JP2010185677A - 電源電流の測定装置および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】短時間で電源電流の測定を行うことが可能な電源電流測定装置および半導体装置を提供する。
【解決手段】電源電流の測定装置101は、インターフェース回路(I/F)2a〜2dと、内部バス3と、入出力端子4と、モード設定端子5と、電流計6a〜6dとを有する。複数の機能ブロック1a〜1dのそれぞれに対応してインターフェース回路2a〜2dを設け、LSIテスタから1つの入出力端子を介して全ての機能ブロック1a〜1dに電源電流を測定するためのテストパターンを設定できるようにした。そのため、LSIテスタと半導体装置との接続を変更することなく、全ての機能ブロック1a〜1dにテストパターンを設定でき、複数の機能ブロック1a〜1dの電源電流を短時間で測定できる。
【選択図】図1
【解決手段】電源電流の測定装置101は、インターフェース回路(I/F)2a〜2dと、内部バス3と、入出力端子4と、モード設定端子5と、電流計6a〜6dとを有する。複数の機能ブロック1a〜1dのそれぞれに対応してインターフェース回路2a〜2dを設け、LSIテスタから1つの入出力端子を介して全ての機能ブロック1a〜1dに電源電流を測定するためのテストパターンを設定できるようにした。そのため、LSIテスタと半導体装置との接続を変更することなく、全ての機能ブロック1a〜1dにテストパターンを設定でき、複数の機能ブロック1a〜1dの電源電流を短時間で測定できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数の機能ブロックを有する半導体装置の電源電流を測定する電源電流の測定装置および測定方法に関する。
近年の半導体装置には、特定の機能を持つ複数の機能ブロックが搭載されているのが一般的である。機能ブロックの消費電力測定や、機能ブロックが正常に動作しているか否かの検査のために、各機能ブロックの電源電流を測定する必要がある。
電源電流を測定するために機能ブロックに供給されるテストパターンは機能ブロックによって異なる。そのため、機能ブロックの電源電流を測定するには、機能ブロック毎にLSIテスタからテストパターンを供給しなければならない。
しかしながら、通常は、半導体装置の外部から信号を入力する専用の入力端子が各機能ブロック毎に設けられているので、テストパターンを供給する度に、LSIテスタと各機能ブロックの入力端子との接続を切替えなければならない。その結果、機能ブロック毎に電源電流の測定を行うこととなり、電源電流の測定に時間がかかってしまうという問題がある。
特許文献1には、全ての機能ブロックに共通の電源が供給されている場合に、効率よく電源電流を測定する手法が開示されている。しかしながら、近年機能ブロックが多様化しており、機能ブロックによって動作電圧が異なる等の理由により、別個の電源装置から各機能ブロックへ電源電圧が供給されることも多い。特許文献1に記載の手法は、このような多電源の機能ブロックを有する半導体装置における電源電流の測定を念頭に置いていない。
本発明は、複数の機能ブロックを有する半導体装置の電源電流を短時間で測定可能な電源電流の測定装置および測定方法を提供するものである。
本発明の一態様によれば、テストパターンを入力する入出力端子と、それぞれが別個の電源線を介して供給される電源電圧で駆動される複数の機能ブロックと、前記入出力端子との間で、少なくとも前記テストパターンを送受する内部バスと、前記複数の機能ブロックのそれぞれに対応して設けられ、前記内部バス上の前記テストパターンを前記対応する機能ブロックに入力するか否かをモード設定信号に基づいて切替える入力制御回路と、を備えることを特徴とする電源電流の測定装置が提供される。
本発明によれば、複数の機能ブロックを有する半導体装置の電源電流の測定を短時間で行うことができる。
以下、本発明に係る電源電流の測定装置および半導体装置の実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る電源電流の測定装置101を内蔵する半導体装置100の電源電流測定システムの概略構成を示す図である。図1の電源電流測定システムは、半導体装置100と、電源装置7a〜7dと、LSIテスタ8とを備えている。また、半導体装置100は、複数の機能ブロック(Intellectual Property:IP)1a〜1dと、これらの電源電流を測定する電源電流の測定装置101とを備えている。
電源電流の測定装置101は、インターフェース回路(I/F)2a〜2dと、内部バス3と、入出力端子4と、モード設定端子5と、電流計6a〜6dとを有する。
