JP2010152049A - Method of manufacturing display - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表示装置の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a display device.
液滴吐出法を用いた成膜技術においては、ノズル間で僅かながらも液状体の吐出特性(吐出量)の差(バラツキ)が存在するため、これに起因して走査方向と直交する方向に液状体の配置量(塗布量)にバラツキ(不均一)が生じることがある。そして、液状体の配置量にバラツキをもった状態で走査した場合には、バラツキが線状となるため、この種の液滴吐出法を用いて基板に液状体を塗布してカラーフィルタ等の表示デバイスを製造した際には、筋状の濃淡むらを発生させることがある。
このような筋状の濃淡むらは視認されやすく、カラーフィルタを介して表示される画像の画質を低下させる原因となる。
In the film forming technique using the droplet discharge method, there is a slight difference (variation) in the discharge characteristic (discharge amount) of the liquid material between the nozzles, and this causes a difference in the direction perpendicular to the scanning direction. Variation (non-uniformity) may occur in the amount (application amount) of the liquid material. Then, when scanning is performed in a state where the amount of the liquid material is varied, the variation becomes linear. Therefore, the liquid material is applied to the substrate by using this type of droplet discharge method, and a color filter or the like is applied. When a display device is manufactured, streaky shading unevenness may occur.
Such streaky shading is easily visible and causes a reduction in the image quality of the image displayed through the color filter.
そこで、特許文献1には、複数のノズルをノズルの数よりも少ない複数のグループに分け、ノズルから吐出される機能性液体の吐出量をグループ毎に制御する技術が開示されている。
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
グループ毎の吐出量制御のため、高精度の吐出量制御が困難であり、表示装置の製造に用いる場合には、さらなる高画質化には対応が困難であるという問題があった。
However, the following problems exist in the conventional technology as described above.
Due to the discharge amount control for each group, it is difficult to control the discharge amount with high accuracy, and when used for manufacturing a display device, there is a problem that it is difficult to cope with higher image quality.
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、液状体の配置むらを目立たなくして表示品質の低下を抑制できる表示装置の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a display device that can suppress the deterioration of display quality by making the arrangement unevenness of the liquid material inconspicuous.
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の表示装置の製造方法は、複数の凹部が配列された基板を有し、前記凹部に機能性液体が塗布されて画素部が形成される表示装置の製造方法であって、複数のノズルを有する吐出ヘッドを用い、前記ノズルから前記機能性液体の液滴を前記凹部に吐出する第1吐出工程と、前記複数のノズル毎の吐出特性に基づく吐出量で、前記複数の凹部のうち少なくとも一つに前記機能性液体の液滴を吐出する第2吐出工程とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明の表示装置の製造方法では、第1吐出工程後にノズル間の吐出特性の差に起因して複数の画素部間において機能性液体の吐出量(塗布量)にばらつきが生じていても、第2吐出工程で塗布量の差を補正する吐出量で機能性液体の液滴を吐出することにより、各画素部における機能性液体の塗布量を均一化することが可能になり、筋状の濃淡むらを発生させることを抑制して表示品質を向上させることができる。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
A method for manufacturing a display device according to the present invention is a method for manufacturing a display device having a substrate on which a plurality of recesses are arranged, wherein a functional liquid is applied to the recesses to form a pixel portion, and a plurality of nozzles A discharge amount based on a discharge characteristic for each of the plurality of nozzles, and at least one of the plurality of recesses. And a second discharge step of discharging the functional liquid droplets.
Therefore, in the method for manufacturing a display device of the present invention, the discharge amount (application amount) of the functional liquid varies among the plurality of pixel portions due to the difference in discharge characteristics between the nozzles after the first discharge step. However, by discharging the functional liquid droplets at a discharge amount that corrects the difference in the application amount in the second discharge step, it becomes possible to make the application amount of the functional liquid uniform in each pixel portion. The display quality can be improved by suppressing the occurrence of uneven shading.
前記第2吐出工程では、前記画素部のそれぞれで前記第1吐出工程で当該画素部に前記液滴を吐出した前記ノズルから、当該ノズルの吐出特性に基づく吐出量で前記液滴を吐出する手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、吐出ヘッドと基板とを非相対移動方向(非走査方向)に移動させることなく第2吐出工程で画素部にノズルから機能性液体の液滴を吐出することが可能なり、製造効率を向上させることができる。
In the second ejection step, each of the pixel units discharges the droplets from the nozzles that ejected the droplets to the pixel unit in the first ejection step with an ejection amount based on the ejection characteristics of the nozzles. Can be suitably employed.
Accordingly, in the present invention, it is possible to discharge functional liquid droplets from the nozzles to the pixel portion in the second discharge step without moving the discharge head and the substrate in the non-relative movement direction (non-scanning direction). , Manufacturing efficiency can be improved.
また、前記第2吐出工程では、前記第1吐出工程で前記画素部に前記液滴を吐出した前記ノズルの吐出特性と、全ての前記ノズルの吐出特性とを照らし合わせて、当該画素部への吐出に用いるノズルを選択する手順も好適に採用できる。
これにより、本発明では、第2吐出工程で液滴を吐出すべき量に対応した最適なノズルを選択することが可能になり、画素部への塗布量をより高精度に制御することができる。
In the second discharge step, the discharge characteristics of the nozzle that discharges the droplets to the pixel portion in the first discharge step and the discharge characteristics of all the nozzles are collated, A procedure for selecting a nozzle to be used for ejection can also be suitably employed.
Accordingly, in the present invention, it is possible to select an optimum nozzle corresponding to the amount of liquid droplets to be ejected in the second ejection step, and the application amount to the pixel portion can be controlled with higher accuracy. .
