JP2010145565A - Method of stirring liquid-like object in liquid droplet delivery head, and liquid droplet delivery device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法及び液滴吐出装置に関するものである。 The present invention relates to a liquid material stirring method for a droplet discharge head and a droplet discharge device.
液滴吐出式プリンタやプロッタ等の記録装置に用いられる液滴吐出ヘッドでは、ノズル開口で水等のインク溶媒の蒸発が生じ、インクの粘度が必要以上に高くなる可能性がある。そして、インクの粘度が必要以上に高くなってしまうと、ノズル開口から吐出されたインク滴(液滴)の大きさ(重量)が小さくなる等の不具合が生じてしまう。
特に、色材に顔料を用いた非水溶性溶剤系インク、分散系インク、UV硬化インク等の沈降の可能性がある液状体を用いる場合には、ノズル開口が狭くなったり、場合によっては塞がってしまうことも考えられる。
In a droplet discharge head used in a recording apparatus such as a droplet discharge printer or a plotter, an ink solvent such as water evaporates at a nozzle opening, and the viscosity of the ink may be higher than necessary. If the viscosity of the ink becomes higher than necessary, problems such as a decrease in size (weight) of ink droplets (droplets) ejected from the nozzle openings may occur.
In particular, when using a liquid material that has the possibility of settling, such as a water-insoluble solvent-based ink, a dispersion ink, or a UV curable ink using a pigment as a coloring material, the nozzle opening is narrowed or blocked in some cases. It is also possible that
そこで、特許文献1及び特許文献2には、ノズル開口におけるメニスカスに、インクが吐出しない程度の微振動を付与することにより、ノズル開口におけるインクを撹拌してインクの粘度を維持する技術が開示されている。
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
上述したインクの撹拌は、インクが吐出しない範囲での圧力で行われるため、十分な撹拌がなされているとは言い難かった。
特に、上述した沈降の可能性がある液状体を用いる場合には、ノズル開口のみならず、ノズルへインクを導くためのインク流路においても沈降が生じる可能性があるが、上記の微振動ではノズル開口から離間した位置のインク流路におけるインクを撹拌することは極めて困難である。
However, the following problems exist in the conventional technology as described above.
Since the ink stirring described above is performed at a pressure within a range where ink is not discharged, it cannot be said that sufficient stirring is performed.
In particular, in the case of using the liquid material with the possibility of settling described above, settling may occur not only in the nozzle opening but also in the ink flow path for guiding ink to the nozzle. It is extremely difficult to stir the ink in the ink flow path at a position separated from the nozzle opening.
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、ヘッド内の液状体流路においても液状体を効果的に撹拌できる液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above points, and provides a liquid material agitating method and a liquid droplet ejecting apparatus for a liquid droplet ejecting head capable of effectively agitating a liquid material even in a liquid material channel in the head. The purpose is to provide.
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出装置は、圧電素子の駆動によりノズル開口から液状体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置であって、前記ノズル開口を開閉する開閉装置と、前記開閉装置により前記ノズル開口が閉塞された状態で前記圧電素子を駆動する駆動制御装置とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出装置では、ノズル開口が閉塞されており、圧電素子の駆動を大きくしてもノズル開口から液状体の液滴が吐出されることはない。そのため、本発明では、ノズル開口から液滴が吐出しない程度の微振動ではなく大きな力(振動)で圧電素子を駆動することが可能になる。そのため、圧電素子の駆動により加圧された液滴吐出ヘッド内の液状体は、ノズル開口が閉塞されていることから、従来の微振動で流動する量と比べて格段に大きな量でノズル開口から液状体供給側(ノズル開口に向かう側と逆方向)に向けて液状体の流路を逆流することになる。そして、圧電素子の駆動が停止した場合や、逆方向に駆動した場合は、液滴吐出ヘッド内の液状体は、流動方向を反転させてノズル開口に向かう方向に流動することになる。そのため、圧電素子の駆動を制御することにより、液状体は流路内を往復移動することになり、効率的な撹拌を実行することが可能になる。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
A droplet discharge device of the present invention is a droplet discharge device including a droplet discharge head that discharges a liquid droplet from a nozzle opening by driving a piezoelectric element, the opening / closing device opening and closing the nozzle opening, And a drive control device that drives the piezoelectric element in a state where the nozzle opening is closed by an opening / closing device.
Therefore, in the droplet discharge device of the present invention, the nozzle opening is closed, and even if the drive of the piezoelectric element is increased, liquid droplets are not discharged from the nozzle opening. For this reason, in the present invention, it is possible to drive the piezoelectric element with a large force (vibration) rather than a slight vibration that does not eject a droplet from the nozzle opening. For this reason, the liquid material in the liquid droplet ejection head pressurized by the driving of the piezoelectric element is blocked from the nozzle opening by a much larger amount than the conventional flow amount due to fine vibration because the nozzle opening is closed. The flow path of the liquid material flows backward toward the liquid material supply side (the direction opposite to the direction toward the nozzle opening). When the driving of the piezoelectric element is stopped or when the piezoelectric element is driven in the reverse direction, the liquid in the droplet discharge head flows in the direction toward the nozzle opening by reversing the flow direction. Therefore, by controlling the driving of the piezoelectric element, the liquid material moves back and forth in the flow path, and efficient stirring can be performed.
前記液滴吐出ヘッドとしては、前記液状体を前記ノズル開口に導く流路を形成する流路形成部を有する構成で、前記圧電素子の駆動により、前記流路形成部を変位させる構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、流路形成部の変位により流路に充填された液状体に圧力(正圧、または負圧)が加わるため、この圧力に応じた方向、量、速度で液状体を移動させて撹拌することができる。
The liquid droplet ejection head preferably has a flow path forming portion that forms a flow path that guides the liquid material to the nozzle opening, and a configuration that displaces the flow path forming portion by driving the piezoelectric element is also preferable. Can be adopted.
As a result, in the present invention, pressure (positive pressure or negative pressure) is applied to the liquid material filled in the flow path due to the displacement of the flow path forming portion, so that the liquid material is moved in the direction, amount, and speed according to this pressure. Can be moved and stirred.
前記圧電素子としては、複数の前記ノズル開口毎にそれぞれ設けられ、前記駆動制御装置としては、前記複数の圧電素子を同期して駆動する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数の流路の液状体を一度に撹拌することが可能になり、作業効率を向上させることができる。
The piezoelectric element may be provided for each of the plurality of nozzle openings, and the drive control device may preferably employ a configuration in which the plurality of piezoelectric elements are driven in synchronization.
