JP5151961B2

JP5151961B2 - 調整弁

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Publication number: JP5151961B2
Application number: JP2008324176A
Authority: JP
Inventors: 寿幸石垣
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-12-19
Filing date: 2008-12-19
Publication date: 2013-02-27
Anticipated expiration: 2028-12-19
Also published as: JP2010142755A

Description

本発明は、調整弁に関するものである。

従来、この種のフィルターエレメントとして、圧力調整を行うバルブユニットの流入流路に組み込まれた円形平面状のフィルターエレメントが知られている（特許文献１参照）。このフィルターエレメントは、当該流入流路のフィルター設置段部に熱溶着して用いられている。
特開２００７−２６０９４９号公報

ところで、フィルターエレメントには、通液する液体からの異物が堆積するため、フィルターエレメントを取り外して、交換する必要がある。
しかしながら、上記のようにフィルターエレメントをフィルター設置段部に熱溶着して固定すると、フィルターエレメントが交換不能となってしまうという問題があった。また、フィルターエレメントを保持枠に溶着し、この保持枠を流入流路に着脱自在に設置することも考えられるが、かかる場合、フィルターエレメントの構造が複雑になってしまう。しかも、平面状のフィルターエレメントでは、流入流路の内径断面が、そのまま、液体に対する濾過面積となってしまうため、濾過面積が小さくなってしまうという問題があった。

本発明は、フィルターエレメントの液体に対する濾過面積を大きくすることができると共に、フィルターエレメントを簡単な構成で且つ容易に着脱することができる調整弁を提供することを課題としている。

本発明の調整弁は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、を接続する機能液流路に介設した調整弁であって、流入ポートの内部に形成したフィルター設置段部と、フィルター設置段部に連なる流体流路と、フィルター設置段部に組み込んだフィルターエレメントと、を備え、フィルター設置段部は、流体流路に対し段部となるテーパー状であり、フィルターエレメントは、フィルター設置段部に着座するフランジ部と、フランジ部に連なり、流体流路に臨むエレメント本体と、を備え、エレメント本体が、機能液の流れ方向に突出する形状を有していることを特徴とする。

この場合、フランジ部およびエレメント本体は、多数のフィルター孔を有すると共に、一体に成形されていることが好ましい。

この場合、エレメント本体が、平坦な底部を有して皿状に突出形成されていることが好ましい。

この場合、エレメント本体が、略半球状に突出形成されていることが好ましい。

これらの構成によれば、流体流路に臨むエレメント本体が、流体の流れ方向に突出する形状を有しているため、エレメント本体が、流体流路に入り込んで流体流路と係合する。これにより、フィルターエレメントが固定され、流体流路に設置される。このように、溶着等を用いずにフィルターエレメントを設置することができるため、フィルターエレメントの着脱を容易に行うことができる。また、保持枠等の部材を必要とせず、簡単な構成でフィルターエレメントを着脱することができる。さらに、突出する形状を有しているため、平面状のものと比較して、濾過面積を大きくすることができると共に、安定にセットすることができる。またさらに、凹凸形状を有しているため、フィルターエレメントに剛性を持たせることができ、製造や保管上の都合で発生するフィルターエレメントの反りを抑えることができる。そのため、フィルターエレメントを容易に設置することができる。なお、ここにいう「皿状」とは、円錐台形の形状を示しており、カップ状のものであっても良い。また、２段の段付き円錐台形の形状を有していても良い。
また、上記フィルターエレメントを調整弁の流入ポートに組み込むことにより、調整弁内に異物が流入することを抑えることができるため、圧力調整を精度良く行うことができる。

以下、添付の図面を参照して、本発明のフィルターエレメントを組み込んだ圧力調整弁を搭載する液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液（流体）を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル３と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル３を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース５上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル６と、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッド７（図２参照）が搭載された１０個のキャリッジユニット８と、から成り、１０個のキャリッジユニット８は、Ｙ軸テーブル６に移動自在に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ１１と、チャンバ１１を貫通して、チャンバ１１の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド７に機能液を供給する３組の機能液供給装置２１を有した機能液供給ユニット１２と、を備えている。Ｘ軸テーブル３およびＹ軸テーブル６の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット１２から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。

次に、図１および図２を参照して機能液供給ユニット１２について説明する。機能液供給ユニット１２は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を供給する３組の機能液供給装置２１を備えている。３組の機能液供給装置２１は、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド７に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド７には対応する色の機能液が供給される。

