心部に開口が形成され、
   前記弁体の背面には、前記開口に係合するばね受け突起が形成されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の圧力調整弁。
7. 前記流入ポートを介して機能液供給手段から供給された機能液を、圧力調整し、前記流出ポートを介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の圧力調整弁。
8. 請求項７に記載の圧力調整弁と、
   前記機能液供給手段と、
   前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
   ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出して描画を行うことを特徴とする液滴吐出装置。

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