Thereby, in this invention, it becomes possible to stir the liquid body of a some flow path at once, and can improve work efficiency.
前記液滴吐出ヘッドとしては、複数のノズル開口毎に設けられ前記液状体を前記ノズル開口に導く複数の流路と、前記複数の流路のそれぞれに接続され前記液状体を貯留する液溜部とを有する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数の流路で加圧された場合は、液状体が各流路から液溜部に向けて流動し、逆に複数の流路で減圧(加圧解除)された場合は、液状体が液溜部から各流路に向けて流動することになる。そのため、本発明では、圧電素子の駆動を制御することにより、液状体は各流路と液溜部との間を往復移動することになり、各流路と液溜部における液状体に対して効率的な撹拌を実行することが可能になる。
The droplet discharge head includes a plurality of flow paths that are provided for each of a plurality of nozzle openings and guide the liquid material to the nozzle openings, and a liquid reservoir that is connected to each of the plurality of flow paths and stores the liquid material. It is also possible to suitably employ a configuration having
Thus, in the present invention, when pressurized in a plurality of flow paths, the liquid material flows from each flow path toward the liquid reservoir, and conversely, the pressure is reduced (released from pressure) in the plurality of flow paths. In this case, the liquid material flows from the liquid reservoir toward each flow path. Therefore, in the present invention, by controlling the driving of the piezoelectric element, the liquid material reciprocates between each flow path and the liquid reservoir, and the liquid material in each flow path and the liquid reservoir is Efficient stirring can be performed.
また、本発明の液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法は、圧電素子の駆動によりノズル開口から液状体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法であって、前記ノズル開口を閉塞する工程と、前記ノズル開口を閉塞した状態で前記圧電素子を駆動する工程とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法では、ノズル開口が閉塞されており、圧電素子の駆動を大きくしてもノズル開口から液状体の液滴が吐出されることはない。そのため、本発明では、ノズル開口から液滴が吐出しない程度の微振動ではなく大きな力(振動)で圧電素子を駆動することが可能になる。そのため、圧電素子の駆動により加圧された液滴吐出ヘッド内の液状体は、ノズル開口が閉塞されていることから、従来の微振動で流動する量と比べて格段に大きな量でノズル開口から液状体供給側(ノズル開口に向かう側と逆方向)に向けて液状体の流路を逆流することになる。そして、圧電素子の駆動が停止した場合や、逆方向に駆動した場合は、液滴吐出ヘッド内の液状体は、流動方向を反転させてノズル開口に向かう方向に流動することになる。そのため、圧電素子の駆動を制御することにより、液状体は流路内を往復移動することになり、効率的な撹拌を実行することが可能になる。
The liquid material agitation method for a liquid droplet ejection head according to the present invention is a liquid material agitation method for a liquid droplet ejection head that ejects a liquid droplet from a nozzle opening by driving a piezoelectric element, and the nozzle opening is closed. And a step of driving the piezoelectric element in a state in which the nozzle opening is closed.
Therefore, in the liquid stirring method for a liquid droplet discharge head according to the present invention, the nozzle opening is closed, and liquid droplets are not discharged from the nozzle opening even when the drive of the piezoelectric element is increased. For this reason, in the present invention, it is possible to drive the piezoelectric element with a large force (vibration) rather than a slight vibration that does not eject a droplet from the nozzle opening. For this reason, the liquid material in the liquid droplet ejection head pressurized by the driving of the piezoelectric element is blocked from the nozzle opening by a much larger amount than the conventional flow amount due to fine vibration because the nozzle opening is closed. The flow path of the liquid material flows backward toward the liquid material supply side (the direction opposite to the direction toward the nozzle opening). When the driving of the piezoelectric element is stopped or when the piezoelectric element is driven in the reverse direction, the liquid in the droplet discharge head flows in the direction toward the nozzle opening by reversing the flow direction. Therefore, by controlling the driving of the piezoelectric element, the liquid material moves back and forth in the flow path, and efficient stirring can be performed.
また、本発明では、前記液状体を前記ノズル開口に導く流路を形成する流路形成部を有し、前記圧電素子の駆動により、前記流路形成部を変位させる構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、本発明では、流路形成部の変位により流路に充填された液状体に圧力(正圧、または負圧)が加わるため、この圧力に応じた方向、量、速度で液状体を移動させて撹拌することができる。
In the present invention, it is also possible to suitably employ a configuration that includes a flow path forming portion that forms a flow path that guides the liquid material to the nozzle opening and that displaces the flow path forming portion by driving the piezoelectric element.
Thus, in the present invention, in the present invention, pressure (positive pressure or negative pressure) is applied to the liquid filled in the flow path due to the displacement of the flow path forming portion, and therefore the direction, amount, and speed corresponding to this pressure are applied. The liquid can be moved and stirred.
また、本発明では、前記圧電素子を、複数の前記ノズル開口毎にそれぞれ設け、前記複数の圧電素子を同期して駆動する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数の流路の液状体を一度に撹拌することが可能になり、作業効率を向上させることができる。
In the present invention, a configuration in which the piezoelectric element is provided for each of the plurality of nozzle openings and the plurality of piezoelectric elements are driven in synchronization can be suitably employed.
Thereby, in this invention, it becomes possible to stir the liquid body of a some flow path at once, and can improve work efficiency.
前記液滴吐出ヘッドとしては、複数のノズル開口毎に設けられ前記液状体を前記ノズル開口に導く複数の流路と、前記複数の流路のそれぞれに接続され前記液状体を貯留する液溜部とを有する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、複数の流路で加圧された場合は、液状体が各流路から液溜部に向けて流動し、逆に複数の流路で減圧(加圧解除)された場合は、液状体が液溜部から各流路に向けて流動することになる。そのため、本発明では、圧電素子の駆動を制御することにより、液状体は各流路と液溜部との間を往復移動することになり、各流路と液溜部における液状体に対して効率的な撹拌を実行することが可能になる。
The droplet discharge head includes a plurality of flow paths that are provided for each of a plurality of nozzle openings and guide the liquid material to the nozzle openings, and a liquid reservoir that is connected to each of the plurality of flow paths and stores the liquid material. It is also possible to suitably employ a configuration having
Thus, in the present invention, when pressurized in a plurality of flow paths, the liquid material flows from each flow path toward the liquid reservoir, and conversely, the pressure is reduced (released from pressure) in the plurality of flow paths. In this case, the liquid material flows from the liquid reservoir toward each flow path. Therefore, in the present invention, by controlling the driving of the piezoelectric element, the liquid material reciprocates between each flow path and the liquid reservoir, and the liquid material in each flow path and the liquid reservoir is Efficient stirring can be performed.