図２に示すように、各色の機能液供給装置２１は、機能液の供給源を構成する２つのメインタンク３６,３６を有するタンクユニット２２と、各キャリッジユニット８に対応して設けた１０個のサブタンク（機能液タンク）２３と、タンクユニット２２と１０個のサブタンク２３を接続する上流側機能液流路２４と、各サブタンク２３と各機能液滴吐出ヘッド７とを接続する１０組の下流側機能液流路（機能液流路）２５と、を備えている。なお、各タンクユニット２２は、チャンバ１１の側壁の一部に設けられたタンクキャビネット２６内に収容されており、各サブタンク２３は、対応する各キャリッジユニット８に搭載されたタンクケース２７に収容されている（図１参照）。

各メインタンク３６,３６内の機能液は、これに接続した窒素ガス供給設備３１からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路２４を介して１０個のサブタンク２３に選択的に供給される。その際、各種開閉弁に接続した圧縮エアー供給設備３２の圧縮エアーにより、各種開閉弁が開閉制御される。また同時に、各サブタンク２３は、これに接続したガス排気設備３３を介して大気開放され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク２３の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド７の駆動により、下流側機能液流路２５を介して機能液滴吐出ヘッド７に供給される。

タンクユニット２２は、機能液の供給源となる一対のメインタンク３６,３６と、一対のメインタンク３６,３６の重量をそれぞれ測定する一対の重量測定装置３７,３７と、一対のメインタンク３６,３６に接続されると共に、上流側機能液流路２４に接続した切換え機構３８と、を備えている。各メインタンク３６には、窒素ガス供給設備３１に接続されており、機能液を圧送する際に加圧制御可能に構成されている。

上流側機能液流路２４は、上流側から、上流側をタンクユニット２２に接続したタンク側主流路４１と、分岐部４２を介してタンク側主流路４１から１０方に分流し、下流側をサブタンク２３に接続した１０本の枝流路４３と、を備えている。タンクユニット２２から供給された機能液は、分岐部４２により１０方に分流して各サブタンク２３に供給される。

また、タンク側主流路４１には、上流側から気泡除去ユニット５１、第１開閉弁５２、エアー抜きユニット５３、第２開閉弁５４がそれぞれ介設されている。さらに、各枝流路４３には、各サブタンク２３の近傍に位置して第３開閉弁５５がそれぞれ介設されている。

各下流側機能液流路２５は、上流側から、上流側を各サブタンク２３に接続したヘッド側主流路６１と、上流側をヘッド側主流路６１に接続した４分岐流路６２と、上流側を４分岐流路６２に接続した複数のヘッド側枝流路６３と、により構成されている。これにより、機能液が各サブタンク２３から４方に分岐して、それぞれの機能液滴吐出ヘッド７に接続されている。すなわち、上流側機能液流路２４の１０分岐と、下流側機能液流路２５の４分岐により、１０×４個の機能液滴吐出ヘッド７に機能液が供給される。加えて、機能液供給ユニット１２は、Ｒ・Ｇ・Ｂで３組の機能液供給装置２１を有しているため、１０×１２個の機能液滴吐出ヘッド７に機能液が供給される。更に、ヘッド側主流路６１には、第４開閉弁６６と、機能液滴吐出ヘッド７への圧力調整を行う圧力調整弁６７と、が介設されている。

サブタンク２３は、各４個の機能液滴吐出ヘッド７に供給する機能液を貯留するものである。サブタンク２３は貯留された機能液の液位を検出する液位検出機構を有し、機能液の液位を一定の高さに維持しつつ供給を行う。機能液滴吐出ヘッド７の吐出駆動により、機能液の液位が下限液位まで下降すると（減液状態）、第３開閉弁５５を開放してメインタンク３６から機能液を供給し、メインタンク３６からの供給により機能液の液位が上限液位まで上昇すると、第３開閉弁５５を閉弁してメインタンク３６からの供給を停止する。

次に、図３ないし図６を参照して、圧力調整弁６７廻りについて説明する。図３に示すように、圧力調整弁６７は、ヘッド側主流路６１に介設されており、流入側の継手を構成すると共に、流入ポート９１に連なる流入コネクター７１（ユニオン継手）と、流出側の継手を構成すると共に、流出ポート１１０に連なる流出コネクター７２（ユニオン継手）と、を有している。

図３および図４に示すように、圧力調整弁６７は、本体ケーシング８１と、本体ケーシング８１と共に内部に１次室８２を形成する蓋ケーシング８３と、本体ケーシング８１と共に内部に２次室８４を形成し本体ケーシング８１にダイヤフラム８５を固定するリングプレート８６との３部材でバルブケーシングが構成されており、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。また、本体ケーシング８１には、その中心位置に１次室８２および２次室８４を連通する連通流路８７が形成されている。