上記構成では、前記第1吐出工程で前記画素部に前記液滴を吐出した前記ノズルに対して、前記吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向に位置するノズルを選択して第2吐出工程で用いる手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、吐出ヘッドと基板とを非相対移動方向(非走査方向)に移動させることなく第2吐出工程で画素部にノズルから機能性液体の液滴を吐出することが可能なり、製造効率を向上させることができる。
In the above configuration, with respect to the nozzle that has ejected the droplets to the pixel portion in the first ejection step, a nozzle that is positioned in the relative movement direction of the ejection head and the substrate is selected, and in the second ejection step. The procedure used can be suitably employed.
Accordingly, in the present invention, it is possible to discharge functional liquid droplets from the nozzles to the pixel portion in the second discharge step without moving the discharge head and the substrate in the non-relative movement direction (non-scanning direction). , Manufacturing efficiency can be improved.
また、本発明では、前記吐出ヘッドに通電量に応じた量で前記ノズルから前記液滴を吐出させる圧電素子を設け、前記第2吐出工程での前記圧電素子への通電量は、前記第1吐出工程での前記圧電素子への通電量よりも小さい構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、第2吐出工程では、画素部間における機能性液体の量の差のみを吐出して高精度な塗布量調整を行うことができる。
In the present invention, the discharge head is provided with a piezoelectric element that discharges the droplet from the nozzle in an amount corresponding to the amount of current supplied, and the amount of current supplied to the piezoelectric element in the second discharge step is the first amount. A configuration smaller than the energization amount to the piezoelectric element in the discharge process can be suitably employed.
As a result, in the present invention, in the second ejection step, only the difference in the amount of the functional liquid between the pixel portions can be ejected to perform highly accurate application amount adjustment.
以下、本発明の液滴吐出装置とそのメンテナンス方法の実施の形態を、図1ないし図13を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
Hereinafter, embodiments of a droplet discharge device and a maintenance method thereof according to the present invention will be described with reference to FIGS.
In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.
まず、液滴吐出装置について説明する。
図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、床上に設置した大型の共通架台21と、共通架台21上の全域に広く載置された描画装置22と、描画装置22に添設されたメンテナンス手段23とを備え、メンテナンス手段23により機能液滴吐出ヘッド72(吐出ヘッド;図4乃至図6参照)の機能維持・回復を行うと共に、描画装置22によりワークW上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。さらに、この液滴吐出装置1には、上位コンピュータ3に接続され液滴吐出装置1の各手段を制御するコントローラ24(制御部132、図8参照)等が組み込まれている。
First, the droplet discharge device will be described.
As shown in FIGS. 1 to 3, the
また、液滴吐出装置1に導入されるワークW(図1参照)は、例えば石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板である。
Moreover, the workpiece | work W (refer FIG. 1) introduce | transduced into the
まず、液滴吐出装置1における描画装置22およびこれによる描画処理について説明する。描画装置22は、複数(例えば12個)の機能液滴吐出ヘッド72とこれを搭載したキャリッジ73とから成る複数(例えば7個)のキャリッジユニット31と、共通架台21上に設置され、ワークWを載置するセットテーブル51を有し、ワークWをX軸方向に移動させるX軸テーブル32と、X軸テーブル32を跨ぐようにして配設され、7個のキャリッジユニット31を個々にY軸方向に移動させるY軸テーブル33と、7個のキャリッジユニット31に搭載された機能液滴吐出ヘッド72に機能液をそれぞれ供給する7個の機能液供給ユニット101から成る機能液供給手段34と、ワークWやキャリッジユニット31等を画像認識する画像認識手段35(図8参照)とを備えている。
First, the
そして、X軸テーブル32によるワークWの移動軌跡と、Y軸テーブル33によるキャリッジユニット31の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア41となっており、また、Y軸テーブル33によるキャリッジユニット31の移動軌跡上のX軸テーブル32から外側に外れた領域が、メンテナンスエリア(描画待機エリア)42となっており、このメンテナンスエリア42に上記のメンテナンス手段23が設置されている。一方、X軸テーブル32の手前側の領域は、液滴吐出装置1に対するワークWの搬出入を行うワーク搬出入エリア43となっている。
A region where the movement trajectory of the workpiece W by the X-axis table 32 and the movement trajectory of the
X軸テーブル32は、導入されたワークWをセットするセットテーブル51と、セットテーブル51をX軸方向にスライド自在に支持するX軸エアースライダ52と、X軸方向に延在し、セットテーブル51を介してワークWをX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモータ53,53と、X軸リニアモータ53に並設され、X軸エアースライダ52の移動を案内する一対のX軸ガイドレール54,54と、セットテーブル51の位置を把握するためのX軸リニアスケール(図示省略)とを備えている。そして、一対のX軸リニアモータ53,53を駆動すると、一対のX軸ガイドレール54,54をガイドにしながら、X軸エアースライダ52をX軸方向に移動し、セットテーブル51にセットされたワークWがX軸方向に移動する。
The X-axis table 32 sets the introduced work W, an
セットテーブル51は、ワークWを直接吸着セットする吸着テーブル56と、吸着テーブル56の下部に接続された回転部58、および回転部58の下部に接続されX軸エアースライダ52上に配設された固定部59で構成され、吸着テーブル56を介してワークWのθ位置を微調整(θ補正)するワークθ軸テーブル57とを有している。
The set table 51 is disposed on the
吸着テーブル56は、平面視略正方形に形成され、その一辺の長さは、最大サイズのワークWの長辺の長さに合わせて設定されており、ワークWを縦置き(ワークWの長辺をX軸方向と平行にする)および横置き(ワークWの長辺をY軸方向と平行にする)のいずれか任意の向きでセット可能になっている。また、いずれのサイズのワークWも、センター合わせでセットされる。 The suction table 56 is formed in a substantially square shape in plan view, and the length of one side thereof is set according to the length of the long side of the workpiece W having the maximum size, and the workpiece W is placed vertically (the long side of the workpiece W). Can be set in any direction, either in parallel with the X-axis direction) or horizontally (with the long side of the workpiece W parallel to the Y-axis direction). In addition, the workpieces W of any size are set center-aligned.