以下、本発明の液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法及び液滴吐出装置の実施の形態を、図1ないし図13を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a liquid material agitating method for a droplet discharge head and a droplet discharge apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.
まず、液滴吐出装置について説明する。
図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、床上に設置した大型の共通架台21と、共通架台21上の全域に広く載置された描画装置22と、描画装置22に添設されたメンテナンス手段23とを備え、メンテナンス手段23により機能液滴吐出ヘッド72(液滴吐出ヘッド;図4乃至図6参照)の機能維持・回復を行うと共に、描画装置22によりワークW上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。さらに、この液滴吐出装置1には、上位コンピュータ3に接続され液滴吐出装置1の各手段を制御するコントローラ24(制御部132、図8参照)等が組み込まれている。
First, the droplet discharge device will be described.
As shown in FIGS. 1 to 3, the
また、液滴吐出装置1に導入されるワークW(図1参照)は、石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板である。
Moreover, the workpiece | work W (refer FIG. 1) introduce | transduced into the
まず、液滴吐出装置1における描画装置22およびこれによる描画処理について説明する。描画装置22は、複数(例えば12個)の機能液滴吐出ヘッド72とこれを搭載したキャリッジ73とから成る複数(例えば7個)のキャリッジユニット31と、共通架台21上に設置され、ワークWを載置するセットテーブル51を有し、ワークWをX軸方向に移動させるX軸テーブル32と、X軸テーブル32を跨ぐようにして配設され、7個のキャリッジユニット31を個々にY軸方向に移動させるY軸テーブル33と、7個のキャリッジユニット31に搭載された機能液滴吐出ヘッド72に機能液をそれぞれ供給する7個の機能液供給ユニット101から成る機能液供給手段34と、ワークWやキャリッジユニット31等を画像認識する画像認識手段35(図8参照)とを備えている。
First, the
そして、X軸テーブル32によるワークWの移動軌跡と、Y軸テーブル33によるキャリッジユニット31の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア41となっており、また、Y軸テーブル33によるキャリッジユニット31の移動軌跡上のX軸テーブル32から外側に外れた領域が、描画待機エリア42となっており、この描画待機エリア42に上記のメンテナンス手段23が設置されている。一方、X軸テーブル32の手前側の領域は、液滴吐出装置1に対するワークWの搬出入を行うワーク搬出入エリア43となっている。
A region where the movement trajectory of the workpiece W by the X-axis table 32 and the movement trajectory of the
X軸テーブル32は、導入されたワークWをセットするセットテーブル51と、セットテーブル51をX軸方向にスライド自在に支持するX軸エアースライダ52と、X軸方向に延在し、セットテーブル51を介してワークWをX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモータ53,53と、X軸リニアモータ53に並設され、X軸エアースライダ52の移動を案内する一対のX軸ガイドレール54,54と、セットテーブル51の位置を把握するためのX軸リニアスケール(図示省略)とを備えている。そして、一対のX軸リニアモータ53,53を駆動すると、一対のX軸ガイドレール54,54をガイドにしながら、X軸エアースライダ52をX軸方向に移動し、セットテーブル51にセットされたワークWがX軸方向に移動する。
The X-axis table 32 sets the introduced work W, an
セットテーブル51は、ワークWを直接吸着セットする吸着テーブル56と、吸着テーブル56の下部に接続された回転部58、および回転部58の下部に接続されX軸エアースライダ52上に配設された固定部59で構成され、吸着テーブル56を介してワークWのθ位置を微調整(θ補正)するワークθ軸テーブル57とを有している。
The set table 51 is disposed on the
吸着テーブル56は、平面視略正方形に形成され、その一辺の長さは、最大サイズのワークWの長辺の長さに合わせて設定されており、ワークWを縦置き(ワークWの長辺をX軸方向と平行にする)および横置き(ワークWの長辺をY軸方向と平行にする)のいずれか任意の向きでセット可能になっている。また、いずれのサイズのワークWも、センター合わせでセットされる。
なお、ワークθ軸テーブル57の固定部59上には、吸着テーブル56の描画エリア41側(図3の右側)に隣接して、メンテナンス手段23の定期フラッシングボックス116及びノズル面閉塞装置(開閉装置)117が設置されている。
The suction table 56 is formed in a substantially square shape in plan view, and the length of one side thereof is set according to the length of the long side of the workpiece W having the maximum size, and the workpiece W is placed vertically (the long side of the workpiece W). Can be set in any direction, either in parallel with the X-axis direction) or horizontally (with the long side of the workpiece W parallel to the Y-axis direction). In addition, the workpieces W of any size are set center-aligned.