蓋ケーシング８３およびリングプレート８６は、本体ケーシング８１に対し、前後からリングプレート８６および蓋ケーシング８３を重ね、複数本の段付平行ピン（図示省略）でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム８５の中心を通る軸線と同心円となる円形あるいは多角形（８角形）の外観を有している。そして、蓋ケーシング８３および本体ケーシング８１は、パッキン８９を介して相互に気密に突合せ接合され、本体ケーシング８１およびリングプレート８６は、ダイヤフラム８５の縁部およびパッキン８９を挟込んで相互に気密に突合せ接合されている。

本体ケーシング８１と蓋ケーシング８３とで形成された１次室８２は、ダイヤフラム８５と同心となる略円柱形状に形成されており、その開放端を蓋ケーシング８３により閉蓋されている。また、本体ケーシング８１の１次室８２側背面上部に形成した上部ボス部の左部には１次室８２から径方向斜めに延びる流入ポート９１が形成されている。流入ポート９１には上記の流入コネクター７１が接続されている。

図４に示すように、流入ポート９１は、本体ケーシング８１の外周面に開口した流入口９２と、フィルターエレメント１３１を収容するフィルター収容部９４と、フィルター収容部９４と１次室８２の内周面とを連通する流入経路（流体流路）９５とから成る。流入口９２には、流入コネクター７１が螺合（テーパーネジ）される。なお、詳細は後述するが、フィルター収容部９４にはフィルターエレメント１３１が収容され、フィルターエレメント１３１と、螺合した流入コネクター７１との間にはフィルターエレメント１３１の押えばね９６が収容される。

流入コネクター７１の内部に形成された流路は、下流端で拡開形成されており、流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。

図４および図５に示すように、２次室８４は、ダイヤフラム８５と、本体ケーシング８１に形成した内面壁１０１とによって、全体としてダイヤフラム８５を底面とする円錐台形状に形成されている。ダイヤフラム８５は、鉛直姿勢を為して配設され、２次室８４の１つの面を構成している。また、内面壁１０１は、２次室８４のダイヤフラム８５の面（１つの面）を除いた各面を構成している。

また、内面壁１０１のうち円錐台形状の頂面となる端壁１０１ａには、ダイヤフラム８５と同心となる２次室側開口部１０２が開口し、内面壁１０１のうち円錐台形状のテーパー面となる周壁１０１ｂの下側斜面における上下中間部には、後述する流出流路１０３の流出開口部１０４が形成されている。この場合、２次室側開口部１０２は、後述する受圧板付勢ばね１０５を収容するばね室を兼ねており、連通流路８７の主流路１０６より太径に形成されている。

図５に示すように流出ポート１１０は、本体ケーシング８１の下部に位置する傾斜ボス部１１１に形成されており、傾斜ボス部１１１の下部に開口した流出口１１２と、２次室８４の流出開口部１０４と、これらを連通する流出流路１０３とで構成されている。流出流路１０３は、内面壁１０１の周壁１０１ｂから斜めに延びて下向きの流出口１１２に連通している。流出口１１２には、流出流路１０３の軸線方向から流出コネクター７２が螺合している。流出コネクター７２の内部に形成された流路は、上流端で拡開形成されており、流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室８４から流出する機能液は、流出開口部１０４から流出流路１０３の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド７側に流出する。

図４および図５に示すように、本体ケーシング８１には、１次室８２と２次室８４とを連通する連通流路８７が形成されている。連通流路８７は、主流路１０６と、これに連なる２次室側開口部１０２とで構成されている。これら１次室８２、２次室８４および連通流路８７は、いずれもダイヤフラム８５と同心の円形断面を有している。ただし、主流路１０６は、後述する弁体１１３の軸部１１４がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１１５と、軸遊挿部１１５から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１１６とで構成されている（図３（ｂ）参照）。

ダイヤフラム８５は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体１２１と、ダイヤフラム本体１２１の内側に貼着した樹脂製の受圧板１２２とで構成されている。受圧板１２２は、ダイヤフラム本体１２１と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体１２１に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体１１３の軸部１１４が当接する。ダイヤフラム本体１２１は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、本体ケーシング８１の前面と同径の円形に形成されている。