ワークθ軸テーブル57の固定部59上には、吸着テーブル56の描画エリア41側(図3の右側)に隣接して、メンテナンス手段23の定期フラッシングボックス116が設置されている。定期フラッシングボックス116は、機能液滴吐出ヘッド72による液滴吐出動作(描画動作)が行われない待機状態のときに、セットテーブル51の移動により機能液滴吐出ヘッド72と対向する位置に配置される。
On the
一方、Y軸テーブル33は、Y軸方向に延在する前後一対の支持スタンド66,66上に支持され、描画エリア41およびメンテナンスエリア42間を架け渡すと共に、7個のキャリッジユニット31を、描画エリア41とメンテナンスエリア42との間で個々に移動させるものである。Y軸テーブル33は、7個のキャリッジユニット31をそれぞれ垂設する7個のブリッジプレート61と、7個のブリッジプレート61がY軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する7組のY軸スライドテーブル62と、Y軸方向に延在し、各組のY軸スライドテーブル62を介して各ブリッジプレート61をY軸方向に移動させる前後一対のY軸リニアモータ63,63と、Y軸方向に延在し、7個のブリッジプレート61の移動を案内する前後各2本(計4本)のY軸ガイドレール64と、各キャリッジユニット31の移動位置を検出するY軸リニアスケール(図示省略)とを備えている。
On the other hand, the Y-axis table 33 is supported on a pair of front and rear support stands 66, 66 extending in the Y-axis direction, spans between the
そして、一対のY軸リニアモータ63,63を駆動すると、7組のY軸スライドテーブル62をそれぞれ独立して移動させ、7個のキャリッジユニット31を個別にY軸方向へ移動させることができる。これによれば、7個のキャリッジユニット31に対する個々の移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。もちろん、7組のY軸スライドテーブル62を同時にY軸方向に移動させることにより、7個のキャリッジユニット31を一体としてY軸方向に移動させることも可能である。
なお、本実施形態では、単一のY軸テーブル33に7個のキャリッジユニット31を並べて搭載したが、複数のY軸テーブル33を設け、7個のキャリッジユニット31をこれらに分割して搭載してもよい。
When the pair of Y-axis
In this embodiment, seven
さらに、各組のY軸スライドテーブル62に支持されたブリッジプレート61上には、対応する各キャリッジユニット31に搭載された12個の機能液滴吐出ヘッド72を駆動するヘッド用電装ユニット97が設けられており、7個のヘッド用電装ユニット97は、相互に干渉することがないよう(ノイズ防止)、千鳥状に配置されている。また、前後一対の支持スタンド66,66には、それぞれ前後側面にブラケット67が外向きに固定されており、各ブラケット67上にY軸収容ボックス68が支持されている。2個のY軸収容ボックス68には、7個のヘッド用電装ユニット97の千鳥配置に対応して、7個のY軸ケーブル担持体69(ケーブルベア:登録商標)が、4個と3個に二分されて収容されており、各Y軸ケーブル担持体69は、ヘッド用電装ユニット97に接続するフレキシブルフラットケーブルを各キャリッジユニット31の移動に追従可能に構成されている。
また、7個の機能液供給ユニット101のタンクユニット(図示省略)は、各ヘッド用電装ユニット66に対峙するようにして、千鳥状に配置されている。
Furthermore, on the
Further, the tank units (not shown) of the seven functional
図1および図4に示すように、7個のキャリッジユニット31は、Y軸テーブル33の7個のブリッジプレート61によりそれぞれ垂設されてY軸方向に並んでおり、各キャリッジユニット31は、12個の機能液滴吐出ヘッド72から成るヘッドユニット(ヘッド群)71と、ヘッドユニット71および機能液供給ユニット101のバルブユニット104(後述する)を搭載するキャリッジ73とから構成されている。なお、7個のキャリッジユニット31を、描画エリア41側からメンテナンスエリア42側に向けて(図4の左側から右側に向けて)順に第1キャリッジユニット31a、第2キャリッジユニット31b、・・・、第7キャリッジユニット31gとする。
As shown in FIGS. 1 and 4, the seven
図3および図4に示すように、各キャリッジ73は、ヘッドユニット71およびバルブユニット104を位置決め固定する平面視略平行四辺形の支持プレート76と、支持プレート76を保持するキャリッジ本体77と、キャリッジ本体77を吊設すると共に、キャリッジ本体77の上部に連結され、キャリッジ本体77を介してヘッドユニット71のθ位置を微調整(θ軸補正)するヘッドθ軸テーブル78と、ヘッドθ軸テーブル78の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル78およびキャリッジ本体77を介してヘッドユニット71のZ位置を微調整(Z軸補正)するヘッドZ軸テーブル79とを有している。なお、図示しないが、各支持プレート76には、画像認識を前提として、各キャリッジユニット31(ヘッドユニット71)をX軸、Y軸およびθ軸方向に位置決め(位置認識)するための基準となる一対の基準ピンが設けられている。
As shown in FIGS. 3 and 4, each
支持プレート76は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されており、12個の機能液滴吐出ヘッド72を位置決めすると共に、ヘッド保持部材(図示省略)により各機能液滴吐出ヘッド72を裏面側から固定するための12個の装着開口(図示省略)が形成されている。そして、支持プレート76は、キャリッジ本体77に着脱自在に支持され、ヘッドユニット71は、バルブユニット104と共に支持プレート76を介してキャリッジ73に搭載される。
The
図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド72は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針82を有する機能液導入部81と、機能液導入部81に連なる2連のヘッド基板83と、機能液導入部81の下方(同図では上方)に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体84とを備えている。接続針82は、後述する圧力調整弁105(図4参照)を介して機能液タンク(図示省略)に接続され、機能液滴吐出ヘッド72のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体84は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ91と、2本のノズル列94,94を相互に平行に形成したノズル面93を有するノズルプレート92とを有している。
As shown in FIG. 5, the functional liquid
各ノズル列94の長さは、例えば1インチ(略25.4mm)であって、各ノズル列94は180個のノズル95が等ピッチ(略140μm)で並べられて構成されている。
また、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル95からの吐出量が中央部に位置するノズル95からの吐出量に比べて多くなってしまうため、両端部の各10個のノズル95を不吐出ノズルとし、中央部の160個のノズル95を吐出ノズルとして、吐出ノズルのみから機能液を吐出し、不吐出ノズルからは機能液を吐出しないようにしている。
Each
Further, due to the structure of the flow path in the head, the discharge amount from the
次に、機能液滴吐出ヘッド72におけるノズルプレート92及びキャビティ91について説明する。
図6(a)は機能液滴吐出ヘッド72の構造説明図、図6(b)は正面断面図である。なお、図6においては、図5に対して機能液滴吐出ヘッド72が上下逆に図示されている。
Next, the
FIG. 6A is a structural explanatory view of the functional liquid
