JP2010181282A - 水素検知素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属合金からなる感応部2と、感応部2の金属合金が水素を溶解することにより生じる電気抵抗変化を検出する電気抵抗検出部4と、感応部2の温度を検出する温度検出部5と、電気抵抗検出部4で検出された電気抵抗変化の検出信号を温度検出部5で検出された温度変化の検出信号で補正する補正部6とを備える。そして上記感応部2は、一定の水素圧力において温度上昇に伴い水素溶解量が減少し、且つ一定温度において水素溶解量と水素圧力の平方根が比例関係となる金属合金からなる。
【選択図】図1
Description
PH2:水素圧力
KS:Sieverts定数
H/M:金属合金への水素溶解量
このようなSievertsの法則を満たす特性を有する金属合金としては、特に限定されるものではないが、PdSi、PdCuSi、PdNiSi、PdCuNiPなどを例示することができる。
R:水素もしくは水素・窒素混合ガス中での電気抵抗(Ω)
R0:窒素ガス中での電気抵抗(Ω)
ΔR=R−R0
T:温度(℃)
次に、上記の図1に示す構造で作製した実施例1〜5の水素検知素子のシリコン基板1を密閉チャンバー内に取り付け、感応部2の電気抵抗の変化率(ΔR/R0(%))を水素ガス検知信号として電気抵抗検出部4から取得すると共に、感応部2の温度を温度検出部5から取得した。具体的には、はじめに密閉チャンバー内に100%濃度の水素ガスを0.1L/minの流量で導入し、感応部2の温度が100℃になるようにヒーター7に通電して加熱した。感応部2の温度は温度感知部3と温度検出部5により測定した。そして感応部2の温度と電気抵抗の変化率(ΔR/R0(%))が安定した時点でこれらのデータの取得を開始し、開始から20秒を経過した時点で、水素ガスの流量を20L/minに増加させ、以後もデータの取得を継続した。
4 電気抵抗検出部
5 温度検出部
6 補正部
Claims (5)
- 金属合金からなる感応部と、感応部の金属合金が水素を溶解することにより生じる電気抵抗変化を検出する電気抵抗検出部と、感応部の温度を検出する温度検出部と、電気抵抗検出部で検出された電気抵抗変化の検出信号を温度検出部で検出された温度変化の検出信号で補正する補正部とを備え、上記感応部は、一定の水素圧力において温度上昇に伴い水素溶解量が減少し、且つ一定温度において水素溶解量と水素圧力の平方根が比例関係となる金属合金からなることを特徴とする水素検知素子。
- 上記金属合金は、PdとSiを含む非晶質合金からなることを特徴とする請求項1に記載の水素検知素子。
- 上記金属合金は、PdとPを含む非晶質合金からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の水素検知素子。
- 上記金属合金からなる感応部に、水素解離触媒層としてPdもしくはPtが薄膜状に積層されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の水素検知素子。
- 上記感応部を加熱する加熱手段を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の水素検知素子。
Priority Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108318306A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-07-24 | 中航金属材料理化检测科技有限公司 | 一种测定钛及钛合金中氢元素含量的方法 |
WO2020179400A1 (ja) | 2019-03-06 | 2020-09-10 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 水素センサー及び水素検出方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5624564A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-09 | Nippon Steel Corp | Determination method of and apparatus for hydrogen in metal |
JPH02140665A (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-30 | Nippon Steel Corp | 溶鋼中の水素オンライン分析方法および装置 |
JPH04291141A (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 可燃ガス検出装置およびその補正演算方法 |
JP2005098742A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Oizumi Seisakusho:Kk | 接触燃焼式水素センサー |
JP2007271441A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Osaka Gas Co Ltd | ガス検知装置 |
JP2008008869A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 水素検知素子 |
JP2010223816A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 水素検知素子及び水素検知センサ |
-
2009
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5624564A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-09 | Nippon Steel Corp | Determination method of and apparatus for hydrogen in metal |
JPH02140665A (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-30 | Nippon Steel Corp | 溶鋼中の水素オンライン分析方法および装置 |
JPH04291141A (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 可燃ガス検出装置およびその補正演算方法 |
JP2005098742A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Oizumi Seisakusho:Kk | 接触燃焼式水素センサー |
JP2007271441A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Osaka Gas Co Ltd | ガス検知装置 |
JP2008008869A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 水素検知素子 |
JP2010223816A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 水素検知素子及び水素検知センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108318306A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-07-24 | 中航金属材料理化检测科技有限公司 | 一种测定钛及钛合金中氢元素含量的方法 |
WO2020179400A1 (ja) | 2019-03-06 | 2020-09-10 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 水素センサー及び水素検出方法 |
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A977 | Report on retrieval |
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