JP2010177005A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的を達成するために、試料の2つの移動方向に対し、垂直な方向に荷電粒子線光軸を有する第1の荷電粒子光学系と、試料ステージの移動方向に対し、傾斜した方向に荷電粒子線光軸を有する第2の荷電粒子光学系と、試料を真空雰囲気内に保持する試料チャンバと、真空雰囲気内にて回転させると共に、第1の荷電粒子光学系光軸と平行な回転軸を持ち、試料を回転する回転機構と、回転機構と試料ステージとの間で、当該試料を搬送する搬送機構を備えた荷電粒子線装置を提案する。
【選択図】 図1
Description
2 試料チャンバ
3 試料ステージ
4 ベース
5 センターテーブル
6 トップテーブル
7 X転がり案内
8 Xリニアモータ
9 Y転がり案内
10 リニアスケール
11 制御装置
12 静電チャック
13 ウェーハ
14 電子銃
15 電子線
16 偏向器
17 電子レンズ
18 二次電子
19 二次電子検出器
20 カラム(a)
21 制御部
22 CRT
23 カラム(b)
24 光学顕微鏡
25 ロードロックチャンバ
26 支持テーブル
27 ゲートバルブ
28 搬送ロボット(a)
29 回転テーブル
30 搬送ロボット(b)
31 高さ検出器
32 パルスモータ
33 ロータリーエンコーダ
Claims (3)
- 試料を少なくとも2方向に移動させる試料ステージと、当該試料の2つの移動方向に対し、垂直な方向に荷電粒子線光軸を有する第1の荷電粒子光学系を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料ステージの移動方向に対し、傾斜した方向に荷電粒子線光軸を有する第2の荷電粒子光学系と、
当該第1及び2の荷電粒子光学系が取り付けられ、前記試料ステージ上に配置された試料を、真空雰囲気内に保持する試料チャンバと、
前記試料を、前記真空雰囲気内にて回転させると共に、前記第1の荷電粒子光学系光軸と平行な回転軸を持つ回転機構と、
当該回転機構と前記試料ステージとの間で、前記試料を搬送する搬送機構を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第2の荷電粒子光学系は、前記第1の荷電粒子光学系の荷電粒子光軸方向から見て、前記試料ステージの2つの移動方向に対し、45°の方向に荷電粒子光軸が位置するように、前記試料チャンバに取り付けられることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1の荷電粒子光学系にて、アライメントを行った後に、前記試料ステージによって、前記試料を第2の荷電粒子光学系による荷電粒子線の照射位置に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
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US9093890B2 (en) | 2011-06-06 | 2015-07-28 | Hitachi High-Technologies Corporation | Linear motor, movable stage and electron microscope |
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