機能液滴吐出ヘッド72は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、複数列に配列された複数のノズル95を有している。この機能液滴吐出ヘッド72の構造の一例を説明すると、機能液滴吐出ヘッド72は、図6(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート92と振動板123とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)124を介して接合したものである。ノズルプレート92と流路形成部としての振動板123との間には、仕切部材124によって複数の空間125と液溜部126とが形成されている。各空間125と液溜部126の内部はインク(液状体)で満たされており、各空間125と液溜部126とは供給口127を介して連通した(接続された)ものとなっている。すなわち、空間125及び供給口127は、液溜部126に満たされたインクをノズル95に導くための流路128を形成している。
また、ノズルプレート92には、空間125からインクを噴射するためのノズル(ノズル開口)95が形成されている。一方、振動板123には、液溜部126にインクを供給するための孔129が形成されている。
The functional liquid
The
また、振動板123の空間125に対向する面と反対側の面上には、図6(b)に示すように、圧電素子(ピエゾ素子)120が接合されている。この圧電素子120は、圧電材料を一対の電極130で挟持したものであり、例えば図6(c)に示すように印加電圧Vhを一対の電極130に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものであり、ノズル95毎に設けられている。そして、このような構成のもとに圧電素子120が接合されている振動板123は、圧電素子120と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間125の容積が増大するようになっている。したがって、空間125内に増大した容積分に相当するインクが、液溜部126から供給口127を介して流入する。また、このような状態から圧電素子120への通電を解除すると、圧電素子120と振動板123はともに元の形状に戻る。したがって、空間125も元の容積に戻ることから、空間125内部のインクの圧力が上昇し、ノズル95から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
Also, a piezoelectric element (piezo element) 120 is bonded to the surface of the
すなわち、上述したヘッド基板83には、2連のコネクタ96,96が設けられており、各コネクタ96は、フレキシブルフラットケーブルを介して上記のヘッド用電装ユニット97(ヘッドドライバ141、図8参照)に接続されている。そして、コントローラ24からヘッド用電装ユニット97を介してキャビティ91(電極130)に駆動波形が印加すると、上記振動板123の撓曲によるキャビティ91のポンプ作用により、各ノズル95から機能液滴が吐出される。したがって、キャビティ91に印加する駆動波形の大きさ(印加電圧値Vhの大きさ)や周期を制御することで、液滴吐出量や吐出タイミングがノズル95毎に独立して制御される。
That is, the
本実施形態では、ワークWに対し、7個のキャリッジユニット31のうち少なくとも1つのキャリッジユニット31から成る稼動ユニット群36をX軸方向に相対的に移動させながら、描画エリア41においてその機能液滴吐出ヘッド72からワークW上に機能液を吐出して描画処理を行う構成となっている。
In the present embodiment, the functional liquid droplets in the
なお、機能液滴吐出ヘッド72の液滴吐出方式としては、前記の圧電素子120を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
The droplet discharge method of the functional
機能液供給手段34の各機能液供給ユニット101は、機能液を貯留する12個の機能液タンクから成るタンクユニットと、機能液タンクおよび機能液滴吐出ヘッド72間の水頭圧を調整する12個の圧力調整弁105から成るバルブユニット104と、12個の機能液タンクと12個の圧力調整弁105とをそれぞれ接続する12本のタンク側給液チューブ(図示省略)と、12個の圧力調整弁105および12個の機能液滴吐出ヘッド72(の各2連の接続針82)をそれぞれ分岐継手(図示省略)を介して接続する24本のヘッド側給液チューブ(図示省略)とを有している。
Each of the functional
画像認識手段35は、ワーク搬出入エリア43の前後両側に臨むように配設され、ワークWの両長辺部分にそれぞれ形成された2つのワークアライメントマーク(図示省略)をそれぞれ画像認識する2台のワーク認識カメラ106(図8参照)と、X軸テーブル32のX軸エアースライダ52に連結され、各キャリッジ73(支持プレート76)の2つの基準ピンを画像認識するヘッド認識カメラ107(図8参照)と、上記のY軸テーブル33に添設されたカメラ移動機構(図示省略)によりY軸方向に移動可能にそれぞれ搭載され、ワークW等に吐出された機能液滴(ドット)を上方から撮像して画像認識する2台のドット認識カメラ108(図8参照)とを有している。これらの各種カメラの画像認識結果に基づいて、上述したワークWやヘッドユニット71の位置補正が行われる。
The two image recognition means 35 are disposed so as to face both the front and rear sides of the workpiece carry-in / out
ここで、図1ないし図3を参照して、描画装置22によるワークWへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、上記のワーク搬出入装置2により吸着テーブル56にワークWがセットされ、そのワークWの位置補正が、ワークθ軸テーブル57によるθ軸方向の位置補正と、ワークWのX軸方向およびY軸方向の位置データ補正とにより行われる。相前後して、描画エリア41に移動する稼動ユニット群36と、メンテナンスエリア42に移動する描画待機ユニット群37との仕分けが行われる(詳細は後述する)。また、描画エリア41に移動した稼動ユニット群36の各ヘッドユニット71の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル78によるθ軸方向の位置補正およびY軸テーブル33によるY軸方向の位置補正と、ヘッドユニット71のX軸方向の位置データ補正とにより行われる。
Here, with reference to FIG. 1 thru | or FIG. 3, the discharge operation | movement to the workpiece | work W by the
ワークWやヘッドユニット71の位置補正が行われた後、描画装置22は、コントローラ24(制御部132)による制御を受けながら、ワークWをX軸テーブル32によりX軸方向に往動させると共に、これに同期して稼動ユニット群36の機能液滴吐出ヘッド72を選択的に駆動させて、ワークWに対する機能液の吐出が行われる。続いて、ワークWを復動させながら、再度ワークWに対する機能液の吐出が行われる。このようにワークWのX軸方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド72の駆動とを複数回繰り返すことで、ワークWに対する描画が行われる。すなわち、描画エリア41に臨むワークWに対し、稼動ユニット群36をX軸方向に相対的に移動させながら、稼動ユニット群36の機能液滴吐出ヘッド72からワークW上に機能液を吐出して描画処理が行われる。
After the position correction of the workpiece W and the
なお、この描画処理において、ワークWの往動時のみ機能液の吐出が行われる構成としてもよい。また、ワークWを固定とし、稼動ユニット群36をX軸方向に移動させる構成であってもよい。さらに、本実施形態では、上述したように、ワークWの描画対象幅と稼動ユニット群36の部分描画ライン群の長さとが対応しているが、ワークWの描画対象幅が稼動ユニット群36の部分描画ライン群の長さよりも長い構成であってもよく、この場合には、ワークWに対し稼動ユニット群36を往復動させながら機能液滴吐出ヘッド72を駆動させて吐出走査(主走査)を行った後、Y軸テーブル33により稼動ユニット群36を部分描画ライン群の長さ分Y軸方向に移動させ(副走査)、再度ワークWに対する主走査が行われる。そして、この主走査および副走査を数回繰り返してワークWの端から端まで液滴吐出が行われる。
