JP2010172888A

JP2010172888A - 滞留防止機構を有した吹出口フィルタ

Info

Publication number: JP2010172888A
Application number: JP2009038578A
Authority: JP
Inventors: Hiroo Mizushima; 裕男水島
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2009-01-28
Filing date: 2009-01-28
Publication date: 2010-08-12

Abstract

【課題】本発明は、クリーンルーム・クリーンブース等の閉空間を浄化する際に使用される吹出口に設置するフィルタに関して、気流の滞留部分を無くすことで清浄化時間の短縮並びに滞留する汚染粒子による製品への汚染確率を低減することを可能としたフィルタ吹出口である。
【解決手段】水平全周方向に清浄空気が吹出すようプリーツ状に折り込まれたろ過材（１）を空気流入側の蓋（２）と滞留防止気流を効果的に吹出させるためのろ過材（３）と補強用のバックアップ材であるハイメッシュスクリーン（４）とを空気流出側の蓋（５）とで一体化したフィルタ吹出口。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルーム・クリーンブース等の閉空間を浄化する際に使用される吹出口に設置するフィルタに関して気流の滞留部分を無くすことで清浄化時間の短縮並びに滞留する汚染粒子による製品への汚染確率を低減することを可能としたフィルタ吹出口である。

従来、使用されている吹出口は、天井裏等に設置された筐体，筐体に収納されたフィルタ、そして吹出気流を室内に拡散するためのパンチング（多孔板）により構成されている。
この吹出口気流は、垂直下方或いは下方への吹出角度を任意に設定することで拡散させているがこの吹出気流周辺が最も汚染空気を誘引圧力により集中させている。
このことは、清浄空気を給気している吹出口により、ランダムに汚染粒子等を室内に拡散させていることを意味している。
つまり垂直下方に吹出している場合には、垂直気流と直交する水平方向の気流により室内の汚染空気が誘引され、この誘引気流に空気中の浮遊粉塵が集中する。
また、水平方向に吹出している場合には、水平方向と直交する吹出口下部への上昇気流により同様に浮遊粉塵が集中し汚染される。

（イ）拡散板（多孔板・スリット等）による吹出口では、気流を全方向に効果的に拡散させることが出来ず形成される滞留気流により汚染空気を誘引する結果となり、清浄化空気と誘引した汚染空気との混合気流を室内浄化用の吹出として利用していた。
結果として希釈効率が低いために室内の清浄化に時間を要し、滞留気流部に存在する汚染物質が製品に悪影響を及ぼすことにもなり汚染制御の観点からも問題であった。
（ロ）ＨＥＰＡ（超高性能フィルタ）等の性能を確認するリーク試験に際しては、誘引気流による汚染物質の影響をなくすため、ビニル等により遮断し測定を行うがビニル・拡散板等からの発塵により滞留部に残存する粒子を測定してしまうためにＨＥＰＡ自体の漏洩か滞留粒子かの判定のための正確な測定を行うには相当の時間を要すことになっていた。
（ハ）拡散板と吹出風量調整用ルーバー等を一体として吹出口風速の調整を行う方法もあるが吹出口のコストアップ並びに重量増によるメンテナンス作業の負荷が増大する。
（ニ）ＨＥＰＡの交換作業時には、拡散板のビス・ＨＥＰＡ締結金具を取外し新規品と交換しなければならず交換時の作業時間を必要とする。
（ホ）従来の吹出口では、設備変更等に伴い発生する筐体・金具類・ＨＥＰＡ等の産業廃棄物が多く発生する。
本発明は、上記欠点を解決しようとするものである。