各機能ブロック1a〜1dは、単体で種々の機能を持っている。例えば、映像デコーダ/エンコーダや、USB(Universal Serial Bass)インターフェース等としての機能である。機能ブロック1a〜1dには、電源電流測定用の電流計6a〜6dがそれぞれ接続されている。また、機能ブロック1a〜1dには、別個の電源装置7a〜7dから電源電圧VDDa〜VDDdが供給されている。さらに、機能ブロック1a〜1dには共通の、または、別個の内部クロック(不図示)が供給されている。
インターフェース回路2a〜2dは、機能ブロック1a〜1dのそれぞれに対応して設けられている。インターフェース回路2a〜2dは、内部バス3と各機能ブロック1a〜1dとのインターフェースであり、詳細は後述する。
内部バス3は、入出力端子4とインターフェース回路2a〜2dとの間で、テストパターンを含む各種データを送受するために用いられる。テストパターンは、半導体装置100とは別個に設けられるLSIテスタ8で生成されて、入出力端子4に入力される。内部バス3は、機能ブロック1a〜1dの電源電流測定時にはテストパターンを伝送するために用いられるが、通常の動作時には、機能ブロック1a〜1d同士や、入出力端子4とのデータ伝送に用いることもできる。そのため、本実施形態では、電源電流の測定のために専用の内部バス3を設ける必要はない。
LSIテスタ8は、共通の入出力端子4を介して、全ての機能ブロック1a〜1dに電源電流測定用のテストパターンを供給可能である。また、LSIテスタ8は、入出力端子4を介して機能ブロック1a〜1dが出力するデータを取得する。このデータには、各機能ブロックが動作中であるか、動作準備中であるか等、各機能ブロックの状態を示す情報が含まれている。取得したデータによりLSIテスタ8は、機能ブロック1a〜1dが電源電流の測定が可能な状態であるか否か等を判断する。さらに、LSIテスタ8は、モード設定端子5を介してインターフェース回路2a〜2dにモード設定信号を入力し、インターフェース回路2a〜2dの動作状態を設定する。モード設定信号は、インターフェース回路2a〜2dのうち、どのインターフェース回路の動作状態を設定するのかを示す情報も含んでいる。つまり、モード設定信号はいずれか1つのインターフェース回路の動作状態を設定する。
本実施形態における半導体装置100に内蔵される機能ブロックの種類や数等は、特に限定されるものではない。また、電源電圧VDDa〜VDDdは同一の電圧であってもよいし、異なる電圧であってもよい。さらに、LSIテスタ8は複数の装置から構成されていてもよい。また、モード設定信号は、図1に示すように、他のインターフェース回路を経由して各インターフェース回路2a〜2dへ入力されてもよいし、モード設定端子5から各インターフェース回路2a〜2dへ直接入力されていてもよい。
図2は、本実施形態の特徴の1つであるインターフェース回路2aの内部構成およびその周辺の概略構成を示す図である。インターフェース回路2a〜2dの内部構成は同一であるため、図2ではインターフェース回路2aの内部構成を代表して示している。インターフェース回路2aは、テスト制御用レジスタ11aと、クロック停止回路12aと、入力制御回路13aと、データ保持回路14aと、出力制御回路15aとを有する。
テスト制御用レジスタ11aは、モード設定信号に基づいて、クロック停止回路12aを制御するクロック制御信号と、入力制御回路13aを制御する入力制御信号と、出力制御回路15aを制御する出力制御信号とを生成する。
クロック停止回路12aは、クロック制御信号に基づいて、機能ブロック1aのクロック入力端子CLKinに内部クロックを供給するか否かを制御する。クロック停止回路12aは、例えば、AND回路で構成される。この場合、クロック制御信号がロウであればクロック入力端子CLKinへの内部クロックの供給が停止する。
入力制御回路13aは、入力制御信号に基づいて、内部バス3上のデータを機能ブロック1aのデータ入力端子IN[n:0]へ入力するか否かを切替える。出力制御回路15aは、出力制御信号に基づいて、機能ブロック1aのデータ出力端子OUT[n:0]のデータを内部バス3へ出力するか否かを切替える。入力制御回路13aおよび出力制御回路15aは、例えば、CMOSスイッチで構成される。
データ保持回路14aは、内部バス3から入力制御回路を介して入力されたデータを保持し、保持したデータを機能ブロック1aに供給する。データ保持回路14aは、例えば、互いの出力がフィードバック入力される2つのインバータ21a,22aをリング状に接続して保持動作を行う。
図2と同様の構成のインターフェース回路2b〜2dが、機能ブロック1b〜1dに対応して設けられている。このようにして、LSIテスタ8から入出力端子4を介して内部バス3に供給されたテストパターンは、モード設定信号に応じて、対応するインターフェース回路内のデータ保持回路14aに保持される。