In the drawing process, the functional liquid may be discharged only when the workpiece W moves forward. Alternatively, the work W may be fixed and the operating unit group 36 may be moved in the X-axis direction. Furthermore, in the present embodiment, as described above, the drawing target width of the work W corresponds to the length of the partial drawing line group of the operating unit group 36, but the drawing target width of the work W corresponds to the operating unit group 36. The length may be longer than the length of the partial drawing line group. In this case, the functional liquid
次に、図2および図7を参照して、液滴吐出装置1におけるメンテナンス手段23およびこれによる機能液滴吐出ヘッド72の機能維持・回復処理について説明する。メンテナンス手段23は、機能液滴吐出ヘッド72を、吐出機能を維持した状態で保管すると共に、吐出機能を維持・回復するものである。メンテナンス手段23は、機能液滴吐出ヘッド72を吸引して、機能液滴吐出ヘッド72から機能液を強制的に排出させる吸引ユニット111と、機能液が付着して汚れた機能液滴吐出ヘッド72のノズル面93を払拭するワイピングユニット113と、吸引ユニット111の7個の分割吸引ユニット112(後述する)およびワイピングユニット113をそれぞれ個別に昇降可能に支持する8個のユニット昇降機構115から構成されるユニット昇降手段114とを有しており、これらは、アングル架台118上に支持されてメンテナンスエリア42に配設されている。さらに、メンテナンス手段23は、上記のワークθ軸テーブル57上に配設された定期フラッシングボックス116と、セットテーブル51の前後両側に配設された一対の吐出前フラッシングボックス(図示省略)とを有している。
Next, with reference to FIG. 2 and FIG. 7, the maintenance means 23 in the
吸引ユニット111は、7個のキャリッジユニット31に対応して、Y軸方向に配列された7個の分割吸引ユニット112を有している。各分割吸引ユニット112は、キャリッジユニット31に対して下側から臨み、12個の機能液滴吐出ヘッド72のノズル面93にそれぞれ気密に封止させる12個のキャップ121と、12個のキャップ121を昇降自在に支持するキャップ支持部材122と、封止させたキャップ121を介して機能液滴吐出ヘッド72に吸引力を作用させるエゼクタ(図示省略)とを備えている。
The
12個のキャップ121は、各キャリッジ73に搭載された12個の機能液滴吐出ヘッド72の並びに対応させて、キャップ支持部材122に配設したものである。そのため、吸引ユニット111全体では、7個のキャリッジユニット31の全機能液滴吐出ヘッド72の配置パターンに倣って、12×7個のキャップ121が配置されており、全機能液滴吐出ヘッド72にそれぞれ対応するキャップ121を一度に封止させることが可能である。さらに、キャップ121をノズル面93に封止させた状態でエゼクタを駆動することにより、ノズル95から機能液を吸引することで、機能液滴吐出ヘッド72内で増粘した機能液を除去することができる。
The twelve
したがって、吸引ユニット111は、各キャップ121により機能液滴吐出ヘッド72を気密に封止することで、複雑な機構を用いることなく、機能液滴吐出ヘッド72のノズル95の機能液が乾燥することを防止して、機能液滴吐出ヘッド72を機能維持状態に保管すると共に、各キャップ121により気密状態として機能液滴吐出ヘッド72のノズル95から吸引することで、増粘した機能液を排出することができる。
Therefore, the
ワイピングユニット113は、メンテナンスエリア42の描画エリア41側、すなわち描画エリア41と吸引ユニット111との間に配置されており、機能液滴吐出ヘッド72の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面93を、洗浄液を含浸させたワイピングシート123を用いて拭き取るものである。このような配置により、ワイピングユニット113は、吸引ユニット111による吸引を終えて、描画エリア41へ個々に移動するキャリッジユニット31に順次臨むことができ、その機能液滴吐出ヘッド72にワイピング処理を行うことができるようになっている。そして、上記の吸引処理と、吸引処理によりノズル面93に付着した機能液を拭き取るワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド72の吐出機能を回復させることができる。
The
図3に示すように、定期フラッシングボックス116は、ワークWに対する描画を一時的に停止するときに行うフラッシングを受けるためのものであり、上記のワークθ軸テーブル57上に設けられ、ワークWの交換のためにセットテーブル51がワーク搬出入エリア43に臨むとき、定期フラッシングボックス116が描画エリア41に臨み、機能液滴吐出ヘッド72からのフラッシングを受けるようになっている。
As shown in FIG. 3, the
図示しないが、一対の吐出前フラッシングボックスは、ワークWに機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングを受けるためのものであり、セットテーブル51をX軸方向に挟むように配設されている。これにより、ワークWの往復動に伴う機能液滴吐出ヘッド72の吐出駆動の直前に行われるフラッシングを受けることができる。
定期フラッシングボックス116および一対の吐出前フラッシングボックスは、それぞれ平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収させる吸収材(図示省略)が敷設されている。また、各フラッシングボックスの長辺(Y軸方向)は、上記の最大幅描画ラインLmの長さに対応して形成されているため、稼動ユニット群36が全キャリッジユニット31により構成されている場合にも、その機能液滴吐出ヘッド72からのフラッシングを受け得るようになっている。
Although not shown, the pair of pre-discharge flushing boxes is for receiving pre-discharge flushing performed immediately before discharging the functional liquid onto the workpiece W, and is disposed so as to sandwich the set table 51 in the X-axis direction. . Thereby, it is possible to receive the flushing performed immediately before the ejection driving of the functional liquid
The
次に、図8を参照して、液滴吐出装置1全体の制御系について簡単に説明する。液滴吐出装置1の制御系は、基本的に、上位コンピュータ3と、機能液滴吐出ヘッド72、X軸テーブル32、Y軸テーブル33、メンテナンス手段23等を駆動する各種ドライバを有する駆動部131と、駆動部131を含め液滴吐出装置1全体を統括制御する制御部(駆動制御装置)132(コントローラ24)とを備えている。
Next, with reference to FIG. 8, the control system of the entire
上位コンピュータ3は、コントローラ24に接続されたコンピュータ本体16に、キーボード17や、キーボード17による入力結果等を画像表示するディスプレイ18等が接続されて構成されている。
駆動部131は、機能液滴吐出ヘッド72を吐出駆動制御するヘッドドライバ141と、X軸テーブル32およびY軸テーブル33の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ142と、メンテナンス手段23の吸引ユニット111、ワイピングユニット113およびユニット昇降機構115を駆動制御するメンテナンス用ドライバ143とを備えている。
The
The
制御部132は、CPU151と、ROM152と、RAM153と、P−CON154とを備え、これらは互いにバス155を介して接続されている。ROM152は、CPU151で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
The
RAM153は、各種レジスタ群のほか、ワークWに機能液の吐出を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークWおよび機能液滴吐出ヘッド72の位置データを記憶する位置データ記憶部、オペレータによってキーボード17から入力された各種設定(後述する稼動ユニット群36と描画待機ユニット群37との設定等)を記憶する設定記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