弁体１１３は、円板状の弁体本体１２４と、弁体本体１２４の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部１１４と、軸部１１４の基端部側（弁体本体１２４側）に設けた（取り付けた）環状のＯリング１２５とで構成されている。弁体本体１２４および軸部１１４は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されている。Ｏリング１２５は、例えば軟質のシリコンゴムで環状に形成されている。このため、弁体１１３の閉弁時には、弁座となる連通流路８７の開口縁にＯリング１２５が強く当接して、連通流路８７が１次室８２側から液密に閉塞される。

軸部１１４は、連通流路８７（の主流路１０６）にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム８５の受圧板１２２に当接する。すなわち、ダイヤフラム８５が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部１１４の前端と受圧板１２２との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム８５がマイナス側に変形してゆくと、中立状態で軸部１１４の前端と受圧板１２２が当接し、さらにダイヤフラム８５のマイナス変形がすすむと、受圧板１２２が軸部１１４を介して弁体本体１２４を押し開弁させることになる。したがって、２次室８４の容積のうち、ダイヤフラム８５がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室８２側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。

弁体１１３の背面と１次室８２の壁体１２６との間には、弁体１１３を２次室８４側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね１２７が介設されている。同様に、受圧板１２２と内面壁１０１の間には、受圧板１２２を介してダイヤフラム本体１２１を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね１０５が介設されている。この場合、弁体付勢ばね１２７は、弁体１１３の背面に加わるサブタンク２３の水頭を補完するものであり、サブタンク２３の水頭とこの弁体付勢ばね１２７のばね力により、弁体１１３が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね１０５は、ダイヤフラム８５のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室８４が負圧になるように作用する。

圧力調整弁６７は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド７に連なる２次室８４との圧力バランスによりダイヤフラム８５（およびこれが当接する弁体１１３）が変形（進退）することで開閉し、２次室８４側を所定の圧力まで減圧するようにしている。その際、弁体付勢ばね１２７および受圧板付勢ばね１０５に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのＯリング１２５（の弾性力）により、弁体１１３は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体１１３の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド７の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、サブタンク２３側（１次室８２側）で発生する脈動等も、弁体１１３で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。

次に、図６を参照して流入ポート９１廻りについて説明する。上記したように、流入ポート９１は、流入口９２、フィルター収容部９４および流入経路９５により構成されている。流入口９２の内周面に形成されたネジ部に、ユニオン継手である流入コネクター７１を螺合して接続することにより、サブタンク２３からの流路が接続される。フィルター収容部９４には、上流側からの機能液に混入した異物を除去（濾過）するフィルターエレメント１３１が収容されており、フィルターエレメント１３１と流入コネクター７１との間には、フィルターエレメント１３１を押える押えばね９６が収容されている。

フィルター収容部９４は、本体ケーシング８１に形成したザグリ穴状のものであり、本体ケーシング８１内側の先端がテーパー状（先細り）を成す略円筒状に形成されている。すなわち、フィルター収容部９４には、フィルターエレメント１３１の周縁部（後述するフランジ部１３４）が着座するよう、流入経路９５に対し段部となるテーパー状の周縁当接部（フィルター設置段部）９４ａが形成されている。

押えばね９６は、コイルばねで構成されており、一端が、流入コネクター７１の内部に形成した流路において本体ケーシング８１側に拡開した拡開部７１ａに当接し、他端がフィルターエレメント１３１に当接する。流入コネクター７１をねじ接合すると、押えばね９６を介して、フィルターエレメント１３１が周縁当接部９４ａに押圧され、固定される。なお、押えばね９６は、円筒状のコイルばねであっても良いが、テーパー状の拡開部７１ａと、テーパー状の周縁当接部９４ａに着座したフィルターエレメント１３１とに当接するため、これらのテーパー面に垂直に当接するように、中細りのコイルばね（鼓形コイルばね）を用いても良い。

フィルターエレメント１３１は、厚さ１５μｍ程度のステンレス製の金属シートをプレス加工（外形の切断、成形およびフィルター孔の孔開けを、同時にプレス加工）して形成されたものであり、周縁当接部９４ａに着座すると共に、押えばね９６が当接するフランジ部１３４と、フランジ部１３４に連なると共に、流入経路９５に臨むエレメント本体１３５とから成る。エレメント本体１３５は、多数の開口部（フィルター孔）が形成されると共に、流入経路９５側（機能液の流れ方向）に突出する形状を有している。各開口部は、円形もしくは方形に形成されており、３０μｍ以上の異物が補足可能なよう、その外接円の直径が３０μｍ以下となるように形成されている。エレメント本体１３５の突出形状は、半球状（略半球状）の形状であり、流入経路９５の上流端に軽く嵌り込む（係合する）ようになっている。フィルターエレメント１３１を投入する際、半球状の突出形状がガイドとなって、流入経路９５の上流端に嵌り込む。これにより、フィルターエレメント１３１は、径方向に位置決めされる。