Note that the
一方、Y軸テーブル33は、Y軸方向に延在する前後一対の支持スタンド66,66上に支持され、描画エリア41および描画待機エリア42間を架け渡すと共に、7個のキャリッジユニット31を、描画エリア41と描画待機エリア42との間で個々に移動させるものである。Y軸テーブル33は、7個のキャリッジユニット31をそれぞれ垂設する7個のブリッジプレート61と、7個のブリッジプレート61がY軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する7組のY軸スライドテーブル62と、Y軸方向に延在し、各組のY軸スライドテーブル62を介して各ブリッジプレート61をY軸方向に移動させる前後一対のY軸リニアモータ63,63と、Y軸方向に延在し、7個のブリッジプレート61の移動を案内する前後各2本(計4本)のY軸ガイドレール64と、各キャリッジユニット31の移動位置を検出するY軸リニアスケール(図示省略)とを備えている。
On the other hand, the Y-axis table 33 is supported on a pair of front and rear support stands 66, 66 extending in the Y-axis direction, spans between the drawing
そして、一対のY軸リニアモータ63,63を駆動すると、7組のY軸スライドテーブル62をそれぞれ独立して移動させ、7個のキャリッジユニット31を個別にY軸方向へ移動させることができる。これによれば、7個のキャリッジユニット31に対する個々の移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。もちろん、7組のY軸スライドテーブル62を同時にY軸方向に移動させることにより、7個のキャリッジユニット31を一体としてY軸方向に移動させることも可能である。
なお、本実施形態では、単一のY軸テーブル33に7個のキャリッジユニット31を並べて搭載したが、複数のY軸テーブル33を設け、7個のキャリッジユニット31をこれらに分割して搭載してもよい。
When the pair of Y-axis
In this embodiment, seven
さらに、各組のY軸スライドテーブル62に支持されたブリッジプレート61上には、対応する各キャリッジユニット31に搭載された12個の機能液滴吐出ヘッド72を駆動するヘッド用電装ユニット97が設けられており、7個のヘッド用電装ユニット97は、相互に干渉することがないよう(ノイズ防止)、千鳥状に配置されている。また、前後一対の支持スタンド66,66には、それぞれ前後側面にブラケット67が外向きに固定されており、各ブラケット67上にY軸収容ボックス68が支持されている。2個のY軸収容ボックス68には、7個のヘッド用電装ユニット97の千鳥配置に対応して、7個のY軸ケーブル担持体69(ケーブルベア:登録商標)が、4個と3個に二分されて収容されており、各Y軸ケーブル担持体69は、ヘッド用電装ユニット97に接続するフレキシブルフラットケーブルを各キャリッジユニット31の移動に追従可能に構成されている。
また、7個の機能液供給ユニット101のタンクユニット(図示省略)は、各ヘッド用電装ユニット66に対峙するようにして、千鳥状に配置されている。
Furthermore, on the
Further, the tank units (not shown) of the seven functional
図1および図4に示すように、7個のキャリッジユニット31は、Y軸テーブル33の7個のブリッジプレート61によりそれぞれ垂設されてY軸方向に並んでおり、各キャリッジユニット31は、12個の機能液滴吐出ヘッド72から成るヘッドユニット71と、ヘッドユニット71および機能液供給ユニット101のバルブユニット104(後述する)を搭載するキャリッジ73とから構成されている。なお、7個のキャリッジユニット31を、描画エリア41側から描画待機エリア42側に向けて(図4の左側から右側に向けて)順に第1キャリッジユニット31a、第2キャリッジユニット31b、・・・、第7キャリッジユニット31gとする。
As shown in FIGS. 1 and 4, the seven
図3および図4に示すように、各キャリッジ73は、ヘッドユニット71およびバルブユニット104を位置決め固定する平面視略平行四辺形の支持プレート76と、支持プレート76を保持するキャリッジ本体77と、キャリッジ本体77を吊設すると共に、キャリッジ本体77の上部に連結され、キャリッジ本体77を介してヘッドユニット71のθ位置を微調整(θ軸補正)するヘッドθ軸テーブル78と、ヘッドθ軸テーブル78の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル78およびキャリッジ本体77を介してヘッドユニット71のZ位置を微調整(Z軸補正)するヘッドZ軸テーブル79とを有している。なお、図示しないが、各支持プレート76には、画像認識を前提として、各キャリッジユニット31(ヘッドユニット71)をX軸、Y軸およびθ軸方向に位置決め(位置認識)するための基準となる一対の基準ピンが設けられている。
As shown in FIGS. 3 and 4, each
支持プレート76は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されており、12個の機能液滴吐出ヘッド72を位置決めすると共に、ヘッド保持部材(図示省略)により各機能液滴吐出ヘッド72を裏面側から固定するための12個の装着開口(図示省略)が形成されている。そして、支持プレート76は、キャリッジ本体77に着脱自在に支持され、ヘッドユニット71は、バルブユニット104と共に支持プレート76を介してキャリッジ73に搭載される。
The
図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド72は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針82を有する機能液導入部81と、機能液導入部81に連なる2連のヘッド基板83と、機能液導入部81の下方(同図では上方)に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体84とを備えている。接続針82は、後述する圧力調整弁105(図4参照)を介して機能液タンク(図示省略)に接続され、機能液滴吐出ヘッド72のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体84は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ91と、2本のノズル列94,94を相互に平行に形成したノズル面93を有するノズルプレート92とを有している。
As shown in FIG. 5, the functional liquid
各ノズル列94の長さは、例えば1インチ(略25.4mm)であって、各ノズル列94は180個のノズル95が等ピッチ(略140μm)で並べられて構成されている。
また、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル95からの吐出量が中央部に位置するノズル95からの吐出量に比べて多くなってしまうため、両端部の各10個のノズル95を不吐出ノズルとし、中央部の160個のノズル95を吐出ノズルとして、吐出ノズルのみから機能液を吐出し、不吐出ノズルからは機能液を吐出しないようにしている。
Each
Further, due to the structure of the flow path in the head, the discharge amount from the
次に、機能液滴吐出ヘッド72におけるノズルプレート92及びキャビティ91について説明する。
図6(a)は機能液滴吐出ヘッド72の構造説明図、図6(b)は正面断面図である。なお、図6においては、図5に対して機能液滴吐出ヘッド72が上下逆に図示されている。
Next, the
FIG. 6A is a structural explanatory view of the functional liquid
機能液滴吐出ヘッド72は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、複数列に配列された複数のノズル95を有している。この機能液滴吐出ヘッド72の構造の一例を説明すると、機能液滴吐出ヘッド72は、図6(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート92と振動板123とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)124を介して接合したものである。ノズルプレート92と流路形成部としての振動板123との間には、仕切部材124によって複数の空間125と液溜部126とが形成されている。各空間125と液溜部126の内部はインク(液状体)で満たされており、各空間125と液溜部126とは供給口127を介して連通した(接続された)ものとなっている。すなわち、空間125及び供給口127は、液溜部126に満たされたインクをノズル95に導くための流路128を形成している。
また、ノズルプレート92には、空間125からインクを噴射するためのノズル(ノズル開口)95が形成されている。一方、振動板123には、液溜部126にインクを供給するための孔129が形成されている。
The functional liquid
The
また、振動板123の空間125に対向する面と反対側の面上には、図6(b)に示すように、圧電素子(ピエゾ素子)120が接合されている。この圧電素子120は、圧電材料を一対の電極130で挟持したものであり、一対の電極130に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものであり、ノズル95毎に設けられている。そして、このような構成のもとに圧電素子120が接合されている振動板123は、圧電素子120と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間125の容積が増大するようになっている。したがって、空間125内に増大した容積分に相当するインクが、液溜部126から供給口127を介して流入する。また、このような状態から圧電素子120への通電を解除すると、圧電素子120と振動板123はともに元の形状に戻る。したがって、空間125も元の容積に戻ることから、空間125内部のインクの圧力が上昇し、ノズル95から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