ここで、上述の「データ」には、電源電流を測定するためのテストパターンの他、アドレス信号や各種制御信号等も含むものとする。
図3は、本実施形態に係る電源電流の測定装置101およびLSIテスタ8の処理動作を示すフローチャートである。図3を用いて、電源電流の測定の手法を説明する。
まず、LSIテスタ8は機能ブロック1a〜1dのうちの1つ(機能ブロック1aとする)を選択する。そして、LSIテスタ8は、選択した機能ブロック1aに対してテストパターンの設定が可能となるように、モード設定信号を設定する。インターフェース回路2a内のテスト制御用レジスタ11aは、入力制御回路13aが内部バス3のデータを機能ブロック1aのデータ入力端子IN[n:0]に入力可能となるように、入力制御信号を設定する(ステップS1)。なお、このときインターフェース回路2b〜2d内のテスト制御用レジスタが、内部バス3のデータが機能ブロック1b〜1dに入力可能となるように、入力制御信号を設定することはない。
次に、LSIテスタ8は、選択した機能ブロック1a用のテストパターンを入出力端子4から入力する(ステップS2)。このテストパターンは、入力制御回路13aから機能ブロック1aのデータ入力端子[n:0]へ入力される。そして、入力されたテストパターンはデータ保持回路14aによって保持される。よって、LSIテスタ8が一旦入力したテストパターンは機能ブロック1aに入力され続けている。これにより、機能ブロック1aは、電源電流が測定可能な状態に設定される。
このとき、機能ブロック1b〜1dには、機能ブロック1a用のテストパターンは入力されない。上述のように、インターフェース回路2b〜2d内の入力制御信号は、内部バス3のデータが機能ブロック1b〜1dに入力可能となるようには設定されていないためである。
その後、内部バス3のデータが機能ブロック1aに入力されないように、LSIテスタ8はモード設定信号を設定する(ステップS3)。ステップS3の処理後も、データ保持回路14aは機能ブロック1a用のテストパターンを保持し続けている。そのため、機能ブロック1aは、電源電流が測定可能な状態を保持できる。
さらに、機能ブロック1aが動作を行わない状態、すなわち、待機状態での電源電流を測定する場合(ステップS4)、LSIテスタ8は、機能ブロック1aへ内部クロックが供給されないように、モード設定信号を設定する。そして、機能ブロック1a内のテスト制御用レジスタ11aは、クロック停止回路12がクロック入力端子CLKinに対して内部クロックの供給を停止するように、クロック制御信号を設定する(ステップS5)。
以上のステップS1〜S5の処理を、他の機能ブロック1b〜1dに対しても行う(ステップS6)。
電源電流を測定するためのテストパターンは、機能ブロック1a〜1dによって異なるため、複数の機能ブロックに対して同時にテストパターンを供給することはできない。しかしながら、本実施形態では、モード設定信号によって1つの機能ブロックを選択し、機能ブロックに応じたテストパターンを供給できる。しかも、一旦入力されたテストパターンは、データ保持回路14aによって保持される。そのため、LSIテスタ8と半導体装置100との接続を変えることなく、1つの入出力端子4から全ての機能ブロック1a〜1dに対してテストパターンを設定できるので、電源電流の測定に要する時間を短縮できる。
その後、機能ブロック1a〜1dが電源電流の測定が可能な状態になるまで待機する(ステップS7)。機能ブロックによっては、テストパターンを設定してから電源電流の測定が可能な状態になるまでに時間を要することもあるためである。より具体的には、LSIテスタ8は、モード設定信号を切替えて機能ブロック1a〜1dの出力端子OUT[n:0]からの出力データを順繰りに取得する。この出力データには、各機能ブロックの状態を示す情報が含まれている。出力データに基づいて、全ての機能ブロック1a〜1dが電源電流の測定が可能な状態であるとLSIテスタ8が判断するまで待機する。
なお、テストパターンを設定した後、すぐに機能ブロック1a〜1dが電源電流の測定が可能な状態になる場合は、ステップS7の待機は不要である。また、ステップS7を省略して、機能ブロック1a〜1dが確実に電源電流の測定が可能な状態になるまでの時間、待機してもよい。電源電流の測定が可能か否かを示す信号を出力しない機能ブロックがある場合にも有効な手法である。
全ての機能ブロック1a〜1dが電源電流の測定が可能な状態になった後、電流計6a〜6dが機能ブロック1a〜1dの電源電流を一括して測定する(ステップS8)。一括に測定するのは、短時間で電源電流を測定するためである。この測定結果に応じて、各機能ブロックの消費電力の算出や、機能ブロックが正常に動作しているか否かの判定ができる。