The
P−CON154には、駆動部131の各種ドライバのほか、画像認識手段35の各種カメラが接続されており、CPU151の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、P−CON154は、上位コンピュータ3からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス155に取り込むと共に、CPU151と連動して、CPU151等からバス155に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部131に出力する。
In addition to various drivers of the
そして、CPU151は、ROM152内の制御プログラムに従って、P−CON154を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、RAM153内の各種データ等を処理した後、P−CON154を介して駆動部131等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置1全体を制御している。例えば、CPU151は、機能液滴吐出ヘッド72、X軸テーブル32およびY軸テーブル33を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件でワークWに描画を行う。
The
続いて、上記の液滴吐出装置1を用いて、表示装置であるカラーフィルターを製造する手順について説明する。
図9は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域151の説明図である。上記液滴吐出装置1を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域151をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域151は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフィルタ領域151においては、R(赤色)、G(緑色)、B(青色)のセル(画素部)6が複数配列されている。
Next, a procedure for manufacturing a color filter, which is a display device, using the
FIG. 9 is an explanatory diagram of the
各画素部6においては、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本実施形態では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
In each
図10は、複数のセル6に対してインク滴(機能性液体の液滴)を吐出するノズル95と、各ノズル95における吐出量との関係を示す図である。
なお、図10においては、機能液滴吐出ヘッド72が20個のノズルを有し、5つのセルに対してインク滴を吐出するものとする(ただし、ノズル番号4、8、12、16、20のノズルについては使用しない)。また、図10で示すノズル毎の吐出量は、番号20のノズルの吐出量を100とする相対値で示されている。
FIG. 10 is a diagram illustrating the relationship between the
In FIG. 10, the functional liquid
図11は、カラーフィルターの製造方法の説明図である。図11においては、図10で示したセルの中、セル2〜4についてのみ、符合C2〜C4として図示しており、以下では、セルC2〜C4についてのみ説明する。
FIG. 11 is an explanatory diagram of a color filter manufacturing method. In FIG. 11, only the
このようなカラーフィルター領域151を形成するには、まず、図11(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス152を形成する。このブラックマトリクス152を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス152の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント(凹部)153については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
In order to form such a
次に、上述した液滴吐出装置1における液滴吐出ヘッドから、図11(b)に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴154(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴154の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク滴の焼成を行い、図11(c)に示すようなインク受容層160とする。
Next, as shown in FIG. 11B, ink droplets 154 (liquid material) containing a resin composition serving as an ink receiving layer are ejected from the droplet ejection head in the
次に、第1吐出工程において、液滴吐出ヘッド72から、図11(d)に示すように、所定量のRのインク滴154R(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴154Rの量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。
Next, in the first ejection step, a predetermined amount of
このとき、図10で示したように、各ノズルからの吐出量は同一ではなく、ばらつきが生じているため、図11(d)に示すように、セルC2〜C4に塗布されたインク量には差が生じている。例えば、図10に示すように、番号5〜7のノズルを用いてインクが塗布されたセルC2はインク量が297となり、番号9〜11のノズルを用いてインクが塗布されたセルC3はインク量が304となり、番号13〜15のノズルを用いてインクが塗布されたセルC4はインク量が291となり、最大で約4%の差が生じる。
At this time, as shown in FIG. 10, since the discharge amount from each nozzle is not the same and varies, as shown in FIG. 11D, the amount of ink applied to the cells C2 to C4 is reached. There is a difference. For example, as shown in FIG. 10, a cell C2 to which ink is applied using nozzles of
そこで、第2吐出工程では、上記インク量の差を埋めるべく、各ノズルの吐出量(吐出特性)を参照して、吐出量を決定し、当該吐出量に応じて圧電素子120に対する印加電圧値Vhの補正係数を設定する。具体的には、セルC3におけるインク量は最大なので、第2吐出工程での吐出は行われず、セルC2に吐出する番号5〜7のノズルには補正係数0.024を設定し、セルC4に吐出する番号13〜15のノズルには補正係数0.045を設定する。
Therefore, in the second ejection step, the discharge amount is determined with reference to the discharge amount (discharge characteristic) of each nozzle to fill the difference in the ink amount, and the applied voltage value to the
そして、第2吐出工程では、第1吐出工程で用いた各ノズルに対して、上記の補正係数を乗じた印加電圧値でインク滴を再度吐出させる(この場合、図11におけるセルC2、C4に対して、図10ではセル1〜2、4〜5に対して吐出が行われる)。
これにより、図10及び図11(e)に示すように、セルC2〜C4におけるインク量の差が、最大でも0.04%となった。