Also, a piezoelectric element (piezo element) 120 is bonded to the surface of the
すなわち、上述したヘッド基板83には、2連のコネクタ96,96が設けられており、各コネクタ96は、フレキシブルフラットケーブルを介して上記のヘッド用電装ユニット97(ヘッドドライバ141、図8参照)に接続されている。そして、コントローラ24からヘッド用電装ユニット97を介してキャビティ91(電極130)に駆動波形が印加すると、上記振動板123の撓曲によるキャビティ91のポンプ作用により、各ノズル95から機能液滴が吐出される。したがって、キャビティ91に印加する駆動波形の大きさ(印加電圧値の大きさ)や周期を制御することで、液滴吐出量や吐出タイミングがノズル95毎に独立して制御される。
That is, the
本実施形態では、ワークWに対し、7個のキャリッジユニット31のうち少なくとも1つのキャリッジユニット31から成る稼動ユニット群36をX軸方向に相対的に移動させながら、描画エリア41においてその機能液滴吐出ヘッド72からワークW上に機能液を吐出して描画処理を行う構成となっている。
In the present embodiment, the functional liquid droplets in the
なお、機能液滴吐出ヘッド72の液滴吐出方式としては、前記の圧電素子120を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
The droplet discharge method of the functional
機能液供給手段34の各機能液供給ユニット101は、機能液を貯留する12個の機能液タンクから成るタンクユニットと、機能液タンクおよび機能液滴吐出ヘッド72間の水頭圧を調整する12個の圧力調整弁105から成るバルブユニット104と、12個の機能液タンクと12個の圧力調整弁105とをそれぞれ接続する12本のタンク側給液チューブ(図示省略)と、12個の圧力調整弁105および12個の機能液滴吐出ヘッド72(の各2連の接続針82)をそれぞれ分岐継手(図示省略)を介して接続する24本のヘッド側給液チューブ(図示省略)とを有している。
Each of the functional
画像認識手段35は、ワーク搬出入エリア43の前後両側に臨むように配設され、ワークWの両長辺部分にそれぞれ形成された2つのワークアライメントマーク(図示省略)をそれぞれ画像認識する2台のワーク認識カメラ106(図8参照)と、X軸テーブル32のX軸エアースライダ52に連結され、各キャリッジ73(支持プレート76)の2つの基準ピンを画像認識するヘッド認識カメラ107(図8参照)と、上記のY軸テーブル33に添設されたカメラ移動機構(図示省略)によりY軸方向に移動可能にそれぞれ搭載され、ワークW等に吐出された機能液滴(ドット)を上方から撮像して画像認識する2台のドット認識カメラ108(図8参照)とを有している。これらの各種カメラの画像認識結果に基づいて、上述したワークWやヘッドユニット71の位置補正が行われる。
The two image recognition means 35 are disposed so as to face both the front and rear sides of the workpiece carry-in / out
ここで、図1ないし図3を参照して、描画装置22によるワークWへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、上記のワーク搬出入装置2により吸着テーブル56にワークWがセットされ、そのワークWの位置補正が、ワークθ軸テーブル57によるθ軸方向の位置補正と、ワークWのX軸方向およびY軸方向の位置データ補正とにより行われる。相前後して、描画エリア41に移動する稼動ユニット群36と、描画待機エリア42に移動する描画待機ユニット群37との仕分けが行われる(詳細は後述する)。また、描画エリア41に移動した稼動ユニット群36の各ヘッドユニット71の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル78によるθ軸方向の位置補正およびY軸テーブル33によるY軸方向の位置補正と、ヘッドユニット71のX軸方向の位置データ補正とにより行われる。
Here, with reference to FIG. 1 thru | or FIG. 3, the discharge operation | movement to the workpiece | work W by the
ワークWやヘッドユニット71の位置補正が行われた後、描画装置22は、コントローラ24(制御部132)による制御を受けながら、ワークWをX軸テーブル32によりX軸方向に往動させると共に、これに同期して稼動ユニット群36の機能液滴吐出ヘッド72を選択的に駆動させて、ワークWに対する機能液の吐出が行われる。続いて、ワークWを復動させながら、再度ワークWに対する機能液の吐出が行われる。このようにワークWのX軸方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド72の駆動とを複数回繰り返すことで、ワークWに対する描画が行われる。すなわち、描画エリア41に臨むワークWに対し、稼動ユニット群36をX軸方向に相対的に移動させながら、稼動ユニット群36の機能液滴吐出ヘッド72からワークW上に機能液を吐出して描画処理が行われる。
After the position correction of the workpiece W and the
なお、この描画処理において、ワークWの往動時のみ機能液の吐出が行われる構成としてもよい。また、ワークWを固定とし、稼動ユニット群36をX軸方向に移動させる構成であってもよい。さらに、本実施形態では、上述したように、ワークWの描画対象幅と稼動ユニット群36の部分描画ライン群の長さとが対応しているが、ワークWの描画対象幅が稼動ユニット群36の部分描画ライン群の長さよりも長い構成であってもよく、この場合には、ワークWに対し稼動ユニット群36を往復動させながら機能液滴吐出ヘッド72を駆動させて吐出走査(主走査)を行った後、Y軸テーブル33により稼動ユニット群36を部分描画ライン群の長さ分Y軸方向に移動させ(副走査)、再度ワークWに対する主走査が行われる。そして、この主走査および副走査を数回繰り返してワークWの端から端まで液滴吐出が行われる。
In the drawing process, the functional liquid may be discharged only when the workpiece W moves forward. Alternatively, the work W may be fixed and the operating unit group 36 may be moved in the X-axis direction. Furthermore, in the present embodiment, as described above, the drawing target width of the work W corresponds to the length of the partial drawing line group of the operating unit group 36, but the drawing target width of the work W corresponds to the operating unit group 36. The length may be longer than the length of the partial drawing line group. In this case, the functional liquid
次に、図2および図7を参照して、液滴吐出装置1におけるメンテナンス手段23およびこれによる機能液滴吐出ヘッド72の機能維持・回復処理について説明する。メンテナンス手段23は、機能液滴吐出ヘッド72を、吐出機能を維持した状態で保管すると共に、吐出機能を維持・回復するものである。メンテナンス手段23は、機能液滴吐出ヘッド72を吸引して、機能液滴吐出ヘッド72から機能液を強制的に排出させる吸引ユニット111と、機能液が付着して汚れた機能液滴吐出ヘッド72のノズル面93を払拭するワイピングユニット113と、吸引ユニット111の7個の分割吸引ユニット112(後述する)およびワイピングユニット113をそれぞれ個別に昇降可能に支持する8個のユニット昇降機構115から構成されるユニット昇降手段114とを有しており、これらは、アングル架台118上に支持されて描画待機エリア42に配設されている。さらに、メンテナンス手段23は、上記のワークθ軸テーブル57上に配設された定期フラッシングボックス116と、ノズル面閉塞装置117と、セットテーブル51の前後両側に配設された一対の吐出前フラッシングボックス(図示省略)とを有している。
Next, with reference to FIG. 2 and FIG. 7, the maintenance means 23 in the
吸引ユニット111は、7個のキャリッジユニット31に対応して、Y軸方向に配列された7個の分割吸引ユニット112を有している。各分割吸引ユニット112は、キャリッジユニット31に対して下側から臨み、12個の機能液滴吐出ヘッド72のノズル面93にそれぞれ気密に封止させる12個のキャップ121と、12個のキャップ121を昇降自在に支持するキャップ支持部材122と、封止させたキャップ121を介して機能液滴吐出ヘッド72に吸引力を作用させるエゼクタ(図示省略)とを備えている。
The
12個のキャップ121は、各キャリッジ73に搭載された12個の機能液滴吐出ヘッド72の並びに対応させて、キャップ支持部材122に配設したものである。そのため、吸引ユニット111全体では、7個のキャリッジユニット31の全機能液滴吐出ヘッド72の配置パターンに倣って、12×7個のキャップ121が配置されており、全機能液滴吐出ヘッド72にそれぞれ対応するキャップ121を一度に封止させることが可能である。さらに、キャップ121をノズル面93に封止させた状態でエゼクタを駆動することにより、ノズル95から機能液を吸引することで、機能液滴吐出ヘッド72内で増粘した機能液を除去することができる。
The twelve