このように、本実施形態では、複数の機能ブロック1a〜1dのそれぞれに対応してインターフェース回路2a〜2dを設け、LSIテスタ8から共通の入出力端子4を介して全ての機能ブロック1a〜1dに電源電流を測定するためのテストパターンを設定できるようにした。そのため、LSIテスタ8と半導体装置100との接続を変更することなく、全ての機能ブロック1a〜1dに対して、各機能ブロックに応じたテストパターンを設定でき、電源電流を短時間で測定できる。また、インターフェース回路2a〜2d内のそれぞれにクロック停止回路12aを設けたため、動作状態での電源電流だけでなく、待機状態での電源電流を測定することもできる。さらに、LSIテスタ8は、機能ブロック1a〜1dで電源電流の測定が可能になったか否かを示す信号を機能ブロック1a〜1dから取得するため、機能ブロック1a〜1dが確実に電源電流の測定が可能になった状態で電源電流を測定でき、測定精度の向上図れる。
上述した実施形態では、機能ブロック1a〜1dのそれぞれが専用の電源装置7a〜7dから電源電圧の供給を受ける例を説明したが、一つの電源装置が電圧レベルの異なる複数の電源電圧を生成できる場合には、この電源装置で生成した複数の電源電圧のそれぞれを別個の電源線を介して機能ブロック1a〜1dに供給してもよい。
上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した個々の実施形態には限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
1a〜1d 機能ブロック
3 内部バス
4 入出力端子
7a〜7d 電源装置
12a クロック停止回路
13a 入力制御回路
14a データ保持回路
15a 出力制御回路
100 半導体装置
101 電源電流の測定装置
3 内部バス
4 入出力端子
7a〜7d 電源装置
12a クロック停止回路
13a 入力制御回路
14a データ保持回路
15a 出力制御回路
100 半導体装置
101 電源電流の測定装置
Claims (5)
- テストパターンを入力する入出力端子と、
それぞれが別個の電源線を介して供給される電源電圧で駆動される複数の機能ブロックと、前記入出力端子との間で、少なくとも前記テストパターンを送受する内部バスと、
前記複数の機能ブロックのそれぞれに対応して設けられ、前記内部バス上の前記テストパターンを前記対応する機能ブロックに入力するか否かをモード設定信号に基づいて切替える入力制御回路と、を備えることを特徴とする電源電流の測定装置。 - 前記複数の機能ブロックのそれぞれに対応して設けられ、前記入力制御回路で切替えた後の前記テストパターンを、前記対応する機能ブロックに入力する前に保持するデータ保持回路を備えることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記複数の機能ブロックのそれぞれに対応して設けられ、前記対応する機能ブロックを動作させる内部クロックを前記対応する機能ブロックに供給するか否かを、前記モード設定信号に基づいて切替えるクロック停止回路を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。
- 前記複数の機能ブロックのそれぞれに対応して設けられ、前記対応する機能ブロックが電源電流の測定が可能な状態であるか否かを示す信号を前記内部バスに供給するか否かを、前記モード設定信号に基づいて切替える出力制御回路を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の測定装置。
- テストパターンを入力する入出力端子と、
それぞれが別個の電源線を介して供給される電源電圧で駆動される複数の機能ブロックと、前記入出力端子との間で、少なくとも前記テストパターンを送受する内部バスと、
前記複数の機能ブロックのそれぞれに対応して設けられ、前記内部バス上の前記テストパターンを前記対応する機能ブロックに入力するか否かをモード設定信号に基づいて切替える入力制御回路と、を備える電源電流の測定装置を用いた電源電流測定方法であって、
前記モード設定信号を切替えて、前記複数の機能ブロックのそれぞれに前記内部バスと前記入力制御回路とを介して前記テストパターンを入力し、
前記複数の機能ブロックのそれぞれが電源電流の測定が可能な状態であるか否かを示す信号に基づいて、前記複数の機能ブロックのすべてが電源電流の測定が可能な状態になったか否かを判定し、
前記複数の機能ブロックのすべてが電源電流の測定が可能な状態になったと判定された後に、前記複数の機能ブロックの電源電流を同時に測定することを特徴とする電源電流の測定方法。
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