図１のような円筒形状を有し水平全周方向に吹出気流形成（６）を可能とし、かつ水平気流と直交する垂直下方（７）にも気流吹出が可能となるようフィルタろ過材（３）を配置したものである。
円筒形状のフィルタは、必要な風量に応じてその折山高さ・折り数等を任意に製作することが可能であり滞留防止用の底面に設置したろ過材（３）は、円筒形状のろ過材と同等或いは異種ろ過材とすることでその気流流速を任意に変更することが可能である。
また、目詰まりの状況によっては数段のプレ処理ろ過材を同一面に積層し寿命の延長化を図ることで対応することも可能な滞留防止吹出口フィルタである。
本発明のフィルタは、その漏洩試験性能確認をする際に水平・垂直方向等、全方位に吹出気流が形成されているために滞留・誘引等による汚染粒子の影響が少なく漏洩試験時間の短縮にもなる。

以下本発明の実施形態を図面について説明する。
図１の上下両側に配置された枠体（２）と（５）の間に全方向に清浄気流が吹出されるように各種捕集性能を有する任意のろ過材をプリーツ状（１）または平面状（３）に形成し補強材としてのハイメッシュスクリーン等（４）と共に挿入・接着することで形成され、必要に応じてろ過材外周に多孔板と共に接着しても良い。
この枠体（２）の上面から汚染空気が流入しろ過材（１）（３）を介して全周方向（６）（７）に清浄空気を吐出させる構造を有する吹出口フィルタユニットである。
図２は、クリーンブース等に使用した場合の吹出口部拡大図である。
フィルタ点検蓋（８）の開口上部から吹出口フィルタユニットを装填しフィルタ点検蓋脱着用ハンドル（９）にてクリーンブース筐体（１３）等に設置される。
この時、吹出口フィルタユニットの空気流入側蓋（２）はクリーンブース筐体内に設置されている空気流入側蓋押圧金具（１０）により押付けられ空気流入側蓋シール用パッキン（１１）並びにフィルタ点検蓋シール用パッキン（１２）により汚染気流側と清浄気流側とを遮断する。
この様な構造を有する吹出口フィルタユニットをクリーンブース等の吹出口として利用することで天井面から滞留部を無くすことができるためブース内の清浄化時間短縮が可能となる。
クリーンブース天井面を幾つかの分割面に形成すれば設置された生産機械の移動等に応じて吹出口を容易に変更することが可能である。

発明の効果

（イ）清浄空気の吹出口周辺に汚染粒子が集まることがなく全方位に清浄空気が吹出されるので空間内に滞留する汚染粒子が低減でき、ブース内（室内）生産設備等から発生する汚染粒子は、開口部より速やかに排出される割合が増加するため清浄化時間が短縮できる
（ロ）フィルタの漏洩試験を行う際にも吹出口周辺で汚染粒子の滞留がないためにフィルタ吹出直後での漏洩試験も容易に行うことができる。
（ハ）吹出口を構成する板金材料を大幅に低減することが可能なため製作に掛かるエネルギーコストが大幅に低減できる
（ニ）製作に掛かる材料が低減できるので最終的に処分する際に発生する産業廃棄物が大幅に低減できる
（ホ）フィルタの脱着が容易にできるので交換作業時間が大幅に低減できる。
（ヘ）汚染粒子は、フィルタ内部の一次側に付着しているので交換作業時において作業者が曝露することがないので作業環境改善となる。

滞留防止機構を有する吹出口フィルタの説明図である。（ａ）は、平面図である。（ｂ）は、側面図である。（Ｃ）は、底面図である。本吹出口フィルタの装填状態の説明図である。

１水平方向用ろ過材
２空気流入側蓋
３垂直方向用ろ過材
４補強用ハイメッシュスクリーン
５空気流出側蓋
６清浄空気（水平方向）
７清浄空気（垂直方向）
８フィルタ点検蓋
９フィルタ点検蓋脱着用ハンドル
１０空気流入側蓋押圧金具
１１空気流入側蓋シール用パッキン
１２フィルタ点検蓋シール用パッキン
１３クリーンブース筐体

Claims

水平全周方向と垂直方向にも清浄空気が吹出すようプリーツ状に折り込まれたろ過材（１）を空気流入側の蓋（２）と滞留防止気流を効果的に吹出させるためのろ過材（３）と補強用のバックアップ材であるハイメッシュスクリーン（４）と空気流出側の蓋（５）とで一体化したフィルタ吹出口。