したがって、吸引ユニット111は、各キャップ121により機能液滴吐出ヘッド72を気密に封止することで、複雑な機構を用いることなく、機能液滴吐出ヘッド72のノズル95の機能液が乾燥することを防止して、機能液滴吐出ヘッド72を機能維持状態に保管すると共に、各キャップ121により気密状態として機能液滴吐出ヘッド72のノズル95から吸引することで、増粘した機能液を排出することができる。
Therefore, the
ワイピングユニット113は、描画待機エリア42の描画エリア41側、すなわち描画エリア41と吸引ユニット111との間に配置されており、機能液滴吐出ヘッド72の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面93を、洗浄液を含浸させたワイピングシート123を用いて拭き取るものである。このような配置により、ワイピングユニット113は、吸引ユニット111による吸引を終えて、描画エリア41へ個々に移動するキャリッジユニット31に順次臨むことができ、その機能液滴吐出ヘッド72にワイピング処理を行うことができるようになっている。そして、上記の吸引処理と、吸引処理によりノズル面93に付着した機能液を拭き取るワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド72の吐出機能を回復させることができる。
The
図3に示すように、定期フラッシングボックス116は、ワークWに対する描画を一時的に停止するときに行うフラッシングを受けるためのものであり、上記のワークθ軸テーブル57上に設けられ、ワークWの交換のためにセットテーブル51がワーク搬出入エリア43に臨むとき、定期フラッシングボックス116が描画エリア41に臨み、機能液滴吐出ヘッド72からのフラッシングを受けるようになっている。
As shown in FIG. 3, the
図示しないが、一対の吐出前フラッシングボックスは、ワークWに機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングを受けるためのものであり、セットテーブル51をX軸方向に挟むように配設されている。これにより、ワークWの往復動に伴う機能液滴吐出ヘッド72の吐出駆動の直前に行われるフラッシングを受けることができる。
定期フラッシングボックス116および一対の吐出前フラッシングボックスは、それぞれ平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収させる吸収材(図示省略)が敷設されている。また、各フラッシングボックスの長辺(Y軸方向)は、上記の最大幅描画ラインLmの長さに対応して形成されているため、稼動ユニット群36が全キャリッジユニット31により構成されている場合にも、その機能液滴吐出ヘッド72からのフラッシングを受け得るようになっている。
Although not shown, the pair of pre-discharge flushing boxes is for receiving pre-discharge flushing performed immediately before discharging the functional liquid onto the workpiece W, and is disposed so as to sandwich the set table 51 in the X-axis direction. . Thereby, it is possible to receive the flushing performed immediately before the ejection driving of the functional liquid
The
ノズル面閉塞装置117は、図3に示すように、上記のワークθ軸テーブル57上の、例えば定期フラッシングボックス116の+X側に設けられ、セットテーブル51がワーク搬出入エリア43に臨むとき、ノズル面閉塞装置117が描画エリア41に臨み、且つ昇降装置118により上昇したときに機能液滴吐出ヘッド72におけるノズル面93に当接してノズル開口95を閉塞し、昇降装置118により下降したときにノズル面93から離間してノズル開口95を開放する構成となっている。
ノズル面閉塞装置117の材料としては、ノズル面93に当接しても機能液滴吐出ヘッド72を損傷させず、またノズル開口95からの液滴の吐出を確実に抑えることが可能な強度、硬度を選択することが好ましく、例えば樹脂板やゴム板等を用いることができる。
As shown in FIG. 3, the nozzle
As a material for the nozzle
次に、図8を参照して、液滴吐出装置1全体の制御系について簡単に説明する。液滴吐出装置1の制御系は、基本的に、上位コンピュータ3と、機能液滴吐出ヘッド72、X軸テーブル32、Y軸テーブル33、メンテナンス手段23等を駆動する各種ドライバを有する駆動部131と、駆動部131を含め液滴吐出装置1全体を統括制御する制御部132(コントローラ24)とを備えている。
Next, with reference to FIG. 8, the control system of the entire
上位コンピュータ3は、コントローラ24に接続されたコンピュータ本体16に、キーボード17や、キーボード17による入力結果等を画像表示するディスプレイ18等が接続されて構成されている。
駆動部131は、機能液滴吐出ヘッド72を吐出駆動制御するヘッドドライバ141と、X軸テーブル32およびY軸テーブル33の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ142と、メンテナンス手段23の吸引ユニット111、ワイピングユニット113およびユニット昇降機構115を駆動制御するメンテナンス用ドライバ143とを備えている。
The
The
制御部132は、CPU151と、ROM152と、RAM153と、P−CON154とを備え、これらは互いにバス155を介して接続されている。ROM152は、CPU151で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
The
RAM153は、各種レジスタ群のほか、ワークWに機能液の吐出を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークWおよび機能液滴吐出ヘッド72の位置データを記憶する位置データ記憶部、オペレータによってキーボード17から入力された各種設定(後述する稼動ユニット群36と描画待機ユニット群37との設定等)を記憶する設定記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
The
P−CON154には、駆動部131の各種ドライバのほか、画像認識手段35の各種カメラが接続されており、CPU151の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、P−CON154は、上位コンピュータ3からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス155に取り込むと共に、CPU151と連動して、CPU151等からバス155に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部131に出力する。
In addition to various drivers of the
そして、CPU151は、ROM152内の制御プログラムに従って、P−CON154を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、RAM153内の各種データ等を処理した後、P−CON154を介して駆動部131等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置1全体を制御している。例えば、CPU151は、機能液滴吐出ヘッド72、X軸テーブル32およびY軸テーブル33を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件でワークWに描画を行う。
The
続いて、上記の液滴吐出装置1において、機能液滴吐出ヘッド72の内部のインク(液状体)を撹拌する方法について、図9を参照して説明する。
図9(a)は、供給口127及び流路128にインクが充填された機能液滴吐出ヘッド72の断面図である。
この図に示すように、まず昇降装置118を駆動して、ノズル面閉塞装置117を機能液滴吐出ヘッド72におけるノズル面93に当接させて、ノズル面93と面一の表面117aにてノズル開口95を閉塞する。
Next, a method of stirring the ink (liquid material) inside the functional
FIG. 9A is a cross-sectional view of the functional liquid
As shown in this figure, first, the lifting / lowering
続いて、圧電素子120を駆動(電極130に通電)して、例えば図9(b)に示すように、振動板123を空間125に向けて変位させる。これにより、流路128の容積が減少するため、空間125におけるインクの圧力が上昇する。このとき、ノズル開口95はノズル面閉塞装置117により閉塞されていることから、インクはノズル開口95から吐出されずに、図中矢印で示すように、流路128から液溜部126に向けて流動する。
Subsequently, the
次に、圧電素子120を逆方向に駆動して、図9(c)に示すように、振動板123を空間125から離間する方向に変位させる。これにより、流路128の容積が増大するため、空間125におけるインクの圧力が低下する。このとき、ノズル開口95はノズル面閉塞装置117により閉塞されていることから、ノズル開口95から空気が流入してインクの圧力低下が開放されることはない。従って、空間125におけるインクの圧力が低下したことにより、図中矢印で示すように、インクは液溜部126から流路128に向けて流動する。
Next, the
なお、圧電素子120を逆方向に駆動するのではなく、振動板123を空間125に向けて変位させている圧電素子120の駆動を停止させて、振動板123を図9(a)に示した状態に戻すだけでもよい。
Note that, instead of driving the
そして、上記圧電素子120の駆動方向を順次反転させることにより、インクは流路128と液溜部126との間を、図9(b)に示す方向と、図9(c)に示す方向とに往復して流動することになる。このインクの往復移動により、インクは撹拌されることになる。
Then, by sequentially reversing the driving direction of the