In the second ejection step, the ink droplets are ejected again to the nozzles used in the first ejection step with the applied voltage value multiplied by the correction coefficient (in this case, the cells C2 and C4 in FIG. 11 are ejected). On the other hand, in FIG. 10, discharge is performed with respect to the cells 1-2, 4-5.
As a result, as shown in FIGS. 10 and 11 (e), the difference in the ink amount in the cells C2 to C4 was 0.04% at the maximum.
次いで、インクの仮焼成を行い、図11(f)に示すようなセルC2〜C4間で塗布量が略同一のR着色層134Rとする。以上の工程を、G着色層形成装置、B着色層形成装置においても繰り返し、G着色層、B着色層を順次形成する。R着色層、G着色層、B着色層を全て形成した後、これら着色層を一括して焼成する。
Next, the ink is temporarily baked to form an R
次いで、基板Sを平坦化し、かつ着色層134Rを保護するため、図11(g)に示すように各着色層やブラックマトリクス152を覆うオーバーコート膜(保護膜)156を形成する。このオーバーコート膜156の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層134Rの場合と同様に液滴吐出装置1を用いることもできる。
このようにして、カラーフィルターを製造することができる。
Next, in order to planarize the substrate S and protect the
In this way, a color filter can be manufactured.
以上説明したように、本実施形態では、第2吐出工程において、各ノズルの吐出特性に基づく吐出量で、第1吐出工程で吐出量が少なかったセルに、第1吐出工程よりも少量のインク滴を吐出するため、セル間のインク塗布量のばらつきを大幅に低減することが可能になる。そのため、本実施形態では、セルへの吐出量のばらつきに起因する筋状の濃淡むらの発生を目立たなくして、高品質のカラーフィルターを製造することが可能になる。
特に、本実施形態では、第1吐出工程及び第2吐出工程でセルに吐出した同一のノズルを用いているため、第2吐出工程で吐出するインク量を高精度に制御しやすくなるとともに、基板Sに対して吐出ヘッド72を非走査方向(非相対移動方向)に移動させる必要がなく、製造効率の向上にも寄与できる。
As described above, in the present embodiment, in the second ejection step, a smaller amount of ink than in the first ejection step is applied to the cells in which the ejection amount is based on the ejection characteristics of each nozzle and the ejection amount is smaller in the first ejection step. Since droplets are ejected, it is possible to greatly reduce the variation in the amount of ink applied between cells. Therefore, in the present embodiment, it is possible to manufacture a high-quality color filter without making the occurrence of streaky shading unevenness caused by the variation in the discharge amount to the cells inconspicuous.
In particular, in the present embodiment, since the same nozzles discharged to the cells in the first discharge step and the second discharge step are used, the amount of ink discharged in the second discharge step can be easily controlled with high accuracy, and the substrate It is not necessary to move the
[液晶装置]
次に、上記カラーフィルターを備えた液晶装置(電気光学装置)の一実施形態を示す。図12はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図12中の符号130は液晶装置である。この液晶装置130は透過型のもので、一対のガラス基板131、132の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層133が挟持されてなるものである。
[Liquid Crystal Device]
Next, an embodiment of a liquid crystal device (electro-optical device) including the color filter will be described. FIG. 12 is a side sectional view of a passive matrix liquid crystal device, and
一方のガラス基板131には、その内面に上記カラーフィルタ155が形成されている。カラーフィルタ155は、R、G、Bの各色からなる着色層134R、134G、134Bが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層134R(134G、134B)間には、ブラックマトリクス152が形成されている。そして、これらカラーフィルタ155およびブラックマトリクス152の上には、カラーフィルタ155やブラックマトリクス152によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)156が形成されている。オーバーコート膜156の上には複数の電極137がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜138が形成されている。
The
他方のガラス基板132には、その内面に、カラーフィルタ155側の電極137と直交するようにして、複数の電極139がストライプ状に形成されており、これら電極139上には、配向膜140が形成されている。なお、前記カラーフィルタ155の各着色層134R、134G、134Bは、それぞれ各ガラス基板132上の電極139、137の交差する位置に配置されている。また、電極137、139は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板132とカラーフィルタ155の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板131、132間にはこれら基板131、132間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ141が設けられている。さらに、これらガラス基板131、132間には液晶133を封入するためのシール材142が設けられている。
On the
本実施形態の液晶装置130では、上記液滴吐出装置1を用いて製造されるカラーフィルター155を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
In the
[電子機器]
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図13は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図13において、符号500は液晶テレビジョン本体を示し、符号501は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図13に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
[Electronics]
Next, a specific example of an electronic apparatus provided with display means including the liquid crystal device will be described.