ここで、図６を参照して、流入コネクター７１とフィルターエレメント１３１の取付け方法および取外し方法について説明する。流入コネクター７１とフィルターエレメント１３１の取付けでは、まず、フィルターエレメント１３１をフィルター収容部９４に投入し、次に、押えばね９６をフィルター収容部９４に投入する（押えばね９６は、フィルター収容部９４から流入口９２にかけて収容される）。その後、流入コネクター７１を流入口９２に螺合して接続する。流入コネクター７１の螺合により、流入コネクター７１とフィルターエレメント１３１とに接触した押えばね９６が、フィルターエレメント１３１を周縁当接部９４ａに押圧してフィルターエレメント１３１を固定する。すなわち、流入コネクター７１が押えばね９６を介して、フィルターエレメント１３１を押圧固定する。このように、フィルターエレメント１３１は、流入コネクター７１の締付けを利用して取り付けられているため、流入コネクター７１を取り外すことで、フィルターエレメント１３１も一緒に取り外すことができる。

以上のような構成によれば、流入経路９５に臨むエレメント本体１３５が、流体の流れ方向に突出する形状を有しているため、エレメント本体１３５が、流入経路９５に入り込んで流入経路９５と係合する。これにより、フィルターエレメント１３１が固定され、流入経路９５に設置される。このように、溶着等を用いずにフィルターエレメント１３１を設置することができるため、フィルターエレメント１３１の着脱を容易に行うことができる。また、保持枠等の部材を必要とせず、簡単な構成でフィルターエレメント１３１を着脱することができる。さらに、突出する形状を有しているため、平面状のものと比較して、濾過面積を大きくすることができると共に、安定にセットすることができる。

なお、本実施形態では、フィルターエレメント１３１として、エレメント本体１３５が半球状に突出して形成されているものを用いたが、これに限るものではない。例えば、図７（ａ）に示すように、平坦な底部を有した皿状に突出して形成されているものであっても良い。また、図７（ｂ）に示すように、段付きの皿状に突出して形成されているものであっても良い。

また、本実施形態では、押えばね９６を用いて、フィルターエレメント１３１を押圧固定したが、図８に示すように、Ｏリング１４１を用いて、フィルターエレメント１３１を押圧固定するものであっても良い。かかる場合、Ｏリング１４１は、上流側の一端を流入コネクター７１の先端面７１ｂに当接し、他端をフィルターエレメント１３１に当接して、押圧固定する。なお、フィルターエレメント１３１が着座する周縁当接部９４ａは、上記先端面７１ｂに対し平行で、且つ平坦な着座面を有していることが好ましい。

さらに、本実施形態では、フランジ部１３４とエレメント本体１３５とを一体に成形したものを用いたが、これらを別々に成形し、接合（例えば、溶接や超音波溶着）したものであっても良い。

実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。機能液供給装置の配管系統図である。圧力調整弁の背面図（ａ）、および正面図（ｂ）である。圧力調整弁を流入ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。圧力調整弁を流出ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。流入ポート廻りについて示した断面図である。フィルターエレメントの変形例を示した断面図である。フィルターエレメントの設置構造の変形例を示した断面図である。

符号の説明

７：機能液滴吐出ヘッド、２３：サブタンク、２５：下流側機能液流路、６７：圧力調整弁、７１：流入ポート、９４ａ：周縁当接部、１３１：フィルターエレメント、１３４：フランジ部、１３５：エレメント本体

Claims

インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクと、を接続する機能液流路に介設した調整弁であって、
流入ポートの内部に形成したフィルター設置段部と、
前記フィルター設置段部に連なる流体流路と、
前記フィルター設置段部に組み込んだフィルターエレメントと、を備え、
前記フィルター設置段部は、前記流体流路に対し段部となるテーパー状であり、
前記フィルターエレメントは、
前記フィルター設置段部に着座するフランジ部と、
前記フランジ部に連なり、前記流体流路に臨むエレメント本体と、を備え、
前記エレメント本体が、機能液の流れ方向に突出する形状を有していることを特徴とする調整弁。
前記フランジ部および前記エレメント本体は、多数のフィルター孔を有すると共に、一体に成形されていることを特徴とする請求項１に記載の調整弁。
前記エレメント本体は、平坦な底部を有して皿状に突出形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の調整弁。
前記エレメント本体が、略半球状に突出形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の調整弁。