また、機能液滴吐出ヘッド72における複数のノズル開口95及び流路128毎に設けられた圧電素子120を同期して、同時に駆動した場合には、複数の流路128のインクが一斉に各流路128と液溜部126との間を往復して流動するため、液溜部126におけるインクの往復移動量も大きくなるため、液溜部126におけるインクも撹拌されることになる。
In addition, when the plurality of
なお、機能液滴吐出ヘッド72内のインクの撹拌処理が完了した後は、昇降装置118の駆動より、ノズル面閉塞装置117を下降させてノズル面93から離間させることにより、ノズル開口95を開放させれば、上述した液滴吐出処理を実行することが可能になる。
After the ink agitation processing in the functional liquid
このように、本実施の形態では、ノズル開口95を閉塞した状態で圧電素子120を駆動するため、従来のようにインクがノズル開口95から吐出されないように、圧電素子120の駆動を制限することなく、振動板123を大きく変位させることができる。そのため、本実施形態では、流路128におけるインクを大きな流動長で流動させて撹拌することが可能になり、従来では充分に撹拌できなかったノズル開口95よりも離間した流路128においても効果的にインクを撹拌することができる。従って、本実施形態では、色材に顔料を用いた非水溶性溶剤系インク、分散系インク、UV硬化インク等の沈降の可能性があるインクを用いた場合でも、沈降を生じさせることを抑制でき、沈降等に起因するインク吐出不良等を効果的に回避することができ、高品質のデバイスを製造することが可能になる。
Thus, in this embodiment, since the
また、本実施形態では、複数のノズル開口95毎に設けられた圧電素子120を同期して駆動することにより、流路128のみならず、液溜部126におけるインクも効果的に撹拌することが可能になり、沈降等に起因するインク吐出不良等をより効果的に抑制することができる。
Further, in this embodiment, by driving the
[カラーフィルタの製造方法]
次に、本実施形態の液滴吐出装置1を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明する。図10は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域151の説明図である。上記液滴吐出装置1を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域151をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域151は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフィルタ領域151においては、図10に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
[Color filter manufacturing method]
Next, an example of a color filter manufacturing method using the
図11は、カラーフィルタの製造方法の説明図である。このようなカラーフィルタ領域151を形成するには、まず、図11(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス152を形成する。このブラックマトリクス152を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス152の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント153については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
FIG. 11 is an explanatory diagram of a color filter manufacturing method. In order to form such a
次に、本実施形態の液滴吐出装置1における液滴吐出ヘッドから、図11(b)に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴154(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴154の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク滴の焼成を行い、図11(c)に示すようなインク受容層160とする。
Next, as shown in FIG. 11B, ink droplets 154 (liquid material) containing a resin composition serving as an ink receiving layer are ejected from the droplet ejection head in the
次に、液滴吐出ヘッド72から、図11(d)に示すようにRのインク滴154R(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴154の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インクの仮焼成を行い、図11(e)に示すようなR着色層134Rとする。以上の工程を、G着色層形成装置、B着色層形成装置においても繰り返し、図11(f)に示すように、G着色層134G、B着色層134Bを順次形成する。R着色層134R、G着色層134G、B着色層134Bを全て形成した後、これら着色層134R,134G,134Bを一括して焼成する。
Next, as shown in FIG. 11D,
次いで、基板Sを平坦化し、かつ着色層134R,134G,134Bを保護するため、図11(g)に示すように各着色層134R,134G,134Bやブラックマトリクス152を覆うオーバーコート膜(保護膜)156を形成する。このオーバーコート膜156の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層134R,134G,134Bの場合と同様に液滴吐出装置1を用いることもできる。
Next, in order to flatten the substrate S and protect the
[液晶装置]
次に、上記カラーフィルタを備えた液晶装置(電気光学装置)の一実施形態を示す。図12はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図12中の符号130は液晶装置である。この液晶装置130は透過型のもので、一対のガラス基板131、132の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層133が挟持されてなるものである。
[Liquid Crystal Device]
Next, an embodiment of a liquid crystal device (electro-optical device) including the color filter will be described. FIG. 12 is a side sectional view of a passive matrix liquid crystal device, and
一方のガラス基板131には、その内面に上記カラーフィルタ155が形成されている。カラーフィルタ155は、R、G、Bの各色からなる着色層134R、134G、134Bが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層134R(134G、134B)間には、ブラックマトリクス152が形成されている。そして、これらカラーフィルタ155およびブラックマトリクス152の上には、カラーフィルタ155やブラックマトリクス152によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)156が形成されている。オーバーコート膜156の上には複数の電極137がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜138が形成されている。
The
他方のガラス基板132には、その内面に、カラーフィルタ155側の電極137と直交するようにして、複数の電極139がストライプ状に形成されており、これら電極139上には、配向膜140が形成されている。なお、前記カラーフィルタ155の各着色層134R、134G、134Bは、それぞれ各ガラス基板132上の電極139、137の交差する位置に配置されている。また、電極137、139は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板132とカラーフィルタ155の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板131、132間にはこれら基板131、132間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ141が設けられている。さらに、これらガラス基板131、132間には液晶133を封入するためのシール材142が設けられている。
On the
本実施形態の液晶装置130では、上記液滴吐出装置1を用いて製造されるカラーフィルタ155を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
In the
[電子機器]
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図13は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図13において、符号500は液晶テレビジョン本体を示し、符号501は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図13に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
[Electronics]
Next, a specific example of an electronic apparatus provided with display means including the liquid crystal device will be described.