FIG. 13 is a perspective view showing an example of a liquid crystal television. In FIG. 13,
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。 As described above, the preferred embodiments according to the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.
例えば、上記実施形態では、第1吐出工程と第2吐出工程とでは、セルに対するインク滴の吐出に用いるノズルを同一としたが、これに限定されるものではなく、第1吐出工程で使用したノズルの吐出特性と、全てのノズルの吐出特性とを照らし合わせて、他のノズルを用いてもよい。この場合、第2吐出工程で吐出すべきインク量に対応した最適なノズルを選択することが可能になり、セルへの塗布量をより高精度に制御することができる。
また、他のノズルを選択する場合でも、吐出ヘッド72と基板Sとの走査方向に位置するノズルを選択することが、吐出ヘッド72と基板Sとを非相対移動方向(非走査方向)に移動させる必要がなくなり、製造効率を向上させる点から好適である。
For example, in the above embodiment, the same nozzle is used for ejecting ink droplets to the cells in the first ejection step and the second ejection step, but the present invention is not limited to this and is used in the first ejection step. Other nozzles may be used in light of the discharge characteristics of the nozzles and the discharge characteristics of all the nozzles. In this case, it is possible to select an optimum nozzle corresponding to the amount of ink to be ejected in the second ejection step, and the amount of application to the cell can be controlled with higher accuracy.
Further, even when other nozzles are selected, selecting a nozzle positioned in the scanning direction of the
また、上記実施形態では、表示装置として液晶表示装置を例示したが、これに限定されるものではなく、他の表示装置、例えば有機ELパネル等、画素部に塗布する機能性液体の量が表示品質に影響を及ぼす表示装置に広く適用可能である。 In the above embodiment, the liquid crystal display device is exemplified as the display device. However, the present invention is not limited to this, and the amount of functional liquid applied to the pixel portion such as another display device such as an organic EL panel is displayed. Widely applicable to display devices that affect quality.
1…液滴吐出装置、 2…乾燥・焼成装置、 6…画素部(セル)、 72…機能液滴吐出ヘッド(吐出ヘッド)、 151…CPU(設定装置)、 153…フィルタエレメント(凹部)、 200…レーザ照射装置(第2乾燥装置)、 203…反射ミラー(走査装置)、 204…シャッタ(調整装置)、 CFM…カラーフィルタ製造装置、 LB…レーザ光(エネルギー光)、 P…画素部、 S…基板、 W…ワーク(基板)
DESCRIPTION OF
Claims (5)
複数のノズルを有する吐出ヘッドを用い、
前記ノズルから前記機能性液体の液滴を前記凹部に吐出する第1吐出工程と、
前記複数のノズル毎の吐出特性に基づく吐出量で、前記複数の凹部のうち少なくとも一つに前記機能性液体の液滴を吐出する第2吐出工程とを有することを特徴とする表示装置の製造方法。 A manufacturing method of a display device having a substrate on which a plurality of recesses are arranged, wherein a functional liquid is applied to the recesses to form a pixel portion,
Using a discharge head having a plurality of nozzles,
A first discharge step of discharging the functional liquid droplets from the nozzle into the recess;
And a second discharge step of discharging the functional liquid droplets into at least one of the plurality of recesses with a discharge amount based on discharge characteristics for each of the plurality of nozzles. Method.
前記第2吐出工程では、前記画素部のそれぞれで前記第1吐出工程で当該画素部に前記液滴を吐出した前記ノズルから、当該ノズルの吐出特性に基づく吐出量で前記液滴を吐出することを特徴とする表示装置の製造方法。 In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
In the second ejection step, each of the pixel portions ejects the droplets from the nozzles that ejected the droplets to the pixel portions in the first ejection step with an ejection amount based on the ejection characteristics of the nozzles. A manufacturing method of a display device characterized by the above.
前記第2吐出工程では、前記第1吐出工程で前記画素部に前記液滴を吐出した前記ノズルの吐出特性と、全ての前記ノズルの吐出特性とを照らし合わせて、当該画素部への吐出に用いるノズルを選択することを特徴とする表示装置の製造方法。 In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
In the second ejection step, the ejection characteristics of the nozzles that ejected the droplets to the pixel portion in the first ejection step are compared with the ejection characteristics of all the nozzles, and the ejection to the pixel portion is performed. A method of manufacturing a display device, wherein a nozzle to be used is selected.
前記第1吐出工程で前記画素部に前記液滴を吐出した前記ノズルに対して、前記吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向に位置するノズルを選択して第2吐出工程で用いることを特徴とする表示装置の製造方法。 In the manufacturing method of the display device according to claim 3,
A nozzle located in the relative movement direction of the ejection head and the substrate is selected and used in the second ejection step with respect to the nozzle that ejected the droplet to the pixel portion in the first ejection step. A method for manufacturing a display device.
前記吐出ヘッドに通電量に応じた量で前記ノズルから前記液滴を吐出させる圧電素子を設け、
前記第2吐出工程での前記圧電素子への通電量は、前記第1吐出工程での前記圧電素子への通電量よりも小さいことを特徴とする表示装置の製造方法。 In the manufacturing method of the display device according to any one of claims 1 to 4,
A piezoelectric element that discharges the liquid droplets from the nozzles in an amount corresponding to the amount of current applied to the discharge head is provided.
A method of manufacturing a display device, wherein an energization amount to the piezoelectric element in the second ejection step is smaller than an energization amount to the piezoelectric element in the first ejection step.
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