FIG. 13 is a perspective view showing an example of a liquid crystal television. In FIG. 13,
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。 As described above, the preferred embodiments according to the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.
例えば、上記実施形態では、ノズル面閉塞装置117をワークθ軸テーブル57上に設ける構成としたが、これに限定されるものではなく、例えば機能液滴吐出ヘッド72と一体的に移動するキャリッジユニット31に設ける構成としてもよい。
この構成では、機能液滴吐出ヘッド72がどの位置にあっても、インクの撹拌処理を実行することができ、機能液滴吐出ヘッド72をノズル面閉塞装置117が設置されている位置に移動させる工程が不要になり、生産性を大幅に向上させることが可能になる。
For example, in the above embodiment, the nozzle
In this configuration, the ink agitation process can be executed regardless of the position of the functional liquid
1…液滴吐出装置、 24…コントローラ(駆動制御装置)、 72…機能液滴吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)、 117…ノズル面閉塞装置(開閉装置)、 120…圧電素子、 123…振動板(流路形成部)、 126…液溜部、 128…流路、 L…液滴
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記ノズル開口を開閉する開閉装置と、
前記開閉装置により前記ノズル開口が閉塞された状態で前記圧電素子を駆動する駆動制御装置とを有することを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge device including a droplet discharge head for discharging a liquid droplet from a nozzle opening by driving a piezoelectric element,
An opening and closing device for opening and closing the nozzle opening;
And a drive control device that drives the piezoelectric element in a state where the nozzle opening is closed by the opening / closing device.
前記液滴吐出ヘッドは、前記液状体を前記ノズル開口に導く流路を形成する流路形成部を有し、
前記圧電素子の駆動により、前記流路形成部を変位させることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 1,
The droplet discharge head has a flow path forming portion that forms a flow path for guiding the liquid material to the nozzle opening,
A liquid droplet ejection apparatus, wherein the flow path forming portion is displaced by driving the piezoelectric element.
前記圧電素子は、複数の前記ノズル開口毎にそれぞれ設けられ、
前記駆動制御装置は、前記複数の圧電素子を同期して駆動することを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 1 or 2,
The piezoelectric element is provided for each of the plurality of nozzle openings,
The liquid droplet ejection apparatus, wherein the drive control device drives the plurality of piezoelectric elements in synchronization.
前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズル開口毎に設けられ前記液状体を前記ノズル開口に導く複数の流路と、
前記複数の流路のそれぞれに接続され前記液状体を貯留する液溜部とを有することを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 3.
The droplet discharge head is provided for each of a plurality of nozzle openings, and a plurality of flow paths for guiding the liquid material to the nozzle openings,
A liquid droplet ejection apparatus comprising: a liquid reservoir portion that is connected to each of the plurality of flow paths and stores the liquid material.
前記ノズル開口を閉塞する工程と、
前記ノズル開口を閉塞した状態で前記圧電素子を駆動する工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法。 A liquid material agitation method for a droplet discharge head that discharges a liquid droplet from a nozzle opening by driving a piezoelectric element,
Closing the nozzle opening;
And a step of driving the piezoelectric element in a state in which the nozzle opening is closed.
前記液状体を前記ノズル開口に導く流路を形成する流路形成部を有し、
前記圧電素子の駆動により、前記流路形成部を変位させることを特徴とする液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法。 In the liquid substance stirring method of the droplet discharge head according to claim 5,
A flow path forming portion that forms a flow path for guiding the liquid material to the nozzle opening;
A liquid material agitation method for a droplet discharge head, wherein the flow path forming portion is displaced by driving the piezoelectric element.
前記圧電素子を、複数の前記ノズル開口毎にそれぞれ設け、
前記複数の圧電素子を同期して駆動することを特徴とする液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法。 In the liquid substance stirring method of the droplet discharge head according to claim 5 or 6,
The piezoelectric element is provided for each of the plurality of nozzle openings,
A liquid material stirring method for a droplet discharge head, wherein the plurality of piezoelectric elements are driven synchronously.
前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズル開口毎に設けられ前記液状体を前記ノズル開口に導く複数の流路と、
前記複数の流路のそれぞれに接続され前記液状体を貯留する液溜部とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの液状体撹拌方法。 In the liquid substance stirring method of the droplet discharge head according to claim 7,
The droplet discharge head is provided for each of a plurality of nozzle openings, and a plurality of flow paths for guiding the liquid material to the nozzle openings,
A liquid stirring method for a liquid droplet ejection head, comprising: a liquid reservoir portion that is connected to each of the plurality of flow paths and stores the liquid material.
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JP2008320495A JP2010145565A (en) | 2008-12-17 | 2008-12-17 | Method of stirring liquid-like object in liquid droplet delivery head, and liquid droplet delivery device |
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---|---|---|---|---|
JP2013195546A (en) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd | Ultraviolet curable ink absorbing layer for color filter and method for manufacturing color filter |
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2008
- 2008-12-17 JP JP2008320495A patent/JP2010145565A/en not_active Withdrawn
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